JP2015193503A5 - - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014073096A JP6404586B2 (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 製造方法及び製造装置 |
| TW104109757A TWI569973B (zh) | 2014-03-31 | 2015-03-26 | A method for producing a laminated body, and a manufacturing apparatus for a laminated body |
| KR1020150043310A KR101699792B1 (ko) | 2014-03-31 | 2015-03-27 | 적층체의 제조 방법 및 적층체의 제조 장치 |
| CN201510148644.XA CN104961360B (zh) | 2014-03-31 | 2015-03-31 | 制造方法及制造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2014073096A JP6404586B2 (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 製造方法及び製造装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2015193503A JP2015193503A (ja) | 2015-11-05 |
| JP2015193503A5 true JP2015193503A5 (enExample) | 2017-04-06 |
| JP6404586B2 JP6404586B2 (ja) | 2018-10-10 |
Family
ID=54215490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014073096A Active JP6404586B2 (ja) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | 製造方法及び製造装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6404586B2 (enExample) |
| KR (1) | KR101699792B1 (enExample) |
| CN (1) | CN104961360B (enExample) |
| TW (1) | TWI569973B (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018003578A1 (ja) * | 2016-06-30 | 2018-01-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アライメント装置 |
| JP6786381B2 (ja) * | 2016-06-30 | 2020-11-18 | 日本電産サンキョー株式会社 | アライメント装置 |
| CN108089420A (zh) * | 2016-11-22 | 2018-05-29 | 新智德株式会社 | 清洁刮板的对位夹具及使用它的对位方法、以及清洁刮板的制造装置及使用它的制造方法 |
| CN112848615A (zh) * | 2019-11-27 | 2021-05-28 | 康宁股份有限公司 | 层叠系统 |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2288069A1 (fr) * | 1974-10-15 | 1976-05-14 | Saint Gobain | Dispositif pour l'enduction des quatre aretes d'un vitrage multiple avec un mastic plastique |
| JPS5863916A (ja) * | 1981-10-13 | 1983-04-16 | Citizen Watch Co Ltd | 液晶セルガラス組立におけるガラス位置修正方法 |
| FR2594812B1 (fr) * | 1986-02-27 | 1988-05-27 | Saint Gobain Vitrage | Procede et dispositif pour l'assemblage automatique des vitrages feuilletes |
| JPH0692150B2 (ja) * | 1989-02-01 | 1994-11-16 | 旭硝子株式会社 | 合せガラス用の曲板ガラスの板揃え装置 |
| JPH0634983A (ja) * | 1992-07-17 | 1994-02-10 | Sharp Corp | 貼合わせ装置 |
| JP2002368064A (ja) * | 2001-06-05 | 2002-12-20 | Seiko Epson Corp | マーク検出装置及び方法、位置決め装置及び方法、電気光学パネルの製造方法、並びに電気光学装置の製造方法 |
| JP4626160B2 (ja) * | 2004-03-04 | 2011-02-02 | 株式会社ニコン | ウェハ重ね合わせ方法及びウェハ重ね合わせ装置 |
| JP2006011198A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Sharp Corp | 偏光板貼り付け装置および偏光板 |
| JP2006120928A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Shibaura Mechatronics Corp | 電子部品の実装装置及び実装方法 |
| JP4870046B2 (ja) * | 2007-08-06 | 2012-02-08 | クライムプロダクツ株式会社 | 板ガラスの貼合方法およびその装置 |
| TWI478272B (zh) * | 2007-08-15 | 2015-03-21 | 尼康股份有限公司 | A positioning device, a bonding device, a laminated substrate manufacturing device, an exposure device, and a positioning method |
| WO2009072199A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Hirata Corporation | 基板搬送装置及び基板搬送装置の制御方法 |
| JP4737569B2 (ja) * | 2008-01-29 | 2011-08-03 | 日東電工株式会社 | 光学表示ユニットの製造方法および光学表示ユニットの製造システム |
| JP2009280338A (ja) * | 2008-05-21 | 2009-12-03 | Kuraimu Prod Kk | ワーク貼合装置およびワーク貼合方法 |
| CN102937755B (zh) * | 2008-09-04 | 2015-04-15 | 芝浦机械电子装置股份有限公司 | 贴合装置以及其控制方法 |
| JP5479701B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2014-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 表示パネルモジュール組立装置 |
| JP5074368B2 (ja) * | 2008-12-15 | 2012-11-14 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 成膜装置 |
| JP4889057B2 (ja) * | 2009-09-25 | 2012-02-29 | 株式会社Fuk | フィルム貼付装置 |
| MX360675B (es) * | 2011-01-31 | 2018-11-13 | Luoyang Landglass Tech Co Ltd | Dispositivo para procesar continuamente un miembro de vidrio al vacío. |
| JP5490741B2 (ja) * | 2011-03-02 | 2014-05-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置の位置調整方法、及び基板処理装置 |
| KR101808629B1 (ko) * | 2011-06-15 | 2018-01-18 | 클라임 프로덕츠 가부시키가이샤 | 공작물의 정밀 접합 장치, 및 공작물의 정밀 접합 방법 |
| KR20130090579A (ko) * | 2012-02-06 | 2013-08-14 | 주식회사 갤럭시아디스플레이 | 패널 합착 장치 및 방법 |
-
2014
- 2014-03-31 JP JP2014073096A patent/JP6404586B2/ja active Active
-
2015
- 2015-03-26 TW TW104109757A patent/TWI569973B/zh active
- 2015-03-27 KR KR1020150043310A patent/KR101699792B1/ko active Active
- 2015-03-31 CN CN201510148644.XA patent/CN104961360B/zh active Active
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