JP2003286527A - 低収縮率の銅又は銅合金とその製造方法 - Google Patents

低収縮率の銅又は銅合金とその製造方法

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Yasunobu Uehara
康伸 上原
Yoshitake Hana
佳武 花
Shigenao Takase
重尚 高瀬
Nobuo Otake
信男 大竹
Toshihiro Sato
敏洋 佐藤
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 リードフレーム材料として最適な十分な平坦
な形状と加工時の熱処理において要求される低い収縮率
を兼ね備えた銅又は銅合金とその製造方法を提案する。 【解決手段】 材料加工工程における焼鈍温度または再
結晶温度で加熱処理したときの、該加熱処理の前後にお
ける収縮率が0.01%以下であり、且つ板形状であっ
て急峻度が0.5%以下である銅又は銅合金であり、ま
たその製造に際し、連続焼鈍炉に通板する際の炉内張力
を通板前の材料の0.2耐力の1.0〜8.5%以下と
することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、リードフレーム等
の微細な加工を施す電子部品用素材として利用される銅
又は銅基合金材料とその製造方法に関し、更に詳しくは
高い寸法精度を要求される電子部品用として、低収縮率
で高い平坦度を持つ銅又は銅基合金材料とその製造方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】電子材料として使用される銅又は銅合金
として例えばリードフレーム材料があるが、リードフレ
ームとして要求される高度な形状特性を満足するために
は、最終板厚に圧延後、テンションレベラー等で形状矯
正加工が行われ、さらに連続焼鈍炉を通板することによ
り連続焼鈍し、各特性を目的とする値に調整し、同時に
残留応力等の歪みの低減化処理を行うのが一般的であ
る。
【0003】近年、リードフレームの高集積化に伴い、
リードフレーム加工工程における熱処理の前後での材料
の収縮による寸法変化が、その後の工程において障害と
なる問題が増加している。
【0004】この寸法変化を収縮というが、リードフレ
ーム加工時の加熱処理における収縮を考慮している従来
技術としては、以下のものが提案されている。
【0005】(イ) 特開平1―168820号公報
「収縮のない金属条板の製造方法」には、加工工程中に
熱の加わる加工の用途に用いられる金属条材の製造方法
において、加工時の熱処理温度より50℃以上高い温度
で最終歪み取り焼鈍を行う技術が開示されている。
【0006】これにより、金属条材の加工歪みを除去
し、かつ強度等の特性の劣化を伴わずに、加工途中の熱
処理工程において収縮を生じることがない金属加工部品
が得られるとしている。
【0007】(ロ) 特開平6−145811号公報
「リードフレーム材の製造方法」には、Fe−Ni系の
金属材料からなるリードフレーム材の製造方法におい
て、Fe36〜52重量%Ni系の金属材料からなる被
圧延材に対し、仕上げ圧延を行い、その後スリット加工
を行い、更に該スリット加工に対して630〜700℃
の範囲の十分な歪み取り焼鈍を行った後にレベラー矯正
を行うことにより、収縮の少ない材料が得られるとの技
術が開示されている。
【0008】(ハ) 特開平6−260587号公報
「加熱収縮の小さいリードフレーム材料の製造方法」に
は、リードフレーム素材を最終冷間圧延したのちスリッ
トし、歪み取り焼鈍してリードフレーム材料を製造する
に際し、冷間圧延後にテンションレベラー矯正を行った
後にスリットするか、あるいは冷間圧延後にスリットし
たのちテンションレベラー矯正を行い、歪み取り焼鈍し
て加熱収縮の小さいリードフレーム材料を製造する技術
が開示されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】リードフレーム等の微
細な加工を施す電子部品用素材として、収縮率を小さく
することが注目され、上記の従来例のような対策が採ら
れたが、近年の更なる微細加工の要求に対しては、その
特性だけでは十分な寸法精度を確保することができなか
った。
【0010】また、従来、収縮に関しては、例えば圧延
時に導入される転位等の欠陥が加熱処理により回復して
材料密度が増大することが原因である等、冷間圧延時の
塑性加工が原因であるという解析がなされ、冷間加工時
に導入された歪みを焼鈍により除去し、収縮を低減する
という方法が採られてきた。
【0011】しかしながら、連続焼鈍炉を使用した製造
工程においては、材料に要求される特性、操業効率等か
ら使用できる温度域及び通板速度域は限定されるうえ
に、リードフレームとしての厳しい形状に対する要求を
満たすため、引っ張り応力下で焼鈍を行う必要がある
が、この方法では目的とする低収縮を実現することがで
きず、よって前述の従来例においては焼鈍工程を別に設
けるなどコストの高い方法をとらざるを得ず、更にはこ
のような方法で低収縮を実現しても、製品の要求する寸
