JP2014078562A - 処理液供給方法、処理液供給装置及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】新規なフィルタ部内に処理液を満たす工程と、次いで前記フィルタ部から気泡を除去するために当該フィルタ部内を負圧雰囲気である第1の圧力雰囲気にする工程と、その後、前記フィルタ部内を昇圧させる工程と、しかる後、前記フィルタ部の二次側を、前記第1の圧力雰囲気よりも高い第2の圧力雰囲気にした状態で、その一次側から処理液を前記フィルタ部に通液させる工程と、前記フィルタ部を通液した処理液を、ノズルを介して被処理体に供給して液処理を行う工程と、を実施する。これによって速やかに気泡を除去することができる。
【選択図】図1
Description
しかしながら量産コストの観点から、フィルタ部立ち上げまでに消費する処理液の削減、及び立ち上げ時間の短縮が求められている。
次いで前記フィルタ部から気泡を除去するために当該フィルタ部内を負圧雰囲気である第1の圧力雰囲気にする工程と、
その後、前記フィルタ部内が目標圧力雰囲気になるように当該フィルタ部内を前記第1の圧力雰囲気から昇圧させる工程と、
しかる後、前記フィルタ部の二次側を前記第1の圧力雰囲気よりも高い第2の圧力雰囲気にした状態で、その一次側から処理液を前記フィルタ部に通液させる工程と、
前記フィルタ部を通液した処理液を、ノズルを介して被処理体に供給して液処理を行う工程と、を含むことを特徴とする。
前記フィルタ部の一次側、二次側及びベントに夫々設けられた一次側バルブ、二次側バルブ、ベントバルブと、
前記フィルタ部内を減圧するための減圧部と、
前記バルブ及び減圧部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記一次側から処理液を供給してフィルタ部内に処理液を満たすステップと、前記一次側バルブ、二次側バルブ及びベントバルブのうち少なくとも1つを閉状態、他のバルブを開状態として、前記減圧部により当該フィルタ部内を負圧雰囲気である第1の圧力雰囲気にするステップと、
その後、前記閉状態となっているバルブを開放して前記フィルタ部内が目標圧力雰囲気になるように当該フィルタ部内を前記第1の圧力雰囲気から昇圧させるステップと、
しかる後、前記フィルタ部の二次側を前記第1の圧力雰囲気よりも高い第2の圧力雰囲気にした状態で、その一次側から処理液を前記フィルタ部に通液させ、前記ノズルを介して被処理体に供給して液処理を行うステップと、
を実行するプログラムを備えていることを特徴とする。
前記コンピュータプログラムは、本発明の処理液供給方法を実施するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
以下、本発明の処理液供給装置の一実施形態であるレジスト塗布装置1について説明する。このレジスト塗布装置1は、背景技術の項目で述べたフィルタウエッティング処理と、ウエッティングされたフィルタにより濾過したレジストを基板であるウエハWに供給するレジスト塗布処理と、を行う。図1は、このレジスト塗布装置1の全体構成について示している。
ボトル21はレジスト液を貯留する密閉型のボトルであり、当該ボトル21には配管101、102の各一端が接続されている。配管101の他端は、バルブV11を介してN2ガス供給部22に接続されている。このN2ガスはボトル21内の加圧用ガスである。配管102の他端は、バルブV12を介してリキッドエンドタンク23内に延伸されている。
続いて、第2の実施形態について図21を参照しながら、第1の実施形態との差異点を中心に説明する。この第2の実施形態においては、減圧部4の構成が第1の実施形態と異なっている。図21ではこの減圧部4及びその周辺の構成を示しており、バルブV14の上流側、バルブV15の下流側は夫々第1の実施形態と同様に構成されているため、記載を省略している。この第2の実施形態にはトラップタンク41、42の代わりにポンプ51、52が夫々設けられている。これらポンプ51、52は排気管132、134を介して真空タンク53に接続されている。真空タンク53は、液面計45が設けられていないことを除いて第1の実施形態の真空トラップタンク43と同様に構成されており、バルブV47を介して排気路136に接続されている。
