JP6234076B2 - 接合構造体及びこれを用いた半導体製造装置 - Google Patents
接合構造体及びこれを用いた半導体製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6234076B2 JP6234076B2 JP2013127026A JP2013127026A JP6234076B2 JP 6234076 B2 JP6234076 B2 JP 6234076B2 JP 2013127026 A JP2013127026 A JP 2013127026A JP 2013127026 A JP2013127026 A JP 2013127026A JP 6234076 B2 JP6234076 B2 JP 6234076B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- metal member
- supply terminal
- welding
- terminal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
板状のセラミック基材と、その底部に順次接触しながら埋設されている電極及び金属部材と、
前記セラミック基材の上面から金属部材に到達する端子穴と、
前記セラミック基材の上方から前記端子穴を通して前記金属部材に突き合わせる給電端子と
からなる接合構造体において、
前記給電端子の下端に形成した拡径部のエッジ部と前記金属部材とを接合した接合構造体を採用し、接合部分の表面積を大きくすることによって、接合強度を大きくすることができる。
本発明の好ましい実施形態である接合構造体の製造方法として、まず、セラミック基材に電極及び金属部材を埋設する工程について説明する(第1工程)。電極2及び金属部材3の製造方法は特に限定されないが、ここでは、電極2及び金属部材3を別々に作成する方法で説明する。
次に、本発明の別の実施形態である接合構造体の製造方法について説明する。第2実施形態では、前記した第1実施形態の給電端子嵌合用凹部4aを形成する第3工程を必要としない。つまり、給電端子5を端子穴4の中央付近に挿入し、金属部材3上に載置させて、図12に示すように給電端子5のエッジ部6aの上面から溶接する。
第1、第2実施形態では、給電端子5の下端を拡径することによって、本発明の課題を解決してきたが、給電端子5及び金属部材3を、融点が1800℃以上の同種の高融点金属、好ましくはMoを用いて溶接接合すれば、給電端子5の下端を拡径することなく、給電端子5の端部外周を溶接するだけで、課題を解決できる。この場合の溶接とは、電子ビーム溶接、レーザー溶接、アーク溶接、ガス溶接、プラズマフレーム溶接から選択されるいずれか一つの溶接方法を意味する。
Claims (5)
- 板状のセラミック基材(1)と
その底部に順次接触させながら積層又は埋設させた電極(2)及び金属部材(3)と
前記セラミック基材の上面から前記金属部材に到達する端子穴(4)と
前記セラミック基材の上方から前記端子穴(4)を通して前記金属部材(3)に突き合わせる給電端子(5)と
からなる接合構造体において、
前記給電端子の下端に形成した拡径部のエッジ部(6a)と前記金属部材に凹設された給電端子用嵌合凹部とを嵌合させ、前記エッジ部(6a)と前記給電端子用嵌合凹部の角部(4b)とを略面一にし、前記エッジ部(6a)と前記給電端子用嵌合凹部の角部(4b)との接合部位を、前記端子穴の壁面と前記給電端子の軸部外周との略中間になるように配置し、前記接合部位を電子ビーム溶接、レーザー溶接、アーク溶接、ガス溶接、プラズマフレーム溶接から選択される1つの溶接方法によって接合したことを特徴とする接合構造体。 - 前記セラミック基材と前記給電端子及び前記セラミック基材と前記金属部材との熱膨張係数差Δαがそれぞれ3.2(10−6/K)以下であることを特徴とする請求項1記載の接合構造体。
- 前記金属部材は、融点が1800℃以上の高融点金属である請求項2記載の接合構造体。
- 前記セラミック基材が窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、酸化イットリウム、炭化ケイ素、窒化ケイ素から選ばれる請求項1に記載の接合構造体。
- 静電チャックが請求項1〜4のいずれか1項に記載の接合構造体から構成されている半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013127026A JP6234076B2 (ja) | 2013-06-17 | 2013-06-17 | 接合構造体及びこれを用いた半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013127026A JP6234076B2 (ja) | 2013-06-17 | 2013-06-17 | 接合構造体及びこれを用いた半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015002300A JP2015002300A (ja) | 2015-01-05 |
JP6234076B2 true JP6234076B2 (ja) | 2017-11-22 |
Family
ID=52296629
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013127026A Active JP6234076B2 (ja) | 2013-06-17 | 2013-06-17 | 接合構造体及びこれを用いた半導体製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6234076B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10957520B2 (en) * | 2018-09-20 | 2021-03-23 | Lam Research Corporation | Long-life high-power terminals for substrate support with embedded heating elements |
JP7368488B2 (ja) * | 2019-10-18 | 2023-10-24 | 京セラ株式会社 | 構造体および加熱装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003059628A (ja) * | 2001-08-17 | 2003-02-28 | Ibiden Co Ltd | 半導体製造・検査装置用セラミックヒータ |
JP2003168724A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-06-13 | Ibiden Co Ltd | 半導体製造・検査装置用セラミック基板およびその製造方法 |
JP4510745B2 (ja) * | 2005-10-28 | 2010-07-28 | 日本碍子株式会社 | セラミックス基材と電力供給用コネクタの接合構造 |
US8908349B2 (en) * | 2011-03-31 | 2014-12-09 | Ngk Insulators, Ltd. | Member for semiconductor manufacturing apparatus |
-
2013
- 2013-06-17 JP JP2013127026A patent/JP6234076B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015002300A (ja) | 2015-01-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7247818B2 (en) | Substrate heating apparatus and manufacturing method for the same | |
US9764530B2 (en) | Method for obtaining a configuration for joining a ceramic material to a metallic structure | |
JP2012049185A (ja) | セラミックス部材及びその製造方法 | |
US10840117B2 (en) | Holding apparatus | |
TWI689038B (zh) | 釺焊接頭及具有釺焊接頭之半導體處理腔室部件 | |
JP2002293655A (ja) | 金属端子とセラミック部材との接合構造、金属部材とセラミック部材との接合構造および金属端子とセラミック部材との接合材 | |
JP2008130609A (ja) | 加熱装置 | |
KR100775884B1 (ko) | 세라믹스 기재와 전력 공급용 커넥터의 접합 구조 | |
TW201616915A (zh) | 接合構造體 | |
JP6234076B2 (ja) | 接合構造体及びこれを用いた半導体製造装置 | |
KR102209156B1 (ko) | 반도체 제조장치용 부품의 제조방법 및 반도체 제조장치용 부품 | |
JP6490296B2 (ja) | 半導体製造装置用部品 | |
JP6475054B2 (ja) | 半導体製造装置用部材 | |
JP2004134746A (ja) | 半導体装置 | |
KR20100050388A (ko) | 통전체를 내장하는 세라믹스 부재와 그 제조방법 | |
JP2023023670A (ja) | セラミックスヒータ | |
JP2018005998A (ja) | セラミックスヒータ | |
JP2013170090A (ja) | セラミックスと金属の接合方法及びセラミックスと金属の接合構造 | |
JP6704821B2 (ja) | 保持装置 | |
JP2006114250A (ja) | 金属部材埋設セラミックス基材の給電端子取付け構造 | |
JP7321285B2 (ja) | セラミック構造体及びウェハ用システム | |
JP2006324229A (ja) | 気密端子 | |
JP2009051684A (ja) | 炭化ケイ素構造体及び炭化ケイ素構造体の製造方法 | |
JP7195336B2 (ja) | セラミック構造体及びセラミック構造体の製造方法 | |
JP4656126B2 (ja) | 半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160603 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170327 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171003 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171005 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171018 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6234076 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |