CN103003070B - 工件的精密粘合装置以及工件的精密粘合方法 - Google Patents

工件的精密粘合装置以及工件的精密粘合方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种能够将工件彼此以精密地定位了的状态粘合，而且，即使在工件在粘合途中蜿蜒的情况下，也能够将工件彼此精密地粘合的精密粘合装置。本发明中，具备下吸盘（7）和上吸盘（8）。在各工件（W1·W2）设置位置精度高的定位显示（5R·P1）。在下吸盘（7）设置吸附第一工件（W1）的工件支撑台（10）、终端支撑台（18）、粘合辊（11）、第一校准装置（12）。在上吸盘（8）设置吸附第二工件（W2）的吸附台（44）、第二校准装置（45）。由CCD照相机（C6·C7）获取定位显示（5R·P1）的图像，检测错位，由第二校准装置（45）调整吸附台（44）的位置，将两工件（W1·W2）精密地定位。在粘合时，由错位监视照相机（C8）监视第一工件（W1）的错位，一面与错位相应地由第一校准装置（12）矫正终端支撑台（18）的姿势，一面将两工件（W1·W2）粘合。

Description

工件的精密粘合装置以及工件的精密粘合方法
技术领域
本发明涉及用于向例如平板状的工件精密地粘合片材状的工件的工件的精密粘合装置和工件的精密粘合方法。有关本发明的精密粘合装置用于为了相对于例如3D电视机用的液晶基板、等离子基板，将3D薄膜在精密地对位的状态下粘合。
背景技术
近年，3D电视机逐渐普及，但是，其基本都是通过以戴上专用的眼镜的状态看画面的帧连续方式，使图像立体化。这里，通过使眼镜的右眼透镜和左眼透镜交替地高速开闭来看在3D薄膜通过的右眼用的图像和左眼用的图像，由左右的眼认识不同的图像，成为立体图像。在3D薄膜上交替地形成与形成右眼用的图像的像素列对应的右眼显示部和与形成左眼用的图像的像素列对应的左眼显示部，相对于液晶基板、等离子基板，粘贴成使左右的显示部与设置在基板上的像素列正确地对应。
针对本发明的粘合装置，本申请人在先申请了专利文献1的粘合装置。这里，使支撑一方的工件的第一粘合台和支撑另一方的工件的第二粘合台上下正对，由粘合辊将第一粘合台侧的工件按压在第二粘合台侧的工件，粘合两工件。第一粘合台具有真空腔和被铺设在真空腔的开ロ面的可通气的丝绢网，在其内部设置前述的粘合辊、支撑工件的工件支撑台等。
另外，针对粘合装置中的工件彼此的定位构造，本申请人在先申请了专利文献2的粘合装置。这里，在各工件的左右两个部位设置定位用的位置显示，由CCD照相机将各位置显示的错位作为图像来获取，与图像的错开状态相应地前后、左右驱动支撑上侧的工件的粘合工作台，使黑圈状的位置显示位于白圈状的位置显示的圆形区域内，据此，将两工件定位。这种情况下的工件彼此的定位精度的不一致相对于基准位置为100～200μm。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2010-94910号公报（第0019至0021段、图2）
专利文献2:日本特开2009-280338号公报（第0033段、图6～图8）
根据专利文献2的粘合装置，能够由自动化的校准装置将一对工件定位、粘合。这种校准装置在为偏光片材、防反射薄膜等即使些许错位，也不会损害工件的功能的粘合对象的情况下，能够没有问题地应用。但是，在粘合要求10μm（±5μm）以下的精密的定位精度的工件的情况下，难以得到足够的定位精度。例如，在将3D薄膜向液晶基板、等离子基板粘合的情况下，必须以右眼显示部和左眼显示部与基板侧的像素列正确地对应的状态将3D薄膜向基板粘贴，但是，专利文献2的粘合装置难以得到足够的定位精度，在很多情况下粘合不良。另外，在以往的粘合装置中，因为在粘合前仅进行一次工件的定位，所以，存在在由粘合辊粘合处理薄膜状的工件时，工件蜿蜒，或者工件向粘合辊的中心轴方向错开运动的情况，在技术上难以将工件彼此恰当地粘合。
本发明的目的是提供一种能够将工件彼此在精密地定位的状态下粘合的精密粘合装置和工件的精密粘合方法。
