JP2015193503A - 製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】両パネルの搬送からパネル同士の位置合わせまでを、より簡易な構成で実現する複数パネルの積層体を製造する製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】各パネルＰ１，Ｐ２の位置をそれぞれ検出する位置検出工程と、作業領域Ｒ２に向けて、各パネルＰ１，Ｐ２をそれぞれ所定の方向に搬送する搬送工程と、を備える。設定工程では、各パネルＰ１，Ｐ２の位置検出結果に基づいて貼り合わせ位置が合うように各パネルＰ１，Ｐ２の搬送量Ｌｘ，Ｌｙを制御する。
【選択図】図２０

Description

本発明は、パネル同士を貼り合わせて積層体を製造する技術に関する。

テレビ、パソコン、携帯端末等のディスプレイとして、液晶表示パネル等の画像表示パネルと、カバーパネルと、を接着して貼り合せたものが知られている。このようなパネル同士の貼り合わせを行う装置としては、パネル同士の位置合わせ機構と、ローラの押圧により両パネルを密着させる押圧機構を備えた装置が提案されている（特許文献１）。

特開２００９−０４０６１７号公報

特許文献１の装置では、装置にパネルを搬送する搬送系の機構が別に必要となる。システム全体で見ると、搬送系の機構に加えてパネル同士の位置合わせ機構が必要となり、システムの構成が複雑化する場合がある。

本発明の目的は、両パネルの搬送からパネル同士の位置合わせまでを、より簡易な構成で実現することにある。

本発明によれば、第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造方法であって、前記第一のパネル及び前記第二のパネルの位置をそれぞれ検出する位置検出工程と、前記第一のパネルと前記第二のパネルとを重ねて貼り合わせる作業領域に向けて、前記第一のパネルを第一の方向に搬送する第一の搬送工程と、前記作業領域に向けて、前記第二のパネルを搬送する第二の搬送工程と、を備え、前記第一の搬送工程では、前記第一のパネルの前記第一の方向の搬送量を、前記位置検出工程による前記第一のパネルの位置検出結果と前記第二のパネルの位置検出結果とに基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの貼り合わせ位置が合うように制御し、前記第二の搬送工程では、前記第二のパネルの前記第二の方向の搬送量を、前記第二のパネルの前記位置検出結果と、前記第一のパネルの前記位置検出結果とに基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの貼り合わせ位置が合うように制御する、ことを特徴とする製造方法が提供される。

また、本発明によれば、第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造装置であって、前記第一のパネルの位置を検出する第一の位置検出ユニットと、前記第二のパネルの位置を検出する第二の位置検出ユニットと、前記第一のパネル及び前記第二のパネルの搬送量を制御する制御ユニットと、前記第一のパネルと前記第二のパネルとを重ねて貼り合わせる作業領域に向けて、前記第一のパネルを第一の方向に搬送する第一の搬送機構と、前記作業領域にむけて、前記第二のパネルを第二の方向に搬送する第二の搬送機構と、前記第一の搬送機構及び前記第二の搬送機構を制御する制御ユニットと、を備え、前記制御ユニットは、前記第一のパネルの前記第一の方向の搬送量を、前記第一の位置検出ユニットによる前記第一のパネルの位置検出結果と前記第二の位置検出ユニットによる前記第二のパネルの位置検出結果とに基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの貼り合わせ位置が合うように制御し、前記第二のパネルの前記第二の方向の搬送量を、前記第二のパネルの前記位置検出結果と、前記第一のパネルの前記位置検出結果とに基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの貼り合わせ位置が合うように制御する、ことを特徴とする製造装置が提供される。

本発明によれば、両パネルの搬送からパネル同士の位置合わせまでを、より簡易な構成で実現することができる。

本発明の一実施形態に係る製造装置の平面図。 図１の製造装置の図１における矢印Ｄ１方向矢視図。 図１の製造装置の図１における矢印Ｄ２方向矢視図。 （Ａ）は図１の製造装置の図２における矢印Ｄ３方向矢視図、（Ｂ）は積層体の説明図。 制御ユニットのブロック図。 （Ａ）〜（Ｃ）は図１の製造装置の動作説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。 （Ａ）〜（Ｄ）は図１の製造装置の動作説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。 （Ａ）〜（Ｃ）は図１の製造装置の動作説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。 図１の製造装置の動作説明図。 （Ａ）〜（Ｃ）は図１の製造装置の動作説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）は図１の製造装置の動作説明図。 図１の製造装置の動作説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）はパネルの位置決めと搬送量の設定方法の説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）はパネルの位置決めと搬送量の設定方法の説明図。 （Ａ）〜（Ｄ）は別例の貼り合わせ動作の説明図。 （Ａ）〜（Ｅ）は別例の保持機構の説明図。 別例の製造装置の平面図。 別例の製造装置の平面図。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。各図において、矢印Ｘ及びＹは互いに直交する水平方向を示し、矢印Ｚは上下方向を示す。

＜第１実施形態＞
＜装置の概要＞
図１は本発明の一実施形態に係る製造装置Ａの平面図、図２は製造装置Ａの図１における矢印Ｄ１方向矢視図、図３は製造装置Ａの図１における矢印Ｄ２方向矢視図、図４（Ａ）は製造装置Ａの図２における矢印Ｄ３方向矢視図である。図４（Ｂ）は製造対象となる積層体の分解斜視図である。

製造装置Ａは、２枚のパネルを貼り合わせて積層体を製造する装置である。本実施形態の場合、図４（Ｂ）に示すように、方形のパネルＰ１と方形のパネルＰ２との積層体ＬＢを製造する。パネルＰ１はカバーパネル、パネルＰ２は画像表示パネルであり、その積層体ＬＢは画像表示装置を構成するものである。画像表示パネルであるパネルＰ２は例えば液晶表示パネル（例えば、ＬＣＤ）であり、その表示面側（図４（Ｂ）では下面である）にカバーパネル（例えば、カバーガラス）であるパネルＰ１が貼り付けられる。パネルＰ１は光透過性を有するパネル本体ＭＢを備える。パネル本体ＭＢは例えばガラス板や樹脂板である。パネルＰ２が貼り付けられる、パネル本体ＭＢの表面（図４（Ｂ）では上面である）の周縁には遮光層ＬＳが形成されている。

製造装置Ａは、装置のレイアウト上、搬入領域Ｒ１と、処理領域Ｒ２と、搬出領域Ｒ３とを備える。搬入領域Ｒ１では、パネルＰ１の供給元の装置からパネルＰ１が受け渡され、パネルＰ１が搬入される。処理領域Ｒ２は、パネルＰ１と、パネルＰ１とは別に搬入されるパネルＰ２のパネル同士を重ねて貼り合わせる作業領域である。搬出領域Ｒ３では処理領域Ｒ２で貼り合わされた２枚のパネルＰ１及びＰ２の積層体ＬＢが供給先の装置に受け渡され、積層体ＬＢが搬出される。ここで、搬入領域Ｒ１に搬入されるパネルＰ１の表面には、あらかじめ貼り合わせのための接着剤ＲＧ（後述）が設けられている。貼り合わせのための接着剤ＲＧとしては、例えば、未硬化状態又は仮硬化状態の接着層、接着シート、接着フィルム等が挙げられる。

製造装置Ａは、保持ユニット２と、搬送機構３と、押圧ユニット４と、搬入台５と、制御ユニット６と、位置検出ユニット７及び８と、搬送機構１２と、昇降ユニット１３と、調整ユニット１４及び１５と、調整ユニット５３及び５４と、を備える。まず、搬送機構１２の構成から説明する。

＜搬送機構＞
搬送機構１２は、搬入領域Ｒ１に搬入されたパネルＰ１を処理領域Ｒ２に向けてＹ方向に搬送するユニットであり、本実施形態の場合、複数のエア浮上テーブル１２１と、複数のスライドユニット１２３と、スライドユニット１２３毎に設けられたレール１２２と、を備える。

エア浮上テーブル１２１は空気孔が多数形成された水平な上面を備えている。空気孔は、エア浮上テーブル１２１内部の通路を介して不図示のエア装置に連通している。エア装置は、ポンプに代表される空気供給装置又は空気吸引装置である。空気孔から空気を噴出することで、パネルＰ１を浮遊状態で支持することができる。また、エア浮上テーブル１２１の一部を、一部の空気孔から空気を噴出し、他の一部の空気孔から空気を吸引し、ベルヌーイチャックとすることで、パネルＰ１を安定して、かつ精密に浮遊状態で支持することができる。

エア浮上テーブル１２１は、パネルＰ１の搬送方向であるＹ方向に延設されている。より詳しくは、搬入領域Ｒ１から搬出領域Ｒ３に渡って溝部１２１ｂを除いて全域に延設されている。したがって、製造装置Ａの全領域においてパネルＰ１及び積層体ＬＢを非接触で支持可能である。エア浮上テーブル１２１は、２つ設けられており、互いに平行に延設され、かつ、Ｘ方向に離間して配置されている。２つのエア浮上テーブル１２１のＸ方向の隙間は複数のスライドユニット１２３の移動空間を形成している。エア浮上テーブル１２１の上面には、溝１２１ａが形成されている。溝１２１ａは後述する昇降ユニット１３のピン１３１の退避空間となっている。

