JP6789081B2 - 保持装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る保持装置10の斜視図である。図2は、保持装置10の模式的な上面図である。保持装置10は、保持対象となる対象物を保持する基材11と、基材11を支持する筒状の支持部材12とを有する。
図7は、第2の実施形態に係る保持装置20の模式的な断面図である。また、図8は、保持装置20の支持部材21の模式的な上面図である。図7及び図8は、それぞれ保持装置20における図3及び図4と同様の断面図及び上面図である。保持装置20は、支持部材21及び空間22の構成を除いては、保持装置10と同様の構成を有する。
図9は、第3の実施形態に係る保持装置30の模式的な断面図である。また、図10は、保持装置30の支持部材31の模式的な上面図である。図9及び図10は、それぞれ保持装置30における図3及び図4と同様の断面図及び上面図である。保持装置30は、支持部材31及び空間32の構成を除いては、保持装置10又は20と同様の構成を有する。
Claims (4)
- セラミックス焼結体からなり、上面及び該上面の反対側に位置する下面を有する板状の基材と、
セラミックス焼結体からなり、前記基材の下面に接続された上端面を有する筒状の支持部材と、
前記基材の内部に埋設された発熱抵抗体と、を備え、前記基材の上面上に対象物を保持する保持装置であって、
前記基材と前記支持部材との間において、少なくとも一部が前記支持部材の周方向に沿って設けられた空間を有するとともに、
前記空間が、前記基材の下面と前記支持部材の内側面との少なくとも一方に形成されている内側開口を介して前記支持部材の内側空間と連通し前記支持部材の外側空間と連通していない第1空間と、前記基材の下面と前記支持部材の外側面との少なくとも一方に形成されている外側開口を介して前記支持部材の外側空間と連通し前記支持部材の内側空間と連通していない第2空間との少なくとも一方を含むことを特徴とする保持装置。 - 前記第1空間と前記第2空間の少なくとも一方は、前記支持部材の周方向の全周に亘って設けられた環状空間を含むことを特徴とする請求項1に記載の保持装置。
- 前記第1空間と前記第2空間の少なくとも一方は、複数の前記環状空間、及び当該複数の環状空間を相互に連通する連通空間を含むことを特徴とする請求項2に記載の保持装置。
- 前記空間は前記第1空間及び前記第2空間を含み、前記第1空間と前記第2空間とは互いに独立していることを特徴とする請求項1から3の何れか1項に記載の保持装置。
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JP2016225296A JP6789081B2 (ja) | 2016-11-18 | 2016-11-18 | 保持装置 |
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JP2016225296A JP6789081B2 (ja) | 2016-11-18 | 2016-11-18 | 保持装置 |
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Family Applications (1)
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Country | Link |
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Family Cites Families (2)
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JP5882614B2 (ja) * | 2011-06-29 | 2016-03-09 | 株式会社日本セラテック | セラミックスヒータ |
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2016
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