本发明的目的是提供一种即使存在由粘合辊按压操作的工件在粘合途中蜿蜒或者错位的情况，也能够将工件彼此精密地粘合,从而基本上也不产生粘合不良，能够提高成品率的工件的精密粘合装置和工件的精密粘合方法。
本发明的目的尤其是提供一种能够将3D薄膜相对于液晶基板、等离子基板恰当地粘合，提高成品率，能够大大有助于生成3D图像的设备的低成本化的工件的精密粘合装置和工件的精密粘合方法。
发明内容
有关本发明的工件的精密粘合装置具备在粘合位置支撑第一工件W1的下吸盘7、支撑成为粘合对象的第二工件W2，并将第二工件W2在粘合前阶段位置Z1、粘合位置Z2、运出位置Z3之间移送的上吸盘8。在第一工件W1以及第二工件W2分别设置位置精度高的定位显示5R·5L·P1·P2。在下吸盘7设置吸附第一工件W1的多个工件支撑台10以及终端支撑台18、将第一工件W1和第二工件W2粘合的粘合辊11、调整终端支撑台18的前后位置的第一校准装置12。在上吸盘8设置吸附固定第二工件W2的吸附台44、调整吸附台44的前后位置以及左右位置的第二校准装置45。在粘合位置Z2上，由CCD照相机C6·C7根据两工件W1·W2的定位显示5R·5L·P1·P2检测错位，根据检测结果，由第二校准装置45调整吸附台44的位置，将两工件W1·W2定位。其特征在于，在由粘合辊11将第一工件W1和第二工件W2粘合的状态下，由错位监视照相机C8监视第一工件W1的错位，一面与错位状态相应地由第一校准装置12矫正终端支撑台18的前后位置，同时，由第二校准装置45矫正滑动台48的左右位置，一面粘合第一工件W1和第二工件W2。
第一工件W1由3D薄膜构成，第二工件W2由液晶基板和等离子基板的任意一方形成。如图6所示，在第一工件W1上直线列状地交替形成允许右眼用的图像通过的一群显示部5R和允许左眼用的图像通过的一群显示部5L。对位于第一工件W1的中央部附近的右眼显示部5R和左眼显示部5L的任意一方和设置在第二工件W2的中央附近的特定的像素列P1·P2的任意一方进行定位，进行两工件W1·W2的粘合。
第一工件W1由3D薄膜构成，第二工件W2由液晶基板和等离子基板的任意一方形成。在3D薄膜的粘合过程中，在第一工件W1的左右侧缘的前后中央附近形成定位用的标记。在粘合过程中，在第二工件W2的左右侧缘的前后中央附近形成与上述标记对应的定位用的标记。对上述一对标记进行定位，进行两工件W1·W2的粘合。
与多个工件支撑台10的粘合始端相邻地配置吸附第一工件W1的粘合始端的始端支撑台17。在工件支撑台10和始端支撑台17之间配置粘合辊11。与多个工件支撑台10的粘合终端相邻地配置吸附第一工件W1的粘合终端的终端支撑台18。如图7所示，使吸附了第一工件W1的粘合始端的状态的始端支撑台17随同粘合辊11向从粘合终端离开的方向移动，粘合两工件W1·W2的粘合始端。如图9所示，使吸附了第一工件W1的粘合终端的状态的终端支撑台18随同粘合辊11移动，粘合两工件W1·W2的粘合终端。
在有关本发明的工件的精密粘合方法中，由多个工件支撑台10以及终端支撑台18吸附固定第一工件W1，由吸附台44吸附固定成为粘合对象的第二工件W2，在粘合位置Z2，在使两工件W1·W2正对的状态下，由粘合辊11粘合两工件W1·W2。在粘合位置Z2，由CCD照相机C6·C7获取两工件W1·W2的定位显示5R·5L·P1·P2的图像，检测两工件W1·W2的错位。进而，根据检测结果，由第二校准装置45调整吸附台44的位置，将两工件W1·W2定位。在由粘合辊11粘合第一工件W1和第二工件W2的过程中，由错位监视照相机C8监视第一工件W1的错位，一面与错位状态相应地由第一校准装置12矫正终端支撑台18的前后位置，同时，由第二校准装置45矫正滑动台48的左右位置，一面粘合第一工件W1和第二工件W2。
在上述的精密粘合方法中，在由粘合辊11粘合第一工件W1和第二工件W2的粘合过程中，经过始端粘合过程、主粘合过程、终端粘合过程，粘合两工件W1·W2，所述始端粘合过程使按压了第一工件W1的靠粘合始端的状态的粘合辊11和吸附第一工件W1的粘合始端的始端支撑台17向从粘合终端离开的方向移动，粘合两工件W1·W2的粘合始端，所述主粘合过程使粘合辊11从粘合始端移动到粘合终端的附近，所述终端粘合过程使吸附第一工件W1的粘合终端的终端支撑台18随同粘合辊11移动，粘合两工件W1·W2的粘合终端。
