JP2017183649A - 電子デバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子デバイス製造方法は、第1面21及び第2面22を含むとともに無機層23を有する基板20を準備する準備工程と、基板に素子40を固定する固定工程と、素子に電気的に接続された導電部を含む配線層50を形成する配線層形成工程と、を備える。配線層形成工程は、基板の法線方向に沿って導電部を見た場合に導電部が素子と重なる領域から、重なる領域の外側へ延びるよう、導電部55を形成する。
【選択図】図1A
Description
まず、図1A及び図1Bを参照して、本実施の形態に係る電子デバイス10について説明する。図1Aは、電子デバイス10を示す断面図であり、図1Bは、電子デバイス10を示す平面図である。
素子40は、半導体チップなどの能動素子であってもよく、抵抗器やインダクタなどの受動素子であってもよい。素子40は、配線層50に接続される端子部を有する。本実施の形態においては、素子40が、図1Bに示すように、平面視において矩形状の輪郭を有する半導体チップである例について説明する。
基板20は、素子40が搭載される第1面21、及び第1面21の反対側に位置する第2面22を含む。また、基板20は、第1面21に形成された凹部24Aを有する。素子40は凹部24Aに収容されている。なお、基板20に搭載される素子40の数や、1つの凹部24Aに収容される素子40の数が特に限られることはない。複数の素子40が、基板20に搭載され、又は1つの凹部24Aに収容され得る。
固定部35は、素子40を基板20に固定するよう素子40と基板20との間に設けられている。固定部35は、例えば、樹脂を含む接着剤36である。接着剤36は、図2に示すように、基板20の凹部24Aの底面25と素子40の第2面42との間、及び、凹部24Aの側面26と素子40の側面43との間に設けられている。
配線層50は、素子40の端子に電気的に接続された導電部55、及び絶縁層54を含む。配線層50の導電部55は、図1A及び図1Bに示すように、基板20の第1面21の法線方向に沿って導電部55を見た場合に素子40と重なる領域から、重なる領域の外側へ延びている。以下の説明において、配線層50のうち、基板20の第1面21の法線方向に沿って導電部55を見た場合に素子40と重なる領域を第1領域R1と称し、素子40と重なる領域の外側に位置する領域を第2領域R2と称することもある。
以下、電子デバイス10の製造方法の一例について説明する。
本実施の形態によれば、基板20が無機層23を含むので、無機層23によって素子を外部環境から遮蔽することができる。このため、素子40を樹脂で封止する場合に比べて、接着剤36を構成する樹脂の選定の自由度が高くなる。従って、例えば、高い接着性を有する樹脂を用いて接着剤36を構成することができ、これによって、基板20に対して素子40をより強固に固定することができる。また、絶縁性を有する接着剤36、及び導電性を有する接着剤36のいずれをも選択することが可能になる。このため、例えば導電性を有する接着剤36を選択することにより、接着剤36を介して素子40を接地電位に接続することが可能になり、これによって、電子デバイスのノイズ耐性を向上させることができる。
素子40の位置ずれを抑制するためには、基板20の第1面21に平行な方向における基板20の凹部24Aの寸法S1と素子40の寸法S2との差が小さいことが好ましい。寸法S1と寸法S2との差は、例えば1μm以上且つ1000μm以下である。
上述の本実施の形態においては、基板20の凹部24Aの側面26が基板20の法線方向に平行である例を示したが、これに限られることはない。例えば、図5に示すように、凹部24Aの、基板20の第1面21に平行な方向における寸法S1は、第1面21から第2面22に向かうにつれて減少していてもよい。言い換えると、凹部24Aの側面26は、順テーパ形状を有していてもよい。この場合、図6に示すように、凹部24Aの側面26は、湾曲面を有していてもよい。
図7又は図8に示すように、基板20の凹部24Aの側面26に段部261を形成してもよい。段部261とは、基板20の第1面21に平行な方向における凹部24Aの側面26の位置を不連続に変化させる構造部である。段部261が設けられる場合、基板20の第1面21に平行な方向において、第1面21側に位置する側面26の位置と第2面22側に位置する側面26の位置とが異なるようになる。なお、段部261は、図7に示すように、第2面22側に位置する側面26が第1面21側に位置する側面26よりも平面視における凹部24Aの中心側に位置するように構成されたものであってもよい。若しくは、段部261は、図8に示すように、第1面21側に位置する側面26が第2面22に位置する側面26よりも平面視における凹部24Aの中心側に位置するように構成されたものであってもよい。
