JP2018506497A5 - - Google Patents
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 8
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims 2
- 229910001491 alkali aluminosilicate Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910000323 aluminium silicate Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims 1
Claims (12)
- 薄膜デバイスを製造する方法において、第１の温度でガラス基板の凸面に少なくとも１つの金属膜を施して、薄膜デバイを形成する工程、および該薄膜デバイスを第２の温度に冷却する工程を有してなる方法。
- 前記少なくとも１つの金属膜が、銅、シリコン、非晶質シリコン、ポリシリコン、ＩＴＯ、ＩＧＺＯ、ＩＺＯ、ＺＴＯ、酸化亜鉛、他の金属酸化物、およびそのドープ金属と酸化物、並びにその組合せから選択され、前記少なくとも１つの金属膜が、約１，０００Åから約１０，０００Åに及ぶ厚さおよび幅を有する、請求項１記載の方法。
- 前記ガラス基板がドーム形またはボウル形であり、前記ガラス基板の厚さが、０．２ｍｍと約１ｍｍ未満の間である、請求項１または２記載の方法。
- 前記第１の温度が約１５００℃未満であり、前記第２の温度が約１００℃未満である、請求項１から３いずれか１項記載の方法。
- 前記少なくとも１つの金属膜および前記ガラス基板が、前記第１の温度から前記第２の温度に及ぶ温度に亘り、異なる熱膨張係数を有する、請求項１から４いずれか１項記載の方法。
- ガラス基板および該ガラス基板の表面上に堆積された少なくとも１つの金属膜を備えた薄膜デバイスであって、
前記金属膜が、約１，０００Åから約１０，０００Åに及ぶ厚さ、または約１，０００Åから約１０，０００Åに及ぶ幅から選択される少なくとも１つの寸法を有し、
前記薄膜デバイスの反りが約１０００マイクロメートル未満である、薄膜デバイス。 - 前記ガラス基板の厚さが、０．２ｍｍと約１ｍｍ未満の間である、請求項６記載の薄膜デバイス。
- 前記ガラス基板が、アルミノケイ酸塩、アルカリアルミノケイ酸塩、ホウケイ酸塩、アルカリホウケイ酸塩、アルミノホウケイ酸塩、およびアルカリアルミノホウケイ酸塩から選択されるガラスから作られ、前記金属膜が、銅、シリコン、非晶質シリコン、ポリシリコン、ＩＴＯ、ＩＧＺＯ、ＩＺＯ、ＺＴＯ、酸化亜鉛、他の金属酸化物、およびそのドープ金属と酸化物、並びにその組合せから選択される、請求項６または７記載の薄膜デバイス。
- 請求項６から８いずれか１項記載の薄膜デバイスを備えたディスプレイ装置。
- 薄膜デバイスを形成する方法であって、
０．２ｍｍと１ｍｍの間の厚さを有し、凹面を備えたガラス板を平らな基準面上に、該ガラス板が該平らな基準面に対してドーム形であるような向きに支持する工程、および
前記ガラス板のドーム側に薄膜材料を堆積させる工程、
を有してなる方法。 - 前記薄膜材料の一部をフォトリソグラフィーにより除去する工程をさらに含む、請求項１０記載の方法。
- 前記薄膜材料が、薄膜トランジスタ、カラーフィルタ、または有機発光ダイオードを含む、請求項１０または１１記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US201562103411P | 2015-01-14 | 2015-01-14 | |
| US62/103,411 | 2015-01-14 | ||
| PCT/US2016/013350 WO2016115311A1 (en) | 2015-01-14 | 2016-01-14 | Glass substrate and display device comprising the same |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018506497A JP2018506497A (ja) | 2018-03-08 |
| JP2018506497A5 true JP2018506497A5 (ja) | 2019-02-28 |
| JP6910299B2 JP6910299B2 (ja) | 2021-07-28 |
Family
ID=55410189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017537406A Active JP6910299B2 (ja) | 2015-01-14 | 2016-01-14 | ガラス基板およびそれを備えたディスプレイ装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US20180005960A1 (ja) |
| EP (1) | EP3245674A1 (ja) |
| JP (1) | JP6910299B2 (ja) |
| KR (1) | KR102412623B1 (ja) |
| CN (2) | CN113725235A (ja) |
| TW (1) | TWI683425B (ja) |
| WO (1) | WO2016115311A1 (ja) |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180121568A (ko) | 2016-03-09 | 2018-11-07 | 코닝 인코포레이티드 | 복합적으로 굽은 유리 제품의 냉간 형성 |
| KR102499831B1 (ko) * | 2016-05-23 | 2023-02-14 | 코닝 인코포레이티드 | 글라스 시트의 무중력 형상 예측 방법 및 무중력 형상 기반 글라스 시트 품질 관리 방법 |
| CN109415247B (zh) | 2016-06-28 | 2022-09-27 | 康宁公司 | 将薄强化玻璃层压到用于装饰和显示器盖应用的曲面成型塑料表面 |
| JP7071294B2 (ja) | 2016-07-05 | 2022-05-18 | コーニング インコーポレイテッド | 冷間成形ガラス物品及びその組立方法 |
| EP3532442A1 (en) | 2016-10-25 | 2019-09-04 | Corning Incorporated | Cold-form glass lamination to a display |
| KR102077696B1 (ko) | 2017-01-03 | 2020-02-14 | 코닝 인코포레이티드 | 만곡된 커버 유리 및 디스플레이 또는 터치 패널을 갖는 차량 인테리어 시스템 및 이를 형성시키는 방법 |
| US11016590B2 (en) | 2017-01-03 | 2021-05-25 | Corning Incorporated | Vehicle interior systems having a curved cover glass and display or touch panel and methods for forming the same |
