JP2015128154A - ベース板及びベース板を備えた半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、特許文献1には、半導体素子を搭載するベース板の中央部を囲むように旋回放射状にスリットを備える構成のベース板が開示されている。
また、特許文献2には、アルミニウム板の全面に貫通穴、もしくは凹所が設けられた応力緩和部材を用いた放熱装置の構成が開示されている。
さらに、特許文献4には、ダイオードの位置ずれ防止のために、ダイオード接続面がダイオードの底部に沿って窪んだ形である取り付け構造が開示されている。
従来の応力緩和を目的とした特許文献1、2では、半導体素子が位置ずれを発生することが避けられない。また、特許文献3では、凹所及び凸所を互いに嵌め合わせる部分における応力増加が避けられない。さらに、特許文献4では、ダイオードを設置する窪み端部での応力増加が発生することに対応できない。したがって、前記のような従来のベース板及び半導体装置では、応力緩和効果と位置ずれの防止を両立することはできていないのが現状である。
すなわち、ベース板は、一方の実装面に、被接合部材が接合材を介して接合されるベース板であって、前記被接合部材が接合される前記実装面の接合位置に、前記接合材を介して前記被接合部材を接合するための凹所を備え、前記凹所は、凹所開口面積が前記被接合部材よりも大きく、前記被接合部材の外周縁が対面する凹所外周部において凹所中央部よりも窪みの深さが深くなるように構成した。
かかる構成により、ベース板の被接合部材が例えば半導体素子であり導通して動作して熱が発生したときに、凹所外周部の深さ方向の接合材と、開口外周凹部、開口外周凸部となる凹凸まで充填された接合材とが、当該熱により部材間に発生する応力を吸収する。したがって、ベース板では、被接合部材が接合時に移動する(ずれる)ことがあっても、その移動した位置において開口外周凸部が被接合部材の外周縁より外側に位置することで応力にも対応することが可能となる。
かかる構成により、ベース板は、被接合部材よりも大きな面積となる凹所を設ける構成としても、一方の凹所開口外周部の開口外周凹凸部の凹と他方の凹所開口外周部の開口外周凹凸部の凸とを交互に近接させた状態で対向することができるので、凹所のスペースが効率よく形成することができる。
さらに、前記ベース板において、前記凹所外周部との境となる凹所中央外周面に、周方向に凹凸とする凹所中央外周凹部及び凹所中央外周凸部のいずれか一方または両方が形成されている構成としても構わない。
かかる構成により、半導体装置は、被接合部材の接合時の位置ずれを接合材が凹所に設けられていることで防ぎ、かつ、被接合部材が導通して動作するときに熱を発生して応力が部材間にかかっても、その応力を凹所中央部よりも深く形成した凹所外周部の接合材により吸収することができる。
ベース板は、半導体素子等の被接合部材の接合時に被接合部材の位置ずれを防止することができると共に、被接合部材が実際に動作して発熱することによって発生する応力を、凹所中央部より凹所外周部の窪みの深さを大きくすることで緩和することができる。
ベース板は、凹所を複数形成し、一方の前記開口外周凹部と、他の前記開口外周凸部とが互い違いになるように前記凹所開口外周部が隣り合うように配置しているため、実装密度を高めることができる。
ベース板は、凹所の凹所中央部及び凹所外周部の連続する底あるいは縦断面形状にした凹所の一部に傾斜面や、曲線部分があることで、接合材に係る応力を効率よく吸収することが可能となる。
また、ベース板は、一方の実装面に被接合部材の投影面積よりも面積の小さな凸面部を設け、その凸面部に接合材を介して被接合部材を実装することで、被接合部材が実際に動作して発熱することによって発生する応力を、緩和することができる。
さらに、ベース板は、一方の実装面に被接合部材の外周部に対面する位置に環状の溝部を設け、その溝部の範囲内に被接合部材の外周部を位置させることで、被接合部材が実際に動作して発熱することによって発生する応力を、緩和することができる。
