JP2015214741A - 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いてマスクを製造する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】長手方向における金属板の板厚の平均値は、所定値±3%の範囲内となっている。また、長手方向における金属板の板厚の平均値をAとし、長手方向における金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をBとするとき、(B/A)×100(%)が5%以下になっている。さらに、幅方向における金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をCとし、幅方向における金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における金属板の板厚の値をXとするとき、(C/X)×100(%)が3%以下になっている。
【選択図】図1
Description
母材を圧延して、圧延方向における板厚の平均値が所定値±3%の範囲内である前記金属板を得る圧延工程と、
前記金属板の幅方向における一端および他端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件(1),(2)が満たされている、
(1)圧延方向における前記金属板の板厚の平均値をAとし、圧延方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をBとするとき、(B/A)×100(%)が5%以下であること;および、
(2)幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をCとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をXとするとき、(C/X)×100(%)が3%以下であること;
金属板の製造方法である。
なお、金属板から製造される前記蒸着マスクの前記貫通孔は、搬送されている長尺状の前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであってもよい。
前記金属板の長手方向における前記金属板の板厚の平均値は、所定値±3%の範囲内となっており、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件(1),(2)が満たされている、
(1)長手方向における前記金属板の板厚の平均値をAとし、長手方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をBとするとき、(B/A)×100(%)が5%以下であること;および、
(2)幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をCとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をXとするとき、(C/X)×100(%)が3%以下であること;
金属板である。
なお、金属板から製造される前記蒸着マスクの前記貫通孔は、前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであってもよい。
長手方向における板厚の平均値が所定値±3%の範囲内である長尺状の金属板を準備する工程と、
前記金属板上にレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
前記金属板のうち前記レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングし、前記金属板に、前記貫通孔を画成するようになる凹部を形成するエッチング工程と、を備え、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件(1),(2)が満たされている、
(1)長手方向における前記金属板の板厚の平均値をAとし、長手方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をBとするとき、(B/A)×100(%)が5%以下であること;および、
(2)幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をCとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をXとするとき、(C/X)×100(%)が3%以下であること;
蒸着マスクの製造方法である。
まず、製造方法対象となる蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例について、主に図1〜図6を参照して説明する。ここで、図1は、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す平面図であり、図2は、図1に示す蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図である。図3は、蒸着マスクを第1面の側から示す平面図であり、図4〜図6は、図3の各位置における断面図である。
次に、蒸着マスク20について詳細に説明する。図1に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク20は、金属板21からなり、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク20の金属板21は、規則的な配列で貫通孔25が形成された有効領域22と、有効領域22を取り囲む周囲領域23と、を含んでいる。周囲領域23は、有効領域22を支持するための領域であり、基板へ蒸着されることを意図された蒸着材料が通過する領域ではない。例えば、有機EL表示装置用の有機発光材料の蒸着に用いられる蒸着マスク20においては、有効領域22は、有機発光材料が蒸着して画素を形成するようになる基板(ガラス基板92)上の区域、すなわち、作製された有機EL表示装置用基板の表示面をなすようになる基板上の区域に対面する、蒸着マスク20内の領域のことである。ただし、種々の目的から、周囲領域23に貫通孔や凹部が形成されていてもよい。図1に示された例において、各有効領域22は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。