发明效果
在本发明的精密粘合装置中，在第一工件W1以及第二工件W2的每一个设定位置精度高的定位显示5R·5L·P1·P2，能够由CCD照相机C6·C7获取这些定位显示5R·5L·P1·P2的图像，精密地特定两工件W1·W2的位置。再有，能够由第二校准装置45与定位显示5R·5L·P1·P2的错位状态相应地调整吸附台44的位置，将两工件W1·W2精密地定位。
因此，根据本发明的精密粘合装置，与以往的这种粘合装置相比，能够将两工件W1·W2在精密地定位的状态下粘合。另外，在将两工件W1·W2粘合时，由错位监视照相机C8监视第一工件W1的错位，能够一面与错位状态相应地由第一校准装置12矫正终端支撑台18的前后位置，同时，由第二校准装置45矫正滑动台48的左右位置，一面将两工件W1·W2粘合。因此，即使是在粘合途中第一工件W1蜿蜒或者错位那样的情况下，也能够将工件W1·W2彼此精密地粘合，基本消除因第一工件W1的蜿蜒等造成的粘合不良，能够提高粘合体的成品率。
在第一工件W1由3D薄膜构成，第二工件W2是液晶基板或者等离子基板的情况下，若将右眼用的显示部5R和左眼用的显示部5L做成第一工件W1的定位显示，将特定的像素列P1·P2作为第二工件W2的定位显示，则还没有必要另行形成定位显示，能够得到位置精度优异的定位显示。因此，能够将两工件W1·W2以与左右的显示部5R·5L的形成精度或者像素列P1·P2的形成精度同等的精度精密地定位、粘合。另外，仅能够将3D薄膜相对于液晶基板、等离子基板恰当地粘合，提高成品率的情况就能够大大地有助于生成3D图像的设备的低成本化。
在第一工件W1由3D薄膜构成，第二工件W2是液晶基板或者等离子基板的情况下，若在两工件W1·W2的粘合过程分别形成定位用的标记，则能够得到位置精度优异的定位显示。因此，能够将两工件W1·W2以与定位用的标记的形成精度同等的精度精密地定位、粘合。另外，定位用的标记可根据需要形成为任意的形式、颜色等，此外，显示部5R·5L、像素列P1·P2能够形成为明显不同的形状、构造，因此，能够更简便地进行定位时的位置的特定、错位的矫正。
在粘合第一工件W1的粘合始端时，若使吸附了粘合始端的状态的始端支撑台17随同粘合辊11移动，则第一工件W1的粘合始端因粘合辊11而错开运动的情况受到限制，能够将两工件W1·W2的粘合始端恰当地粘合。另外，若使吸附了第一工件W1的粘合终端的状态的终端支撑台18随同粘合辊11移动，则第一工件W1的粘合终端因粘合辊11而错开运动的情况受到限制，能够将两工件W1·W2的粘合终端恰当地粘合。因此，能够提高将第一工件W1和第二工件W2粘合而得到的粘合体W3的完成品质。
在有关本发明的工件的精密粘合方法中，由CCD照相机C6·C7获取两工件W1·W2的定位显示5R·5L·P1·P2的图像，检测两工件W1·W2的错位。进而，能够与定位显示5R·5L·P1·P2的错位状态相应地由第二校准装置45调整吸附台44的位置，将两工件W1·W2精密地定位。因此，根据本发明的精密粘合方法，与以往的这种粘合方法相比，能够将两工件W1·W2在精密地定位的状态下粘合。另外，在将两工件W1·W2粘合的过程中，由错位监视照相机C8监视第一工件W1的错位，能够一面与错位状态相应地由第一校准装置12矫正终端支撑台18的前后位置，同时，由第二校准装置45矫正滑动台48的左右位置，一面将两工件W1·W2粘合。因此，即使是在粘合途中第一工件W1蜿蜒或者错位的情况下，也能够将两工件W1·W2彼此恰当且精密地粘合，能够消除因第一工件W1的蜿蜒等造成的粘合不良，提高粘合体的成品率。
在始端粘合过程中，若以吸附了第一工件W1的粘合始端的状态，使始端支撑台17随同粘合辊11移动，则第一工件W1的粘合始端因粘合辊11而错开运动的情况受到限制，能够总是将两工件W1·W2的粘合始端恰当地粘合。同样，若以吸附了第一工件W1的粘合终端的状态，使终端支撑台18随同粘合辊11移动，则第一工件W1的粘合终端因粘合辊11而错开运动的情况受到限制，能够将两工件W1·W2的粘合终端恰当地粘合。