スライドユニット１２３は、エア浮上テーブル１２１上で浮遊状態で支持されているパネルＰ１を、搬入領域Ｒ１から処理領域Ｒ２に搬送し、エア浮上テーブル１２１上で浮遊状態で支持されている積層体ＬＢを、処理領域Ｒ２から搬出領域Ｒ３に搬送する。スライドユニット１２３は、Ｙ方向に延設されたレール１２２の案内により、不図示の駆動機構によりＹ方向に往復移動可能である。駆動機構は、例えば、ボールネジ機構、ベルト伝動機構等を採用可能である。スライドユニット１２３は２つ設けられている。スライドユニット１２３毎に駆動機構を設けて独立して移動可能とすることで、１つのパネルの搬送途中で次のパネルの搬送を開始すること、すなわち別々の領域に位置する２枚のパネルを別々のタイミングで搬送することが可能となる。

スライドユニット１２３は、吸着部１２３１と、当接部１２３２と、スライダ１２３３と、昇降機構１２３４とを備える。吸着部１２３１は、吸着孔１２３１ａが形成された上面を備えている。この上面はパネルＰ１の下面に吸着可能な水平な吸着面を構成している。吸着孔１２３１ａは、吸着部１２３１内部の通路を介して不図示の空気装置に連通している。空気装置は、ポンプに代表される空気吸引装置である。吸着孔１２３１ａから空気を吸引することでパネルＰ１を吸着保持することが可能となる。

当接部１２３２は、パネルＰ１の端縁に当接可能である。本実施形態の場合、当接部１２３２は吸着部１２３１の上部に支持軸を介して回転自在に設けられたローラである。当接部１２３２は主として、パネル搬入時にパネルＰ１の姿勢を調整する際に、パネルＰ１の端縁（上流側の端縁）に当接する。吸着部１２３１の吸着面のＺ方向の位置は、当接部１２３２のＺ方向下端から上端までの範囲内に設定されている。このため、吸着部１２３１の吸着面は、当接部１２３２の支持軸が立設している部位よりも一段高い位置に位置している。

スライダ１２３３はレール１２２と係合し、レール１２２に案内されてＹ方向に移動可能である。昇降機構１２３４は、スライダ１２３３上に搭載されている。昇降機構１２３４は例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含む。吸着部１２３１は昇降機構１２３４に搭載されており、昇降機構１２３４により昇降される。吸着部１２３１は、吸着面がエア浮上テーブル１２１の上面よりも上方に位置する吸着位置と、吸着部１２３１全体がエア浮上テーブル１２１の上面よりも下方に位置する退避位置との間で昇降される。吸着位置は吸着部１２３１をパネルＰ１に吸着保持させる位置であり、吸着部１２３１はエア浮上テーブル１２１の上面よりも僅かに上方に位置する。

＜昇降ユニット及び調整ユニット＞
搬入領域Ｒ１には昇降ユニット１３と、調整ユニット１４及び１５とが設けられている。

昇降ユニット１３は、外部の装置と製造装置Ａとの間でパネルＰ１の受け渡しを行うユニットである。搬入領域Ｒ１における昇降ユニット１３の数は２つである。昇降ユニット１３は搬出領域Ｒ３にも設けられており、その数は２つである。搬出領域Ｒ３の昇降ユニット１３は、製造装置Ａと外部の装置との間で積層体ＬＢの受け渡しを行う。

昇降ユニット１３は、複数のピン１３１と、支持部材１３２と、昇降機構１３３と、を備える。複数のピン１３１は支持部材１３２に支持されて上方向に延びている。各ピン１３１は、エア浮上テーブル１２１の溝１２１ａに設けられた上下方向の貫通孔に挿入されている。複数のピン１３１は等長であり、それらの先端（上端）の高さは面一である。

支持部材１３２はエア浮上テーブル１２１の下方に位置し、ピン１３１の下端が固定されている。昇降機構１３３は、例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部材１３２を昇降する。支持部材１３２の昇降によりピン１３１も昇降する。ピン１３１は、その先端がエア浮上テーブル１２１の上面１０よりも上方に突出した上昇位置と、ピン１３１の先端がエア浮上テーブル１２１の上面よりも下方に位置する降下位置と、の間で昇降される。図２、図３及び図４（Ａ）はピン１３１が降下位置にある場合を示しており、ピン１３１の先端は溝１２１ａ内に位置している。

調整ユニット１４及び１５は、搬入領域Ｒ１においてパネルＰ１の姿勢を調整してその位置決めを行う位置決めユニットである。調整ユニット１４はＸ方向におけるパネルＰ１の姿勢を調整し、調整ユニット１５はＹ方向におけるパネルＰ１の姿勢を調整する。

調整ユニット１４は搬入領域Ｒ１に複数設けられており、２つのエア浮上テーブル１２１を挟んでＸ方向の両側に配置されている。調整ユニット１４は、円柱状の当接部１４１と、駆動部１４２とを備える。駆動部１４２は、例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、当接部１４１をＸ方向に往復移動する。駆動部１４２の駆動により、当接部１４１は、エア浮上テーブル１２１からより離れた退避位置からエア浮上テーブル１２１により近づく位置決め位置へ移動可能である。位置決め位置において当接部１４１はパネルのＸ方向の端縁に当接してその姿勢調整及び位置決めが可能である。調整ユニット１５も調整ユニット１４と同様の構成であるが、その当接部はパネルＰ１のＹ方向の端縁（下流側端縁）に当接してその姿勢調整及び位置決めが可能である。

＜保持ユニット＞
次に、保持ユニット２について説明する。保持ユニット２は、処理領域Ｒ２に配置され、一方面に光硬化性樹脂が塗布されたパネルＰ１を保持するユニットである。保持ユニット２にパネルＰ１が保持された状態でパネルＰ２が積層される。

保持ユニット２は、複数の保持機構２０ａ、２０ｂと、複数の支持部材２４及び２５と、移動機構２６と、を備える。保持機構２０ａは２つ設けられており、パネルＰ１の搬送方向上流側の端部を保持する。保持機構２０ｂは２つ設けられており、パネルＰ１の搬送方向下流側の端部を保持する。

保持機構２０ａは、平面視で、エア浮上テーブル１２１、１２１の各溝１２１ａ上の位置に配置されている。保持機構２０ｂは、平面視で、各エア浮上テーブル１２１、１２１のＸ方向外側（レール１２２に面する側とは反対側）から、溝部１２１ｂにかけて配置されている。

なお、各保持機構２０ａ、２０ｂのＹ方向の位置および保持機構２０ｂ、２０ｂの離間距離はパネルＰ１のサイズに応じて調整される。

保持機構２０ａ、２０ｂは、それぞれ、保持部２１ａ、２１ｂと、支持部２２ａ、２２ｂと、昇降機構２３ａ、２３ｂとを備える。保持部２１ａ、２１ｂは、パネルＰ１の周縁部下面に当接するように配置された爪状の部分を含む。保持部２１ａは、溝１２１ａ内に進退自在とされ、また、保持部２１ｂは、溝部１２１ｂ内に進退自在とされている。

支持部２２ａ、２２ｂは保持部２１ａ、２１ｂをそれぞれ支持する部材である。昇降機構２３ａ、２３ｂは例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部２２ａ、２２ｂを昇降する機構である。支持部２２ａ、２２ｂを昇降することで保持部２１ａ、２１ｂも昇降することになる。保持部２１ａ、２１ｂは、同じ高さに位置し、それらの昇降動作は同期的に行われる。

２つの支持部材２４は保持機構２０ａ、２０ｂを支持する梁部材であり、１つの支持部材２４に２つの保持機構２０ａ又は２つの保持機構２０ｂが、吊り下げられるようにして支持される。

支持部材２４は、互いにＹ方向に離間して２つ設けられた梁部材である。各支持部材２４は、Ｘ方向に延設されている。一方の支持部材２４には、２つの保持機構２０ａが吊り下げられるようにして支持され、かつ、一対の支持部材２５で支持されている。支持部材２５は、支持部材２４を水平姿勢で支持する柱部材である。

残りの一方の支持部材２４は、２つの保持機構２０ａを支持し、一対の移動機構２６でＹ方向に移動可能に支持されている。移動機構２６は、例えば、エアシリンダや電動シリンダ等のアクチュエータを駆動源として備えている。なお、２つの支持部材２４の双方をＹ方向に移動可能に構成することもできる。

＜押圧ユニット＞
押圧ユニット４は、処理領域Ｒ２に配置され、保持ユニット２の各保持部２１上で水平保持されて重ね合わせられたパネルＰ１とパネルＰ２に、その厚み方向（ここではＺ方向）の押圧力を付与する機構であり、処理領域Ｒ２に配置されている。なお、パネルＰ１とパネルＰ２とは互いに接して重ねられてもよいし、僅かに離間して重ねられてもよい。

押圧ユニット４は、ローラ４１と、複数の支持部４２と、複数の昇降機構４３と、複数のスライダ４４と、複数のレール４５とを備える。支持部４２と昇降機構４３とスライダ４４とレール４５とは２組設けられており、昇降機構４３はスライダ４４に搭載され、支持部４２は昇降機構４３に搭載されている。

ローラ４１は、２つのエア浮上テーブル１２１を跨るようにＸ方向に水平に延設されている。ローラ４１は、その両端部が支持部４２に回転自在に支持されて自由回転可能なフリーローラである。レール４５は、２つのエア浮上テーブル１２１を挟んで両側にそれぞれ配置されており、Ｙ方向に水平に延設されている。スライダ４４はレール４５と係合してレール４５の案内によりＹ方向に移動可能である。スライダ４４は不図示の駆動機構によってＹ方向に往復移動される。２つのスライダ４４を同期的に移動させることで、ローラ４１をＹ方向に平行移動することができる。

昇降機構４３は例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部４２を昇降する。２つの支持部４２を同期的に昇降移動させることで、ローラ４１をＺ方向に平行移動（昇降）することができる。