法精度をえることができない場合もあった。
【0012】従って、本発明はリードフレーム材料とし
て最適な十分な寸法精度と形状特性を兼ね備えた銅又は
銅合金とその製造方法を提案するものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、リードフレー
ム材として十分な寸法精度及び形状特性を兼ね備えるた
めに、低収縮率で、且つ板形状において平坦度を表わす
急峻度が小さい材料であることが必要である、との知見
に基づいてなされたものである。
【0014】さらに、本発明は銅及び銅基合金材料の製
造工程において、最終製品の板厚に圧延後、連続焼鈍炉
通板時の炉内張力を調整することにより、収縮が小さ
く、急峻度の小さい材料を得ることができるとの知見に
基づいてなされたものである。
【0015】ここに、急峻度とは、以下の式により求め
られる板形状、すなわち平坦度を表わすパラメータであ
る。 急峻度=H/P×100 H:耳波あるいは中伸びの高さ P:耳波あるいは中伸びのピッチ
【0016】すなわち、本発明は、銅又は銅合金をその
焼鈍温度または再結晶温度で加熱処理したときの、該加
熱処理の前後における収縮率が0.01%以下であり、
且つ板形状であって急峻度が0.5%以下の銅又は銅合
金に関するものである。
【0017】上記加熱処理は材料加工工程、たとえばリ
ードフレームの加工工程で行われる。また、上記の焼鈍
温度は歪み取り焼鈍温度であり、該歪み取り焼鈍温度で
の加熱処理時間は30分程度が好ましい。また、再結晶
温度での加熱処理時間も、30分程度が好ましい。
【0018】さらに、本発明は、銅又は銅基合金材料の
製造工程において、最終製品の板厚に圧延後、連続焼鈍
炉を通板する際の炉内張力を該連続焼鈍炉通板前の材料
の0.2%耐力の1.0%以上8.5%以下とする銅又
は銅合金の製造方法に関するものである。
【0019】本発明は、上記のように低収縮で且つ板形
状の急峻度の小さい銅及び銅基合金とその製造方法であ
り、加工工程における熱処理の前後での寸法変化が小さ
く、また平坦度が高いために、寸法精度の向上が実現で
き、近年の高集積化された加工が可能となる。
【0020】製造工程は、一般の銅及び銅基合金と同様
にして最終板厚まで圧延後、必要に応じてテンションレ
ベラー等による形状矯正を行い、その後連続焼鈍炉によ
る低温焼鈍を行うが、その際の炉内張力が連続焼鈍炉通
板前の材料の0.2%耐力の1.0〜8.5%の範囲で
設定し、通板を行うものである。
【0021】次に、本発明について、上記範囲の限定理
由を説明する。連続焼鈍炉通板時の炉内張力は、極端に
低いと耳波や平坦度の不良が生じるため、連続焼鈍炉通
板前の材料の0.2%耐力の1.0%以上であることが
必要である。
【0022】また上限は、収縮率を0.01%以下とす
るために連続焼鈍炉通板前の材料の0.2%耐力の8.
5%以下であることが必要である。炉内張力をこの範囲
において通板することにより、形状を悪化させることな
く、収縮の小さい材料を得ることが可能である。
【0023】また、焼鈍温度或いは再結晶焼鈍温度で約
30分の加熱処理工程で収縮率が0.01%以下且つ板
形状の平坦度である急峻度が0.5%以下であるとき
に、リードフレーム等の加工において寸法精度の要求を
満たすことができ、これ以上であれば精度を確保できな
い。以下、本発明の実施の形態を実施例により説明す
る。
【0024】
【発明の実施の形態】実施例1 表1中のNo.1〜6は、C194合金(Cu−2.4
%Fe−0.1%Zr−0.1%P)よりなるリードフ
レーム素材であり、該素材を熱間圧延した後焼鈍し、次
いで冷間圧延により板厚0.2mmの冷間圧延材を得
た。
【0025】さらに、連続焼鈍炉の炉内張力を該連続焼
鈍炉に通板前の該合金の0.2%耐力の1.0〜8.5
%に、また炉内温度を500℃として連続焼鈍炉にて低
温焼鈍を行い、表1中の実施冷No.1〜6に示す低収
縮率のリードフレーム材料を得た。
【0026】次いで、上記リードフレーム材に対して、
プレス加工により第1回目の打ち抜き加工を行った後、
歪み取り焼鈍し、その後に第2回目の打ち抜き加工を行
う場合を想定して、板幅50mmの材料について300
℃で30分間の加熱処理を行って、あらかじめ加熱処理
前に該材料に印した長手方向基準長さ180mmの加熱
後における形状変化を測定して収縮率を算出した。
【0027】すなわち、C194合金のリードフレーム
素材につき炉内張力を該合金の0.2%耐力の1.0%
〜8.5%に変化させて上記のように試験し、その各々
の収縮率と急峻度を測定・算出した。その結果を表1に
示す。
【0028】
【表1】
【0029】比較例1 次に、比較例として、連続焼鈍炉の炉内張力を該連続焼
鈍炉通板前の材料の0.2%耐力の0%及び10%とし
て、炉内温度500℃に設定し、上記実施例1と同様に
連続焼鈍炉にて低温焼鈍を行い、上記実施例と同様にし
て収縮率及び急峻度を測定・算出した結果を併せて上記
表1中にNo.7〜8として示す。
【0030】実施例2 上記実施例1と同様にして板厚0.2mmのC194合
金の冷間圧延材を得た後、該冷間圧延材を炉内張力を冷