図9A及び図9Bに示すように、基板20の凹部24Aの側面26に、平面視における凹部24Aの中心側に突出する突起262を形成してもよい。これによって、側面26が接着剤36に接触する面積を増加させることができる。また、段部261に起因するアンカー効果により、接着剤36が剥がれにくくなる。このため、基板20に対して素子40をより強固に固定することができる。また、図9Bに示すように、基板20の第1面21に平行な方向において、基板20に対する素子40の位置をより精密に定めることができる。なお、突起262の少なくとも一部が、素子40の側面43に接触していてもよい。若しくは、突起262が素子40の側面43に接触していなくてもよい。また、突起262の形状が特に限られることはない。例えば、図9A及び図9Bにおいては、突起262が半球形状を有する例を示したが、これに限られることはなく、突起262は、円錐形状や三角錐形状などの錐形状を有していてもよく、また、円錐台形状や三角錐台形などの錐台形状を有していてもよい。
図10に示すように、基板20は、第2面22側に形成されたフィン構造部27を有してもよい。フィン構造部27は、例えば、第2面22側において第2面22の法線方向に突出する複数の突起271を含む。フィン構造部27を設けることにより、第2面22側における基板20の表面積を増加させることができる。このため、素子40で発生した熱を第2面22から周囲雰囲気へより効果的に放出することができる。
図11に示すように、基板20は、第1面21と第2面22との間に形成された流路28を有していてもよい。流路28に冷媒を循環させることにより、素子40で発生した熱をより効果的に外部に放出することができる。
図12に示すように、基板20は、第2面22を構成する伝熱層29を有していてもよい。伝熱層29は、無機層23を構成する無機材料よりも高い熱伝導率を有する材料の層である。例えば、伝熱層29はアルミニウム層である。伝熱層29を設けることにより、素子40で発生した熱を第2面22から周囲雰囲気へより効果的に放出することができる。
図13に示すように、基板20は、配線層50の導電部55に電気的に接続され、基板20を第1面21側から第2面22側へ貫通する貫通電極部30を有していてもよい。貫通電極部30を設けることにより、素子40の端子に基板20の第2面22側から電気的に接続することが可能になる。
上述の本実施の形態においては、基板20が凹部24Aを有し、凹部24Aに素子40が収容される例を示した。本変形例においては、図14に示すように、基板20が貫通孔24Bを有し、貫通孔24Bに素子40が収容される例について説明する。
上述の本実施の形態及び各変形例においては、基板20が凹部24A又は貫通孔24Bを有し、凹部24A又は貫通孔24Bに素子40が収容される例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図15に示すように、基板20の第1面21上に素子40が設けられていてもよい。この場合、素子40は、基板20の第1面21と素子40の第2面42との間に設けられた接着剤36によって、基板20に固定される。
上述の本実施の形態においては、素子40の側面43が第1面41の法線方向に平行である例を示したが、これに限られることはない。例えば、図16に示すように、素子40の側面43に段部431を形成してもよい。段部431とは、第1面41に平行な方向における素子40の側面43の位置を不連続に変化させる構造部である。段部431が設けられる場合、第1面41に平行な方向において、第1面41側に位置する側面43の位置と第2面42側に位置する側面43の位置とが異なるようになる。なお、段部431は、図16に示すように、第1面41側に位置する側面43が第2面42側に位置する側面43よりも平面視における素子40の中心側に位置するように構成されたものであってもよい。若しくは、図示はしないが、段部431は、第2面42側に位置する側面43が第1面41側に位置する側面43よりも平面視における素子40の中心側に位置するように構成されたものであってもよい。
図18に示すように、素子40の側面43に、平面視における素子40の中心側に突出する突起432を形成してもよい。これによって、素子40の側面43が接着剤36に接触する面積を増加させることができる。また、突起432に起因するアンカー効果により、接着剤36が剥がれにくくなる。このため、基板20に対して素子40をより強固に固定することができる。
図19は、本開示の実施形態に係る電子デバイス10が搭載されることができる製品の例を示す図である。本開示の実施形態に係る電子デバイス10は、様々な製品において利用され得る。例えば、ノート型パーソナルコンピュータ110、タブレット端末120、携帯電話130、スマートフォン140、デジタルビデオカメラ150、デジタルカメラ160、デジタル時計170等に搭載される。