また上述のように、本実施の形態における第2凹部35の寸法r2は従来よりも小さい。このため、蒸着マスク20の第2面20bから接続部41までの距離r1が寸法r2に比べて比較的に大きいものであると、第2凹部35の壁面36に付着してしまう蒸着材料の比率が高くなってしまうと考えられる。この点を考慮し、本実施の形態において、好ましくは蒸着マスク20の第2面20bから接続部41までの距離r1は、0〜6μmの範囲内すなわち6μm以下に設定される。なお距離r1が0μmであることは、第2凹部35の壁面36が存在しないこと、すなわち第1凹部30の壁面31が金属板21の第2面21bにまで達していることを意味している。
はじめに図9(a)を参照して、金属板の製造方法について説明する。図9(a)は、母材を圧延して、所望の厚さを有する金属板を得る工程を示す図であり、図9(b)は、圧延によって得られた金属板をアニールする工程を示す図である。
はじめに図9(a)に示すように、インバー材から構成された母材55を準備し、この母材55を、一対の圧延ロール56a,56bを含む圧延装置56に向けて、矢印D1で示す搬送方向に沿って搬送する。なお以下の説明において、圧延工程の際の母材55および金属板の搬送方向のことを、圧延方向とも称する。この圧延方向は、圧延工程によって得られる長尺状の金属板の長手方向に等しい。
その後、圧延工程によって得られた長尺金属板64の幅方向における両端をそれぞれ3〜5mmの範囲にわたって切り落とすスリット工程を実施してもよい。このスリット工程は、圧延に起因して長尺金属板64の両端に生じ得るクラックを除去するために実施される。このようなスリット工程を実施することにより、長尺金属板64が破断してしまう現象、いわゆる板切れが、クラックを起点として生じてしまうことを防ぐことができる。
その後、圧延によって長尺金属板64内に蓄積された残留応力を取り除くため、図9(b)に示すように、アニール装置57を用いて長尺金属板64をアニールする。アニール工程は、図9(b)に示すように、長尺金属板64を搬送方向(長手方向)に引っ張りながら実施されてもよい。すなわち、アニール工程は、いわゆるバッチ式の焼鈍ではなく、搬送しながらの連続焼鈍として実施されてもよい。アニール工程が実施される期間は、長尺金属板64の厚みや圧延率などに応じて適切に設定されるが、例えば400〜600℃の温度範囲内で40〜100秒にわたってアニール工程が実施される。なお上記「40〜100秒」は、アニール装置57中で上記温度範囲内に加熱された空間を長尺金属板64が通過することに要する時間が40〜100秒であることを意味している。
その後、長尺金属板64の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、これによって、長尺金属板64の幅を所望の幅に調整する切断工程を実施する。このようにして、所望の厚みおよび幅を有する長尺金属板64を得ることができる。
その後、得られた長尺金属板64の板厚を検査する検査工程を実施する。図10は、図9(a)(b)に示す工程によって得られた長尺金属板64を示す平面図である。図10においては、その後の工程において長尺金属板64から切り出される多数の蒸着マスク20が点線で示されている。図10に示すように、長尺金属板64には、長尺金属板64の長手方向D1と平行な方向に延びる複数の蒸着マスク20が、長尺金属板64の長手方向D1および幅方向D2の両方に沿って割り付けられる。このため、長尺金属板64の板厚が場所によってばらついていることは、蒸着マスク20の厚みや貫通孔25の形状に個体差を生じさせる。従って、長尺金属板64の板厚のばらつきは、その長手方向D1および幅方向D2の両方において小さいことが好ましい。
なお図10においては、長尺金属板64の幅方向D2に沿って5本の蒸着マスク20が割り付けられる例が示されている。5本の蒸着マスク20は、長尺金属板64の第1側部64c側から第2側部64d側に向かって順に、符号20ak,20bk,20ck,20dkおよび20ek(kは任意の自然数)で表されている。また図11Bにおいては、蒸着マスク20ak,20bk,20ck、20dkおよび20ekに対応する位置における長尺金属板64の板厚がそれぞれ符号ta,tb,tc,tdおよびteで表されている。幅方向D2に並ぶ5本の蒸着マスク20の中央に位置する蒸着マスク20ckが割り付けられる場所の板厚tcは、幅方向D2の中央部における長尺金属板64の板厚に相当する。
測定方法は特には限られないが、例えば、X線を長尺金属板64に照射し、これによって長尺金属板64から放出される蛍光X線を測定する方法を採用することができる。この方法は、測定される蛍光X線の強度が、長尺金属板64を構成する元素の量、ひいては長尺金属板64の板厚に依存することを利用するものである。このようなX線を利用した測定方法は、めっきの膜厚を測定する際などに利用されている。
測定箇所は特には限られないが、例えば、幅方向D2の中央部における長尺金属板64の板厚、すなわち、図11Bに示す板厚tcを、長尺金属板64の長手方向D1に沿って多数の箇所で測定する。これによって、長手方向D1における長尺金属板64の板厚の平均値および標準偏差を算出することができる。長尺金属板64の長手方向D1における測定箇所の間隔は、例えば50〜500mmの範囲内になっている。
測定箇所も特には限られず、所定の場所において、長尺金属板64の板厚を、長尺金属板64の幅方向D2に沿って多数の箇所で測定する。これによって、幅方向D2における長尺金属板64の板厚の平均値および標準偏差を算出することができる。長尺金属板64の幅方向D2における測定箇所の間隔は、例えば5〜50mmの範囲内になっている。