附图说明
图1是有关本发明的粘合处理部的主视图。
图2是有关本发明的精密粘合装置的俯视图。
图3是有关本发明的下吸盘的俯视图。
图4是有关本发明的上吸盘的俯视图。
图5是有关本发明的照相机支撑台的俯视图。
图6是表示工件的粘合过程的说明图。
图7是表示始端粘合过程的细节的说明图。
图8是表示主粘合过程的说明图。
图9是表示粘合过程的细节的说明图。
具体实施方式
（实施例）图1至图9是表示有关本发明的精密粘合装置的实施例。本发明中的前后·左右·上下按照图1、图2所示的交叉箭头和在箭头的旁边显示的前后·左右·上下的标注。图2中，精密粘合装置由配置在中央的粘合处理部1、配置在粘合处理部1的后方的第一工件W1的供给线2、配置在粘合处理部1的左侧方的第二工件W2的供给线3、配置在粘合处理部1的右侧方的将粘合体W3运出的运出线4等构成。
粘合处理部1由在粘合位置支撑第一工件W1的下吸盘7、配置在下吸盘7的上方，并支撑作为粘合对象的第二工件W2的上吸盘8、配置在上吸盘8的上方的摄像部等构成。第一工件W1由3D薄膜构成，在薄膜面上，如图6所示，交替地多级列状地形成右眼用的显示部5R和左眼用的显示部5L。第二工件W2由生成3D图像的液晶基板（或者等离子基板）构成，在其板面上交替地多级列状地形成生成右眼用的图像的RGB的像素列P1和生成左眼用的图像的RGB的像素列P2，构成矩阵。在该实施例中，将右眼用的显示部5R和左眼用的显示部5L的任意一方作为第一工件W1的定位显示利用，进而，将右眼用的像素列P1和左眼用的像素列P2的任意一方作为第二工件W2的定位显示利用。
在下吸盘7设置利用真空压吸附固定第一工件W1的多个工件支撑台10、将解除了由工件支撑台10吸附的第一工件W1向第二工件W2按压并进行粘合的粘合辊11、调整工件支撑台10的前后位置的第一校准装置12。在工件支撑台10的下面的前后固定升降轴13，由固定在底座14上的导向筒15上下滑动自由地引导该升降轴13。如图7所示，工件支撑台10形成为空心箱状，在其上面形成一群吸附孔。通过变更工件支撑台10的使用个数，能够吸附画面的对角长度为32英寸到55英寸的第一工件W1。
在工件支撑台10的下面的前后中央设置对工件支撑台10进行升降操作的升降构造16。虽未图示出，但升降构造16由小齿轮以及齿条、旋转驱动小齿轮的马达等构成，能够在上方的粘合位置和下方的退让位置之间升降操作工件支撑台10。在下吸盘7不同于工件支撑台10，设置吸附第一工件W1的粘合始端的始端支撑台17、吸附第一工件W1的粘合终端的终端支撑台18。这些支撑台17·18与前述的工件支撑台10同样，被形成为空心箱状，在其上面形成一群吸附孔，能够利用真空压吸附保持第一工件W1。
粘合辊11由前后一对辊托架21旋转自由地轴支承。辊托架21通过由前后一对导轨22引导的辊框架23经前后一对空气缸24支撑。据此，粘合辊11由空气缸24向上方的粘合位置和下方的待机位置升降操作。若有必要，则能够使前后的空气缸24的升降量不同，使粘合辊11相对于水平面倾斜。辊框架23通过由马达26旋转驱动配置在底座14上的滚珠丝杠轴25而在第一工件W1的粘合始端和粘合终端之间被往复操作。在辊框架22固定与滚珠丝杠轴25对应的阴丝杠体27。前面阐述的始端支撑台17被固定在由导轨21左右滑动自由地引导支撑的门形的基框28的上面，由设置在底座14上的前后一对空气缸29保持位置在图1所示的起始位置。
终端支撑台18由设置在调整框架31上的导轨32前后滑动自由地引导支撑。如图3所示，通过由马达34旋转驱动设置在调整框架31和终端支撑台18之间的滚珠丝杠轴33，能够进行第一工件W1的粘合终端侧的前后方向的位置调整。也就是说，第一校准装置12具备终端支撑台18、导轨32、滚珠丝杠轴33以及马达34等机构部。再有，第一校准装置12具备错位监视照相机C8、根据该照相机C8的位置检测结果控制机构部的动作的控制装置（未图示出），能够在粘合状态下对由终端支撑台18支撑的第一工件W1的粘合终端部分前后地进行位置调整。
