TWI569973B - A method for producing a laminated body, and a manufacturing apparatus for a laminated body - Google Patents

Description

疊層體的製造方法及疊層體的製造裝置

本發明有關使面板彼此貼合來製造疊層體的技術。

作為電視、個人電腦、攜帶式終端等的顯示器，已知有接著液晶顯示面板等圖像顯示面板和蓋板而貼合者。作為進行這樣的面板彼此的貼合的裝置，提出有具備面板彼此的對位機構和由輥的推壓使兩面板緊接的推壓機構的裝置(專利文獻1)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2009-040617號專利公報

在專利文獻1的裝置中，另外需要向裝置搬 運面板的搬運系統的機構。以系統整體來看，除了搬運系統的機構外，還需要面板彼此對位的機構，是有系統的構成複雜化之情況。

本發明的目的在於以更簡易的構成實現從兩面板的搬運到面板彼此的對位。

根據本發明，提供一種疊層體的製造方法，係貼合第一面板和第二面板來製造疊層體；其特徵為：具備：位置檢測製程，係分別在第一檢測位置檢測到前述第一面板的位置，及在第二檢測位置檢測前述第二面板的位置；第一搬運製程，係從前述第一檢測位置，朝向使前述第一面板和前述第二面板重疊並貼合的作業區域，在第一方向上，搬運前述第一面板；以及第二搬運製程，係從前述第二檢測位置，朝向前述作業區域，在與前述第一方向正交之第二方向上，搬運前述第二面板；在前述第一搬運製程中，根據由前述位置檢測製程所得到的前述第一面板的位置檢測結果和前述第二面板的位置檢測結果，控制前述第一面板的前述第一方向的搬運量，以便讓前述第一方向上的前述第一面板與前述第二面板的貼合位置一致；在前述第二搬運製程中，根據由前述位置檢測製程所得到的前述第二面板的前述位置檢測結果和前述第一面板的前述位置檢測結果，控制前述第二面板的前述第二方向的搬運量，以便讓前述第 二方向上的前述第一面板與前述第二面板的貼合位置一致。

另外，根據本發明，提供一種疊層體的製造裝置，係貼合第一面板和第二面板來製造疊層體；其特徵為，具備：第一位置檢測單元，係在第一檢測位置，檢測前述第一面板的位置；第二位置檢測單元，係在第二檢測位置，檢測前述第二面板的位置；控制單元，係控制前述第一面板及前述第二面板的搬運量；第一搬運機構，係朝向使前述第一面板和前述第二面板重疊並貼合的作業區域，從前述第一檢測位置，在第一方向上，搬運前述第一面板；第二搬運機構，係朝向前述作業區域，從前述第二檢測位置，在與前述第一方向正交之第二方向上，搬運前述第二面板；以及控制單元，係控制前述第一面板及前述第二面板的搬運量，來控制前述第一搬運機構及前述第二搬運機構；前述控制單元，根據由前述第一位置檢測單元得到的前述第一面板的位置檢測結果和由前述第二位置檢測單元得到的前述第二面板的位置檢測結果，控制前述第一面板的前述第一方向的搬運量，以便讓前述第一方向上的前述第一面板與前述第二面板的貼合位置一致，並且，根據前述第二面板的前述位置檢測結果和前述第一面板的前述位置檢測結果，控制前述第二面板的前述第二方向的搬運量，以便讓前述第二方向上的前述第一面板與前述第二面板的貼合位置一致。

根據本發明，可以以更簡易的構成實現從兩面板的搬運到面板彼此的對位。

P1、P2‧‧‧面板

LB‧‧‧疊層體

3‧‧‧搬運機構

6‧‧‧控制單元

7、8‧‧‧位置檢測單元

12‧‧‧搬運機構

[圖1]是有關本發明的一實施方式的製造裝置的俯視圖。

[圖2]是圖1的製造裝置之圖1中的箭頭D1方向箭頭方向視圖。

[圖3]是圖1的製造裝置之圖1中的箭頭D2方向箭頭方向視圖。

[圖4](A)是圖1的製造裝置之圖2中的箭頭D3方向箭頭方向視圖，(B)是疊層體的說明圖。

[圖5]是控制單元的方塊圖。

[圖6](A)~(C)是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖7](A)及(B)是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖8](A)及(B)是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖9](A)及(B)是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖10](A)~(D)是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖11](A)及(B)是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖12](A)~(C)是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖13](A)及(B)是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖14](A)及(B)是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖15]是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖16](A)~(C)是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖17](A)及(B)是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖18]是圖1的製造裝置的動作說明圖。

[圖19](A)及(B)是面板的定位和搬運量的設定方法的說明圖。

[圖20](A)及(B)是面板的定位和搬運量的設定方法的說明圖。

[圖21](A)~(D)是另一例的貼合動作的說明圖。

[圖22](A)~(E)是另一例的保持機構的說明圖。

[圖23]是另一例的製造裝置的俯視圖。

[圖24]是另一例的製造裝置的俯視圖。

以下，關於本發明之實施方式，參閱圖說明之。在各圖中，箭頭X及Y表示相互正交的水平方向，箭頭Z表示上下方向。

<第1實施方式> <裝置的概要>

圖1是本發明一實施方式的製造裝置A的俯視圖，圖2是製造裝置A之圖1中的箭頭D1方向箭頭方向視圖，圖3是製造裝置A之圖1中的箭頭D2方向箭頭方向視圖，圖4(A)是製造裝置A之圖2中的箭頭D3方向箭頭方向視圖。圖4(B)是成為製造對象的疊層體的爆炸圖。

製造裝置A是使2片面板貼合來製造疊層體的裝置。在本實施方式的情況下，如圖4(B)所示，製造方形的面板P1與方形的面板P2的疊層體LB。面板P1是蓋板，面板P2是圖像顯示面板，其疊層體LB是構成圖像顯示裝置的疊層體。作為圖像顯示面板的面板P2例如是液晶顯示面板(例如LCD)，在其顯示面側(在圖4(B)中是下表面)貼附作為蓋板(例如蓋玻璃)的面板P1。面板P1具備具有光透射性的面板主體MB。面 板主體MB例如是玻璃板、樹脂板。在貼附了面板P2之面板主體MB的表面(在圖4(B)中是上表面)的周緣形成遮光層LS。

製造裝置A在裝置的布局上具備搬入區域R1、處理區域R2和搬出區域R3。在搬入區域R1中，從面板P1的供給源的裝置移交面板P1，搬入面板P1。處理區域R2是使面板P1和不同於面板P1被分別地搬入的面板P2的面板彼此重疊並貼合的作業區域。在搬出區域R3中，將在處理區域R2中被貼合的2片面板P1及P2的疊層體LB移交給供給目的地的裝置，疊層體LB被搬出。在這裡，在被搬入到搬入區域R1中的面板P1的表面上預先設置用於貼合的接著劑RG(後述)。作為用於貼合的接著劑RG，例如可列舉出未硬化狀態或臨時硬化狀態的接著層、接著片、接著膜等。

製造裝置A具備：保持單元2、搬運機構3、推壓單元4、搬入臺5、控制單元6、位置檢測單元7及8、搬運機構12、升降單元13、調整單元14及15和調整單元53及54。首先，從搬運機構12的構成開始說明。

<搬運機構>

搬運機構12是將被搬入到搬入區域R1的面板P1向處理區域R2在Y方向上進行搬運的單元，在本實施方式的情況下，具備複數個空氣浮起臺121、複數個滑 動單元123和對每個滑動單元123設置的導軌122。

空氣浮起臺121具備形成了許多空氣孔的水平的上表面。空氣孔介隔著空氣浮起臺121內部的通路與未圖示的空氣裝置連通。空氣裝置是以泵為代表的空氣供給裝置或空氣吸引裝置。以從空氣孔噴出空氣的方式，能夠以懸浮狀態支撐面板P1。另外，以將空氣浮起臺121的一部分，從一部分空氣孔噴出空氣，從其它的一部分空氣孔吸引空氣，做成伯努利吸盤的方式，可安定而且精密地以懸浮狀態支撐面板P1。