また、半導体装置は、一方の実装面に凹面部あるいは環状の溝部を備えるベース板を使用することで、被接合部材の接合後に被接合部材が動作に伴い熱を発生して応力が部材間にかかっても、その応力を被接合部材の外周部に対面する位置の接合材により吸収することができる。したがって、半導体装置の製造時の歩留まりを向上し、かつ、使用寿命を延ばすことができる。
図1(a)、(b)に示すように、ベース板1は、一方の実装面に被接合部材Wを接合するように設けられるとともに、被接合部材から伝わった熱を放熱させる部材である。このベース板1は、平面視矩形状に形成された板本体2と、この板本体2の被接合部材Wの接合位置に設けた凹所3と、を備えている。例えば、ベース板1は、被接合部材Wを、ハンダペーストなどの接合材S(図13及び図14参照)を介して支持固定し、外部配線との接続を行うリードフレームや、発熱体の発する熱を放熱するヒートシンクとして使用されるものである。また、ベース板1とは発熱体とヒートシンクとの間で熱の伝導路となる介在板であっても構わない。そして、ベース板1は、その材質について、例えば、銅やアルミニウム、またはこれらの合金、セラミックなど、熱伝導性の高い材料を使用することが好ましいが特に限定されるものではない。
凹所3は、接合材Sを介して被接合部材Wが接合される部分である。この凹所3は、接合される被接合部材Wよりも大きな凹所開口面積となるように設けられている。そして、凹所3は、中央側に形成された凹所中央部4と、この凹所中央部4に連続してその外側に形成された凹所外周部5とを備えている。凹所中央部4と凹所外周部5とは底面側が段状に連続するよう形成されている。そして、凹所外周部5は、開口上端から底面までの窪み深さD2が、凹所中央部4の窪みの深さD1より深くなるように形成されている。また、凹所外周部5は、接合される被接合部材Wの外周縁Wpが対面する位置となるように形成されている。凹所外周部5の凹所開口外周部6は、ここでは平面視が矩形(長方形あるいは正方形)となるように形成されている。そして、凹所中央部4は、その面積サイズが、放熱性、及び被接合部材Wの接合するときの傾きを防止する観点から、被接合部材Wの接合面の面積の50%以上〜100%未満のとなるように構成されている。
なお、凹所3は、例えば、金型を用いたプレス加工、または切削加工、エッチング等により凹所中央部4及び凹所外周部5の形状となるように加工することができるが、加工にあたってその加工法は特に限定さるものではない。また、ベース板1の大きさ、形状及び厚みは、使用される用途や被接合部材Wの種類に対応するように予め設定されることになる。
図3(a)に示すように、ベース板11は、板本体2と、この板本体2の被接合部材Wの接合位置に設けた凹所13と、を備えている。
凹所13は、凹所中央部4と、この凹所中央部4の外周に設けた凹所外周部15とを備えている。そして、凹所中央部4と凹所外周部15とは、段差を介して底面が連続するように形成されている。また、凹所外周部15は、凹所開口外周部16が周方向に凹凸となるように開口外周凹部16a及び開口外周凸部16bが形成されている。なお、開口外周凹部16a及び開口外周凸部16bは、その窪み深さが、凹所外周部15と同じ窪み深さに形成されている。
また、図6及び図7に示すように、ベース板11、11A〜11Eでは、凹所開口外周部21〜30で示す形状としてもよい。すなわち、図6(a)に示すように、凹所開口外周部21は、矩形(長方形状)に形成した開口外周凹部21A及び開口外周凸部21Bにより構成されている。この凹所開口外周部21は、同じ間隔で開口外周凹部21Aと開口外周凸部21Bとが連続するように形成されている。
さらに、図6(c)に示すように、凹所開口外周部23は、半円形状となる開口外周凸部23Bと、両裾が半円弧となる台形状の開口外周凹部23Aと、により構成されている。なお、凹所開口外周部23は、各辺における開口外周凹部23A及び開口外周凸部23Bを一定の大きさとしているので、開口四隅となる位置では、3/4円弧状となる開口外周凸部が形成されている。
また、図6(e)に示すように、凹所開口外周部25は、一辺の2か所に二等辺三角形状に形成された開口外周凹部25Aと、2つの開口外周凹部25A、25Aの間に形成された開口外周凸部25Bとして構成されている。