为了与工件尺寸对应地向左右方向移动操作调整框架31，由设置在底座14的前后的导轨22左右滑动自由地引导调整框架31。再有，通过由马达37旋转驱动配置在底座14上的滚珠丝杠轴36，能够向左右方向移动操作调整框架31。在调整框架31上固定与滚珠丝杠轴36对应的阴丝杠体38。在终端支撑台18的前后中央部的下面侧设置错位监视照相机C8。通过由滚珠丝杠轴36经调整框架31使终端支撑台18向从工件支撑台10离开的方向移动，能够将载置在工件支撑台10上的第一工件W1保持为适合粘合的张紧状态。
图4中，上吸盘8由被前后一对导轨41可移动地引导支撑的四角框状的上框架42、沿导轨41向左右方向驱动操作上框架42的线性马达（马达）43、被上框架42支撑的吸附台44以及第二校准装置45等构成。导轨41被设置在跨下吸盘7的架台46上，通过驱动线性马达43，能够使上吸盘8整体向粘合前阶段位置Z1、粘合位置Z2、运出位置Z3移动。在粘合前阶段位置Z1以及运出位置Z3设置用于载置第一工件W1的工作台和用于载置粘合体W3的工作台。
吸附台44由具备左右一对支撑臂47的滑动台48支撑，滑动台48由设置在上框架42上的左右一对导轨49前后滑动自由地引导支撑。为了使吸附台44沿导轨49前后移动，能够由马达51旋转驱动配置在上框架42上的滚珠丝杠轴50。在吸附台44固定与滚珠丝杠轴50啮合的阴丝杠体52。
第二校准装置45具备上框架42、导轨41、线性马达43、调整吸附台44的前后位置的导轨49、滚珠丝杠轴50以及马达51、阴丝杠体52等机构部。再有，第二校准装置45具备根据后述的CCD照相机C6·C7的位置检测结果控制机构部的动作的控制装置（未图示出），能够由前述的机构部对吸附台44向前后以及左右进行位置调整。
如图4所示，在吸附台44上，上下贯通状地形成一群用于获取各工件W1·W2的角部的图像的角部投光孔53和一群用于获取各工件W1·W2的左右侧端的前后中央部的图像的中央部投光孔54。在位于吸附台44的右侧上方的支撑臂47上也形成与中央部投光孔54对应的孔。像这样形成多个角部投光孔53以及中央部投光孔54是为了对应工件尺寸的不同。另外，第二工件W2以粘合始端侧的右侧的中央部投光孔54为位置基准被吸附在吸附台44上。
如图2所示，在摄像部配置将被载置在粘合前阶段位置Z1的第二工件W2的位置作为图像来获取的CCD照相机C1～C3。另外，配置将被载置在粘合位置Z2的第一工件W1的位置作为图像来获取的CCD照相机C4～C7。前面说明的错位监视照相机C8由与前述的照相机相同的CCD照相机构成。再有，为了检查载置在运出位置Z3的粘合体W3的粘合精度，在粘合体W3的下面侧配置四个CCD照相机C9～C12。
为使上述的除错位监视照相机C8以外的CCD照相机C1～C12与工件尺寸的不同相应地移动，如图5所示，在摄像部设置照相机支撑台55。图5的照相机支撑台55支撑与粘合位置Z2对应地设置的CCD照相机C4～C7。照相机支撑台55具备四角框状的底座框56、固定在底座框56上的固定框57、由底座框56滑动自由地引导支撑的可动框58、由固定框57以及可动框58前后滑动自由地引导支撑的可动台59等。再有，具备将可动框58向左右方向移动操作的前后一对滚珠丝杠轴60、旋转驱动该轴60的前后的马达61、将各可动台59向前后方向移动操作的左右一对滚珠丝杠轴62、旋转驱动该轴62的左右的马达63。
与粘合前阶段位置Z1对应地设置的CCD照相机C1～C3和与运出位置Z3对应地设置的CCD照相机C9～C12也分别由照相机支撑台支撑，但因为其构造是与上述的照相机支撑台55相同的构造，所以，省略其说明。
下面，说明精密粘合装置的粘合动作。在进行粘合处理时，由未图示出的第一工件供给装置从供给线2向粘合位置Z2供给第一工件W1。此时，在第一工件供给装置调整第一工件W1的位置，使第一工件W1的角部位于CCD照相机C4～C5的中央部后，如图6（b）所示，向粘合位置Z2供给，由工件支撑台10、始端支撑台17、终端支撑台18吸附第一工件W1。第一工件供给装置通过一对吸附件吸附第一工件W1的左右侧缘的每一个，通过将一对吸附件向相互离开的方向移动，能够以去除了松弛的状态将第一工件W1向粘合位置Z2供给。