空氣浮起臺121沿作為面板P1的搬運方向的Y方向延伸設置。更詳細地說，從搬入區域R1到搬出區域R3，除了槽部121b外，在整個區域延伸設置。因此，在製造裝置A的整個區域，可以以非接觸的方式對面板P1及疊層體LB進行支撐。空氣浮起臺121設置2個，相互平行地延伸設置，而且在X方向上分離地配置。2個空氣浮起臺121的X方向的間隙形成複數個滑動單元123的移動空間。在空氣浮起臺121的上表面形成槽121a。槽121a成為後述的升降單元13的銷131的退避空間。

滑動單元123從搬入區域R1向處理區域R2搬運在空氣浮起臺121上以懸浮狀態支撐的面板P1，從處理區域R2向搬出區域R3搬運在空氣浮起臺121上以懸浮狀態支撐的疊層體LB。滑動單元123利用沿Y方向延伸設置的導軌122的引導，經由未圖示的驅動機構在 Y方向上往復移動。驅動機構例如可採用滾珠螺桿機構、皮帶傳動機構等。滑動單元123設置2個。以對每個滑動單元123設置驅動機構而可獨立地移動的方式，可在1個面板的搬運途中開始接下來的面板的搬運，即，可在不同的時機搬運位於不同的區域的2片面板。

滑動單元123具備：吸附部1231、抵接部1232、滑塊1233和升降機構1234。吸附部1231具備形成吸附孔1231a的上表面。此上表面構成可吸附於面板P1的下表面的水平的吸附面。吸附孔1231a介隔著吸附部1231內部的通路與未圖示的空氣裝置連通。空氣裝置是以泵為代表的空氣吸引裝置。以從吸附孔1231a吸引空氣的方式，可對面板P1進行吸附保持。

抵接部1232可與面板P1的端緣抵接。在本實施方式的情況下，抵接部1232乃是透過支撐軸旋轉自如地設置於吸附部1231的上部的輥。抵接部1232主要在面板搬入時在對面板P1的姿勢進行調整之際與面板P1的端緣(上游側的端緣)抵接。吸附部1231的吸附面的Z方向的位置被設定在從抵接部1232的Z方向下端到上端的範圍內。因此，吸附部1231的吸附面與抵接部1232的立設支撐軸的部位相比位於更高的位置。

滑塊1233與導軌122卡合，可由導軌122引導，在Y方向上移動。升降機構1234被搭載在滑塊1233上。升降機構1234作為其驅動源包含例如氣壓缸、電動缸、電磁螺線形管等致動器。吸附部1231被搭 載於升降機構1234，經由升降機構1234進行升降。吸附部1231在吸附位置與退避位置之間升降，吸附位置係吸附面位置在比空氣浮起臺121的上表面更上方的位置，退避位置係吸附部1231整體位置在比空氣浮起臺121的上表面更下方的位置。吸附位置是使吸附部1231吸附保持於面板P1的位置，吸附部1231位置在與空氣浮起臺121的上表面相比稍靠上方的位置。

<升降單元及調整單元>

在搬入區域R1中設置升降單元13和調整單元14及15。

升降單元13是在外部的裝置與製造裝置A之間進行面板P1的移交的單元。搬入區域R1中的升降單元13的數量是2。升降單元13也設置在搬出區域R3中，其數量是2。搬出區域R3的升降單元13在製造裝置A與外部的裝置之間進行疊層體LB的移交。

升降單元13具備：複數個銷131、支撐構件132、升降機構133。複數個銷131被支撐在支撐構件132上，向上方向延伸。各個銷131被插入到設置於空氣浮起臺121的槽121a的上下方向的貫通孔中。複數個銷131是相等長度，它們的前端(上端)的高度為齊平面。

支撐構件132位於空氣浮起臺121的下方，銷131的下端被固定。升降機構133例如作為其驅動源 包含氣壓缸、電動缸、電磁螺線形管等致動器，使支撐構件132升降。經由支撐構件132的升降，銷131也升降。銷131，在其前端比空氣浮起臺121的上表面更向上方突出的上升位置、與銷131的前端比空氣浮起臺121的上表面更位置在下方之下降位置之間升降。圖2、圖3及圖4(A)表示銷131處於下降位置的情況，銷131的前端位於槽121a內。

調整單元14及15是在搬入區域R1中調整面板P1的姿勢來進行其定位的定位單元。調整單元14對X方向的面板P1的姿勢進行調整，調整單元15對Y方向的面板P1的姿勢進行調整。

調整單元14在搬入區域R1中設置複數個，包挾著2個空氣浮起臺121配置於X方向的兩側。調整單元14具備：圓柱狀的抵接部141和驅動部142。驅動部142例如作為其驅動源包含例如氣壓缸、電動缸、電磁螺線形管等致動器，使抵接部141在X方向上往復移動。經由驅動部142的驅動，抵接部141可從退避位置向定位位置移動，退避位置係從空氣浮起臺121更進一步地離開的位置，定位位置係更進一步地接近空氣浮起臺121的位置。在定位位置，抵接部141與面板的X方向的端緣抵接，可進行其姿勢調整及定位。調整單元15也是與調整單元14同樣的構成，但其抵接部與面板P1的Y方向的端緣(下游側端緣)抵接，可進行其姿勢調整及定位。

<保持單元>

其次，說明有關保持單元2。保持單元2是配置於處理區域R2、對在其中一方的面塗布了光硬化性樹脂的面板P1進行保持的單元。在面板P1被保持於保持單元2的狀態下層疊面板P2。

保持單元2具備：複數個保持機構20a、20b、複數個支撐構件24及25和移動機構26。保持機構20a被設置2個，將面板P1的搬運方向上游側的端部予以保持。保持機構20b被設置2個，將面板P1的搬運方向下游側的端部予以保持。

以俯視觀之，保持機構20a被配置在空氣浮起臺121、121的各槽121a上的位置。以俯視觀之，保持機構20b配置在從各空氣浮起臺121、121的X方向外側(面對導軌122的那一側的相反側)到槽部121b。

另外，各保持機構20a、20b的Y方向的位置及保持機構20b、20b的分離距離係對應到面板P1的尺寸做調整。

保持機構20a、20b分別具備：保持部21a、21b、支撐部22a、22b、和升降機構23a、23b。保持部21a、21b包含配置成抵接到面板P1的周緣部下表面之爪狀的部分。保持部21a在槽121a內自由進退，另外，保持部21b在槽部121b內自由進退。

支撐部22a、22b是分別對保持部21a、21b 進行支撐的構件。升降機構23a、23b作為其驅動源包含例如氣壓缸、電動缸、電磁螺線形管等致動器，是使支撐部22a、22b升降的機構。以使支撐部22a、22b升降的方式，保持部21a、21b也升降。保持部21a、21b位於相同高度，它們的升降動作同步地進行。

2個支撐構件24是對保持機構20a、20b進行支撐的樑構件，在1個支撐構件24上以懸掛的方式支撐2個保持機構20a或2個保持機構20b。

支撐構件24是相互在Y方向上分離地設置2個的樑構件。各支撐構件24沿X方向延伸設置。在其中一方的支撐構件24上以懸掛的方式支撐2個保持機構20a，而且由一對支撐構件25支撐。支撐構件25是以水平姿勢對支撐構件24進行支撐的柱構件。

剩下的一方的支撐構件24對2個保持機構20a進行支撐，由一對移動機構26支撐成可在Y方向上移動。移動機構26作為驅動源具備例如氣壓缸、電動缸、電磁螺線形管等致動器。另外，也可以構成2個支撐構件24雙方可以移動在Y方向上。