＜搬入台及び調整ユニット＞
搬入台５は、外部の装置と製造装置Ａとの間でパネルＰ２の受け渡しを行うユニットである。搬入台５は、エア浮上テーブル５１と、昇降ユニット５２とを備える。エア浮上テーブル５１は、エア浮上テーブル１２１と同様の構成であり、空気孔が多数形成された水平な上面を備え、空気孔から空気を噴出することでパネルＰ２を浮遊状態で支持することができる。パネルＰ２の種類、大きさによっては、搬入台５として、エア浮上テーブルでなく、通常の接触式の置き台を用いてもよい。

昇降ユニット５２は昇降ユニット１３と同様の構成であり、複数のピン５２１と、支持部材５２２と、昇降機構５２３と、を備える。複数のピン５２１は支持部材５２２に支持されて上方向に延びている。各ピン５２１は、エア浮上テーブル５１の溝５１ａに設けられた上下方向の貫通孔に挿入されている。複数のピン５２１は等長であり、それらの先端（上端）の高さは面一である。

支持部材５２２はエア浮上テーブル５１の下方に位置し、ピン５２１の下端が固定されている。昇降機構５２３は、例えばエアシリンダ、電動シリンダ、電磁ソレノイド等のアクチュエータをその駆動源として含み、支持部材５２２を昇降する。支持部材５２２の昇降によりピン５２１も昇降する。ピン５２１は、その先端がエア浮上テーブル５１の上面１０よりも上方に突出した上昇位置と、ピン５２１の先端がエア浮上テーブル５１の上面よりも下方に位置する降下位置と、の間で昇降される。

エア浮上テーブル５１の周囲には、調整ユニット５３及び５４が配設されている。調整ユニット５３及び５４は、エア浮上テーブル５１上でパネルＰ２の姿勢を調整してその位置決めを行うユニットである。

調整ユニット５３はＹ方向におけるパネルＰ２の姿勢を調整し、調整ユニット５４はＸ方向におけるパネルＰ２の姿勢を調整する。調整ユニット５３及び５４は、調整ユニット１４又は１５と同様の構成であり、姿勢調整及び位置決めの原理も同様である。パネルＰ２の姿勢調整の機構は調整ユニット５３および５４に限られず、例えば姿勢調整ユニット又は位置決め調整ユニットとして慣用的に用いられている全ての装置、機構、ユニットが挙げられる。また、パネルＰ２の姿勢調整及び位置決めを、ガイド治具を用いて作業員がマニュアルで行うようにしても良い。

＜搬送機構＞
搬送機構３は、搬入台５に搬入されたパネルＰ２を処理領域Ｒ２に向けてＸ方向に搬送するユニットである。搬送機構３は、パネルＰ２を保持ユニット２に保持されたパネルＰ１の上方に搬送し、降下させて両者を重ね合わせる。搬送機構３は、吸着ユニット３１と、回転ユニット３２と、可動ユニット３３と、レール部材３４と、複数の支柱３５とを備える。

吸着ユニット３１は、その下面が水平な吸着面を構成している。この吸着面には空気孔が形成されており、吸着ユニット３１内部の通路を介して不図示の空気吸引装置に接続されている。空気吸引装置は例えばポンプである。空気孔から空気を吸引することで、吸着ユニット３１はパネルＰ２の上面を負圧吸引して吸着する。吸着ユニット３１は回転ユニット３２の下端に固定されている。

回転ユニット３２は、可動ユニット３３によって昇降されるＺ方向に延びる昇降軸であると共に、吸着ユニット３１をＺ軸周りに回転させる回転機構３２ａを備える。回転機構３２ａは例えばモータと減速機であり、その出力軸に吸着ユニット３１の中心部が固定される。吸着ユニット３１を回転させることにより、吸着ユニット３１に吸着されているパネルＰ２を回転することができ、その姿勢を補正することができる。つまり、回転機構３２ａは補正ユニットとして機能する。

可動ユニット３３は回転ユニット３２を昇降する昇降機構を備える。昇降機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。レール部材３４はＸ方向に水平に延設されており、その両端部が支柱３５により支持されている。可動ユニット３３は不図示の駆動機構によってレール部材３４の案内によってＸ方向に往復移動可能である。駆動機構は例えばボールねじ機構やベルト伝動機構等を採用可能である。可動ユニット３３のＸ方向の移動と、回転ユニット３２の昇降とによって吸着ユニット３１はＸ−Ｚ平面上を移動可能である。

＜位置検出ユニット＞
位置検出ユニット７は、搬入領域Ｒ１に設けられ、調整ユニット１４及び１５により姿勢調整及び位置決めが行われたパネルＰ１の位置を検出するユニットである。調整ユニット１４及び１５により姿勢調整及び位置決めが行われたパネルＰ１であっても、その製造精度やパネル個体差に起因して、同一形状及び正確な方形ではなく、また、調整ユニット１４及び１５の位置決め精度の影響で、全く同じ姿勢及び位置にあるわけではない。これは、パネルＰ１とパネルＰ２とを貼り合わせる際の、位置ずれの要因となる。そこで、位置検出ユニット７によって、パネルＰ１の、より正確な姿勢及び／又は位置を検出する。

本実施形態の場合、位置検出ユニット７はパネルＰ１の画像を撮影してその姿勢及び／又は位置を検出する。位置検出ユニット７としては、パネルＰ１のＸ方向及びＹ方向の位置が検出可能なものであれば、どのような構成のものであってもよい。好ましい位置検出ユニット７としては、非接触で、高速・高精度に、広範囲の姿勢及び／又は位置の検出が可能なものである。

位置検出ユニット７は、カメラ７１と、スライダ７２と、レール部材７３とを備える。レール部材７３は、２列のエア浮上テーブル１２１上を横断するようにＸ方向に水平に延設されている。スライダ７２はレール部材７３と係合し、不図示の駆動機構によってレール部材７３の案内によってＸ方向に往復移動可能である。駆動機構は例えばリニアモータ機構、ボールねじ機構、又はベルト伝動機構等を採用可能である。

カメラ７１は、スライダ７２に支持され、撮影範囲が下向きに設定されている。これにより、エア浮上テーブル１２１上のパネルＰ１を撮影可能となっている。本実施形態の場合、カメラ７１は、パネルＰ１の所定の部位を撮影してその位置を検出するが、パネルＰ１全体を撮影するように構成されていても勿論構わない。

撮影して位置を検出する部位は、本実施形態の場合、パネルＰ１の外形の角部である。パネルＰ１は方形であるため、４つの角部の位置を検出する。なお、撮影して位置を検出する部位はこれに限られない。例えば、図４（Ｂ）に示すように、遮光層ＬＳの内縁の角部であってもよい。また、パネルＰ１に事前にアライメントマークを付しておき、このマークを対象としてもよい。

スライダ７２の移動位置を検知するセンサを設けるか、又は駆動機構のコントローラの制御量により、カメラ７１の画像中の物体の位置をセンサの検出結果、或いはコントローラの制御量に基づくスライダ７２の位置から演算することができ、結果として、パネルＰ１の角部の位置を演算できる。

次に、位置検出ユニット８は、搬入台５に隣接して設けられ、吸着ユニット３１に吸着されたパネルＰ２の位置を検出するユニットである。調整ユニット５３及び５４により姿勢調整及び位置決めが行われたパネルＰ２であっても、その製造精度やパネル個体差に起因して、同一形状及び正確な方形ではなく、また、調整ユニット５３及び５４の位置決め精度の影響で、全く同じ姿勢及び位置にあるわけではない。これは、パネルＰ１とパネルＰ２とを貼り合わせる際の、位置ずれの要因となる。そこで、位置検出ユニット８によって、パネルＰ２の、より正確な姿勢及び／又は位置を検出する。

本実施形態の場合、位置検出ユニット８はパネルＰ２の画像を撮影してその姿勢及び／又は位置を検出する。位置検出ユニット８としては、位置検出ユニット７と同様の構成のものであってよい。

位置検出ユニット７は、２つのカメラ８１と、２つのカメラ８１を支持する支持部材８２と、移動機構８３と、を備える。支持部材８２はＹ方向に延設された部材であり、その両端部にカメラ８１が配置されている。移動機構８３は例えば電動シリンダであり、吸着ユニット３１と干渉しないように、撮影位置と退避位置との間で支持部材８２をＸ方向に進退させる。

２つのカメラ８１は、パネルＰ２のＹ方向の幅分に概ね相当する距離だけ離間して支持されており、撮影範囲が上向きに設定されている。これにより、吸着ユニット３１に吸着されたパネルＰ２を下から撮影可能となっている。本実施形態の場合、カメラ８１はパネルＰ２の所定の部位を撮影してその位置を検出するが、パネルＰ２全体を撮影するように構成されていても勿論構わない。また、少なくともカメラ８１の一方を、支持部材８２の長手方向（Ｙ方向）に沿って移動自在に設けてもよい。これによって、撮影範囲の狭いカメラ８１であったとしても、様々なサイズのパネルＰ２に対応することが可能となる。

撮影して位置を検出する部位は、本実施形態の場合、パネルＰ２の外形の角部である。２つのカメラ８１で同時に２か所の角部を撮影し、吸着ユニット３１を回転させることで残りの２か所の角部も撮影できる。撮影位置は固定の位置であることから、カメラ８１の画像から、パネルＰ２の角部の位置を演算できる。

パネルＰ２は方形であるため、４つの角部の位置を検出する。なお、撮影して位置を検出する部位はこれに限られない。例えば、パネルＰ２の回路配置領域（外縁から所定幅内側の領域）の角部であってもよい。また、パネルＰ２に事前にアライメントマークを付しておき、このマークを対象としてもよい。