(1)長手方向(圧延方向)D1における長尺金属板64の板厚の平均値をAとし、長手方向D1における長尺金属板64の板厚の標準偏差に3を掛けた値をBとするとき、(B/A)×100(%)が5%以下であること;および
(2)幅方向D2における長尺金属板64の板厚の標準偏差に3を掛けた値をCとし、幅方向D2における長尺金属板64の板厚の標準偏差を算出するために幅方向D2に沿って長尺金属板64の板厚を測定する際に得られる、幅方向D2の中央部における長尺金属板64の板厚の値をXとするとき、(C/X)×100(%)が3%以下であること;
以下、上記の条件(1)、(2)についてそれぞれ説明する。
次に、上述のようにして選別された長尺金属板64を用いて蒸着マスク20を製造する方法について、主に図12〜図21を参照して説明する。以下に説明する蒸着マスク20の製造方法では、図12に示すように、長尺金属板64が供給され、この長尺金属板64に貫通孔25が形成され、さらに長尺金属板64を断裁することによって枚葉状の金属板21からなる蒸着マスク20が得られる。
なお感光性レジスト材料として、ポジ型のものが用いられてもよい。この場合、露光マスクとして、レジスト膜のうちの除去したい領域に光を透過させるようにした露光マスクが用いられる。
次に、得られた蒸着マスク20を用いてガラス基板92上に蒸着材料を蒸着させる方法について説明する。はじめに図2に示すように、蒸着マスク20の第2面20bを基板92の面に密着させる。この際、図示しない磁石などを用いて、蒸着マスク20の第2面20bを基板92の面に密着させてもよい。また図1に示すように、複数の蒸着マスク20をフレーム15に張設することによって、蒸着マスク20の面がガラス基板92の面に平行になるようにする。その後、るつぼ94内の蒸着材料98を加熱することにより、蒸着材料98を気化または昇華させる。気化または昇華した蒸着材料98は、蒸着マスク20の貫通孔25を通ってガラス基板92に付着する。この結果、蒸着マスク20の貫通孔25の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料98がガラス基板92の表面に成膜される。
(第11巻き体および第11マスク)
上述の条件(1)が有効であることを確認するための評価を実施した。具体的には、はじめに、ニッケルを含む鉄合金から構成された母材を準備した。次に、母材に対して上述の圧延工程、スリット工程、アニール工程および切断工程を実施することにより、長尺金属板が巻き取られた巻き体(第11巻き体)を製造した。なお、長尺金属板の板厚の目標仕様値は20μmとした。
第11巻き体の場合と同様にして、ニッケルを含む鉄合金から構成された母材を用いて、第12〜第17巻き体を製造した。第12〜第17巻き体の長尺金属板の板厚の目標仕様値は20μmとした。また、第11巻き体の場合と同様にして、幅方向の中央部における長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。さらに、第11巻き体の場合と同様にして、第12〜第17巻き体の長尺金属板を用いて、多数の貫通孔が形成された蒸着マスク(以下、第12〜第17マスクと称する)を製造した。また、第11マスクの場合と同様にして、貫通孔の寸法を測定した。第12〜第17巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値AおよびばらつきBを、第11巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値AおよびばらつきBと併せて図24(a)に示す。また、第12〜第17マスクの貫通孔の寸法のばらつきを、第11マスクの貫通孔の寸法のばらつきと併せて図25(a)に示す。
長尺金属板の板厚の目標仕様値を25μmとしたこと以外は、上述の実施例1の場合と同様にして、第21〜第27巻き体を製造した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を40μm×40μmとしたこと以外は、上述の実施例1の場合と同様にして、第21〜第27巻き体の長尺金属板を用いて第21〜第27マスクを製造した。また実施例1の場合と同様にして、幅方向の中央部における第21〜第27巻き体の長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例1の場合と同様にして、第21〜第27マスクの貫通孔の寸法を測定した。第21〜第27巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値AおよびばらつきBを図24(b)に示す。また、第21〜第27マスクの貫通孔の寸法のばらつきを図25(b)に示す。
長尺金属板の板厚の目標仕様値を40μmとしたこと以外は、上述の実施例1の場合と同様にして、第31〜第37巻き体を製造した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を60μm×60μmとしたこと以外は、上述の実施例1の場合と同様にして、第31〜第37巻き体の長尺金属板を用いて第31〜第37マスクを製造した。また実施例1の場合と同様にして、幅方向の中央部における第31〜第37巻き体の長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例1の場合と同様にして、第31〜第37マスクの貫通孔の寸法を測定した。第31〜第37巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値AおよびばらつきBを図24(c)に示す。また、第31〜第37マスクの貫通孔の寸法のばらつきを図25(c)に示す。