<推壓單元>

推壓單元4是對被配置於處理區域R2且在保持單元2的各保持部21上被水平保持並重疊的面板P1和面板P2施加其厚度方向(在這裡是Z方向)的推壓力的機構，被配置在處理區域R2中。另外，面板P1與面板P2 可相互接觸地重疊，也可稍分離地重疊。

推壓單元4具備：輥41、複數個支撐部42、複數個升降機構43、複數個滑塊44、和複數個導軌45。支撐部42、升降機構43、滑塊44、和導軌45被設置成2組，升降機構43被搭載於滑塊44，支撐部42被搭載於升降機構43。

輥41以橫跨2個空氣浮起臺121的方式沿X方向水平地延伸設置。輥41是其兩端部被支撐部42支撐成自由旋轉，可自由旋轉的自由輥。導軌45包挾著2個空氣浮起臺121分別配置於兩側，沿Y方向水平地延伸設置。滑塊44與導軌45卡合，可經由導軌45的引導在Y方向上移動。滑塊44由未圖示的驅動機構在Y方向上往復移動。以使2個滑塊44同步地移動的方式，可在Y方向上平行移動輥41。

升降機構43例如作為其驅動源包含氣壓缸、電動缸、電磁螺線形管等致動器，使支撐部42升降。以使2個支撐部42同步地升降移動的方式，可在Z方向上平行移動(升降)輥41。

<搬入臺及調整單元>

搬入臺5是在外部的裝置與製造裝置A之間進行面板P2的移交的單元。搬入臺5具備：空氣浮起臺51、和升降單元52。空氣浮起臺51是與空氣浮起臺121同樣的構成，具備形成了許多空氣孔的水平的上表面，以 從空氣孔噴出空氣的方式，可以以懸浮狀態支撐面板P2。根據面板P2的種類、大小，作為搬入臺5，也可以不是空氣浮起臺，而是使用通常的接觸式的放置臺。

升降單元52是與升降單元13同樣的構成，具備：複數個銷521、支撐構件522、和升降機構523。複數個銷521被支撐在支撐構件522上，向上方向延伸。各銷521被插入到設置於空氣浮起臺51的槽51a的上下方向的貫通孔中。複數個銷521是相等長度，它們的前端(上端)的高度為齊平面。

支撐構件522位於空氣浮起臺51的下方，銷521的下端被固定。升降機構523例如作為其驅動源包含氣壓缸、電動缸、電磁螺線形管等致動器，使支撐構件522升降。經由支撐構件522的升降，銷521也升降。銷521，在其前端比空氣浮起臺51的上表面更向上方突出的上升位置、與銷521的前端比空氣浮起臺51的上表面更位置在下方之下降位置之間升降。

在空氣浮起臺51的周圍配設調整單元53及54。調整單元53及54是在空氣浮起臺51上調整面板P2的姿勢來進行其定位的單元。

調整單元53調整Y方向上的面板P2的姿勢，調整單元54調整X方向上的面板P2的姿勢。調整單元53及54是與調整單元14或15同樣的構成，姿勢調整及定位的原理也相同。面板P2的姿勢調整的機構不限於調整單元53及54，例如可列舉出作為姿勢調整單 元或定位調整單元之被慣用的所有裝置、機構、單元。另外，面板P2的姿勢調整及定位也可由作業員使用導向治具手動進行。

<搬運機構>

搬運機構3是將被搬入到搬入臺5的面板P2向處理區域R2在X方向上搬運的單元。搬運機構3向被保持於保持單元2的面板P1的上方搬運面板P2，使其下降而使兩者重疊。搬運機構3具備：吸附單元31、旋轉單元32、可動單元33、導軌構件34、和複數個支柱35。

吸附單元31其下表面構成水平的吸附面。在此吸附面上形成空氣孔，介隔著吸附單元31內部的通路與未圖示的空氣吸引裝置連接。空氣吸引裝置例如是泵。以從空氣孔吸引空氣的方式，吸附單元31對面板P2的上表面做負壓吸引來進行吸附。吸附單元31被固定於旋轉單元32的下端。

旋轉單元32是由可動單元33升降的在Z方向並延伸的升降軸，並且，具備使吸附單元31繞Z軸旋轉的旋轉機構32a。旋轉機構32a例如是馬達和減速機，於其輸出軸固定吸附單元31的中心部。經由使吸附單元31旋轉的方式，可使被吸附於吸附單元31的面板P2旋轉，可對其姿勢進行補正。即，旋轉機構32a作為補正單元發揮作用。

可動單元33具備使旋轉單元32升降的升降 機構。升降機構例如可採用滾珠螺桿機構、皮帶傳動機構等。導軌構件34沿X方向水平地延伸設置，其兩端部由支柱35支撐。可動單元33藉由未圖示的驅動機構經由導軌構件34的引導可在X方向上往復移動。驅動機構例如可採用滾珠螺桿機構、皮帶傳動機構等。藉由可動單元33的X方向的移動和旋轉單元32的升降，吸附單元31可在X-Z平面上移動。

<位置檢測單元>

位置檢測單元7設置在搬入區域R1中，是對經由調整單元14及15進行了姿勢調整及定位的面板P1的位置進行檢測的單元。即使是經由調整單元14及15進行了姿勢調整及定位的面板P1，也因為其製造精度、面板個體差的原因，不為同一形狀及準確的方形，另外，因為調整單元14及15的定位精度的影響，並不是完全處於相同的姿勢及位置。這成為使面板P1與面板P2貼合時的位置偏移的主要原因。因此，藉由位置檢測單元7，對面板P1的更正確的姿勢及/或位置進行檢測。

在本實施方式的情況下，位置檢測單元7拍攝面板P1的圖像，檢測其姿勢及/或位置。作為位置檢測單元7，如果是可檢測面板P1的X方向及Y方向的位置者，則什麼樣的構成的檢測單元皆可。作為較佳的位置檢測單元7，可以是非接觸式、高速/高精度地檢測寬範圍的姿勢和/或位置者。

位置檢測單元7具備：攝影機71、滑塊72和導軌構件73。導軌構件73以橫跨過2列的空氣浮起臺121上的方式沿X方向水平地延伸設置。滑塊72與導軌構件73卡合，藉由未圖示的驅動機構經由導軌構件73的引導可在X方向上往復移動。驅動機構例如可採用線型馬達機構、滾珠螺桿機構、或皮帶傳動機構等。

攝影機71被支撐於滑塊72，攝影範圍被設定為向下。由此，可對空氣浮起臺121上的面板P1進行攝影。在本實施方式的情況下，攝影機71雖然拍攝面板P1的指定的部位，檢測其位置，但當然也可以構成為拍攝面板P1整體。

拍攝並檢測位置的部位在本實施方式的情況下是面板P1的外形的角部。因為面板P1是方形，所以，檢測4個角部的位置。另外，拍攝並檢測位置的部位不限於此。例如也可以如圖4(B)所示的那樣是遮光層LS的內緣角部。另外，也可事先在面板P1上附加對準標記，將此標記作為對象。

設置對滑塊72的移動位置進行檢測的感測器，或根據驅動機構的控制器的控制量，可從感測器的檢測結果或根據控制器的控制量的滑塊72的位置運算攝影機71的圖像中的物體的位置，作為結果，可運算面板P1的角部的位置。

其次，位置檢測單元8是與搬入臺5鄰接設置，是對被吸附於吸附單元31的面板P2的位置進行檢 測的單元。即使是經由調整單元53及54進行了姿勢調整及定位的面板P2，也因為其製造精度、面板個體差的原因，不是同一形狀及準確的方形，另外，因為調整單元53及54的定位精度的影響，並不是完全處於相同的姿勢及位置。這成為使面板P1與面板P2貼合時的位置偏移的主要原因。因此，藉由位置檢測單元8檢測面板P2的更正確的姿勢及/或位置。

