JP6164830B2 - 光電変換装置の製造方法 - Google Patents
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Description
特許文献2には裏面照射型のイメージセンサ(撮像装置)の製造方法が記載されている。
101 電荷蓄積部
105 コンタクトプラグ
106 絶縁体膜
116 絶縁部
Claims (19)
- トランジスタが設けられたシリコン基板に、前記シリコン基板の温度が300℃以上500℃以下となる条件の水素終端処理を行い、
前記水素終端処理の後に、前記シリコン基板の温度を600℃以上にする熱処理を行い、
前記熱処理は、前記シリコン基板の前記トランジスタが設けられた側とは反対側から前記シリコン基板への光の照射であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記水素終端処理の前に、前記シリコン基板の上に、前記シリコン基板の温度が300℃以上500℃以下となる条件で成膜処理を行う請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- コンタクトプラグが接続されたトランジスタが設けられたシリコン基板の上に、前記シリコン基板の温度が300℃以上500℃以下となる条件の成膜処理を行い、
前記成膜処理の後に、前記シリコン基板の温度を600℃以上にする熱処理を行い、前記熱処理中の前記コンタクトプラグの温度は、前記コンタクトプラグの融点より低く、
前記熱処理は、前記シリコン基板の前記トランジスタが設けられた側とは反対側から前記シリコン基板への光の照射であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記成膜処理は、絶縁体膜をCVD法により形成する工程を含む請求項2または3に記載の半導体装置の製造方法。
- コンタクトプラグが接続されたトランジスタが設けられたシリコン基板の温度が300℃以上500℃以下となる状態を通算で10分以上含み、前記シリコン基板の温度が600℃未満である状態が持続する期間を有し、
前記期間の後に前記シリコン基板の温度を600℃以上にする熱処理を行い、前記熱処理中の前記コンタクトプラグの温度は、前記コンタクトプラグの融点より低く、
前記熱処理は、前記シリコン基板の前記トランジスタが設けられたの側とは反対側から前記シリコン基板への光の照射であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記熱処理の前に、前記トランジスタに接続された配線を有する配線構造が形成され、前記熱処理中の前記配線の温度は、前記配線の融点より低い請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記コンタクトプラグはスタックトコンタクトである請求項3または5に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理の前に、前記シリコン基板の前記トランジスタの側とは反対側に誘電体膜を成膜する請求項1乃至7のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理の前に、前記シリコン基板の前記トランジスタの側とは反対側から前記シリコン基板を薄くする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理の前に、前記配線構造の、前記シリコン基板とは反対側に支持基板を貼りあわせる請求項6乃至9のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理を、以下の条件(a)〜(c)の少なくともいずれかを満たすように行う請求項1、2、及び5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
(a)前記シリコン基板の温度が1000℃を超える。
(b)前記シリコン基板の上に形成された前記シリコン基板よりも融点の低い金属を含む金属部材の温度が500℃を超えない。
(c)前記シリコン基板の前記トランジスタの側の面の温度が、前記シリコン基板の前記トランジスタの側とは反対側の面の温度よりも低くなる。 - 前記熱処理において、前記シリコン基板の前記トランジスタの側の面の温度が600℃を超えない請求項1乃至11のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理を、前記シリコン基板の前記トランジスタの側とは反対側から紫外光を照射することにより行う請求項1乃至12のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理の後、前記シリコン基板を冷却する際、前記シリコン基板の温度が300℃以上500℃以下である時間が1分未満である請求項1乃至13のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理の後に、一旦前記シリコン基板の全体の温度が300℃未満になった後は、前記シリコン基板の温度を300℃未満に維持する請求項1乃至14のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン基板には光電変換素子が設けられており、前記熱処理では、前記光電変換素子の電荷蓄積部の温度が600℃以上になる請求項1乃至15のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理は、レーザーアニールである請求項1乃至16のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記熱処理は、フラッシュランプアニールである請求項1乃至16のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン基板の前記トランジスタと反対側に、カラーフィルタやマイクロレンズアレイが形成される請求項1乃至18のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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