并行地由未图示出的第二工件供给装置从供给线3向粘合前阶段位置Z1供给第二工件W2。此时，与上述同样，在第二工件供给装置调整移动，使第二工件W2的角部位于CCD照相机C1～C2的图像的中央部后，将第二工件W2向粘合前阶段位置Z1供给。在该状态下，使上框架42向粘合前阶段位置Z1移动，由进行了下降操作的吸附台44吸附第二工件W2。CCD照相机C3确认设置在液晶基板上的中央附近的被特定的像素列P1的位置位于图像的中央的情况。据此，能够确认第二工件W2的角部以外的部分被正确地载置的情况。
如上所述，在第一工件W1以及第二工件W2的临时定位结束了的状态下，由未图示出的剥离装置将覆盖各工件W1·W2的表面的保护薄膜剥离。接着，在使上框架42移动到粘合位置Z2的正上方后，如图6（c）所示，再次下降操作吸附台44，使两工件W1·W2隔着微小的粘合间隙上下正对。再有，以位于第一工件W1的中央附近的例如右眼用的显示部5R为位置基准，使第二校准装置45的机构部作动，将两工件W1·W2定位，使被特定（从角部开始第N个）的像素列P1的位置与右眼用的显示部5R一致。若像这样利用显示部5R和像素列P1进行定位，则能够以与显示部5R以及像素列P1的形成精度同等的精度精密地定位，定位精度的不一致能够限制在±5μm以下的范围内。
在精密的定位结束了的时刻，使粘合辊11上升到粘合位置，将两工件W1·W2粘合。在该粘合过程中，经过始端粘合过程、主粘合过程、终端粘合过程，将第一工件W1和第二工件W2粘合。始端粘合过程中的粘合辊11如图7（a）所示，位于与两工件W1·W2的粘合始端相比略微向粘合终端侧错开的位置。在该状态下，使粘合辊11上升到粘合位置，将第一工件W1按压在第二工件W2，进而，如图7（b）所示，使始端支撑台17随同粘合辊11向从粘合终端离开的方向移动，据此，粘合两工件W1·W2的粘合始端。此时，空气缸29的活塞杆追随基框28向右移动。若像这样，维持将第一工件W1的粘合始端在由始端支撑台17吸附的状态进行粘合，则第一工件W1的粘合始端因粘合辊11而错开运动的情况受到限制，能够总是将两工件W1·W2的粘合始端恰当地粘合。
在粘合辊11移动到粘合始端位置后，如图8所示，将粘合辊11的移动方向切换为反方向，向粘合辊11朝粘合终端移动的主粘合过程转移。此时，与粘合辊11的移动联动，通过空气缸29使始端支撑台17的基框28返回起始位置。另外，先于粘合辊11向粘合终端移动，将工件支撑台10依次从上方的粘合位置向下方的退让位置进行下降操作，从粘合辊11的通过区域退让。
在图8所示的主粘合过程中，第一工件W1的错位由设置在终端支撑台18上的错位监视照相机C8监视，一面由第一校准装置12和第二校准装置45与错位状态相应地调整第一工件W1的位置，一面进行粘合。错位监视照相机C8监视成为位置基准的右眼用的显示部5R和被特定的像素列P1的错位，在产生了错位的情况下，由第一校准装置12的机构部操作终端支撑台18，同时由第二校准装置45矫正滑动台48的左右位置，使之向矫正错位的方向移动。据此，即使在第一工件W1蜿蜒或者粘合辊11向辊中心轴方向错开运动这样的情况下，也如图7所示，能够以显示部5R和被特定的像素列P1正确地对应的状态将第一工件W1和第二工件W2粘合。也就是说，能够一面矫正第一工件W1的蜿蜒或者错开运动，一面将两工件W1·W2精密地粘合。
在终端粘合过程中，如图9（a）所示，使终端支撑台18随同粘合辊11移动，将第一工件W1的粘合终端维持由终端支撑台18吸附的状态粘合。据此，第一工件W1的粘合终端因粘合辊11而错开运动的情况受到限制，能够将两工件W1·W2的粘合终端恰当地粘合。
如图9（b）所示，在粘合辊11到达第一工件W1的侧缘，粘合处理结束后，使粘合辊11从粘合位置下降，返回粘合始端侧的起始位置，并行地使终端支撑台18返回粘合终端的起始位置。再有，在使吸附台44上升后，使上框架42从粘合位置Z2向运出位置Z3移动，在运出位置Z3解除由吸附台44进行的吸附，将粘合体W3交给运出位置Z3。在运出位置Z3，由CCD照相机C9～C12确认粘合体W3的粘合精度，将判断为良品的粘合体W3由工件运出装置向运出线4送出。以后，反复进行一系列的粘合处理，粘合第一工件W1和第二工件W2，但是，各工件W1·W2的供给动作以及运出位置Z3上的粘合精度的确认等可以与粘合处理并行地进行。