在本實施方式的情況下，位置檢測單元8拍攝面板P2的圖像，檢測其姿勢及/或位置。作為位置檢測單元8，也可以是與位置檢測單元7同樣的構成的檢測單元。

位置檢測單元8具備：2個攝影機81、對2個攝影機81進行支撐的支撐構件82、和移動機構83。支撐構件82是沿Y方向延伸設置的構件，在其兩端部配置攝影機81。移動機構83例如是電動缸，在攝影位置與退避位置之間使支撐構件82在X方向上進退，且使得避免與吸附單元31干涉。

2個攝影機81分隔與面板P2的Y方向的寬度量大致相當的距離而被支撐，攝影範圍被設定為向上。由此，可從下方對被吸附於吸附單元31的面板P2進行拍攝。在本實施方式的情況下，攝影機81雖然拍攝面板P2的指定的部位，檢測其位置，但當然也可以夠成為拍攝面板P2整體。另外，也可沿支撐構件82的長度方向(Y方向)移動自如地設置至少攝影機81之其中一 方。由此，即使是攝影範圍窄的攝影機81，也可應對各種各樣的尺寸的面板P2。

拍攝並檢測位置的部位在本實施方式的情況下是面板P2的外形的角部。以用2個攝影機81同時拍攝2個部位的角部，使吸附單元31旋轉的方式，對剩下的2個部位的角部也可拍攝。因為攝影位置是固定的位置，所以，可根據攝影機81的圖像運算面板P2的角部的位置。

因為面板P2是方形，所以，檢測4個角部的位置。另外，拍攝並檢測位置的部位不限於此。例如，也可以是面板P2的電路配置區域(距外緣指定寬度的內側的區域)的角部。另外，也可事先在面板P2附加對準標記，將此標記作為對象。

<控制單元>

圖5是進行製造裝置A的控制的控制單元6的方塊圖。控制單元6包含：CPU等處理部61、RAM、ROM等記憶部62、和連接外部裝置與處理部61的介面部63。在介面部63中還包含進行與主電腦進行通訊的通訊介面。主電腦例如是對配置了製造裝置A的製造設備整體進行控制的電腦。

處理部61執行被記憶在記憶部62中的程式，根據各種感測器65的檢測結果、上位的電腦等的指示，控制各種致動器64。在各種感測器65中，例如包 含：檢測滑動單元123的位置的感測器、檢測支撐部42的位置的感測器、檢測吸附單元31的位置、旋轉角度的感測器、檢測滑塊72的位置的感測器、檢測支撐構件82的位置的感測器、攝影機71及81所具備的攝像感測器等各種感測器。在各種致動器93中，例如包含：空氣浮起臺121、51用的空氣裝置、吸附部1231用的空氣裝置、吸附單元21用的空氣裝置、各種機構的驅動源等。

<控制例>

參閱圖6(A)~圖16說明處理部61的控制例。在這裡，說明有關面板P1、P1向製造裝置A的搬入、相對於面板P1的搬運、面板P1與面板P2的貼合及疊層體LB的搬出的一連串的動作。

圖6(A)表示由外部的裝置即將把面板P1搬入到搬入區域R1之前的狀態。設置在搬入區域R1中的2臺升降單元13的各個銷131處於上升位置。吸附部1231在搬入區域R1的上游端的位置(稱為初期位置)處於退避位置。調整單元14的抵接部141處於退避位置。雖然未圖示，但調整單元15也相同。從空氣浮起臺121的空氣孔12噴出空氣。

圖6(B)表示由外部的裝置已將面板P1搬入到搬入區域R1中的狀態。面板P1以形成遮光層LS的表面作為上表面，以水平姿勢載置在複數個銷131上。在面板P1的上表面事先塗布接著劑RG(參閱圖9 (A)、(B))。

其後，如圖6(C)所示的那樣設置於搬入區域R1的2臺升降單元13使各個銷131下降到下降位置。由此，面板P1被從複數個銷131移載到空氣浮起臺121上。此時，面板P1並不與空氣浮起臺121的上表面緊接，而是以從上表面稍微浮起的懸浮狀態被支撐。

接下來，進行面板P1的姿勢調整及定位。如圖7(A)所示，各調整單元14被驅動，抵接部141移動到定位位置。定位位置的抵接部141之間的X方向的分離距離與面板P1的X方向的寬度大致相等。因此，在面板P1的姿勢亂掉的情況下，抵接部141與面板P1的側緣抵接，姿勢及位置被調整。由此，面板P1的四邊中的位於X方向兩側的一對的邊分別往導軌122側對中心而定位，與Y方向平行或大體平行地進行姿勢調整。

並行地進行面板P1相對於滑動單元123的Y方向的姿勢及位置的調整。經由驅動部152的驅動，調整單元15的抵接部151分別向姿勢及位置調整位置移動。此時，兩調整單元15各自的姿勢及位置被進行調整，以便Y方向的位置成為相同位置，並且相對於X方向平行。在面板P1的移動中使用2個滑動單元123中的其中一方。如圖7(B)所示，吸附部1231由升降機構1234上升到吸附位置。

如圖8(A)所示，使滑動單元123在Y方 向上移動與面板P1的尺寸對應地設定的距離並停止。此時，吸附部1231的抵接部1232與面板P1的搬運方向上游側端緣(搬運方向後端緣)抵接，朝搬運方向下游側推壓面板P1。之後，面板P1的搬運方向下游側端緣與兩抵接部151抵接，滑動單元123的移動停止。滑動單元123停止時的抵接部1232與抵接部151的Y方向的分離距離與面板P1的Y方向的寬度大致相等。由此，面板P1的搬運方向的兩側的端緣(搬運方向的前端緣及後端緣)中的至少搬運方向前端緣被定位於兩抵接部151的位置，與X方向平行地被進行姿勢調整。

經由以上的動作，完成面板P1的姿勢調整及定位。在此階段進行來自吸附部1231的吸附孔1231a的空氣的吸引，使面板P1吸附保持於吸附部1231。如圖8(B)所示，將調整單元14及15的各抵接部141、151返回到退避位置。在將抵接部151返回到退避位置之前，以使滑動單元123稍向上游側返回的方式，可防止抵接部151與面板P1的前端緣(搬運方向下游側的端緣)摩擦。

接著，利用位置檢測單元7檢測面板P1的位置。如圖9(A)所示，向X方向移動滑塊71，在被推測為面板P1的角部的上方的2個部位的位置停止滑塊71的移動，用攝影機71進行攝影。由此，面板P1的前側(在搬運方向上是下游側)的2個部位的角部被拍攝。

接著，如圖9(B)所示使滑動單元123移動面板P1的Y方向的寬度量，將面板P1送出Y方向的寬度量。使滑塊71向與圖9(A)的情況相反的方向移動，在被推測為面板P1的角部的上方的2個部位停止滑塊71的移動，由攝影機71進行拍攝。由此，面板P1的後側(在搬運方向上是上游側)的2個部位的角部被拍攝。這樣一來，4個部位的角部被拍攝。根據攝影圖像檢測4個部位的角部的位置。如後述，根據此檢測結果控制臺P1的Y方向的搬運量，讓面板P1與面板P2的貼合位置一致。

與對面板P1進行的前述處理並行，由外部的裝置將面板P2搬入到搬入臺5。升降單元52處在各銷521處於上升位置的狀態，空氣從空氣浮起臺51的空氣孔噴出。接著，如在圖10(A)中表示圖1的箭頭11A方向箭頭方向視圖，面板P2被搬入到空氣浮起臺51上。以使與面板P1貼合的面朝下的水平姿勢，將面板P2載置在複數個銷521上。經由以此姿勢搬入、搬運面板P2，面板P1以與面板P2貼合的面朝上的姿勢搬入、搬運的方式，不需要當使兩者貼合時用於改變面板P1、面板P2的上下表面的姿勢的“換手”。

如圖10(B)所示，由升降單元52使各銷521下降到下降位置。由此，面板P2從複數個銷521移載到空氣浮起臺51上。此時，面板P2不與空氣浮起臺51的上表面緊接，而是以從稍微浮起的懸浮狀態被支 撐。