＜制御ユニット＞
図５は製造装置Ａの制御を行う制御ユニット６のブロック図である。制御ユニット６は、ＣＰＵ等の処理部６１と、ＲＡＭ、ＲＯＭ等の記憶部６２と、外部デバイスと処理部６１とをインターフェースするインターフェース部６３と、を含む。インターフェース部６３には、ホストコンピュータとの通信を行う通信インターフェースも含まれる。ホストコンピュータは、例えば、製造装置Ａが配置された製造設備全体を制御するコンピュータである。

処理部６１は記憶部６２に記憶されたプログラムを実行し、各種のセンサ６５の検出結果や上位のコンピュータ等の指示に基づいて、各種のアクチュエータ６４を制御する。各種のセンサ６５には、例えば、スライドユニット１２３の位置を検出するセンサ、支持部４２の位置を検出するセンサ、吸着ユニット３１の位置や回転角度を検出するセンサ、スライダ７２の位置を検出するセンサ、支持部材８２の位置を検出するセンサ、カメラ７１及び８１が備える撮像センサ等、各種のセンサが含まれる。各種アクチュエータ９３には、例えば、エア浮上テーブル１２１、５１用の空気装置、吸着部１２３１用の空気装置、吸着ユニット２１用の空気装置、各種機構の駆動源等が含まれる。

＜制御例＞
処理部６１の制御例について図６（Ａ）〜図１６を参照して説明する。ここでは製造装置ＡへのパネルＰ１、Ｐ２の搬入、パネルＰ１に対する搬送、パネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせ、及び、積層体ＬＢの搬出という一連の動作について説明する。

図６（Ａ）は外部の装置により搬入領域Ｒ１にパネルＰ１が搬入される直前の状態を示している。搬入領域Ｒ１に設けられた２台の昇降ユニット１３は、各ピン１３１が上昇位置に位置している。吸着部１２３１は搬入領域Ｒ１の上流端の位置（初期位置という）において退避位置に位置している。調整ユニット１４の当接部１４１は退避位置に位置している。図示していないが調整ユニット１５も同様である。エア浮上テーブル１２１の空気孔１２から空気が噴出される。

図６（Ｂ）は外部の装置により搬入領域Ｒ１にパネルＰ１が搬入された状態を示している。パネルＰ１は、遮光層ＬＳが形成された表面を上面として、水平姿勢で複数のピン１３１上に載置される。パネルＰ１の上面には、事前に接着剤ＲＧが塗布されている（図９（Ａ）、（Ｂ）参照）。

その後、図６（Ｃ）に示すように搬入領域Ｒ１に設けられた２台の昇降ユニット１３は、各ピン１３１を降下位置に降下する。これによりパネルＰ１が複数のピン１３１からエア浮上テーブル１２１に移載される。このとき、パネルＰ１はエア浮上テーブル１２１の上面に密着するのではなく、上面から若干浮き上がった浮遊状態で支持される。

次に、パネルＰ１の姿勢調整及び位置決めを行う。図７（Ａ）に示すように、各調整ユニット１４が駆動され、当接部１４１が位置決め位置に移動する。位置決め位置における当接部１４１間のＸ方向の離間距離は、パネルＰ１のＸ方向の幅に略等しい。このため、パネルＰ１の姿勢が乱れていた場合は、パネルＰ１の側縁に当接部１４１が当接し、姿勢及び位置が調整される。これにより、パネルＰ１の四辺のうち、Ｘ方向両側に位置する一対の辺は、それぞれレール１２２側に向かってセンタリングされて位置決めされ、Ｙ方向と平行又はほぼ平行に姿勢調整される。

並行して、パネルＰ１のスライドユニット１２３に対するＹ方向の姿勢及び位置の調整を行う。駆動部１５２の駆動により、調整ユニット１５の当接部１５１が、それぞれ姿勢及び位置調整位置に移動する。このとき、両調整ユニット１５は、Ｙ方向における位置が同じ位置となるよう、また、Ｘ方向に対して平行となるように、それぞれの姿勢及び位置が調整されている。パネルＰ１の移動には２つのスライドユニット１２３のうちの一方を用いる。図７（Ｂ）に示すように吸着部１２３１が昇降機構１２３４によって吸着位置に上昇される。

図８（Ａ）に示すように、スライドユニット１２３をパネルＰ１のサイズに応じて設定された距離だけＹ方向に移動して停止する。このとき、吸着部１２３１の当接部１２３２がパネルＰ１の搬送方向上流側端縁（搬送方向後端縁）に当接し、パネルＰ１を搬送方向下流側に向かって押圧する。その後、パネルＰ１の搬送方向上流側端縁が両当接部１５１に当接され、スライドユニット１２３の移動が停止される。スライドユニット１２３の停止時における当接部１２３２と当接部１５１とのＹ方向の離間距離は、パネルＰ１のＹ方向の幅に略等しい。これにより、パネルＰ１の搬送方向の両側の端縁（搬送方向の前端縁及び後端縁）の内、少なくとも搬送方向前端縁は、両当接部１５１の位置に位置決めされ、Ｘ方向と平行に姿勢調整される。

以上により、パネルＰ１の姿勢調整及び位置決めが完了する。この段階で吸着部１２３１の吸着孔１２３１ａからの空気の吸引を行い、吸着部１２３１にパネルＰ１を吸着保持させる。図８（Ｂ）に示すように、調整ユニット１４及び１５の各当接部１４１、１５１を退避位置に戻す。当接部１５１を退避位置に戻す前に、スライドユニット１２３を僅かに上流側に戻すことで当接部１５１がパネルＰ１の前端縁（搬送方向下流側の端縁）と擦れることを防止できる。

次に、位置検出ユニット７によりパネルＰ１の位置を検出する。図９（Ａ）に示すように、スライダ７１をＸ方向に移動し、パネルＰ１の角部の上方と推測される２か所の位置においてスライダ７１の移動を停止してカメラ７１で撮影を行う。これによりパネルＰ１の前側（搬送方向で下流側）の２か所の角部が撮影される。

次に、図９（Ｂ）に示すようにスライドユニット１２３をパネルＰ１のＹ方向の幅分だけ移動させ、パネルＰ１をＹ方向の幅分だけ送り出す。スライダ７１を図９（Ａ）の場合とは逆方向に移動し、パネルＰ１の角部の上方と推測される２か所の位置においてスライダ７１の移動を停止してカメラ７１で撮影を行う。これによりパネルＰ１の後側（搬送方向で上流側）の２か所の角部が撮影される。こうして４か所の角部が撮影される。撮影画像から４か所の角部の位置が検出される。後述するように、この検出結果からパネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせ位置が合うようにパネルＰ１のＹ方向の搬送量を制御する。

パネルＰ１に対する上記の処理に並行して、外部の装置により搬入台５にパネルＰ２が搬入される。昇降ユニット５２は、各ピン５２１が上昇位置に位置した状態にあり、エア浮上テーブル５１の空気孔１２から空気が噴出される。そして、図１における矢印１１Ａ方向矢視図を図１０（Ａ）に示すように、エア浮上テーブル５１上にパネルＰ２が搬入される。パネルＰ２はパネルＰ１と貼り合わされる面を下向きとした水平姿勢で複数のピン５２１上に載置される。この姿勢でパネルＰ２を搬入、搬送し、パネルＰ１はパネルＰ２と貼り合わせる面を上向きの姿勢で、搬入、搬送することにより、両者を貼り合わせる際に、パネルＰ１やパネルＰ２の上下面の姿勢を変更するための、”持ち替え”が不要となる。

図１０（Ｂ）に示すように昇降ユニット５２により、各ピン５２１を降下位置に降下させる。これによりパネルＰ２が複数のピン５２１からエア浮上テーブル５１に移載される。このとき、パネルＰ２はエア浮上テーブル５１の上面に密着するのではなく、若干浮き上がった浮遊状態で支持される。

続いて、パネルＰ２の姿勢調整及び位置決めを行う。図１０（Ｂ）及び図１０（Ｃ）に示すように、各調整ユニット５３、５４の駆動部５３２、５４２が駆動され、当接部５３１、５４１が位置決め位置に移動する。位置決め位置における当接部５３１間のＹ方向の離間距離は、パネルＰ２のＹ方向の幅に略等しい。また、位置決め位置における当接部５４１間のＸ方向の離間距離は、パネルＰ２のＸ方向の幅に略等しい。このため、パネルＰ２の姿勢が乱れていた場合は、パネルＰ２の側縁に当接部５３１、５４１が当接し、姿勢及び位置が調整される。パネルＰ１は保持ユニット２へ移動している。

以上により、パネルＰ２の姿勢調整及び位置決めが完了する。その後、図１０（Ｄ）に示すように、駆動部５３２、５４２が、調整ユニット５３、５４の各当接部５３１、５４１を退避位置に戻すと共に、昇降ユニット５２が、各ピン５２１を上昇位置に上昇させ、パネルＰ２が持ち上げられる。

なお、パネルＰ２の姿勢調整および位置決めの前後に、各ピン５２１を下降位置に下降させ、パネルＰ２をテーブル５２１に載置した状態で、パネルＰ２の検査等の処理を行ってもよい。

次に、図１１（Ａ）に示すように吸着ユニット３１を搬入台５上に移動し、パネルＰ２上に降下させてパネルＰ２を吸着する。パネルＰ２は、パネルＰ１に貼り合わされる側の面（ここでは下面）とは反対側の面（ここでは上面）が吸着される。図１１（Ｂ）に示すように吸着ユニット３１を搬入台５から上昇し、位置検出ユニット８によりパネルＰ２の位置を検出する。図１１（Ｂ）に示すように、移動機構８３により支持部材８２が撮影位置に移動され、２つのカメラ８１が図１２（Ａ）に示すようにパネルＰ２の２つの角部の略真下に位置する。２つのカメラ８１で撮影を行うことで、パネルＰ２のＸ方向の一方側（図１２（Ａ）中では上側）における２か所の角部が撮影される。