从上面的说明可以理解，有关本发明的工件的精密粘合方法能够按照下面的过程将两工件W1·W2妥当地粘合。
经过
将第一工件W1向粘合位置Z2供给，由工件支撑台10、始端支撑台17、终端支撑台18吸附第一工件W1的过程、
在将第二工件W2供给到粘合前阶段位置Z1后，由吸附台44吸附的过程、
由剥离装置将覆盖两工件W1·W2的表面的保护薄膜剥离的过程、
在使上框架42移动到粘合位置Z2的正上方后，下降操作吸附台44，使两工件W1·W2隔着微小的粘合间隙上下正对的过程、
在粘合位置Z2，由CCD照相机C6·C7检测两工件W1·W2的错位，根据检测结果，由第二校准装置45调整吸附台44的位置，将两工件W1·W2精密地定位的过程、
由粘合辊11将第一工件W1和第二工件W2粘合的过程，
能够将两工件W1·W2粘合。
在将两工件W1·W2粘合的过程中，由错位监视照相机C8监视第一工件W1的错位，通过一面与错位状态相应地由第一校准装置12矫正终端支撑台18的前后位置，同时，由第二校准装置45矫正滑动台48的左右位置，一面粘合第一工件W1和第二工件W2，能够将两工件W1·W2精密地粘合。
另外，在由粘合辊11将第一工件W1和第二工件W2粘合的粘合过程中，经过
使按压第一工件W1的靠粘合始端的状态的粘合辊11和吸附第一工件W1的粘合始端的始端支撑台17向从粘合终端离开的方向移动，粘合两工件W1·W2的粘合始端的始端粘合过程、
使粘合辊11从粘合始端移动到粘合终端的旁边的主粘合过程、
使吸附第一工件W1的粘合终端的终端支撑台18随同粘合辊11移动，粘合两工件W1·W2的粘合终端的终端粘合过程，
能够将两工件W1·W2粘合。
在上述的实施例中，将形成在3D薄膜上的显示部5R和形成在基板上的特定的像素列用于定位显示，将两工件W1·W2精密地定位，但也可以不必这样。例如，在第一工件W1的左右侧缘的前后中央附近，在粘合过程中，更详细地说，是在由第一工件供给装置从供给线2向粘合位置Z2供给了第一工件W1的状态下，形成定位用的标记（定位显示）。进而，在第二工件W2的左右侧缘的前后中央附近，在粘合过程中，更详细地说，是在由第二工件供给装置从供给线3向粘合前阶段位置Z1供给了第二工件W2的状态下，形成与前述的标记对应的定位用的标记（定位显示）。一面将一对标记定位，一面进行两工件W1·W2的粘合。定位用的标记能够由通过印刷、激光形成的刻痕、孔或者交叉线等形成，其位置精度优选在几μm的不一致范围内。
另外，在上述的实施例中，在第一工件W1蜿蜒时，由第一校准装置12和第二校准装置45矫正错位，但也可以不必这样，通过使对粘合辊11的前后进行支撑的空气缸24个别地升降，使粘合辊11斜向倾斜，能够矫正第一工件W1的错位。在这种情况下，在由粘合辊11粘合第一工件W1和第二工件W2的状态下，也可以由错位监视照相机C8监视第一工件W1的错位，一面与错位状态相应地由第一校准装置12矫正终端支撑台18的前后位置，同时，由倾斜的粘合辊11矫正滑动台48的左右位置，一面将第一工件W1和第二工件W2粘合。
符号说明
W1：第一工件；W2：第二工件；Z1：粘合前阶段位置；Z2：粘合位置；Z3：运出位置；7：下吸盘；8：上吸盘；10：工件支撑台；11：粘合辊；12：第一校准装置；17：始端支撑台；18：终端支撑台。

Claims (6)

1.一种工件的精密粘合装置，其特征在于，具备在粘合位置支撑第一工件(W1)的下吸盘(7)，
支撑成为粘合对象的第二工件(W2)、并将第二工件(W2)向粘合前阶段位置(Z1)、粘合位置(Z2)、运出位置(Z3)移送的上吸盘(8)，
在第一工件(W1)以及第二工件(W2)分别设置定位显示，
在下吸盘(7)设置吸附第一工件(W1)的多个工件支撑台(10)以及终端支撑台(18)、将第一工件(W1)和第二工件(W2)粘合的粘合辊(11)、调整终端支撑台(18)的前后位置的第一校准装置(12)，