さらに、図6(f)に示すように、凹所開口外周部26は、一辺の2か所に直角三角形状に形成された開口外周凹部26Aと、2つの開口外周凹部26A、26Aの間に形成された開口外周凸部26Bとにより構成されている。なお、開口外周凹部26A、26Aは、一辺に2か所均等な位置で、隣り合う方向に互いに直角部分を向けて形成されている。
また、図7(b)に示すように、凹所開口外周部28は、四角形の開口における開口四隅を半円形状の開口外周凹部28Aとし、その他の部分では開口外周直線部28aとすることで構成されている。したがって、凹所開口外周部28では、開口外周凸部がない状態の構成を示している。
そして、図7(d)に示すように、凹所開口外周部30は、四角形の各辺に開口面積の異なる矩形に形成した開口外周凸部30Bが形成され、その他の部分では開口外周直線30aとすることで構成されている。この凹所開口外周部30では、開口外周凹部がない状態の構成を示している(なお、図7(d)では各辺の中心に開口外周凸部30Bは全て同じ矩形状としても構わない)。
ベース板では、凹所開口外周部21〜30を設けることで微小位置ずれ発生時にも緩衝材となるハンダ等の接合材Sが充分に存在することにより、被接合部材Wが熱により応力が増大してもその応力を抑制できる。
このベース板100では、凹所開口外周部16(6A〜6D、16、16A〜16D、21〜30、46、56)があることで、接合材Sとして例えばハンダを使用する場合に凹凸がないものと比較してハンダのミーゼス応力が小さくなる。したがって、ベース板100のように、凹所深さが一定であっても、凹所開口外周部に凹凸が形成されることで、被接合部材Wの位置ずれを防止することができると共に、被接合部材が実際に動作して発熱することによって発生する応力を、緩和することができる。
なお、ベース板100は、凹所開口外周部16(6A〜6D、16、16A〜16D、21〜30、46、56)において凹所の底面から立ち上がる凹壁面が底面から垂直に形成されている構成であっても、底面から開口面積が広がるように傾斜面に形成されている構成であってもよい。さらに、当該凹壁面が湾曲していても構わない。
絶縁部材Nは、絶縁基板INと、この絶縁基板INの表裏に形成した金属箔Me,Meとにより構成されている。また、ヒートシンクHSは、アルミニウム等の放熱性に優れた金属により形成されている。
実施例1−1及び実施例1−2は、図1及び図3で示す構成であるCuで形成したベース板1,11を用いて、Si素子(被接合部材W:半導体素子)Seをハンダ(接合材S)により接合し、図15(c)、(d)及び図15(e)、(f)で示すような樹脂Rで封止した構成とした。また、比較例1は、図15(a)、(b)に示すように、Cuで形成したベース板Bbとして凹所が形成されていない銅板に、ハンダ(接合材)Sを介してSi素子(被接合部材W)Seを接合して樹脂Rで封止した半導体装置の構成とした。
図15(c)、(d)に示すベース板1は、銅板(縦8.0mm×横8.0mm×厚さ1.0mm)であるとともに、凹所は縦4.2mm×横4.2mm、凹所外周部の深さを0.4mm、凹所中央部の深さを0.1mmとした。また、凹所中央部は縦3.0mm×横3.0mmとした。
そして、Si素子の発熱は、素子全体で均一に生じると仮定した。Si素子Seと銅板であるベース板1,11,Bbの接合にはハンダを用い、凹所中央部又は板中央とSi素子の間隔(最薄部の厚み)を0.05mmとした。パッケージング(樹脂R)にはエポキシ樹脂を使用し、ベース板1,11,BbのSi素子Seを載せた面、及び、ベース板側部を覆うようにパッケージングするハーフモールド型とした。ベース板側部を覆うエポキシ樹脂厚み1.0mmとし、パッケージ全体厚みを4.5mmとした。表1に解析に用いたパラメータを示す。なお、表1にて降伏応力の欄に「なし」と記載した部材は弾性変形のみと仮定した。
つぎに、第1実施例で使用した実施例1−1の構成を比較例2とし、実施例1−2の構成を実施例2の構成としてシミュレーションを行った。