次に、パネルＰ２のＸ方向の他方側における２か所の角部の撮影に移る。回転機構３２ａを駆動し、図１２（Ｂ）及び図１２（Ｃ）に示すように吸着ユニット３１を１８０度回転させる。回転完了後、２つのカメラ８１で撮影を行うことで、パネルＰ２の反対側（図１２（Ｃ）中では上側、図１２（Ａ）中では下側に位置）における残りの２か所の角部が撮影される。こうして４か所の角部が撮影される。撮影画像から４か所の角部の位置が検出される。後述するように、この検出結果からパネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせ位置が合うようにパネルＰ２のＸ方向の搬送量を制御する。

パネルＰ２の搬入に並行して、パネルＰ１を処理領域Ｒ２へ搬送して保持ユニット２で保持する。図１３（Ａ）に示すように、保持機構２０ｂの保持部２１ｂは溝部１２１ｂ内のエア浮上テーブル１２１の上面よりも下側の待機位置に位置しており、その上にパネルＰ１が搬送される。保持機構２０ａの保持部２１ｂはパネルＰ１よりも高い位置で、かつ、パネルＰ１よりも搬送方向で上流側に待機している。

図１３（Ｂ）に示すように保持機構２０ａの保持部２１ａを溝１２１ａ内に降下させる。続いて移動機構２６（図１参照）を駆動して保持機構２０ａを支持する支持部材２４を移動し、図１４（Ａ）に示すように、保持部２１ａをパネルＰ１の下側に進入させる。

パネルＰ１が各保持部２１ａ、２１ｂ上の位置に移動されると、スライドユニット１２３の吸着部１２３１でのパネルＰ１の吸着が解除され、図１４（Ａ）に示すようにスライドユニット１２３は僅かに上流側の位置へ退避する。

図１４（Ｂ）に示すように各昇降機構２３ａ、２３ｂが同期的に駆動されて各保持部２１ａ、２１ｂを同期的に上昇させる。これによりパネルＰ１が保持部２１ａ、２１ｂに移載される。各保持部２１ａ、２１ｂはパネルＰ１を下から支え、ローラ４１よりも高い保持位置まで上昇される。

次に、搬送機構３によりパネルＰ２を保持ユニット２に保持されたパネルＰ１の上方に搬送し、両者を重ね合わせる。図１５で二点鎖線及び矢印Ａ１３１、Ａ１３２で示すように、吸着ユニット３１を水平移動してパネルＰ１上に移動させ、吸着ユニット３１を降下してパネルＰ１上にパネルＰ２を重ね合わせる。このとき、パネルＰ１とパネルＰ２とは僅かに接触するか或いは僅かに離間した状態にあり、パネルＰ２は吸着ユニット３１に支持されたままである。

次に、パネルＰ１とパネルＰ２を重ね合わせたものに厚み方向の押圧力を付与する。まず、図１６（Ａ）に示すように、ローラ４１をパネルＰ１の下へ移動する。ローラ４１は、後に保持部２１ｂと干渉しないよう、保持部２１ｂの真下を避けた上で、パネルＰ１の搬送方向前端縁よりもわずかに搬送方向上流側の位置まで移動される。

続いて、図１６（Ｂ）に示すように、昇降機構４３によりローラ４１を上昇させ、パネルＰ１の下面に当接して上方（パネルＰ２側）へ押圧する。押圧の反力は吸着ユニット３１を介して搬送機構３により受けられる。パネルＰ１、Ｐ２はローラ４１と吸着ユニット３１とで挟持された状態となる。この状態で、図１６（Ｃ）に示すようにローラ４１をＹ方向に移動させ、保持部２１ａと干渉しない範囲でパネルＰ１の搬送方向後端縁よりもわずかに搬送方向下流側の位置まで移動させる。ローラ４１はフリーローラであるので、転動しながらパネルＰ１の下面を搬送方向下流側から上流側にかけて押圧する。これにより、全面に渡ってパネルＰ１とパネルＰ２とが圧着されて貼り合わされ、積層体ＬＢが得られる。この状態では、積層体ＬＢは吸着ユニット３１に実質的に支持されている。

次に、積層体ＬＢを吸着ユニット３１からスライドユニット１２３へ移載する。まず、図１７（Ａ）に示すように昇降機構４３によりローラ４１を降下させる。図１７（Ｂ）に示すようにローラ４１を元の位置へＹ方向に移動する。また、スライドユニット１２３を積層体ＬＢの下方へ移動する。図１７（Ｃ）に示すように、保持ユニット２の各保持部２１を待機位置に降下させ、吸着ユニット３１を降下させて積層体ＬＢをエア浮上テーブル１２１上に位置させる。スライドユニット１２３の吸着部１２３１での吸着を再開し、吸着ユニット３１の吸着を解除することで、積層体ＬＢが保持ユニット３１からスライドユニット１２３へ移載される。

次に、積層体ＬＢを搬出する工程に移る。図１８に示すように、スライドユニット１２３を移動して、積層体ＬＢを搬出エリアＲ３の昇降ユニット１３上に移動する。吸着ユニット３１は次の処理を行うべく、上昇後、Ｘ方向に移動される。積層体ＬＢが搬出エリアＲ３の昇降ユニット１３上に到達すると、各ピン１３１を上昇させて積層体ＬＢの下面に当接させた後、スライドユニット１２３の吸着部１２３１による積層体ＬＢの吸着を解除する。これにより積層体ＬＢはエア浮上テーブル１２１からピン１３１に移載され、供給先の装置に受け渡し可能な状態となる。

このように本実施形態の製造装置Ａでは、両パネル（パネルＰ１とパネルＰ２）の搬送から両パネル同士の位置合わせまでを連続的に、精度よく行うことができ、積層体ＬＢの製造効率を向上できる。

次に、図１９（Ａ）〜図２０（Ｂ）を参照して、パネルＰ１、パネルＰ２の搬送量の制御について説明する。パネルＰ１と、パネルＰ２とは、互いに位置ずれなく、所定の位置関係で貼り合わせられることが好ましい。そこで、位置検出ユニット７によるパネルＰ１の位置検出結果と、位置検出ユニット８によるパネルＰ２の位置検出結果に基づいて、パネルＰ１、パネルＰ２を貼り合わせする位置にパネルＰ１、パネルＰ２が位置するように、パネルＰ１、Ｐ２の各搬送量の制御を行う。ここでは、パネルＰ１、パネルＰ２のＸ−Ｙ平面上の各中心位置が合うように各搬送量を制御する。中心位置としては、パネルの対角線同士の交点や、パネルの一方の向かい合う辺の中点同士を結ぶ線と他方の向かい合う辺の中点同士を結ぶ線との交点等が挙げられる。

図１９（Ａ）は、搬送量制御の説明図である。処理領域Ｒ２における積層体ＬＢの中心位置を座標ＲＰ（Ｘ、Ｙ）と仮定する。座標ＲＰ１（Ｘ、Ｙ１）は、調整ユニット１４及び１５により姿勢調整及び位置決めされたパネルＰ１の中心点の理想的な座標である。パネルＰ１の中心点が座標ＲＰ１にある場合、基準距離ＬＹ（＝Ｙ−Ｙ１）だけパネルＰ１をＹ方向に搬送すると、パネルＰ１が処理領域Ｒ２において、その中心点が座標ＲＰに位置することになる。

同様に、座標ＲＰ２（Ｘ１、Ｙ）は、調整ユニット５３及び５４により姿勢調整及び位置決めされたパネルＰ２の中心点の理想的な座標である。パネルＰ２の中心点が座標ＲＰ２にある場合、基準距離ＬＸ（＝Ｘ−Ｘ１）だけパネルＰ１をＸ方向に搬送すると、パネルＰ２が処理領域Ｒ２において、その中心が座標ＲＰに位置することになる。

そして、パネルＰ１、Ｐ２の実際の中心点が、座標ＲＰ１、ＲＰ２からずれている場合、パネルＰ１のＹ方向の搬送量はＹ方向のずれ分だけ加減すればよく、また、パネルＰ２のＸ方向の搬送量はＸ方向のずれ分だけ加減すればよい。

このような搬送量の制御を行うためには、Ｘ方向、Ｙ方向の座標設定が必要となる。図１９（Ｂ）はその一例を示す。ここでは、パネルＰ１に相当する治具Ｇ１と、パネルＰ２に相当する治具Ｇ２とを用いる。治具Ｇ１と治具Ｇ２とは、互いの貼り合わせ位置がぴったり合った状態で処理領域Ｒ２に配置され、これを原位置とする。

そして、治具Ｇ２を搬送機構３によって例えば基準距離ＬＸだけ逆搬送し、位置検出ユニット８でその位置を検出する。同様に、治具Ｇ１を搬送機構１２によって例えば距離ＬＹだけ逆搬送し、位置検出ユニット７でその位置を検出する。位置検出ユニット７及び８の位置検出結果から、Ｘ方向、Ｙ方向の座標設定が可能となる。

制御に利用する情報としては、例えば、原位置における治具Ｇ１と治具Ｇ２の中心座標を原点とする。そして、位置検出ユニット７による逆搬送後の治具Ｇ１の４つの角部の座標から治具Ｇ１の中心点の座標を演算してパネルＰ１の基準中心点とする。また、位置検出ユニット８による逆搬送後の治具Ｇ２の４つの角部の座標から治具Ｇ２の中心点の座標を演算してパネルＰ２の基準中心点とする。

