JP5304112B2 - 薄膜付きガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態において製造する対象となる薄膜付きガラス基板1の断面図である。まず、図1を参照しつつ薄膜付きガラス基板1の構成について説明する。
ガラス基板10を塑性変形させる方法としては、例えば、以下の方法(1)〜(5)が挙げられる。
(1)ガラス基板10を歪点よりも50℃低い温度以上に加熱して変形させる方法
(2)成形型を用いてガラス基板10をプレス成形する方法
(3)ガラス基板10の一方の主面側をイオン強化する方法
(4)ガラス基板10の一方の主面を研磨する方法
(5)ガラス基板10の一方の主面側にアルゴンプラズマを照射する方法
薄膜11の成膜方法は、薄膜11の種類などに応じて適宜選択することができる。薄膜11の成膜方法としては、例えば、スパッタリング法や蒸着法などの気相法や、ゾルゲル法やスピンコート法などのウエット法などが挙げられる。
上記第1の実施形態では、薄膜11を1層のみ形成する例について説明したが、本発明の薄膜付きガラス基板の製造方法は、複数の薄膜が積層された薄膜積層体をガラス基板10の主面10a、10b上に形成する場合にも適用される。この場合は、薄膜11を1層のみ形成する場合と比較して、冷却工程においてガラス基板に加わる膜応力が大きくなりやすい。このため、薄膜付きガラス基板に大きな反りが発生する傾向にある。従って、本発明の薄膜付きガラス基板の製造方法を適用することが効果的である。
上記実施形態では、ガラス基板10の一方の主面10aにのみ薄膜11を形成する例について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。
上記第1の実施形態では、ガラス基板10が、平坦な一対の主面10a、10bを有する例について説明したが、ガラス基板10の形状は、主面10aを有するものである限り特に限定されない。例えば、第2の主面10bが凸状または凹状に形成されていてもよい。
本実験例では、ガラス基板10を塑性変形させる工程において、ガラス基板10を歪点以上の温度で保持する保持時間を変化させることによってガラス基板10の反り量を調節できることを確認する実験を行った。
円盤状のガラス基板(日本電気硝子(株)社製 製品名「ABC」、直径:200mm、厚さ:0.4mm、歪点:650℃、ガラス転移温度:705℃、軟化温度:950℃)を5枚用意し、各ガラス基板の反り量を上記実験例と同じ方法で測定した。5枚のガラス基板の最大反り量は、0〜0.05mmであった。
円盤状のガラス基板(日本電気硝子(株)社製 製品名「ABC」、直径:200mm、厚さ:0.4mm、歪点:650℃、ガラス転移温度:705℃、軟化温度:950℃)を5枚用意し、各ガラス基板の反り量を上記実験例と同じ方法で測定した。5枚のガラス基板の最大反り量は、0〜0.05mmであった。
2…撮像素子
2a…受光面
3…撮像素子ユニット
10…ガラス基板
10a…第1の主面
10b…第2の主面
11、11a、11b…薄膜
20…治具
20a…開口
20b…切欠部
21…定盤
22…シックネスゲージ
Claims (7)
- ガラス基板の主面上に薄膜が形成された薄膜付きガラス基板を製造する方法であり、前記薄膜形成後、前記薄膜が前記ガラス基板に対し前記薄膜の面方向に相対的に膨張または収縮することにより前記ガラス基板が変形する薄膜付きガラス基板の製造方法であって、
前記薄膜形成後の最終状態において前記ガラス基板の前記主面が平坦となるように、前記ガラス基板を塑性変形させることにより前記ガラス基板の前記主面を湾曲した形状とする変形工程と、
前記塑性変形させたガラス基板の主面上に前記薄膜を形成する薄膜形成工程とを備えることを特徴とする薄膜付きガラス基板の製造方法。 - 前記ガラス基板の塑性変形は、前記ガラス基板を歪点より50℃低い温度以上の温度に加熱した状態で行うことを特徴とする請求項1に記載の薄膜付きガラス基板の製造方法。
- 前記変形工程は、前記主面が凸状となるように前記ガラス基板を塑性変形させる工程であることを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜付きガラス基板の製造方法。
- 前記変形工程は、前記主面が凹状となるように前記ガラス基板を塑性変形させる工程であることを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜付きガラス基板の製造方法。
- 前記薄膜をスパッタリング法または蒸着法により形成することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の薄膜付きガラス基板の製造方法。
- 前記薄膜を複数積層して形成することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の薄膜付きガラス基板の製造方法。
- 前記薄膜付きガラス基板は、撮像素子に貼付される赤外線カットフィルタであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の薄膜付きガラス基板の製造方法。
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