在上吸盘(8)设置吸附固定第二工件(W2)的吸附台(44)、调整吸附台(44)的前后位置以及左右位置的第二校准装置(45)，
在粘合位置(Z2)上，由CCD照相机(C6·C7)根据两工件(W1·W2)的定位显示检测错位，根据检测结果，由第二校准装置(45)调整吸附台(44)的位置，两工件(W1·W2)被定位，
在由粘合辊(11)将第一工件(W1)和第二工件(W2)粘合的状态下，由错位监视照相机(C8)监视第一工件(W1)的错位，一面与错位状态相应地由第一校准装置(12)矫正终端支撑台(18)的前后位置，同时，由第二校准装置(45)矫正滑动台(48)的左右位置，一面粘合第一工件(W1)和第二工件(W2)。
2.如权利要求1所述的工件的精密粘合装置，其特征在于，第一工件(W1)由3D薄膜构成，第二工件(W2)由液晶基板和等离子基板的任意一方形成，
在第一工件(W1)上直线列状地交替形成允许右眼用的图像通过的一群显示部和允许左眼用的图像通过的一群显示部，
对位于第一工件(W1)的中央部附近的右眼显示部(5R)和左眼显示部(5L)的任意一方和设置在第二工件(W2)的中央附近的特定的像素列的任意一方进行定位，进行两工件(W1·W2)的粘合。
3.如权利要求1所述的工件的精密粘合装置，其特征在于，第一工件(W1)由3D薄膜构成，第二工件(W2)由液晶基板和等离子基板的任意一方形成，
在3D薄膜的粘合过程中，在第一工件(W1)的左右侧缘的前后中央附近形成定位用的标记，
在粘合过程中，在第二工件(W2)的左右侧缘的前后中央附近形成与上述标记对应的定位用的标记，
对上述一对标记进行定位，进行两工件(W1·W2)的粘合。
4.如权利要求1至3中的任一项所述的工件的精密粘合装置，其特征在于，与多个工件支撑台(10)的粘合始端相邻地配置吸附第一工件(W1)的粘合始端的始端支撑台(17)，在工件支撑台(10)和始端支撑台(17)之间配置粘合辊(11)，
与多个工件支撑台(10)的粘合终端相邻地配置吸附第一工件(W1)的粘合终端的终端支撑台(18)，
使吸附了第一工件(W1)的粘合始端的状态的始端支撑台(17)随同粘合辊(11)向从粘合终端离开的方向移动，粘合两工件(W1·W2)的粘合始端，
使吸附了第一工件(W1)的粘合终端的状态的终端支撑台(18)随同粘合辊(11)移动，粘合两工件(W1·W2)的粘合终端。
5.一种工件的精密粘合方法，是由多个工件支撑台(10)以及终端支撑台(18)吸附固定第一工件(W1)，由吸附台(44)吸附固定成为粘合对象的第二工件(W2)，在粘合位置(Z2)，在使两工件(W1·W2)正对的状态下，由粘合辊(11)粘合两工件(W1·W2)的精密粘合方法，其特征在于，
在粘合位置(Z2)，由CCD照相机(C6·C7)获取两工件(W1·W2)的定位显示的图像，检测两工件(W1·W2)的错位，根据检测结果，由第二校准装置(45)调整吸附台(44)的位置，两工件(W1·W2)被定位，
在由粘合辊(11)粘合第一工件(W1)和第二工件(W2)的过 程中，由错位监视照相机(C8)监视第一工件(W1)的错位，一面与错位状态相应地由第一校准装置(12)矫正终端支撑台(18)的前后位置，同时，由第二校准装置(45)矫正滑动台(48)的左右位置，一面粘合第一工件(W1)和第二工件(W2)。
6.如权利要求5所述的工件的精密粘合方法，其特征在于，在由粘合辊(11)粘合第一工件(W1)和第二工件(W2)的粘合过程中，
经过始端粘合过程、主粘合过程、终端粘合过程，粘合两工件(W1·W2)，
所述始端粘合过程使按压了第一工件(W1)的靠粘合始端的状态的粘合辊(11)和吸附第一工件(W1)的粘合始端的始端支撑台(17)向从粘合终端离开的方向移动，粘合两工件(W1·W2)的粘合始端，
所述主粘合过程使粘合辊(11)从粘合始端移动到粘合终端的附近，
所述终端粘合过程使吸附第一工件(W1)的粘合终端的终端支撑台(18)随同粘合辊(11)移动，粘合两工件(W1·W2)的粘合终端。
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