或いは、位置検出ユニット７による逆搬送後の治具Ｇ１の４つの角部の座標をそれぞれ角部の基準座標とし、位置検出ユニット８による逆搬送後の治具Ｇ２の４つの角部の座標をそれぞれ角部の基準座標としてもよい。

図２０（Ａ）は搬送量制御の一例を示している。位置検出ユニット７及び８の位置検出結果から、パネルＰ１の中心点の座標がＰＣ１（ｘ１、ｙ１）、パネルＰ２の中心点の座標がＰＣ２（ｘ２、ｙ２）と算出されたとする。処理領域Ｒ２において、パネルＰ１、Ｐ２の搬送後の中心点が座標ＲＣ（ｘ１、ｙ２）となるように搬送すれば、パネルＰ１、Ｐ２を互いに位置ずれなく貼り合わせることができる。

そのために、パネルＰ１の搬送量Ｌｙは、Ｌｙ＝ｙ２−ｙ１、又は、Ｌｙ＝ＬＹ＋（Ｙ１−ｙ１）−（Ｙ−ｙ２）と設定することができる。また、パネルＰ２の搬送量Ｌｘは、Ｌｘ＝ｘ２−ｘ１、又は、Ｌｘ＝ＬＸ＋（Ｘ−ｘ１）−（Ｘ１−ｘ２）と設定することができる。

パネルＰ１の位置検出タイミングと、パネルＰ２の位置検出タイミングとは、必ずしも一致しない。パネルＰ２の位置検出タイミングよりもパネルＰ１の位置検出タイミングの方が早い場合、パネルＰ１の搬送量は、基準距離ＬＹに設定しておき、パネルＰ２の位置検出完了により、搬送量を増減するようにしてもよい。また、パネルＰ２の位置検出前にパネルＰ１が既に基準距離ＬＹの搬送を完了している場合は、パネルＰ１を停止させておき、パネルＰ２の位置検出完了により、パネルＰ１を上流側又は下流側に必要量だけ再搬送するようにしてもよい。

パネルＰ１又はパネルＰ２のいずれか一方の姿勢が適切でない場合も想定される。例えば、図２０（Ｂ）に示すように、パネルＰ２は二点鎖線で図示するようにＸ方向に対してほぼ平行な姿勢であり（微小角度θ２（図示省略≠０度）だけ傾いていると仮定する）、パネルＰ１がＸ方向に対して角度θ傾いている場合も想定される。或いは、パネルＰ１の外形が厳密な方形ではなく、平行四辺形状や台形状になっている場合もある。この場合、少なくともパネルＰ１及びパネルＰ２の各対応する一辺（例えばパネルＰ１の搬送方向下流側の辺ＳＤ１及びパネルＰ２におけるパネルＰ１の辺ＳＤ１との重ね合わせに対応する辺ＳＤ２）同士のみを合わせることも可能である。

まず、パネルＰ１、Ｐ２の姿勢或いは各辺の向きは、位置検出ユニット７、８による角部の検出結果から検出できる。更に、本実施形態の場合、回転ユニット３２によって吸着ユニット３１を回転することで、パネルＰ２の姿勢を補正可能である。

したがって、例えば、図２０（Ｂ）に示すように角度θだけ傾いたパネルＰ１に対して、貼り合わせ位置においてパネルＰ２を重ね合わせるために必要な補正角度θ’（＝θ−θ２）分だけパネルＰ２を回転させることで、パネルＰ１、Ｐ２の姿勢或いは向きを合わせることも可能である。このとき、パネルＰ２の中心点の座標ＰＣ２（ｘ２、ｙ２）は、パネルＰ２を角度θ’だけ回転させた後の中心点の座標ＰＣ２’（ｘ２’、ｙ２’）に置き換えた後、パネルＰ１の搬送量Ｌｙ、パネルＰ２の搬送量Ｌｘをそれぞれ設定することになる。座標ＰＣ２’は、座標ＰＣ２と、回転角と、回転ユニット３２の回転中心の座標（設計上、既知の座標である）から演算することができる。

なお、本実施形態ではパネルＰ２を回転可能としたが、パネルＰ１を回転可能に構成してもよい。或いは、パネルＰ１、パネルＰ２の双方を回転可能としてもよい。

以上の通り、本実施形態では、パネルＰ１のＹ方向の搬送量と、パネルＰ２のＸ方向の搬送量の制御によって、パネルＰ１とパネルＰ２との互いの貼り合わせ位置を合わせることができ、貼り合わせ位置を合わせるための専用の装置を必要としない。したがって、パネルの搬送からパネル間の位置合わせまでを、より簡易な構成で実現することができる。

なお、本実施形態では、パネルＰ１及びパネルＰ２の角部や中心点を基準としているが、基準の取り方はこれに限られず、一部の辺としてもよいし、アライメントマーク等を基準としてもよい。

また、本実施形態では、パネルＰ１とパネルＰ２として、カバーパネル及び画像表示パネルを例示したが、本発明はこれ以外のパネルにも適用可能である。パネルＰ１とパネルＰ２の形状も方形に限られず、各種の形状に対応可能である。樹脂ＲＧの段差の要因として、遮光層ＬＳの存在による段差を例示したが、本発明はこれ以外の段差を要因とする樹脂ＲＧの段差の抑制にも適用可能である。

本実施形態では、パネルＰ１の搬送機構１２として、エア浮上テーブル１２１とスライドユニット１２３とを組み合わせた構成としたが、これに限られず、ベルトコンベアやローラコンベア等、各種の移動機構を採用可能である。

本実施形態では、搬送機構３が吸着ユニット３１によってパネルＰ２を吸着保持する構成としたが、保持機構はこれに限られずクランプ機構等の機械式保持機構等、他の保持機構を採用してもよい。

本実施形態では、積層体ＬＢの押圧に際して、ローラ４１を採用したが、これ以外の押圧機構も採用可能である。また、積層体ＬＢの押圧に際して、ローラ４１をＹ方向に移動する構成としたが、積層体ＬＢをＹ方向に移動する構成としてもよい。更に、ローラ４１をパネルＰ１下面に当接する構成としたが、これとは逆に、積層体ＬＢを下側から支えてパネルＰ２上面側からパネルＰ１側へ押圧する構成としてもよい。

本実施形態では、保持ユニット２によるパネルＰ１の保持機構として、保持部２１ａ、２１ｂ上にパネルＰ１を載せる構成としたが、吸着保持やクランプ機構等の機械式保持機構等、他の保持機構も採用可能である。

＜第２実施形態＞
ローラ４１によってパネルＰ１をパネル２側に押圧する際、極力気泡が混入しないようにパネルＰ１を押圧することが好ましい。そこで、パネルＰ１を傾斜して保持しておき、ローラ４１の移動に伴って水平姿勢となるようにしてもよい。図２１（Ａ）〜（Ｄ）はその一例を示す。

まず、図２１（Ａ）に示すように、パネルＰ１を、搬送方向で上流側の端部Ｅ２が、搬送方向で下流側の端部Ｅ１よりもパネルＰ２から離れるように斜めに保持する。換言すると、ローラ４１による押圧開始位置に近い方の端部Ｅ１はパネルＰ２に近接させ、押圧終了位置に近い方の端部Ｅ２はパネルＰ２から離れるようにパネルＰ１を保持する。同図の例では、保持部２１、２１の高さを変えることで、端部Ｅ１、Ｅ２間で高低差ｈを生じさせている。

次に、図２１（Ｂ）に示すように、ローラ４１による押圧を開始する。ローラ４１の移動に合わせて、端部Ｅ２側の保持部２１を上昇させ（図２１（Ｃ））、ローラ４１が押圧終了位置に到達したときには、図２１（Ｄ）に示すように、パネルＰ１が水平姿勢となるようにする。パネルＰ１とパネルＰ２との間の空気が、ローラ４１の押圧と移動によって端部Ｅ２側から押し出されて抜けやすくなり、気泡の混入を低減することができる。

図２１（Ａ）〜（Ｄ）の方法により気泡の混入を防止する際、パネルＰ１の強度や柔軟性次第で、ローラ４１が押圧を開始した直後に、パネルＰ１の端部Ｅ２側がパネルＰ２に接触してくっつく場合があり得る。この場合、空気が押し出されにくくなる。そこで、パネルＰ１のうち、ローラ４１による押圧前の部分が、パネルＰ２に接触することを規制するようにしてもよい。図２２（Ａ）〜（Ｅ）はその一例を示す図である。

同図の例では、保持機構２０ａ、２０ｂに代わる保持機構２００ａ、２００ｂを採用し、保持機構２００ａ、２００ｂに上述した規制を行う構成を設けている。

図２２（Ａ）を参照して、保持機構２００ａは、保持部２０１ａと、規制部２０２ａと、支持部２０３ａと、昇降機構２０４ａと、を備える。図示しないが、昇降機構２０４ａは、例えば、上述した支持部材２４及び移動機構２６と同様の構成でＹ方向に移動可能とされ、したがって、保持部２０１ａと、規制部２０２ａとはＹ方向に移動可能とされている。

保持機構２００ｂは、保持部２０１ｂと、規制部２０２ｂと、支持部２０３ｂと、昇降機構２０４ｂと、を備える。図示しないが、昇降機構２０４ｂも、例えば、上述した支持部材２４及び移動機構２６と同様の構成でＹ方向に移動可能とされ、したがって、保持部２０１ｂと、規制部２０２ｂとはＹ方向に移動可能とされている。