接著，進行面板P2的姿勢調整及定位。如圖10(B)及圖10(C)所示，各調整單元53、54的驅動部532、542被驅動，抵接部531、541向定位位置移動。定位位置的抵接部531之間的Y方向的分離距離與面板P2的Y方向的寬度大致相等。另外，定位位置的抵接部541之間的X方向的分離距離與面板P2的X方向的寬度大致相等。因此，在面板P2的姿勢亂掉的情況下，抵接部531、541與面板P2的側緣抵接，姿勢及位置被調整。面板P1向保持單元2移動。

經由以上的動作，完成面板P2的姿勢調整及定位。之後，如圖10(D)所示，驅動部532、542將調整單元53、54的各抵接部531、541返回到退避位置，並且，升降單元52使各銷521上升到上升位置，面板P2被抬起。

另外，也可在面板P2的姿勢調整及定位的前後，使各銷521下降到下降位置，在將面板P2載置於臺521上的狀態下，進行面板P2的檢查等處理。

接著，如圖11(A)所示的那樣將吸附單元31移動到搬入臺5上，使其下降到面板P2上，吸附面板P2。面板P2的與貼合於面板P1的那一側的面(在這裡是下表面)相反側的面(在這裡是上表面)被吸附。如圖11(B)所示，使吸附單元31從搬入臺5上升，經由位置檢測單元8檢測面板P2的位置。如圖11(B)所 示，經由移動機構83將支撐構件82移動到攝影位置，2個攝影機81如圖12(A)所示般處於面板P2的2個角部的大致正下方。以用2個攝影機81進行拍攝的方式，面板P2的X方向的一方側(在圖12(A)中是上側)的2個部位的角部被拍攝。

接著，轉移到面板P2的X方向的另一方側的2個部位的角部的攝影。驅動旋轉機構32a，如圖12(B)及圖12(C)所示使吸附單元31旋轉180度。旋轉完成後，以用2個攝影機81進行拍攝的方式，面板P2的相反側(在圖12(C)中位於上側，在圖12(A)中位於下側)的剩下的2個部位的角部被拍攝。這樣一來，4個部位的角部被拍攝。根據攝影圖像檢測4個部位的角部的位置。如後述，根據此檢測結果對面板P2的X方向的搬運量進行控制，讓面板P1與面板P2的貼合位置一致。

與面板P2的搬入並行，將面板P1搬運到處理區域R2，由保持單元2保持。如圖13(A)所示，保持機構20b的保持部21b處於槽部121b內的空氣浮起臺121的上表面的下側的待機位置，面板P1被搬運到其上。保持機構20a的保持部21a在比面板P1高的位置而且與面板P1相比在搬運方向的上游側待機。

如圖13(B)所示，使保持機構20a的保持部21a下降到槽121a內。接著，驅動移動機構26(參閱圖1)，移動對保持機構20a進行支撐的支撐構件 24，如圖14(A)所示，使保持部21a進入到面板P1的下側。

當面板P1移動到各保持部21a、21b上的位置的話，在滑動單元123的吸附部1231的面板P1的吸附被解除，如圖14(A)所示，滑動單元123稍向上游側的位置退避。

如圖14(B)所示，各升降機構23a、23b同步地被驅動，使各保持部21a、21b同步地上升。由此，面板P1被移載到保持部21a、21b。各保持部21a、21b從下對面板P1進行支撐，上升到比輥41高的保持位置。

接著，經由搬運機構3將面板P2搬運到保持於保持單元2的面板P1的上方，使兩者重疊。如在圖15中用二點鏈線及箭頭A131、A132所示，使吸附單元31水平移動，移動到面板P1上，使吸附單元31下降，將面板P2重疊在面板P1上。此時，面板P1和面板P2處於稍接觸或稍分離的狀態，面板P2保持這樣的狀態地被支撐在吸附單元31上。

接著，在使面板P1與面板P2重疊後的面板上施加厚度方向的推壓力。另外，如圖16(A)所示，使輥41向面板P1的下方移動。輥41避開保持部21b的正下方，避免以後與保持部21b干涉，而且，移動到與面板P1的搬運方向前端緣相比稍靠搬運方向上游側的位置。

接著，如圖16(B)所示，由升降機構43使輥41上升，與面板P1的下表面抵接並被向上方(面板P2那一側)推壓。推壓的反作用力介隔著吸附單元31由搬運機構3承受。面板P1、P2成為由輥41和吸附單元31夾持的狀態。在此狀態下，如圖16(C)所示，使輥41在Y方向上移動，在與保持部21a不干涉的範圍移動到與面板P1的搬運方向後端緣相比稍靠搬運方向下游側的位置。由於輥41是自由輥，所以，一邊滾動一邊從搬運方向下游側到上游側推壓面板P1的下表面。由此，在整個面的範圍內，面板P1與面板P2被壓接而貼合，得到疊層體LB。在此狀態下，疊層體LB被實際上支撐於吸附單元31。

接著，使疊層體LB從吸附單元31向滑動單元123移載。首先，如圖17(A)所示經由升降機構43使輥41下降。如圖17(B)所示，使輥41在Y方向上向原來的位置移動。另外，使滑動單元123向疊層體LB的下方移動。如圖17(C)所示，使保持單元2的各保持部21下降到待機位置，使吸附單元31下降，使疊層體LB處在空氣浮起臺121上。以重新進行在滑動單元123的吸附部1231上的吸附，解除吸附單元31的吸附的方式，疊層體LB被從保持單元31移載到滑動單元123上。

接著，轉移到將疊層體LB搬出的製程。如圖18所示，移動滑動單元123，將疊層體LB移動到搬 出區域R3的升降單元13上。吸附單元31為了進行接下來的處理，上升後向X方向移動。當疊層體LB到達搬出區域R3的升降單元13上的話，使各個銷131上升，在與疊層體LB的下表面抵接後，解除由滑動單元123的吸附部1231對疊層體LB的吸附。由此，疊層體LB從空氣浮起臺121移載到銷131上，成為可向供給目的地的裝置移交的狀態。

這樣，在本實施方式的製造裝置A中，可連續地以良好精度進行從兩面板(面板P1和面板P2)的搬運到兩面板彼此的重疊，可提高疊層體LB的製造效率。

接下來，參閱圖19(A)~圖20(B)，說明有關面板P1、面板P2的搬運量的控制。面板P1和面板P2最好相互位置不偏移地以指定的位置關係貼合。在此，根據由位置檢測單元7得到的面板P1的位置檢測結果、和由位置檢測單元8得到的面板P2的位置檢測結果，對面板P1、P2的各搬運量進行控制，以便面板P1、面板P2處於使面板P1、面板P2貼合的位置。在這裡，對各搬運量進行控制，以便面板P1、面板P2的X-Y平面上的各中心位置一致。作為中心位置，可列舉出面板的對角線彼此的交點、將面板的其中一方的相向的邊的中點彼此連結的線與將另一方的相向的邊的中點彼此連結的線的交點等。

圖19(A)是搬運量控制的說明圖。假設處 理區域R2中的疊層體LB的中心位置為座標RP(X，Y)。座標RP1(X，Y1)是由調整單元14及15進行了姿勢調整及定位的面板P1的中心點的理想的座標。在面板P1的中心點處於座標RP1的情況下，當在Y方向上將面板P1搬運僅基準距離LY(=Y-Y1)的量時，面板P1在處理區域R2中其中心位於座標RP。

同樣，座標RP2(X1，Y)是由調整單元53及54進行了姿勢調整及定位的面板P2的中心點的理想的座標。在面板P2的中心點處於座標RP2的情況下，當在X方向上將面板P1搬運僅基準距離LX(=X-X1)的量時，面板P2在處理區域R2中其中心位於座標RP。

於是，在面板P1、P2的實際的中心點從座標RP1、RP2偏移的情況下，面板P1的Y方向的搬運量只要加減Y方向的偏移量即可，另外，面板P2的X方向的搬運量只要加減X方向的偏移量即可。