実施例2に係るベース板11は、図15(e)、(f)で示す構成のものが使用され、図16(c)、(d)に示すように、Si素子Seをベース板11の凹所13の中央から0.05mm横にずらして設置した。一方、比較例2とし使用されるベース板1については、開口外周凹部あるいは開口外周凸部が形成されていない矩形開口となる図15(c)、(d)に示すものを使用し、図16(a)、(b)に示すように、Si素子Seをベース板1の凹所3の中央から0.05mm横にずらして設置した。
シミュレーションによる解析結果を表3に示す。ここでも第1実施例と同様に応力値の比較には、接合材Sであるハンダ中のミーゼス応力最大値を用いた。
以上、説明したように、ベース板Bbのように凹所が形成されていない構成に対して、
ベース板1,11で示す構成では、接合時に被接合部材(Si素子Se)Wの位置ずれを防止すると共に、被接合部材Wが作動するときに発熱しても接合材Sの応力を緩和することが明らかとなった。
また、実施例3として、図17に示すように、実施例1−1の構成(図15(c)、(d))において開口上端から底面までの窪み深さD2と凹所中央部4の窪みの深さD1(D1、D2の定義は図1の通り)の差をD3(=D2−D1)とし、D3の値を0.0mmから0.5mmの範囲で変化させて測定したものを測定した。つまり、各D3でのハンダ中ミーゼス応力最大値をD=0.0mmで規格化した結果を図17に示す。図17より、実施例3中のD3が0.0mmから0.4mmの範囲においてハンダ中のミーゼス応力最大値が低減することがわかった。つまり、本発明に係る被接合部材Wの外周縁が対面する凹所外周部において凹所中央部よりも窪みの深さが深くなることを特徴とするベース板において開口上端から底面までの窪み深さD2と凹所中央部4の窪みの深さD1の差D3を0.0よりも大きく、0.4mmよりも小さい範囲に制御することによって、ハンダ中の応力を緩和する効果があることがわかった。
さらに、実施例4として、図18に示すベース板B100(比較例4)と、図10に示すベース板100(実施例4)とを比較したときの値を表3に合せた状態で、表4に示す。
2,42,52 板本体
3、3A〜3E、13、13A、43A、43B 凹所
4、4A〜4D 凹所中央部
5、5A〜5E、15、15D、15E 凹所外周部
6、6A〜6D 凹所開口外周部
16、16A〜16D、21〜30、46、56 凹所開口外周部
16a、21A〜28A、46a、56a、56c、56e 開口外周凹部
16b、21B〜27B、30B、46b、56b、56d、57f 開口外周凸部
28a〜30a 開口外周直線
60、70 半導体装置
140〜147 外周側面
140A〜147A 外周凸部(凹所中央外周凸部)
143B〜146B 外周凹部(凹所中央外周凹部)
Bb ベース板
HS ヒートシンク
IN 絶縁基板
Me 金属箔
N 絶縁部材
R 樹脂
S 接合材
Se Si素子(被接合部材:半導体素子)
W 被接合部材
Wp 外周縁
Claims (18)
- 一方の実装面に、被接合部材が接合材を介して接合されるベース板であって、
前記被接合部材が接合される前記実装面の接合位置に、前記接合材を介して前記被接合部材を接合するための凹所を備え、
前記凹所は、凹所開口面積が前記被接合部材よりも大きく、前記被接合部材の外周縁が対面する凹所外周部において凹所中央部よりも窪みの深さが深くなることを特徴とするベース板。 - 前記凹所は、凹所開口外周部を周方向に凹凸とする開口外周凹部及び開口外周凸部のいずれか一方または両方が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のベース板。
- 前記凹所は、複数設けられ、前記凹所の凹所開口外周部を周方向に凹凸とする開口外周凹部及び開口外周凸部が形成され、一方の前記開口外周凹部と、他の前記開口外周凸部とが互い違いになるように前記凹所開口外周部が隣り合うように設けられたことを特徴とする請求項1に記載のベース板。
- 前記凹所外周部と前記凹所中央部との底面が傾斜面で接続されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のベース板。