保持部２０１ａ、２０１ｂは、パネルＰ１の周縁部下面に当接するように配置された爪状の部材である。規制部２０２ａ、２０２ｂは、保持部２０１からＺ方向に離間して配置され、保持部２０１ａ、２０１ｂ上のパネルＰ１が上方へ移動することを規制する爪状の部材である。支持部２０３ａ、２０３ｂは、保持部２０１ａ、２０１ｂと規制部２０２ａ、２０２ｂとを支持する部材である。昇降機構２０４ａ、２０４ｂは、支持部２０３ａ、２０３ｂを昇降する機構を備える。

図２２（Ａ）に示すように、保持部２０１ａ、２０１ｂは、パネルＰ１の保持前においては、パネルＰ１よりも高い位置に退避している。パネルＰ１を保持する場合は、図２２（Ｂ）に示すように、昇降機構２０４ａ、２０４ｂによって保持部２０１ａ、２０１ｂ及び規制部２０２ａ、２０２ｂを降下させ、かつ、保持部２０１ａ、２０１ｂと規制部２０２ａ、２０２ｂとの間にパネルＰ１が挿入されるように、昇降機構２０４ａ、２０４ｂをＹ方向に移動する。

続いて、昇降機構２０４ａ、２０４ｂによって、保持部２０１ａ、２０１ｂ及び規制部２０２ａ、２０２ｂを上昇させ、保持部２０１ａ、２０１ｂによってパネルＰ１を保持する。このとき、図２２（Ｃ）に示すように、端部Ｅ１側を端部Ｅ２側よりも高い位置に上昇することで、パネルＰ１の姿勢は上述した図２１（Ａ）と同様になる。

次に、図２２（Ｄ）に示すように、ローラ４１による押圧を開始する。端部Ｅ１側がローラ４１で押圧されることにより、端部Ｅ２側もパネルＰ２に接触する可能性があるが、規制部２０２が端部Ｅ２と当接して、端部Ｅ２がパネルＰ２に近接することを規制する。その後、図２１（Ａ）〜（Ｄ）の例と同様に、ローラ４１の移動に合わせて、端部Ｅ２側の保持部２０１ａ、２０１ｂを上昇させ（図２２（Ｅ））、ローラ４１が押圧終了位置に到達したときには、パネルＰ１が水平姿勢となるようにする。

こうして、パネルＰ１のうち、ローラ４１による押圧前の部分がパネルＰ２に貼りつくことを防止することができる。その結果、パネルＰ１とパネルＰ２との間の空気が、ローラ４１の押圧と移動によって端部Ｅ２側から押し出されて抜けやすくなり、より確実に気泡の混入を低減することができる。

なお、本実施形態では、端部Ｅ１側の保持機構２００にも規制部２０２を設けているが、これを省略してもよい。

＜第３実施形態＞
パネルＰ１に接着剤ＲＧを塗布する塗布ユニットか、その硬化を促進する装置の少なくともいずれかを設けてもよい。図２３は、その一例を示す。

同図の製造装置Ｂは、塗布ユニット１と硬化促進装置ＵＶ１とが設けられている。塗布ユニット１の上流側には昇降ユニット１３と、調整ユニット１４及び１５とが設けられ、下流側には、調整ユニット１４及び１５と位置検出ユニット７とが設けられている。本実施形態の場合、接着剤ＲＧの塗布前に、その上流側の調整ユニット１４及び１５でパネルＰ１の位置決めを行い、塗布後にも、その下流側の調整ユニット１４及び１５でパネルＰ１の位置決めを行う。そして、位置検出ユニット７でパネルＰ１の位置検出を行って、パネルＰ２との貼り合わせ位置が合うようにパネルＰ１の搬送量を制御する構成である。

塗布ユニット１は、パネルＰ１の表面に、接着剤ＲＧとして液状の光硬化性樹脂を塗布するユニットであり、塗布ヘッド１０と、移動機構１１と、を備える。

塗布ヘッド１０はエア浮上テーブル１２１の上方に配置されており、エア浮上テーブル１２１の上面に対向するように配置されたノズル１０１を備える。ノズル１０１は液状で光透過性を有する光硬化性樹脂を吐出可能である。

ノズル１０１はＸ方向に延在するスリット状のノズルであり、光硬化性樹脂はＸ方向に広がる幕状に下方へ連続的に吐出される。パネルＰ１を搬送機構１２で搬送しながら光硬化性樹脂を吐出することでパネルＰ１の表面に光硬化性樹脂の液膜を形成することができる。

移動機構１１は、塗布ヘッド１０のＸ方向の両端部にそれぞれ設けられており、塗布ヘッド１０を水平姿勢で支持する。各移動機構１１は、不図示の駆動機構を備え、互いに同期的に制御されて塗布ヘッド１０をＺ方向に移動する。換言すると、移動機構１１は塗布ヘッド１０を水平姿勢に保持したまま、昇降する。塗布ヘッド１０はＹ方向及びＸ方向には移動不能である。駆動機構は、例えば、ボールネジ機構、ベルト伝動機構等を採用可能である。

硬化促進装置ＵＶ１は、保持ユニット２よりもＹ方向の下流側に配置されており、積層体ＬＢの形成後に、光硬化性樹脂の硬化を促進する。硬化促進装置ＵＶ１は、Ｘ方向に延設され、その両端部が支柱ＣＬで支持されてエア浮上テーブル１２１の上面よりも上方に水平に配置されている。

硬化促進装置ＵＶ１は、Ｘ方向に延設された光源ＬＴＳを備える。光源ＬＴＳは紫外線を照射する。積層体ＬＢが硬化促進装置ＵＶ１の下方を移動する際、光源ＬＴＳにより積層体ＬＢに紫外線を照射する工程を実行することで、光硬化性樹脂の硬化が促進され、パネルＰ１とパネルＰ２との接着を強固なものとすることができる。

＜第４実施形態＞
パネルＰ１の光硬化性樹脂の硬化を促進する構成を設けてもよい。図２４は本実施形態の製造装置Ｃの平面図である。製造装置Ｃは製造装置Ｂに硬化促進装置ＵＶ２とシャッタ装置９とを追加したものであり、他の構成は製造装置Ｂと同じである。なお、製造装置Ｃにおいて硬化促進装置ＵＶ１を設けない構成も採用可能である。

硬化促進装置ＵＶ２は、塗布ヘッド１０よりもＹ方向の下流側で、位置検出ユニット７や保持ユニット２等よりも上流側に配置されている。つまり、パネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせ位置よりも上流側に位置している。

硬化促進装置ＵＶ２の構成は硬化促進装置ＵＶ１と同じである。つまり、硬化促進装置ＵＶ２は、Ｘ方向に延設され、その両端部が支柱ＣＬで支持されてエア浮上テーブル１２１の上面よりも上方に水平に配置されている。硬化促進装置ＵＶ２は、Ｘ方向に延設された光源ＬＴＳを備える。光源ＬＴＳは紫外線を照射する。パネルＰ１が硬化促進装置ＵＶ２の下方を移動する際、光源ＬＴＳによりパネルＰ１に紫外線を照射する工程を実行することで、光硬化性樹脂を半硬化させることができる。これにより、パネルＰ１とパネルＰ２とを貼り合わせる際に、気泡の混入を防ぎ、両者の位置ずれ等を防止して積層体ＬＢの取扱いを容易化することができる。

シャッタ装置９は、塗布ヘッド１０と硬化促進装置ＵＶ２との間に配置されている。シャッタ装置９は、Ｘ方向に延設され、その両端部が支柱９２で支持されてエア浮上テーブル１２１の上面よりも上方に水平に配置されている。シャッタ装置９は、塗布ヘッド１０と硬化促進装置８との間を遮光可能な可動のシャッタ９１を備える。

シャッタ装置９は、パネルＰ１がシャッタ装置９の下方を通過するとシャッタ９１を降下して塗布ヘッド１０と硬化促進装置ＵＶ２との間を遮光する。その後、硬化促進装置ＵＶ２が駆動され紫外線が照射される。シャッタ９１の存在により塗布ヘッド１０は紫外線から遮光され、ノズル１０１に付着している光硬化性樹脂が固化することを抑制できる。パネルＰ１が硬化促進装置ＵＶ２を通過して光源９１の駆動が停止されるとシャッタ９１は上昇される。

Ｐ１、Ｐ２ パネル、ＬＳ 積層体、３ 搬送機構、６ 制御ユニット、７、８ 位置検出ユニット、１２ 搬送機構

Claims (21)