為了進行這樣的搬運量的控制，需要X方向、Y方向的座標設定。圖19(B)表示其一例。在這裡，使用與面板P1相當的治具G1和與面板P2相當的治具G2。治具G1和治具G2在相互的貼合位置怡好一致的狀態下被配置在處理區域R2中，將此設為原位置。

然後，由搬運機構3將治具G2反搬運例如基準距離LX的量，由位置檢測單元8檢測其位置。同樣，由搬運機構12將治具G1反搬運例如距離LY的量，由位置檢測單元7檢測其位置。根據位置檢測單元 7及8的位置檢測結果，可進行X方向、Y方向的座標設定。

作為利用於控制的資訊，例如將原位置的治具G1和治具G2的中心座標設為原點。然後，從由位置檢測單元7得到的反搬運後的治具G1的4個角部的座標，運算治具G1的中心點的座標，設為面板P1的基準中心點。另外，從由位置檢測單元8得到的反搬運後的治具G2的4個角部的座標，運算治具G2的中心點的座標，設為面板P2的基準中心點。

或者，也可將由位置檢測單元7得到的反搬運後的治具G1的4個角部的座標分別設為角部的基準座標，將由位置檢測單元8得到的反搬運後的治具G2的4個角部的座標分別設為角部的基準座標。

圖20(A)表示搬運量控制的一例。根據位置檢測單元7及8的位置檢測結果，算出面板P1的中心點的座標為PC1(x1，y1)，面板P2的中心點的座標為PC2(x2，y2)。在處理區域R2中，如果以面板P1、P2的搬運後的中心點成為座標RC(x1，y2)的方式進行搬運，則可使面板P1、P2相互沒有位置偏移地貼合。

因此，可將面板P1的搬運量Ly設定為Ly=y2-y1，或Ly=LY+(Y1-y1)-(Y-y2)。另外，可將面板P2的搬運量Lx設定為Lx=x2-x1，或Lx=LX+(X-x1)-(X1-x2)。

面板P1的位置檢測時機和面板P2的位置檢 測時機未必一致。在面板P1的位置檢測時機比面板P2的位置檢測時機早的情況下，也可將面板P1的搬運量設定為基準距離LY，在面板P2的位置檢測完成後對搬運量進行增減。另外，如果在面板P2的位置檢測前面板P1已經完成基準距離LY的搬運，則也可使面板P1停止，在面板P2的位置檢測完成後，向上游側或下游側再將面板P1搬運必要量。

也可設想面板P1或面板P2的任意一方的姿勢不適當的情況。例如，也可如圖20(B)所示般設想面板P2如用二點鏈線圖示般為相對於X方向大致平行的姿勢(假設傾斜微小角度θ2(圖示省略≠0度)的量)、面板P1相對於X方向傾斜角度θ的情況。或者，也有時面板P1的外形不是嚴格的方形，而是成為平行四邊形狀、梯形。在此情況下，也可僅使至少面板P1及面板P2的各對應的一邊(例如面板P1的搬運方向下游側的邊SD1及面板P2的與面板P1的邊SD1重疊的對應的邊SD2)彼此一致。

首先，面板P1、P2的姿勢或各邊的朝向，可根據由位置檢測單元7、8得到的角部的檢測結果來檢測。並且，在本實施方式的情況下，以藉由旋轉單元32使吸附單元31旋轉的方式，可補正面板P2的姿勢。

因此，例如圖20(B)所示般為了相對於傾斜了角度θ的量的面板P1，在貼合位置使面板P2重疊而使面板P2旋轉所需要的補正角度θ'(=θ-θ2)的量， 從而，也可使面板P1、P2的姿勢或朝向一致。此時，面板P2的中心點的座標PC2(x2，y2)被置換成使面板P2旋轉角度θ'的量後的中心點的座標PC2'(x2'，y2')後，分別設定面板P1的搬運量Ly、面板P2的搬運量Lx。座標PC2'，可從座標PC2、旋轉角、和旋轉單元32的旋轉中心的座標(在設計上是已知的座標)來運算。

另外，雖然在本實施方式中使得面板P2可旋轉，但也可構成讓面板P1可旋轉。或者，也可讓面板P1、面板P2雙方可旋轉。

如以上般，在本實施方式中，藉由面板P1的Y方向的搬運量和面板P2的X方向的搬運量的控制，可使面板P1與面板P2的相互的貼合位置一致，不需要用於使貼合位置一致的專用的裝置。因此，可由更簡易的構成實現從面板的搬運到面板之間的對位。

另外，在本實施方式中，雖然以面板P1及面板P2的角部、或中心點為基準，但基準的採用方法不限於此，也可為一部分的邊，也可將對準標記等作為基準。

另外，在本實施方式中，作為面板P1和面板P2雖然例示了蓋板及圖像顯示面板，但本發明也可應用在這以外的面板中。面板P1和面板P2的形狀也不限於方形，可應對各種的形狀。作為樹脂RG的段差的原因雖然例示了由遮光層LS的存在所導致的段差，但本發明也可應用到以除此以外的段差為主要原因的樹脂RG 的段差的抑制。

在本實施方式中，作為面板P1的搬運機構12，雖然做成了組合空氣浮起臺121和滑動單元123的構成，但不限於此，也可採用皮帶輸送機、輥式輸送機等各種移動機構。

在本實施方式中，做成了搬運機構3藉由吸附單元31對面板P2進行吸附保持的構成，但不限於此，也可採用夾持機構等機械式保持機構等其它保持機構。

在本實施方式中，當進行疊層體LB的推壓時，雖然採用了輥41，但也可採用除此以外的推壓機構。另外，當進行疊層體LB的推壓時，雖然做成了在Y方向上使輥41移動的構成，但也可做成在Y方向上移動疊層體LB的構成。並且，雖然做成使輥41與面板P1下表面抵接的構成，但也可做成與此相反地從下側支撐疊層體LB、從面板P2的上表面側向面板P1那一側推壓的構成。

在本實施方式中，作為由保持單元2所形成的面板P1的保持機構，雖然採用了將面板P1載置在保持部21a、21b上的構成，但吸附保持、夾持機構等機械式保持機構等其它的保持機構也可採用。

<第2實施方式>

當由輥41向面板P2那一側推壓面板P1時，最好以 極力地避免氣泡混入的方式對面板P1進行推壓。因此，也可傾斜地保持面板P1，隨著輥41的移動而成為水平姿勢。圖21(A)~(D)表示其一例。

首先，如圖21(A)所示，以在搬運方向上處於上游側的端部E2與在搬運方向上處於下游側的端部E1相比從面板P2離開那樣傾斜地保持面板P1。換言之，以靠近由輥41所進行的推壓的開始位置的一方的端部E1與面板P2接近、靠近推壓結束位置的一方的端部E2從面板P2離開的方式保持面板P1。在該圖的例中，以改變保持部21、21的高度的方式，在端部E1、E2之間產生高低差h。

接下來，如圖21(B)所示，開始由輥41進行的推壓。與輥41的移動一致地，使端部E2那一側的保持部21上升(圖21(C))，當輥41到達了推壓結束位置時，如圖21(D)所示的那樣，面板P1成為水平姿勢。面板P1與面板P2之間的空氣藉由輥41的推壓和移動，容易被從端部E2那一側擠出而排走，可減少氣泡的混入。

當經由圖21(A)~(D)的方法防止氣泡的混入時，根據面板P1的強度、柔軟性，在輥41剛開始推壓後，面板P1的端部E2那一側可能與面板P2接觸而緊貼在一起。在此情況下，空氣變得難以被擠出。因此，對面板P1中的由輥41進行推壓之前的部分與面板P2的接觸進行限制者為佳。圖22(A)~(E)是表 示其一例的圖。