上述の条件(1)が、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚が目標仕様値からどの程度ずれた場合にまで有効であるかどうかを判定するための評価を実施した。具体的には、図26(a)に示すように、目標仕様値である20μmの周辺の平均板厚を有する第41〜第47巻き体を準備した。この際、図26(a)に示すように、長手方向D1における長尺金属板の板厚のばらつきが上述の条件(1)の上限近傍になるような、具体的には(板厚のばらつきB/板厚の平均値A)×100(%)が約5%となるような巻き体を選んだ。図26(a)には、第41〜第47巻き体に関して、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚A、長手方向D1における長尺金属板の板厚のばらつきB、および(B/A)×100(%)が示されている。また図26(a)には、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれを表す、{(A−20)/20}×100(%)の値も示されている。
一方、第41マスクにおいては、図27(a)に示すように、トップ部の幅が2.0μmを超えていた。また、第41マスクを作製するために用いた第41巻き体においては、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−3%〜+3%の範囲外となっていた。
また第47マスクにおいては、図27(a)に示すように、貫通孔の寸法のばらつきが2.0μmを超えていた。また、第47マスクを作製するために用いた第47巻き体においては、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−3%〜+3%の範囲外となっていた。
これらのことから、上述の条件(1)が有効に機能するためには、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の目標仕様値からのずれが、−3%〜+3%の範囲内であることが必要であると言える。
長尺金属板の板厚の目標仕様値を25μmとしたこと以外は、上述の実施例4の場合と同様にして、第51〜第57巻き体を準備した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を40μm×40μmとしたこと以外は、上述の実施例4の場合と同様にして、第51〜第57巻き体の長尺金属板を用いて第51〜第57マスクを製造した。また実施例4の場合と同様にして、幅方向の中央部における第51〜第57巻き体の長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例4の場合と同様にして、第51〜第57マスクの貫通孔の寸法およびトップ部の幅を測定した。第51〜第57巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値AおよびばらつきBを図26(b)に示す。図26(b)には、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれを表す、{(A−25)/25}×100(%)の値も示されている。また、第51〜第57マスクの貫通孔の寸法のばらつき、およびトップ部の最大寸法を図27(b)に示す。
一方、第51マスクにおいては、図27(b)に示すように、トップ部の幅が2.0μmを超えていた。また、第51マスクを作製するために用いた第51巻き体においては、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−3%〜+3%の範囲外となっていた。
また第56および第57マスクにおいては、図27(b)に示すように、貫通孔の寸法のばらつきが2.0μmを超えていた。また、第56および第57マスクを作製するために用いた第56および第57巻き体においては、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−3%〜+3%の範囲外となっていた。
これらのことから、長尺金属板の板厚の目標仕様値が25μmの場合にも、上述の条件(1)が有効に機能するためには、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の目標仕様値からのずれが、−3%〜+3%の範囲内であることが必要であると言える。
長尺金属板の板厚の目標仕様値を40μmとしたこと以外は、上述の実施例5の場合と同様にして、第61〜第67巻き体を準備した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を60μm×60μmとしたこと以外は、上述の実施例4の場合と同様にして、第61〜第67巻き体の長尺金属板を用いて第61〜第67マスクを製造した。また実施例4の場合と同様にして、幅方向の中央部における第61〜第67巻き体の長尺金属板の板厚を、長手方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例4の場合と同様にして、第61〜第67マスクの貫通孔の寸法およびトップ部の幅を測定した。第61〜第67巻き体の長尺金属板の板厚の、長手方向における平均値AおよびばらつきBを図26(c)に示す。図26(c)には、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれを表す、{(A−40)/40}×100(%)の値も示されている。また、第61〜第67マスクの貫通孔の寸法のばらつき、およびトップ部の最大寸法を図27(c)に示す。
一方、第61マスクにおいては、図27(c)に示すように、トップ部の幅が2.0μmを超えていた。また、第61マスクを作製するために用いた第61巻き体においては、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−3%〜+3%の範囲外となっていた。
また第66および第67マスクにおいては、図27(c)に示すように、貫通孔の寸法のばらつきが2.0μmを超えていた。また、第66および第67マスクを作製するために用いた第66および第67巻き体においては、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−3%〜+3%の範囲外となっていた。