1. 第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造方法であって、
   前記第一のパネル及び前記第二のパネルの位置をそれぞれ検出する位置検出工程と、
   前記第一のパネルと前記第二のパネルとを重ねて貼り合わせる作業領域に向けて、前記第一のパネルを第一の方向に搬送する第一の搬送工程と、
   前記作業領域に向けて、前記第二のパネルを搬送する第二の搬送工程と、を備え、
   前記第一の搬送工程では、前記第一のパネルの前記第一の方向の搬送量を、前記位置検出工程による前記第一のパネルの位置検出結果と前記第二のパネルの位置検出結果とに基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの貼り合わせ位置が合うように制御し、
   前記第二の搬送工程では、前記第二のパネルの前記第二の方向の搬送量を、前記第二のパネルの前記位置検出結果と、前記第一のパネルの前記位置検出結果とに基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの貼り合わせ位置が合うように制御する、
   ことを特徴とする製造方法。
2. 請求項１に記載の製造方法であって、
   前記第一のパネル又は前記第二のパネルの少なくともいずれか一方の姿勢を補正する補正工程を更に備え、
   前記補正工程では、前記第一のパネル及び前記第二のパネルの前記位置検出結果に基づいて、前記第一の方向及び前記第二の方向の双方に対して直交する第三の方向の軸回りに、姿勢を補正するべくパネルを回転させる、
   ことを特徴とする製造方法。
3. 請求項２に記載の製造方法であって、
   前記補正工程では、前記第二のパネルの姿勢を補正し、
   前記第一の搬送工程では、前記位置検出工程により位置が検出された前記第一のパネルを、前記作業領域に向けて前記第一の方向に搬送し、
   前記第二の搬送工程では、前記位置検出工程により位置が検出され、かつ、前記補正工程により姿勢が補正された前記第二のパネルを、前記作業領域に向けて前記第二の方向に搬送する、
   ことを特徴とする製造方法。
4. 請求項２に記載の製造方法であって、
   前記補正工程では、前記第一のパネルの姿勢を補正し、
   前記第一の搬送工程では、前記第位置検出工程により位置が検出され、かつ、前記補正工程により姿勢が補正された前記第一のパネルを、前記作業領域に向けて前記第一の方向に搬送し、
   前記第二の搬送工程では、前記位置検出工程により位置が検出された前記第二のパネルを、前記作業領域に向けて前記第二の方向に搬送する、
   ことを特徴とする製造方法。
5. 請求項１に記載の製造方法であって、
   前記第一の方向と前記第二の方向とは互いに直交する方向であり、
   前記位置検出工程は、前記第一のパネルの所定の部位の位置、及び、前記第二のパネルの所定の部位の位置をそれぞれ検出し、
   前記製造方法は、
   前記第一のパネルの所定の部位の位置検出結果に基づいて、前記第一のパネルの中心点を算出する工程と、
   前記第二のパネルの所定の部位の位置検出結果に基づいて、前記第二のパネルの中心点を算出する工程と、を含み、
   前記第一の搬送工程では、前記第一のパネルの前記中心点と前記第二のパネルの前記中心点とに基づいて、前記第一のパネルの前記第一の方向における搬送量を制御し、
   前記第二の搬送工程では、前記第二のパネルの前記中心点と前記第一のパネルの前記中心点とに基づいて、前記第二のパネルの前記第二の方向における搬送量を制御する、
   ことを特徴とする製造方法。
6. 請求項２に記載の製造方法であって、
   前記補正工程によって回転される前記パネルの回転後の位置を算出する算出工程を備え、
   前記第一の搬送工程では、前記第一のパネルの前記位置検出結果と、前記第二のパネルの前記位置検出結果と、前記算出工程で算出した前記パネルの位置と、に基づいて前記第一のパネルの前記第一の方向の搬送量を制御し、
   前記第二の搬送工程では、前記第一のパネルの前記位置検出結果と、前記第二のパネルの前記位置検出結果と、前記算出工程で算出した前記パネルの位置と、に基づいて前記第二のパネルの前記第二の方向の搬送量を制御する、
   ことを特徴とする製造方法。
7. 請求項３〜６のいずれか１項に記載の製造方法であって、
   前記第一のパネルを、少なくとも前記第二の方向について位置決めする第一の位置決め工程と、
   前記第二のパネルを、少なくとも前記第一の方向について位置決めする第二の位置決め工程と、を更に備え、
   前記第一の搬送工程では、前記第一の位置決め工程で位置決めされた前記第一のパネルを前記作業領域に向けて搬送し、
   前記第二の搬送工程では、前記第二の位置決め工程で位置決めされた前記第二のパネルを前記作業領域に向けて搬送し、
   前記位置検出工程では、前記第一の位置決め工程による位置決め後の前記第一のパネルの位置、及び、前記第二の位置決め工程による位置決め後の前記第二のパネルの位置をそれぞれ検出する、
   ことを特徴とする製造方法。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の製造方法であって、
   前記作業領域において、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの積層体に、厚み方向の押圧力を付与する押圧工程を更に備える、
   ことを特徴とする製造方法。
9. 請求項８に記載の製造方法であって、
   前記押圧工程では、
   前記第一のパネル又は前記第二のパネルの一方にローラを当接し、前記積層体又は前記ローラの一方を移動させることで、前記積層体を厚み方向に押圧する、
   ことを特徴とする製造方法。
10. 請求項８のいずれか１項に記載の製造方法であって、
    前記第二の搬送工程では、前記第二のパネルの前記第一のパネルに貼り合される側の面とは反対側の面を吸着して前記第二のパネルを搬送する、
    ことを特徴とする製造方法。
11. 請求項１０に記載の製造方法であって、
    前記作業領域において、前記作業領域に搬送された前記第一のパネルを保持して上昇させる保持工程を更に備え、
    前記第二の搬送工程では、前記保持工程で保持された前記第一のパネル上に前記第二のパネルを搬送し、
    前記押圧工程では、前記保持工程で保持された前記第一のパネルを、前記第二のパネルへ押圧する、
    ことを特徴とする製造方法。
12. 請求項１１に記載の製造方法であって、
    前記押圧工程では、
    前記保持工程で保持された前記第一のパネルを、前記第一のパネルの一方端部側からローラで前記第二のパネルへ押圧しながら前記ローラを前記第一のパネルの他方端部側へ移動させ、
    前記保持工程では、
    前記第一のパネルの前記他方端部側が前記一方端部側よりも前記第二のパネルから離れるように保持し、前記ローラが前記第一のパネルの前記他方端部側へ近づくにつれて、前記第一のパネルの前記他方端部側が前記第二のパネルに近づくように前記他方端部側を上昇させる、
    ことを特徴とする製造方法。
13. 請求項１２に記載の製造方法であって、
    前記第一のパネルのうち、前記ローラによる押圧前の部分が、前記第二のパネルに接触することを規制する規制工程を含む、
    ことを特徴とする製造方法。
14. 第一のパネルと第二のパネルとを貼り合わせて積層体を製造する製造装置であって、
    前記第一のパネルの位置を検出する第一の位置検出ユニットと、
    前記第二のパネルの位置を検出する第二の位置検出ユニットと、
    前記第一のパネル及び前記第二のパネルの搬送量を制御する制御ユニットと、
    前記第一のパネルと前記第二のパネルとを重ねて貼り合わせる作業領域に向けて、前記第一のパネルを第一の方向に搬送する第一の搬送機構と、
    前記作業領域にむけて、前記第二のパネルを第二の方向に搬送する第二の搬送機構と、
    前記第一の搬送機構及び前記第二の搬送機構を制御する制御ユニットと、を備え、
    前記制御ユニットは、
    前記第一のパネルの前記第一の方向の搬送量を、前記第一の位置検出ユニットによる前記第一のパネルの位置検出結果と前記第二の位置検出ユニットによる前記第二のパネルの位置検出結果とに基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの貼り合わせ位置が合うように制御し、
    前記第二のパネルの前記第二の方向の搬送量を、前記第二のパネルの前記位置検出結果と、前記第一のパネルの前記位置検出結果とに基づいて、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの貼り合わせ位置が合うように制御する、
    ことを特徴とする製造装置。
15. 請求項１４に記載の製造装置であって、
    前記第一のパネル又は前記第二のパネルの少なくともいずれか一方の姿勢を補正する補正ユニットを更に備え、
    前記補正ユニットは、前記第一のパネル及び前記第二のパネルの前記位置検出結果に基づいて、前記第一の方向及び前記第二の方向の双方に対して直交する第三の方向の軸回りに、姿勢を補正するべくパネルを回転させる、
    ことを特徴とする製造装置。
16. 請求項１４又は１５に記載の製造装置であって、
    前記作業領域において、前記第一のパネルと前記第二のパネルとの積層体に、厚み方向の押圧力を付与する押圧ユニットを更に備える、
    ことを特徴とする製造装置。
17. 請求項１６に記載の製造装置であって、
    前記押圧ユニットは、
    前記第一のパネル又は前記第二のパネルの一方に当接するローラを備え、前記積層体又は前記ローラの一方を移動させることで、前記積層体を厚み方向に押圧する、
    ことを特徴とする製造装置。
18. 請求項１７に記載の製造装置であって、
    前記第二の搬送機構は、前記第二のパネルの前記第一のパネルに貼り合される側の面とは反対側の面を吸着して前記第二のパネルを搬送する、
    ことを特徴とする製造装置。
19. 請求項１８に記載の製造装置であって、
    前記作業領域において、前記作業領域に搬送された前記第一のパネルを保持して上昇させる保持ユニットを更に備え、
    前記第二の搬送機構は、前記保持ユニットで保持された前記第一のパネル上に前記第二のパネルを搬送し、
    前記押圧ユニットは、前記保持ユニットで保持された前記第一のパネルを、前記第二のパネルへ押圧する、
    ことを特徴とする製造装置。
20. 請求項１９に記載の製造装置であって、
    前記押圧ユニットは、前記保持ユニットで保持された前記第一のパネルを、前記第一のパネルの一方端部側からローラで前記第二のパネルへ押圧しながら前記ローラを前記第一のパネルの他方端部側へ移動させ、
    前記保持ユニットは、
    前記第一のパネルの前記他方端部側が前記一方端部側よりも前記第二のパネルから離れるように保持し、前記ローラが前記第一のパネルの前記他方端部側へ近づくにつれて、前記第一のパネルの前記他方端部側が前記第二のパネルに近づくように前記他方端部側を上昇させる、
    ことを特徴とする製造装置。
21. 請求項２０に記載の製造装置であって、
    前記保持ユニットは、前記第一のパネルのうち、前記ローラによる押圧前の部分が、前記第二のパネルに接触することを規制する規制部を含む、
    ことを特徴とする製造装置。

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