| 
            
              JPS57124468A
              (en)
            
            *
            
           | 
          1981-01-26 | 
          1982-08-03 | 
          Matsushita Electronics Corp | 
          Manufacture of solid image pickup device 
      | 
        
        
          | 
            
              JP3451833B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          1995-05-09 | 
          2003-09-29 | 
          ミノルタ株式会社 | 
          固体撮像装置及び固体撮像装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              KR100390822B1
              (ko)
            
            *
            
           | 
          1999-12-28 | 
          2003-07-10 | 
          주식회사 하이닉스반도체 | 
          이미지센서에서의 암전류 감소 방법 
        | 
        
        
          | 
            
              JP4703883B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2001-04-09 | 
          2011-06-15 | 
          株式会社半導体エネルギー研究所 | 
          半導体装置の作製方法 
        | 
        
        
          | 
            
              KR20030040865A
              (ko)
            
            *
            
           | 
          2001-11-16 | 
          2003-05-23 | 
          주식회사 하이닉스반도체 | 
          암전류를 감소시키기 위한 이미지센서의 제조 방법 
        | 
        
        
          | 
            
              JP3731750B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2002-06-24 | 
          2006-01-05 | 
          松下電器産業株式会社 | 
          赤外線センサの製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              TWI236767B
              (en)
            
            *
            
           | 
          2002-12-13 | 
          2005-07-21 | 
          Sony Corp | 
          Solid-state image pickup device and its manufacturing method 
      | 
        
        
          | 
            
              JP4123060B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2003-06-11 | 
          2008-07-23 | 
          ソニー株式会社 | 
          固体撮像素子及びその製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              KR101197084B1
              (ko)
            
            *
            
           | 
          2004-05-21 | 
          2012-11-07 | 
          가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 
          반도체 장치 및 그 제조 방법 
        | 
        
        
          | 
            
              US7268369B2
              (en)
            
            *
            
           | 
          2004-07-06 | 
          2007-09-11 | 
          Fujifilm Corporation | 
          Functional device and method for producing the same 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2006073885A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2004-09-03 | 
          2006-03-16 | 
          Canon Inc | 
          固体撮像装置、その製造方法、およびデジタルカメラ 
        | 
        
        
          | 
            
              WO2006137867A1
              (en)
            
            *
            
           | 
          2004-09-17 | 
          2006-12-28 | 
          California Institute Of Technology | 
          Fabrication method for back-illuminated cmos or ccd imagers made from soi wafer 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2006147661A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2004-11-16 | 
          2006-06-08 | 
          Matsushita Electric Ind Co Ltd | 
          受光装置とその製造方法およびカメラ 
        | 
        
        
          | 
            
              KR100697279B1
              (ko)
            
            *
            
           | 
          2005-02-03 | 
          2007-03-20 | 
          삼성전자주식회사 | 
          수직형 광검출기를 가지는 이미지 센서 및 그 제조 방법 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2007035993A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2005-07-28 | 
          2007-02-08 | 
          Matsushita Electric Ind Co Ltd | 
          Mos型固体撮像装置 
        | 
        
        
          | 
            
              JP4825542B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2006-02-23 | 
          2011-11-30 | 
          富士フイルム株式会社 | 
          固体撮像素子の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              US7547573B2
              (en)
            
            *
            
           | 
          2006-08-01 | 
          2009-06-16 | 
          United Microelectronics Corp. | 
          Image sensor and method of manufacturing the same 
        | 
        
        
          | 
            
              US7544982B2
              (en)
            
            *
            
           | 
          2006-10-03 | 
          2009-06-09 | 
          Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | 
          Image sensor device suitable for use with logic-embedded CIS chips and methods for making the same 
        | 
        
        
          | 
            
              JP4396684B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2006-10-04 | 
          2010-01-13 | 
          ソニー株式会社 | 
          固体撮像装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              US7973271B2
              (en)
            
            *
            
           | 
          2006-12-08 | 
          2011-07-05 | 
          Sony Corporation | 
          Solid-state image pickup device, method for manufacturing solid-state image pickup device, and camera 
        | 
        
        
          | 
            
              TWI366916B
              (en)
            
            *
            
           | 
          2006-12-19 | 
          2012-06-21 | 
          Sony Corp | 
          Solid-state imaging device and imaging apparatus 
      | 
        
        
          | 
            
              JP2008153500A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2006-12-19 | 
          2008-07-03 | 
          Sony Corp | 
          固体撮像装置及びカメラ 
        | 
        
        
          | 
            
              JP4137161B1
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2007-02-23 | 
          2008-08-20 | 
          キヤノン株式会社 | 
          光電変換装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              WO2008123119A1
              (en)
            
