JP6290650B2 - 加熱装置 - Google Patents
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Description
外側ヒータ端子とが配設されており、前記本体部の内部には、該本体部の厚み方向において前記内側ヒータと前記支持部との間に配置され、前記本体部よりも熱伝導率が低い断熱層が設けられており、前記外側ヒータの少なくとも一部は、前記断熱層よりも径方向の外側に配置されていることを特徴とする。
(実施形態1)
図1〜図3に示すように、本実施形態の加熱装置1は、被加熱物8を載置する載置面201を有し、被加熱物8を加熱するためのヒータ部4が設けられた本体部2と、本体部2よりも外径が小さく、本体部2の載置面201とは反対側において本体部2を支持する中空の支持部3とを備えている。ヒータ部4は、内側ヒータ41と内側ヒータ41よりも径方向の外側に配置された外側ヒータ42とを有しており、内側ヒータ41と外側ヒータ42とは、互いに独立して制御可能に構成されている。
本実施形態の加熱装置1において、本体部2の内部には、その本体部2の厚み方向Xにおいて内側ヒータ41と支持部3との間に配置され、本体部2よりも熱伝導率が低い断熱層5が設けられている。すなわち、内側ヒータ41と支持部3内に配設された内側ヒータ端子412及び外側ヒータ端子422との間に、断熱層5が配置されている。
本実施形態は、図4に示すように、加熱装置1における本体部2(第1層21)の形状を変更したものである。
本実施形態は、図5、図6に示すように、加熱装置1における本体部2(第1層21)の内部に吸着用電極6を設けたものである。
本発明は、前述の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
2…本体部
201…載置面
3…支持部
4…ヒータ部
41…内側ヒータ
412…内側ヒータ端子
42…外側ヒータ
422…外側ヒータ端子
5…断熱層
8…被加熱物
X…厚み方向(本体部の厚み方向)
Claims (6)
- 被加熱物を載置する載置面を有し、前記被加熱物を加熱するためのヒータ部が設けられた本体部と、
該本体部よりも外径が小さく、前記本体部の前記載置面とは反対側において前記本体部を支持する中空の支持部とを備え、
前記ヒータ部は、内側ヒータと該内側ヒータよりも径方向の外側に配置された外側ヒータとを有しており、
前記内側ヒータと前記外側ヒータとは、互いに独立して制御可能に構成されており、
前記支持部内には、前記内側ヒータに接続された内側ヒータ端子と前記外側ヒータに接続された外側ヒータ端子とが配設されており、
前記本体部の内部には、該本体部の厚み方向において前記内側ヒータと前記支持部との間に配置され、前記本体部よりも熱伝導率が低い断熱層が設けられており、
前記外側ヒータの少なくとも一部は、前記断熱層よりも径方向の外側に配置されていることを特徴とする加熱装置。 - 前記断熱層の外径は、前記支持部の外径よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
- 前記断熱層の外径は、前記内側ヒータの外径よりも大きいことを特徴とする請求項1又は2に記載の加熱装置。
- 前記断熱層は、空間により形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の加熱装置。
- 前記本体部には、該本体部の厚み方向に突出して形成され、かつ前記載置面を有する突出凸部が設けられており、該突出凸部には、前記内側ヒータが設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の加熱装置。
- 前記本体部の厚みは、15mm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の加熱装置。
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