20 基板
21 第1面
22 第2面
23 無機層
24A 凹部
24B 貫通孔
25 底面
26 側面
261 段部
262 突起
27 フィン構造部
271 突起
28 流路
29 伝熱層
30 貫通電極部
35 固定部
36 接着剤
40 素子
41 第1面
42 第2面
43 側面
431 段部
432 突起
46 素子基板
47 機能層
48 第1カッター
49 第2カッター
50 配線層
51 第1配線層
52 第2配線層
53 第3配線層
54 絶縁層
55 導電部
56 被覆層
61 第1カッター
62 第2カッター
Claims (19)
- 第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むとともに無機層を有する基板を準備する準備工程と、
前記第1面側から前記基板に素子を固定する固定工程と、
前記素子に電気的に接続された導電部を含む配線層を形成する配線層形成工程と、を備え、
前記配線層形成工程は、前記基板の法線方向に沿って前記導電部を見た場合に前記導電部が前記素子と重なる領域から、前記重なる領域の外側へ延びるよう、前記導電部を形成する、電子デバイス製造方法。 - 前記準備工程は、凹部が形成された前記基板を準備し、
前記固定工程は、前記素子を前記凹部に固定する、請求項1に記載の電子デバイス製造方法。 - 前記準備工程は、前記第1面に平行な方向における寸法が前記第1面から前記第2面に向かうにつれて減少する前記凹部が形成された前記基板を準備する、請求項2に記載の電子デバイス製造方法。
- 前記準備工程は、その側面に段部が設けられた前記凹部が形成された前記基板を準備する、請求項2又は3に記載の電子デバイス製造方法。
- 前記準備工程は、その側面に突起が設けられた前記凹部が形成された前記基板を準備する、請求項2又は3に記載の電子デバイス製造方法。
- 前記固定工程は、シリコーン系樹脂、ビスマレイミド系樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、ウレタン系樹脂、ゴム系樹脂、導電性樹脂、又は複数の導電性粒子を含む接着剤を用いて、前記基板に前記素子を固定する、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の電子デバイス製造方法。
- 前記電子デバイス製造方法は、前記素子を前記凹部に固定した後、前記基板を前記第2面側から削る切削工程を更に備える、請求項2乃至6のいずれか一項に記載の電子デバイス製造方法。
- 第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むとともに無機層を有する基板と、
前記基板に固定された素子と、
前記素子に電気的に接続された導電部を含む配線層と、を備え、
前記配線層の前記導電部は、前記基板の法線方向に沿って前記導電部を見た場合に前記素子と重なる領域から、前記重なる領域の外側へ延びている、電子デバイス。 - 前記基板は、前記素子を収容する凹部又は貫通孔を有する、請求項8に記載の電子デバイス。
- 前記基板の前記凹部又は貫通孔の、前記第1面に平行な方向における寸法は、前記第1面から前記第2面に向かうにつれて減少する、請求項9に記載の電子デバイス。
- 前記基板の前記凹部又は貫通孔の側面に段部が設けられている、請求項9又は10に記載の電子デバイス。
- 前記基板の前記凹部又は貫通孔の側面に突起が設けられている、請求項9又は10に記載の電子デバイス。
- 前記基板は、前記第2面側に形成されたフィン構造部を有する、請求項8乃至12のいずれか一項に記載の電子デバイス。
- 前記基板は、前記第1面と前記第2面との間に形成された流路を有する、請求項8乃至13のいずれか一項に記載の電子デバイス。
- 前記基板は、前記第2面を構成する伝熱層を有する、請求項8乃至14のいずれか一項に記載の電子デバイス。
- 前記基板は、前記配線層の前記導電部に電気的に接続され、前記基板を前記第1面側から前記第2面側へ貫通する貫通電極部を有する、請求項8乃至15のいずれか一項に記載の電子デバイス。
- 前記素子の側面に段部が設けられている、請求項8乃至16のいずれか一項に記載の電子デバイス。
- 前記素子の側面に突起が設けられている、請求項8乃至17のいずれか一項に記載の電子デバイス。
- 前記電子デバイスは、前記基板と前記素子との間に設けられ、シリコーン系樹脂、ビスマレイミド系樹脂、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、ウレタン系樹脂、ゴム系樹脂、導電性樹脂、又は複数の導電性粒子を含む接着剤を更に備える、請求項8乃至18のいずれか一項に記載の電子デバイス。
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