            *
            
           | 
          2007-03-26 | 
          2008-10-16 | 
          Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | 
          Photoelectric conversion device and electronic device provided with the photoelectric conversion device 
        | 
        
        
          | 
            
              WO2009014155A1
              (en)
            
            *
            
           | 
          2007-07-25 | 
          2009-01-29 | 
          Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | 
          Photoelectric conversion device and electronic device having the same 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2009059824A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2007-08-30 | 
          2009-03-19 | 
          Sharp Corp | 
          固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器 
        | 
        
        
          | 
            
              DE102008046030A1
              (de)
            
            *
            
           | 
          2007-09-07 | 
          2009-06-10 | 
          Dongbu Hitek Co., Ltd. | 
          Bildsensor und Verfahren zu seiner Herstellung 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2009188068A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2008-02-04 | 
          2009-08-20 | 
          Sharp Corp | 
          固体撮像素子およびその製造方法、電子情報機器 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2009229502A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2008-03-19 | 
          2009-10-08 | 
          Sony Corp | 
          表示装置、および、その製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2009295799A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2008-06-05 | 
          2009-12-17 | 
          Sharp Corp | 
          固体撮像装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2010016128A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2008-07-02 | 
          2010-01-21 | 
          Canon Inc | 
          固体撮像装置及びその製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              KR20100049282A
              (ko)
            
            *
            
           | 
          2008-11-03 | 
          2010-05-12 | 
          삼성전자주식회사 | 
          이미지 센서 및 그 제조 방법 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2010182764A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2009-02-04 | 
          2010-08-19 | 
          Sony Corp | 
          半導体素子とその製造方法、及び電子機器 
        | 
        
        
          | 
            
              JP5356872B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2009-03-18 | 
          2013-12-04 | 
          パナソニック株式会社 | 
          個体撮像装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP5985136B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2009-03-19 | 
          2016-09-06 | 
          ソニー株式会社 | 
          半導体装置とその製造方法、及び電子機器 
        | 
        
        
          | 
            
              JP5367459B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2009-05-28 | 
          2013-12-11 | 
          株式会社東芝 | 
          半導体撮像装置 
        | 
        
        
          | 
            
              JP5728171B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2009-06-29 | 
          2015-06-03 | 
          株式会社半導体エネルギー研究所 | 
          半導体装置 
        | 
        
        
          | 
            
              US8766269B2
              (en)
            
            *
            
           | 
          2009-07-02 | 
          2014-07-01 | 
          Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | 
          Light-emitting device, lighting device, and electronic device 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2011071482A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2009-08-28 | 
          2011-04-07 | 
          Fujifilm Corp | 
          固体撮像装置,固体撮像装置の製造方法,デジタルスチルカメラ,デジタルビデオカメラ,携帯電話,内視鏡 
        | 
        
        
          | 
            
              WO2011052384A1
              (en)
            
            *
            
           | 
          2009-10-30 | 
          2011-05-05 | 
          Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | 
          Semiconductor device and method for manufacturing the same 
        | 
        
        
          | 
            
              JP5899519B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2009-11-05 | 
          2016-04-06 | 
          パナソニックIpマネジメント株式会社 | 
          固体撮像装置 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2010200328A
              (ja)
            
            
            
           | 
          2010-03-16 | 
          2010-09-09 | 
          Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 
          半導体装置及び半導体装置の作製方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP4783868B1
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2010-03-17 | 
          2011-09-28 | 
          富士フイルム株式会社 | 
          固体撮像素子及びその製造方法並びに撮像装置 
        | 
        
        
          | 
            
              WO2012004923A1
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2010-07-09 | 
          2012-01-12 | 
          パナソニック株式会社 | 
          固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP5693924B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2010-11-10 | 
          2015-04-01 | 
          株式会社東芝 | 
          半導体撮像装置 
        | 
        
        
          | 
            
              JP5960961B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2010-11-16 | 
          2016-08-02 | 
          キヤノン株式会社 | 
          固体撮像素子及び撮像システム 
        | 
        
        
          | 
            
              JP5921129B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2011-02-09 | 
          2016-05-24 | 
          キヤノン株式会社 | 
          固体撮像装置、及び固体撮像装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2012182426A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2011-02-09 | 
          2012-09-20 | 
          Canon Inc | 
          固体撮像装置、固体撮像装置を用いた撮像システム及び固体撮像装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2014103133A
              (ja)
            