在該圖的例中，採用替代保持機構20a、20b的保持機構200a、200b，在保持機構200a、200b中設置進行前述的限制的構成。

參閱圖22(A)，保持機構200a具備：保持部201a、限制部202a、支撐部203a、和升降機構204a。雖然未圖示，升降機構204a例如以與前述的支撐構件24及移動機構26同樣的構成可向Y方向移動，因此，保持部201a和限制部202a可在Y方向上移動。

保持機構200b具備：保持部201b、限制部202b、支撐部203b、和升降機構204b。雖然未圖示，升降機構204b也例如以與前述支撐構件24及移動機構26同樣的構成可在Y方向上移動，因此，保持部201b和限制部202b可在Y方向上移動。

保持部201a、201b是以與面板P1的周緣部下表面抵接的方式配置的爪狀構件。限制部202a、202b從保持部201在Z方向上分離地配置，是對保持部201a、201b上的面板P1向上方的移動進行限制的爪狀的構件。支撐部203a、203b是對保持部201a、201b和限制部202a、202b進行支撐的構件。升降機構204a、204b具備使支撐部203a、203b進行升降的機構。

如圖22(A)所示，保持部201a、201b在面板P1的保持前退避到比面板P1高的位置。在對面板P1進行保持的情況下，如圖22(B)所示，由升降機構 204a、204b使保持部201a、201b及限制部202a、202b下降，而且，使升降機構204a、204b在Y方向上移動，以便將面板P1插入到保持部201a、201b與限制部202a、202b之間。

接著，藉由升降機構204a、204b使保持部201a、201b及限制部202a、202b上升，由保持部201a、201b保持面板P1。此時，如圖22(C)所示，以使端部E1那一側上升到比端部E2那一側高的位置的方式，面板P1的姿勢成為與前述圖21(A)同樣的姿勢。

接著，如圖22(D)所示，開始由輥41進行推壓。經由用輥41推壓端部E1那一側的方式，雖然存在端部E2那一側也與面板P2接觸的可能性，但限制部202與端部E2抵接，對端部E2與面板P2的接近進行限制。其後，與圖21(A)~(D)的例同樣地與輥41的移動一致地，使端部E2那一側的保持部201a、201b上升(圖22(E))，當輥41到達推壓結束位置時，面板P1成為水平姿勢。

這樣，可防止面板P1中的輥41推壓之前的部分黏在面板P2上。其結果，面板P1與面板P2之間的空氣變得容易藉由輥41的推壓和移動從端部E2那一側擠出而排走，可更確實地減少氣泡的混入。

另外，在本實施方式中，雖然在端部E1那一側的保持機構200中也設置限制部202，但也可將其省略。

<第3實施方式>

也可設置在面板P1上塗布接著劑RG的塗布單元或促進其硬化的裝置中至少任意一個。圖23表示其一例。

該圖的製造裝置B設置有塗布單元1和硬化促進裝置UV1。在塗布單元1的上游側設置升降單元13和調整單元14及15，在下游側設置調整單元14及15和位置檢測單元7。在本實施方式的情況下，在塗布接著劑RG之前，以其上游側的調整單元14及15進行面板P1的定位，塗布後，也以其下游側的調整單元14及15進行面板P1的定位。然後，用位置檢測單元7進行面板P1的位置檢測，控制面板P1的搬運量，以便與面板P2的貼合位置一致。

塗布單元1是在面板P1的表面作為接著劑RG塗布液狀的光硬化性樹脂的單元，具備塗布頭10和移動機構11。

塗布頭10配置在空氣浮起臺121的上方，具備與空氣浮起臺121的上表面相向地配置的噴嘴101。噴嘴101可噴出液狀的、具有光透射性的光硬化性樹脂。

噴嘴101是沿X方向延伸的狹縫狀的噴嘴，光硬化性樹脂被以向X方向擴展的幕狀朝下方連續地噴出。以用搬運機構12搬運面板P1，並且噴出光硬化性樹脂的方式，可在面板P1的表面形成光硬化性樹脂的液 膜。

移動機構11分別設置在塗布頭10的X方向的兩端部，以水平姿勢支撐塗布頭10。各移動機構11具備未圖示的驅動機構，相互同步地被控制，在Z方向上移動塗布頭10。換言之，移動機構11在將塗布頭10保持成水平姿勢的狀態下升降。塗布頭10不能向Y方向及X方向移動。驅動機構例如可採用滾珠螺桿機構、皮帶傳動機構等。

硬化促進裝置UV1與保持單元2相比被配置在Y方向的下游側，在形成疊層體LB後，促進光硬化性樹脂的硬化。硬化促進裝置UV1沿X方向延伸設置，其兩端部由支柱CL支撐，被水平地配置於空氣浮起臺121的上表面的上方的位置。

硬化促進裝置UV1具備沿X方向延伸設置的光源LTS。光源LTS照射紫外線。當疊層體LB在硬化促進裝置UV1的下方移動時，以實施由光源LTS向疊層體LB照射紫外線的製程的方式，促進光硬化性樹脂的硬化，可使面板P1與面板P2的接著為牢固的接著。

<第4實施方式>

也可設置促進面板P1的光硬化性樹脂的硬化的構成。圖24是本實施方式的製造裝置C的俯視圖。製造裝置C是在製造裝置B中追加了硬化促進裝置UV2和光閘裝置9的裝置，其它構成與製造裝置B相同。另外，在 製造裝置C中，也可採用沒有設置硬化促進裝置UV1的構成。

硬化促進裝置UV2與塗布頭10相比被配置於Y方向的下游側，與位置檢測單元7、保持單元2等相比被配置於上游側。即，與面板P1與面板P2的貼合位置相比位於上游側。

硬化促進裝置UV2的構成與硬化促進裝置UV1相同。即，硬化促進裝置UV2沿X方向延伸設置，其兩端部由支柱CL支撐，被水平地配置於空氣浮起臺121的上表面的上方的位置。硬化促進裝置UV2具備沿X方向延伸設置的光源LTS。光源LTS照射紫外線。當面板P1在硬化促進裝置UV2的下方移動時，以實施由光源LTS向面板P1照射紫外線的製程的方式，可使光硬化性樹脂半硬化。由此，當貼合面板P1和面板P2時，可防止氣泡的混入，防止兩者的位置偏移，使疊層體LB的處理容易化。

光閘裝置9被配置在塗布頭10與硬化促進裝置UV2之間。光閘裝置9沿X方向延伸設置，其兩端部由支柱92支撐，被水平地配置於空氣浮起臺121的上表面的上方的位置。光閘裝置9具備可對塗布頭10與硬化促進裝置UV2間進行遮光的可動的光閘91。

當面板P1通過光閘裝置9的下方時，光閘裝置9使光閘91下降，對塗布頭10與硬化促進裝置UV2之間進行遮光。其後，硬化促進裝置UV2被驅動， 照射紫外線。因為光閘91的存在，塗布頭10被遮蔽紫外線，可對附著於噴嘴101的光硬化性樹脂的固化進行抑制。當面板P1通過硬化促進裝置UV2，光源91的驅動被停止時，光閘91上升。

P1、P2‧‧‧面板

Lx、Ly‧‧‧搬運量

R2‧‧‧處理區域

SD2‧‧‧邊

Claims (19)