間圧延材の0.2%耐力の2.5%に調整してテンショ
ンレベラー通板を行い、形状矯正を行った。
【0031】さらに、炉内張力を連続焼鈍炉通板前の本
材料の0.2%耐力の1.0%〜8.5%に変化させ、
炉内温度を500℃に設定して該連続焼鈍炉にて低温焼
鈍を行い、表2中の本発明に関わるNo.9〜No.1
4に示すリードフレーム材料を得、次いで上記実施例1
と同様に収縮率及び急峻度を調べたところ、表2のN
o.9〜No.14に示す結果を得た。
【0032】
【表2】
【0033】比較例2 また、比較例として、上記実施例2と同様にして形状矯
正まで行った後、炉内張力を連続焼鈍炉通板前の0.2
%耐力の0%と10%に変化させ、炉内温度500℃に
設定して該連続焼鈍炉にて低温焼鈍を行い、上記実施例
1と同様にして収縮率を調整し、No.15〜16の材
料を得た。この比較例の材料における炉内張力と収縮率
及び急峻度との関係と併せて表2に示す。
【0034】表1〜2において、炉内張力が連続焼鈍炉
通板前の0.2%耐力の1.0%〜8.5%以下のもの
は収縮率が0.01%以下であり急峻度が0.5%以下
であった。これらの材料はプレス加工においてもバリや
ダレの発生が防止され、さらにプレス加工の歪み取り焼
鈍においても十分な寸法精度が確保できた。
【0035】それに対し、比較例1〜2に記載の材料に
おいては、収縮率または急峻度が大きく、プレス加工に
おいて、バリやダレの発生があり、さらにはプレス加工
の歪み取り焼鈍においても要求される寸法精度を確保で
きなかった。
【0036】なお、上記実施例1〜2は、C194合金
のリードフレーム素材を使用して本発明を説明したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、リードフレー
ム以外の微細加工を特徴とする用途に対しても有効であ
ることは勿論であり、通常の銅および銅基合金について
も有効である。
【0037】
【発明の効果】本発明は上記のようにしてなり、リード
フレーム材料に限定されることなく、銅及び銅基合金全
般にわたって有効であり、リードフレームはもちろんの
こと、それ以外の微細加工を特徴とする材料として十分
な平坦な形状と加工時の熱処理において、要求される低
い収縮率を兼ね備えた材料が得られる。
【0038】すなわち、本発明によれば、収縮量がほと
んどなく、加工部品の高品質化に寄与することができ、
またその後のプレス加工におけるパリやダレの発生が防
止でき、しかもプレス加工の歪み取り焼鈍における収縮
量を著しく小さくすることができる利点がある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C22F 1/00 691 C22F 1/00 691B 691Z (72)発明者 花 佳武 静岡県磐田郡豊岡村松之木島767番地 同 和メタル株式会社内 (72)発明者 高瀬 重尚 静岡県磐田郡豊岡村松之木島767番地 同 和メタル株式会社内 (72)発明者 大竹 信男 東京都千代田区丸の内1丁目8番2号 同 和鉱業株式会社内 (72)発明者 佐藤 敏洋 東京都千代田区丸の内1丁目8番2号 同 和鉱業株式会社内 Fターム(参考) 5F067 AA00 EA04 EA10

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 銅又は銅合金をその焼鈍温度で加熱処
    理したときの、該加熱処理の前後における収縮率が0.
    01%以下であり、且つ板形状であって急峻度が0.5
    %以下であることを特徴とする銅又は銅合金。
  2. 【請求項2】 該加熱処理が材料加工工程である請求
    項1記載の銅又は銅合金。
  3. 【請求項3】 該材料加工工程がリードフレームの加
    工工程である請求項2記載の銅又は銅合金。
  4. 【請求項4】 焼鈍温度が歪み取り焼鈍温度である請
    求項1乃至3記載の銅又は銅合金。
  5. 【請求項5】 焼鈍温度での加熱処理時間が約30分
    である請求項1乃至4記載の銅又は銅合金。
  6. 【請求項6】 銅又は銅合金をその再結晶温度で加熱
    処理したときの、該加熱処理の前後における収縮率が
    0.01%以下であり、且つ板形状であって急峻度が
    0.5%以下であることを特徴とする銅又は銅合金。
  7. 【請求項7】 該加熱処理が材料加工工程である請求
    項6記載の銅又は銅合金。
  8. 【請求項8】 該材料加工工程がリードフレームの加
    工工程である請求項7記載の銅又は銅合金。
  9. 【請求項9】 再結晶温度での加熱処理時間が約30
    分である請求項6乃至8記載の銅又は銅合金。
  10. 【請求項10】 銅及び銅基合金材料の製造工程におい
    て、最終製品の板厚に圧延後、連続焼鈍炉を通板する際
    の炉内張力を該連続焼鈍炉通板前の材料の0.2%耐力
    の1.0%以上8.5%以下とすることを特徴とする請
    求項1乃至10記載の銅又は銅合金の製造方法。
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