これらのことから、長尺金属板の板厚の目標仕様値が40μmの場合にも、上述の条件(1)が有効に機能するためには、長手方向D1における長尺金属板の平均板厚の、目標仕様値からのずれが、−3%〜+3%の範囲内であることが必要であると言える。
上述の条件(2)が有効であることを確認するための評価を実施した。具体的には、図29(a)に示すように、目標仕様値である20μmから約3%ずれた平均板厚を有する第71〜第79巻き体を準備した。この際、図29(a)に示すように、長手方向D1における長尺金属板の板厚のばらつきが上述の条件(1)の上限近傍になるような、具体的には(板厚のばらつきB/板厚の平均値A)×100(%)が約5%となるような巻き体を選んだ。
また本実施例においては、図28に示すように、第1端部64e近傍の所定領域内の27点の測定箇所102だけでなく、長尺金属板64の長手方向D1での第2端部64f近傍の所定領域内の同様の27点の測定箇所102においても、長尺金属板64の板厚を測定した。そして、第1端部64e近傍の所定領域内での板厚のばらつき(標準偏差に3を掛けた値)、および、第2端部64f近傍の所定領域内での板厚のばらつき(標準偏差に3を掛けた値)をそれぞれ算出した。算出された板厚のばらつきのうち、いずれか大きい方の値を、図29(a)に、「幅方向D2での板厚のばらつきC」として記載している。また、幅方向D2における長尺金属板64の板厚の標準偏差を算出するために幅方向D2に沿って長尺金属板64の板厚を27点の測定箇所102で測定する際に得られる、幅方向D2の中央部の測定箇所103における長尺金属板64の板厚の値を、図29(a)に、「幅方向D2の中央部での板厚X」として記載している。
長尺金属板の板厚の目標仕様値を25μmとしたこと以外は、上述の実施例7の場合と同様にして、第81〜第89巻き体を製造した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を40μm×40μmとしたこと以外は、上述の実施例7の場合と同様にして、第81〜第89巻き体の長尺金属板を用いて第81〜第89マスクを製造した。また実施例7の場合と同様にして、第81〜第89巻き体の長尺金属板の板厚を、幅方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例7の場合と同様にして、第81〜第89マスクの貫通孔の寸法を測定した。第81〜第89巻き体の長尺金属板の板厚の、幅方向におけるばらつきC、および幅方向の中央部での板厚Xを、長手方向における板厚の平均値AおよびばらつきBと併せて図29(b)に示す。また、第81〜第89マスクの貫通孔の寸法のばらつきを図30(b)に示す。
長尺金属板の板厚の目標仕様値を40μmとしたこと以外は、上述の実施例7の場合と同様にして、第91〜第99巻き体を製造した。また、貫通孔の寸法の目標仕様値を60μm×60μmとしたこと以外は、上述の実施例7の場合と同様にして、第91〜第99巻き体の長尺金属板を用いて第91〜第99マスクを製造した。また実施例7の場合と同様にして、第91〜第99巻き体の長尺金属板の板厚を、幅方向に沿って多数の箇所で測定した。また実施例7の場合と同様にして、第91〜第99マスクの貫通孔の寸法を測定した。第91〜第99巻き体の長尺金属板の板厚の、幅方向におけるばらつきC、および幅方向の中央部での板厚Xを、長手方向における板厚の平均値AおよびばらつきBと併せて図29(c)に示す。また、第91〜第99マスクの貫通孔の寸法のばらつきを図30(c)に示す。
21 金属板
21a 金属板の第1面
21b 金属板の第2面
22 有効領域
23 周囲領域
25 貫通孔
30 第1凹部
31 壁面
32 壁面の先端縁
35 第2凹部
36 壁面
43a トップ部
55 母材
56 圧延装置
57 アニール装置
61 コア
62 巻き体
64 長尺金属板
65a,65b レジストパターン
65c,65d レジスト膜
Claims (15)
- 複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、
母材を圧延して、圧延方向における板厚の平均値が所定値±3%の範囲内である前記金属板を得る圧延工程と、
前記金属板の幅方向における一端および他端を所定範囲にわたって切り落とす切断工程と、を備え、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件(1),(2)が満たされている、
(1)圧延方向における前記金属板の板厚の平均値をAとし、圧延方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をBとするとき、(B/A)×100(%)が5%以下であること;および、
(2)幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をCとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をXとするとき、(C/X)×100(%)が3%以下であること;
金属板の製造方法。 - 前記金属板の板厚は、80μm以下である、請求項1に記載の金属板の製造方法。
- 幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差は、圧延方向に沿って前記金属板上を延びるm本の仮想的な直線(mは2以上の自然数)と、幅方向に沿って前記金属板上を延びるn本の仮想的な直線(nは1以上の自然数)との交点において測定された前記金属板の板厚に基づいて算出されるものであり、
m>nである、請求項1または2に記載の金属板の製造方法。 - 前記母材が、ニッケルを含む鉄合金から構成されている、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の金属板の製造方法。
- 複数の貫通孔を形成して蒸着マスクを製造するために用いられる長尺状の金属板であって、
