JP2006114250A - 金属部材埋設セラミックス基材の給電端子取付け構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本金属部材埋設セラミックス基材の給電端子取付け構造は、端子挿入穴6が形成されたセラミックス基材2と、このセラミックス基材2に埋設され、電圧が印加される金属部材3と、この金属部材3に給電し、端子挿入穴6に挿入されてセラミックス基材2に取付けられる金属製給電端子4を有し、この給電端子4は、端子挿入穴6内の金属部材3と対向していない位置において、金属性接合材8により端子挿入穴6の表面に設けられた導電性物質7に接合され、金属部材3は、導電性物質7を介して金属製給電端子4と接続される。
【選択図】 図2
Description
試料: 純度99.95%の高純度アルミナ粉末に2重量%のポリビニルアルコールをバインダとして添加し、ボールミルによって混合した。得られたスラリーをスプレードライヤによって造粒し、造粒粉を一軸加圧金型プレス機によって30MPaの圧力で成形し、成形体に100MPaの圧力で冷間静水圧成形を施した。
試料: 上述した図2に示す本発明の実施形態に係る給電端子取付け構造の製造方法に相当する。
試料: 酸素を除く不純物量が100ppm未満である高純度窒化アルミニウム粉末に焼結助剤として酸化イットリウム粉末を0.5質量%、バインダとしてポリビニルブチラールを2重量%添加し、ボールミルによって混合した。得られたスラリーをスプレードライヤによって造粒し、造粒粉を一軸加圧金型プレス機によって30MPaの圧力で成形し、成形体に100MPaの圧力で冷間静水圧成形を施した。
結果:表1に示す。
試料: 実施例3と同一の方法でモリブデンメッシュを含む接合体を作製した。モリブデンメッシュを露出させる座繰り加工は開口直径12mm、露出しているモリブデンメッシュ部がφ10mmとなるように行い、座繰りにテーパを持たせた(図6(a))。この後、実施例3と同一の方法で、厚さ50μmの白金メタライズ膜を金端子挿入穴内面に形成し(図6(b))、座繰りと嵌合する形状のモリブデン製給電端子を実施例3と同様の方法でロウ付けした(図6(c))。
結果:表1に示す。
(実施例1)と同一の方法で作製した接合体に図3(a)で示す加工を施し、導電膜を形成することなく直接金属性給電端子とセラミックス基材を金一錫ロウで接合を行った(図7)。
結果:表1に示す。
実施例2と同一の方法で作製した接合体に図3(a)で示す加工を施し、導電膜を形成することなく直接金属端子とセラミックス母材を金一錫ロウで接合を行った(図8)。
結果:表1に示す。
実施例3と同一の方法で作製した接合体に図5(a)で示す加工を施し、導電膜を形成することなく直接金属製給電端子とセラミックス基材を金一錫ロウで接合を行った(図9)。
結果:表1に示す。
実施例4と同一の方法で作製した接合体に図5(a)で示す加工を施し、導電膜を形成することなく直接金属端子とセラミックス母材を金−錫ロウで接合を行った(図10)。
2 アルミナ基材
3 金属部材
4 金属製給電端子
5 給電端子取付け構造
6 端子挿入穴
7 導電性物質
8 金属製接合材
Claims (2)
- 端子挿入穴が形成されたセラミックス基材と、このセラミックス基材に埋設され、電圧が印加される金属部材と、この金属部材に給電し、前記端子挿入穴に挿入されて前記セラミックス基材に取付けられる金属製給電端子を有し、この給電端子は、前記端子挿入穴内の前記金属部材と対向していない部位において、金属製接合材により前記端子挿入穴の表面に設けられた導電性物質に接合され、前記金属部材は前記導電性物質を介して前記金属製給電端子と接続されることを特徴とする金属部材埋設セラミックス基材の給電端子取付け構造。
- 前記端子挿入穴は、開口側から開口面積が漸減するテーパ形状をなし、かつ前記金属製給電端子がテーパ形状をなして前記端子挿入穴にテーパ嵌合し、前記金属製給電端子の先端と前記金属部材と対向する位置の前記導電性物質間に間隙が設けられることを特徴とする請求項1に記載の金属部材埋設セラミックス基材の給電端子取付け構造。
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