            
            
           | 
          2011-03-10 | 
          2014-06-05 | 
          Panasonic Corp | 
          固体撮像装置 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2012234949A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2011-04-28 | 
          2012-11-29 | 
          Panasonic Corp | 
          固体撮像装置及びその製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP5942275B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2011-08-02 | 
          2016-06-29 | 
          パナソニックIpマネジメント株式会社 | 
          固体撮像装置 
        | 
        
        
          | 
            
              JP6080437B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2011-09-30 | 
          2017-02-15 | 
          キヤノン株式会社 | 
          有機発光装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              TWI467751B
              (zh)
            
            *
            
           | 
          2011-12-12 | 
          2015-01-01 | 
          Sony Corp | 
          A solid-state imaging device, a driving method of a solid-state imaging device, and an electronic device 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2013135123A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2011-12-27 | 
          2013-07-08 | 
          Sony Corp | 
          半導体装置、半導体装置の製造方法、固体撮像装置および電子機器 
        | 
        
        
          | 
            
              JP5806635B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-03-30 | 
          2015-11-10 | 
          富士フイルム株式会社 | 
          固体撮像素子の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              US8957358B2
              (en)
            
            *
            
           | 
          2012-04-27 | 
          2015-02-17 | 
          Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | 
          CMOS image sensor chips with stacked scheme and methods for forming the same 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2014011392A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-07-02 | 
          2014-01-20 | 
          Sony Corp | 
          固体撮像装置及びその製造方法、電子機器 
        | 
        
        
          | 
            
              TW201403804A
              (zh)
            
            *
            
           | 
          2012-07-05 | 
          2014-01-16 | 
          Sony Corp | 
          固體攝像裝置及其製造方法、以及電子機器 
        | 
        
        
          | 
            
              JPWO2014021177A1
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-08-02 | 
          2016-07-21 | 
          ソニー株式会社 | 
          半導体素子、半導体素子の製造方法、固体撮像装置、および電子機器 
        | 
        
        
          | 
            
              JP6039294B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-08-07 | 
          2016-12-07 | 
          キヤノン株式会社 | 
          半導体装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2014036092A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-08-08 | 
          2014-02-24 | 
          Canon Inc | 
          光電変換装置 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2014053591A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-08-08 | 
          2014-03-20 | 
          Sony Corp | 
          撮像素子、撮像装置、製造装置および方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP6044223B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-09-20 | 
          2016-12-14 | 
          セイコーエプソン株式会社 | 
          光電変換装置、医療機器および光電変換装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2014067948A
              (ja)
            
            
            
           | 
          2012-09-27 | 
          2014-04-17 | 
          Fujifilm Corp | 
          固体撮像素子および撮像装置 
        | 
        
        
          | 
            
              TWI595637B
              (zh)
            
            *
            
           | 
          2012-09-28 | 
          2017-08-11 | 
          Sony Corp | 
          半導體裝置及電子機器 
        | 
        
        
          | 
            
              JP6041607B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-09-28 | 
          2016-12-14 | 
          キヤノン株式会社 | 
          半導体装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP5885634B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-10-02 | 
          2016-03-15 | 
          キヤノン株式会社 | 
          固体撮像装置、および撮像システム 
        | 
        
        
          | 
            
              JP6308717B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-10-16 | 
          2018-04-11 | 
          キヤノン株式会社 | 
          固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および撮像システム 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2014099582A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-10-18 | 
          2014-05-29 | 
          Sony Corp | 
          固体撮像装置 
        | 
        
        
          | 
            
              JP6164830B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-12-14 | 
          2017-07-19 | 
          キヤノン株式会社 | 
          光電変換装置の製造方法 
        | 
        
        
          | 
            
              JP2014127545A
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2012-12-26 | 
          2014-07-07 | 
          Sony Corp | 
          固体撮像素子およびこれを備えた固体撮像装置 
        | 
        
        
          | 
            
              JP6274729B2
              (ja)
            
            *
            
           | 
          2013-02-04 | 
          2018-02-07 | 
          キヤノン株式会社 | 
          固体撮像装置およびカメラ 
        | 
        
        
          | 
            
              KR102136845B1
              (ko)
            
            *
            
           | 
          2013-09-16 | 
          2020-07-23 | 
          삼성전자 주식회사 | 
          적층형 이미지 센서 및 그 제조방법 
        | 
        
        
          | 
            
              WO2016083952A1
              (en)
            
            *
            
           | 
          2014-11-28 | 
          2016-06-02 | 
          Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | 
          Semiconductor device, module, and electronic device 
        | 
        
        
          | 
            
              KR102500813B1
              (ko)
            
            *
            
           | 
          2015-09-24 | 
          2023-02-17 | 
          삼성전자주식회사 | 
          반도체 소자 및 이의 제조 방법 
        |