- 前記凹所外周部の縦断面形状が前記凹所中央部まで曲線となるように形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のベース板。
- 前記凹所外周部の底面から立ち上がる凹壁面から前記凹所開口外周部までに開口面積が広がる方向に傾斜面が形成されたことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のベース板。
- 前記凹所外周部との境となる凹所中央部の外周側面に、周方向に凹凸とする凹所中央外周凹部及び凹所中央外周凸部のいずれか一方または両方が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のベース板。
- 前記凹所外周部の窪みの深さと凹所中央部の窪みの深さの差が0.0mmよりも大きく0.4mmよりも小さいことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載のベース板。
- 被接合部材が接合材を介して設けられたベース板と、前記ベース板が設けられた絶縁性部材と、前記絶縁性部材が設けられた放熱性部材と、を有する半導体装置であって、
請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の前記ベース板を用いたことを特徴とする半導体装置。 - 被接合部材を備える絶縁性部材と、前記絶縁性部材が接合材を介して設けられたベース板と、前記ベース板が設けられた放熱性部材と、を有する半導体装置であって、
請求項1乃至請求項8のいずれか一項に記載の前記ベース板を用いたことを特徴とする半導体装置。 - 一方の実装面に、被接合部材が接合材を介して接合されるベース板であって、
前記被接合部材が接合される前記実装面の接合位置に、前記接合材を介して前記被接合部材を接合するための凹所を備え、
前記凹所は、凹所開口面積が前記被接合部材よりも大きく、
前記凹所は、凹所開口外周部を周方向に凹凸とする開口外周凹部及び開口外周凸部のいずれか一方または両方が形成されていることを特徴とするベース板。 - 前記凹所は、複数設けられ、前記凹所の凹所開口外周部を周方向に凹凸とする開口外周凹部及び開口外周凸部が形成され、一方の前記開口外周凹部と、他の前記開口外周凸部とが互い違いになるように前記凹所開口外周部が隣り合うように設けられたことを特徴とする請求項11に記載のベース板。
- 前記凹所の底面から立ち上がる凹壁面から前記凹所開口外周部までに開口面積が広がる方向に傾斜面が形成されたことを特徴とする請求項11又は請求項12に記載のベース板。
- 前記凹所の底面から立ち上がる凹壁面から前記凹所開口外周部まで曲面で形成されたことを特徴とする請求項11乃至請求項13のいずれか一項に記載のベース板。
- 一方の実装面に、被接合部材が接合材を介して接合されるベース板であって、前記一方の実装面に前記被接合部材の投影面積よりも小さい面積を持つ凸面部を有し、前記凸面部に前記接合材を介して被接合部材が実装されることを特徴とするベース板。
- 一方の実装面に、被接合部材が接合材を介して接合されるベース板であって、前記被接合部材の外周部に対面する、前記一方の実装面の位置に環状の溝部を備え、前記溝部に設けた前記接合材を介して前記被接合部材が接合されることを特徴とするベース板。
- 被接合部材が接合材を介して設けられたベース板と、前記ベース板が設けられた絶縁性部材と、前記絶縁性部材が設けられた放熱性部材と、を有する半導体装置であって、
請求項11乃至請求項16のいずれか1項に記載の前記ベース板を用いたことを特徴とする半導体装置。 - 被接合部材を備える絶縁性部材と、前記絶縁性部材が接合材を介して設けられたベース板と、前記ベース板が設けられた放熱性部材と、を有する半導体装置であって、
請求項11乃至請求項16のいずれか1項に記載の前記ベース板を用いたことを特徴とする半導体装置。
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