1. 一種疊層體的製造方法，係貼合第一面板和第二面板來製造疊層體；其特徵為：具備：位置檢測製程，係分別在第一檢測位置檢測前述第一面板的位置，在第二檢測位置檢測前述第二面板的位置；第一搬運製程，係從前述第一檢測位置，朝向使前述第一面板和前述第二面板重疊並貼合的作業區域，在第一方向上，搬運前述第一面板；以及第二搬運製程，係從前述第二檢測位置，朝向前述作業區域，在與前述第一方向正交之第二方向上，搬運前述第二面板；在前述第一搬運製程中，根據由前述位置檢測製程所得到的前述第一面板的位置檢測結果和前述第二面板的位置檢測結果，控制前述第一面板的前述第一方向的搬運量，以便讓前述第一方向上的前述第一面板與前述第二面板的貼合位置一致；在前述第二搬運製程中，根據由前述位置檢測製程所得到的前述第二面板的前述位置檢測結果和前述第一面板的前述位置檢測結果，控制前述第二面板的前述第二方向的搬運量，以便讓前述第二方向上的前述第一面板與前述第二面板的貼合位置一致。
2. 如請求項1之疊層體的製造方法，其中， 在前述位置檢測製程中，算出表示前述第一面板的中心點之第一座標、與表示前述第二面板的中心點之第二座標；前述第一座標及前述第二座標，乃是把前述第一方向及前述第二方向作為座標軸之座標；在前述第一搬運製程中，根據前述第一座標之前述第一方向的座標、與前述第二座標之前述第一方向的座標，控制前述第一面板之前述第一方向的搬運量；在前述第二搬運製程中，根據前述第一座標之前述第二方向的座標、與前述第二座標之前述第二方向的座標，控制前述第二面板之前述第二方向的搬運量。
3. 如請求項2之疊層體的製造方法，其中，還具備對前述第一面板、或前述第二面板中至少任意一方的姿勢進行補正的補正製程；在前述補正製程中，根據前述第一面板及前述第二面板的前述位置檢測結果，使應補正姿勢的面板繞與前述第一方向及前述第二方向雙方正交的第三方向的軸旋轉，而且，補正表示補正過姿勢的面板的中心點之座標。
4. 如請求項1之疊層體的製造方法，其中，還具備：至少在前述第二方向上定位前述第一面板的第一定位製程；以及至少在前述第一方向上定位前述第二面板的第二定位製程， 在前述第一搬運製程中，朝前述作業區域搬運以前述第一定位製程定位了的前述第一面板；在前述第二搬運製程中，朝前述作業區域搬運以前述第二定位製程定位了的前述第二面板；在前述位置檢測製程中，分別檢測由前述第一定位製程進行定位後的前述第一面板的位置及由前述第二定位製程進行定位後的前述第二面板的位置。
5. 如請求項1之疊層體的製造方法，其中，還具備在前述作業區域中對前述第一面板和前述第二面板的疊層體施加厚度方向的推壓力的推壓製程。
6. 如請求項5之疊層體的製造方法，其中，在前述推壓製程中，將輥與前述第一面板或前述第二面板的一方抵接，並使前述疊層體或前述輥的一方移動那般，在厚度方向上推壓前述疊層體。
7. 如請求項1之疊層體的製造方法，其中，在前述第二搬運製程中，吸附前述第二面板的與貼合於前述第一面板的一側的面相反側的面，來搬運前述第二面板。
8. 如請求項5之疊層體的製造方法，其中，在前述作業區域中，還具備保持被搬運到了前述作業區域的前述第一面板使其上升的保持製程；在前述第二搬運製程中，將前述第二面板搬運到以前述保持製程保持的前述第一面板上； 在前述推壓製程中，將由前述保持製程保持的前述第一面板向前述第二面板推壓。
9. 如請求項8之疊層體的製造方法，其中，在前述推壓製程中，從前述第一面板的其中一方端部側一邊用輥將以前述保持製程保持的前述第一面板向前述第二面板推壓，一邊使前述輥向前述第一面板的另一方端部側移動；在前述保持製程中，前述第一面板的前述另一方端部側保持成與前述其中一方端部側相比從前述第二面板離開，使前述另一方端部側上升，使得隨著前述輥接近前述第一面板的前述另一方端部側，前述第一面板的前述另一方端部側接近前述第二面板。
10. 如請求項9之疊層體的製造方法，其中，前述推壓製程中，在使前述輥從前述第一面板的前述其中一方端部側朝前述另一方端部側移動之際，對前述第一面板中靠近由前述輥所致之推壓結束位置的前述另一方端部側接近到前述第二面板的情況，予以限制。
11. 一種疊層體的製造裝置，係貼合第一面板和第二面板來製造疊層體；其特徵為，具備：第一位置檢測單元，係在第一檢測位置，檢測前述第一面板的位置；第二位置檢測單元，係在第二檢測位置，檢測前述第二面板的位置； 第一搬運機構，係朝向使前述第一面板和前述第二面板重疊並貼合的作業區域，從前述第一檢測位置，在第一方向上，搬運前述第一面板；第二搬運機構，係朝向前述作業區域，從前述第二檢測位置，在與前述第一方向正交之第二方向上，搬運前述第二面板；以及控制單元，係控制前述第一面板及前述第二面板的搬運量，來控制前述第一搬運機構及前述第二搬運機構；前述控制單元，根據前述第一面板的位置檢測結果和前述第二面板的位置檢測結果，控制前述第一面板的前述第一方向的搬運量，以便讓前述第一方向上的前述第一面板與前述第二面板的貼合位置一致，並且，根據前述第二面板的前述位置檢測結果和前述第一面板的前述位置檢測結果，控制前述第二面板的前述第二方向的搬運量，以便讓前述第二方向上的前述第一面板與前述第二面板的貼合位置一致。
12. 如請求項11之疊層體的製造裝置，其中，前述控制單元，係根據前述第一面板的位置檢測結果算出表示前述第一面板的中心點之第一座標，而且，根據前述第二面板的位置檢測結果算出表示前述第二面板的中心點之第二座標； 前述第一座標及前述第二座標，乃是把前述第一方向及前述第二方向作為座標軸之座標；前述控制單元，係根據前述第一座標之前述第一方向的座標、與前述第二座標之前述第一方向的座標，控制前述第一面板之前述第一方向的搬運量，而且，根據前述第一座標之前述第二方向的座標、與前述第二座標之前述第二方向的座標，控制前述第二面板之前述第二方向的搬運量。
13. 如請求項12之疊層體的製造裝置，其中，還具備旋轉單元，係使前述第一面板或前述第二面板中至少任意一方者旋轉，並補正其姿勢；前述控制單元，係根據前述第一面板及前述第二面板的前述位置檢測結果控制前述旋轉單元，使應補正姿勢的面板繞與前述第一方向及前述第二方向雙方正交的第三方向的軸旋轉，而且，補正表示補正過姿勢的面板的中心點之座標。
14. 如請求項11之疊層體的製造裝置，其中，還具備在前述作業區域中對前述第一面板和前述第二面板的疊層體施加厚度方向的推壓力的推壓單元。
15. 如請求項14之疊層體的製造裝置，其中，前述推壓單元，具備與前述第一面板或前述第二面板的一方抵接的輥，使前述疊層體或前述輥的一方移動那般，在厚度方向上推壓前述疊層體。
16. 如請求項11之疊層體的製造裝置，其中，前述第二搬運機構，係吸附前述第二面板的與貼合於前述第一面板的一側的面相反側的面，搬運前述第二面板。
17. 如請求項14之疊層體的製造裝置，其中，在前述作業區域中，還具備保持被搬運到了前述作業區域的前述第一面板使其上升的保持單元；前述第二搬運機構，係將前述第二面板搬運到以前述保持單元保持的前述第一面板上；前述推壓單元，係將由前述保持單元保持的前述第一面板向前述第二面板推壓。
18. 如請求項17之疊層體的製造裝置，其中，前述推壓單元，係從前述第一面板的其中一方端部側一邊用輥將以前述保持單元保持的前述第一面板向前述第二面板推壓，一邊使前述輥向前述第一面板的另一方端部側移動；前述保持單元，係前述第一面板的前述另一方端部側保持成與前述其中一方端部側相比從前述第二面板離開，使前述另一方端部側上升，使得隨著前述輥接近前述第一面板的前述另一方端部側，前述第一面板的前述另一方端部側接近前述第二面板。
19. 如請求項18之疊層體的製造裝置，其中，前述保持單元，包含對前述第一面板中的由前述輥 所進行的推壓前的部分與前述第二面板接觸進行限制的限制部。