| TWI756366B (zh) * | 2017-02-24 | 2022-03-01 | 美商康寧公司 | 圓頂或碗形玻璃及製造圓頂或碗形玻璃之方法 |
| WO2018213267A1 (en) | 2017-05-15 | 2018-11-22 | Corning Incorporated | Contoured glass articles and methods of making the same |
| TWI763684B (zh) * | 2017-07-10 | 2022-05-11 | 美商康寧公司 | 具有經設計之應力分佈的以玻璃為基礎之製品及其製作方法 |
| KR20200030094A (ko) | 2017-07-18 | 2020-03-19 | 코닝 인코포레이티드 | 복잡한 곡선 모양 유리 물품의 냉간 성형 |
| JP2020203801A (ja) * | 2017-09-01 | 2020-12-24 | Ａｇｃ株式会社 | 膜付きガラス基板の製造方法、膜付きガラス基板、および膜の除去方法 |
| EP3681847A1 (en) | 2017-09-12 | 2020-07-22 | Corning Incorporated | Tactile elements for deadfronted glass and methods of making the same |
| US11065960B2 (en) | 2017-09-13 | 2021-07-20 | Corning Incorporated | Curved vehicle displays |
| TW202340816A (zh) | 2017-09-13 | 2023-10-16 | 美商康寧公司 | 用於顯示器的基於光導器的無電面板、相關的方法及載具內部系統 |
| TW201918462A (zh) | 2017-10-10 | 2019-05-16 | 美商康寧公司 | 具有改善可靠性的彎曲的覆蓋玻璃的車輛內部系統及其形成方法 |
| WO2019103469A1 (en) | 2017-11-21 | 2019-05-31 | Corning Precision Materials Co., Ltd. | Aspheric mirror for head-up display system and methods for forming the same |
| JP6999899B2 (ja) * | 2017-11-24 | 2022-01-19 | 日本電気硝子株式会社 | 透明導電膜付きガラスロール及び透明導電膜付きガラスシートの製造方法 |
| JP6965707B2 (ja) * | 2017-11-29 | 2021-11-10 | 日本電気硝子株式会社 | 膜付きガラス基板の製造方法、及び膜付きガラス基板の製造装置 |
| US11976005B2 (en) | 2017-11-29 | 2024-05-07 | Corning Incorporated | Methods of making coated glass-based parts |
| TWI789463B (zh) | 2017-11-30 | 2023-01-11 | 美商康寧公司 | 用於形成曲面鏡的真空模具設備、系統及方法 |
| CN111656254B (zh) | 2017-11-30 | 2023-06-02 | 康宁公司 | 用于真空成形非球面镜的系统与方法 |
| EP3765425B1 (en) | 2018-03-13 | 2023-11-08 | Corning Incorporated | Vehicle interior systems having a crack resistant curved cover glass and methods for forming the same |
| JP2021531187A (ja) | 2018-07-16 | 2021-11-18 | コーニング インコーポレイテッド | 冷間曲げガラス基板を有する乗物内装システムおよびその形成方法 |
| EP3771695A1 (en) | 2019-07-31 | 2021-02-03 | Corning Incorporated | Method and system for cold-forming glass |
| JP2022550779A (ja) * | 2019-10-01 | 2022-12-05 | コーニング インコーポレイテッド | ホログラフィック光学構造体用のガラス－ポリマー積層体を形成する方法 |
| US11772361B2 (en) | 2020-04-02 | 2023-10-03 | Corning Incorporated | Curved glass constructions and methods for forming same |
| CN111509397B (zh) * | 2020-04-23 | 2022-01-11 | Oppo广东移动通信有限公司 | 壳体组件、天线组件及电子设备 |
| CN112366170A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-02-12 | 绍兴同芯成集成电路有限公司 | 一种晶圆切割工艺与玻璃载板 |
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| WO2024059112A2 (en) * | 2022-09-14 | 2024-03-21 | Intpro, Llc | Warp detection in traveling corrugated board product |
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-
2016
- 2016-01-14 CN CN202111037477.3A patent/CN113725235A/zh active Pending
- 2016-01-14 KR KR1020177021164A patent/KR102412623B1/ko active IP Right Grant
- 2016-01-14 CN CN201680015526.4A patent/CN107408560A/zh active Pending
- 2016-01-14 EP EP16706032.6A patent/EP3245674A1/en not_active Withdrawn
- 2016-01-14 WO PCT/US2016/013350 patent/WO2016115311A1/en active Application Filing
- 2016-01-14 US US15/543,030 patent/US20180005960A1/en not_active Abandoned
- 2016-01-14 TW TW105101140A patent/TWI683425B/zh active
- 2016-01-14 JP JP2017537406A patent/JP6910299B2/ja active Active
-
2020
- 2020-05-08 US US16/870,300 patent/US20200411450A1/en active Pending
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