前記金属板の長手方向における前記金属板の板厚の平均値は、所定値±3%の範囲内となっており、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件(1),(2)が満たされている、
(1)長手方向における前記金属板の板厚の平均値をAとし、長手方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をBとするとき、(B/A)×100(%)が5%以下であること;および、
(2)幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をCとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をXとするとき、(C/X)×100(%)が3%以下であること;
金属板。 - 前記金属板の板厚は、80μm以下である、請求項5に記載の金属板。
- 幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差は、長手方向に沿って前記金属板上を延びるm本の仮想的な直線(mは2以上の自然数)と、幅方向に沿って前記金属板上を延びるn本の仮想的な直線(nは1以上の自然数)との交点において測定された前記金属板の板厚に基づいて算出されるものであり、
m>nである、請求項5または6に記載の金属板。 - 前記母材が、ニッケルを含む鉄合金から構成されている、請求項5乃至7のいずれか一項に記載の金属板。
- 複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを製造する方法であって、
長手方向における板厚の平均値が所定値±3%の範囲内である長尺状の金属板を準備する工程と、
前記金属板上にレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
前記金属板のうち前記レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングし、前記金属板に、前記貫通孔を画成するようになる凹部を形成するエッチング工程と、を備え、
前記金属板における板厚のばらつきに関して、以下の条件(1),(2)が満たされている、
(1)長手方向における前記金属板の板厚の平均値をAとし、長手方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をBとするとき、(B/A)×100(%)が5%以下であること;および、
(2)幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をCとし、幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って前記金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の中央部における前記金属板の板厚の値をXとするとき、(C/X)×100(%)が3%以下であること;
蒸着マスクの製造方法。 - 前記金属板の板厚は、80μm以下である、請求項9に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 幅方向における前記金属板の板厚の標準偏差は、長手方向に沿って前記金属板上を延びるm本の仮想的な直線(mは2以上の自然数)と、幅方向に沿って前記金属板上を延びるn本の仮想的な直線(nは1以上の自然数)との交点において測定された前記金属板の板厚に基づいて算出されるものであり、
m>nである、請求項9または10に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記母材が、ニッケルを含む鉄合金から構成されている、請求項9乃至11のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記蒸着マスクは、前記蒸着マスクを用いて基板上に蒸着材料を蒸着させる際に、蒸着材料に対面する第1面と、前記基板に対面する第2面と、を有し、
前記レジストパターン形成工程によって形成される前記レジストパターンは、前記蒸着マスクの前記第1面に対応する前記金属板の第1面上に形成された第1レジストパターンと、前記蒸着マスクの前記第2面に対応する前記金属板の第2面上に形成された第2レジストパターンと、を含み、
前記エッチング工程によって形成される凹部は、前記金属板の前記第1面のうち前記第1レジストパターンによって覆われていない領域がエッチングされることによって形成される複数の第1凹部と、前記金属板の前記第2面のうち前記第2レジストパターンによって覆われていない領域がエッチングされることによって形成される複数の第2凹部と、を含み、
前記エッチング工程は、前記第1凹部と、当該第1凹部に対応する前記第2凹部とが接続されるよう実施され、
前記蒸着マスクの前記第2面から、前記第1凹部と前記第2凹部とが接続される接続部までの、前記金属板の法線方向に沿った方向における距離が6μm以下である、請求項9乃至12のいずれか一項に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記蒸着マスクは、複数の貫通孔が形成された有効領域と、前記有効領域の周囲に位置する周囲領域と、に区画され、
前記エッチング工程は、前記金属板の前記第1面が前記有効領域の全域にわたってエッチングされるように実施される、請求項13に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記蒸着マスクは、複数の貫通孔が形成された有効領域と、前記有効領域の周囲に位置する周囲領域と、に区画され、
前記エッチング工程は、前記金属板の前記第1面が前記有効領域の全域にわたってはエッチングされず、この結果、エッチングされなかった部分がトップ部として残るように実施される、請求項13に記載の蒸着マスクの製造方法。
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