図23に示す第3の実施形態は、第2の実施形態と減圧部4の構成について差異がある。第2の実施形態と同様にポンプ51、52が設けられる。これらポンプ51、52は排気路136に接続されておらず、配管501、502からのエア供給の有無によって、吐出動作、吸引動作が切り替えられる。そのような動作が行えるようにポンプ51、52は、例えばシリンジや空圧シリンダを備えたポンプとして構成される。各バルブの開閉は第2の実施形態と同様に行われ、負圧脱気処理とその後のフィルタ部3内の大気開放処理とが行われる。また、この例では真空計47が、フィルタ部3とポンプ51とを接続する配管131の真空度を計測するように構成されている。
また、ポンプ51、52を、空圧による動作するポンプとする代わりに例えば電動ポンプにより構成してもよい。これら第3の実施形態においても第1の実施形態と同様に、レジスト塗布装置1の立ち上げ時間の迅速化を図ることができる。
減圧部4を設けずに、ポンプ25を用いて負圧脱気処理を行ってもよい。図24は、そのような第4の実施形態であるレジスト塗布装置5を示している。第1の実施形態との差異点を説明すると、前記減圧部4が設けられていないことの他には、フィルタ部3のベント用ポートに接続される配管131がバルブV41を介して排液路に接続されていることが挙げられる。また、この実施形態ではフィルタ部3の二次側バルブは、トラップタンク24の排液管112に設けられるバルブV16に相当する。
図29に示す第5の実施形態に係るレジスト塗布装置50は、第4の実施形態の変形例であり、第4の実施形態と同様にポンプ25により負圧脱気処理が行われる。第4の実施形態との差異点を述べると、配管503、504が設けられること、これら配管に介設されるバルブV53、V54が設けられることが挙げられる。配管503はトラップタンク24と、配管103のバルブV14の上流側とを接続する。配管504は、ポンプ25とトラップタンク24とを互いに接続する。なお、図示の便宜上、ポンプ25からのレジストの吐出経路が、当該配管504と配管107との2つ伸びているように示しているが、実際には配管504、配管107は、ポンプ25から伸びる配管の先端側が分岐して構成されている。
本発明をレジスト塗布装置に適用するケースについて説明してきたが、処理液としてレジストを用いることには限られない。図30は現像液の供給系60及び純水の供給系61について概略的に示している。現像液供給系60及び純水供給系は、ウエハWに現像液を供給し、さらにウエハW上の当該現像液を、ウエハWに純水を供給することにより除去する現像装置を構成する。現像装置においては、そのように現像液及び純水をウエハWに供給するために、レジスト塗布装置1と同様にカップ13及びスピンチャック11が設けられる。また、各バルブの開閉などの動作を制御する制御部10が設けられるが、これらカップ13、スピンチャック11、制御部10の図示は省略している。
ところで上記の各例では、大気開放処理により気泡をレジストに溶解させた後、通流処理を行い、この気泡が溶解したレジストを排液しているが、このように通流処理による排液を行わず気泡が溶解した状態のレジストをウエハWに塗布してもよい。ただし、既述のように再発泡を避けるために、前記通流処理を行うことが好ましい。
既存の3種類のフィルタ部3を用意し、その内部の圧力を変化させた。そして、そのように圧力を変化させたときに内部の圧力が大気圧であるときの容積に対する当該容積の変化量について測定した。この試験では、大気圧以上になるように当該圧力を変化させている。前記3つのフィルタ部3を3A、3B、3Cとする。図34のグラフは、フィルタ部3A、3B、3Cについての実験結果を実線、一点鎖線、二点鎖線で夫々示している。グラフの横軸が大気圧と、設定した圧力との差分(単位MPa)であり、縦軸が容積変化量(単位mL)である。
続いて、上記の第1の実施形態に従って負圧脱気処理、フィルタ部3の大気開放処理、通流処理、ウエハWへの塗布処理を行った。ただし、この評価試験2では処理液としてレジストの代わりにシンナーを用いて実験を行った。前記通流処理において下流側へ供給するシンナーの流量は変更して、複数枚のウエハWにシンナーを供給した。そして、各ウエハWについて32nm以上の大きさのパーティクルを測定した。これを評価試験2−1とする。また、評価試験2−2として、負圧脱気処理及びその後の大気開放を行わない他は評価試験2−1と同様の試験を行った。
1 レジスト塗布装置
10 制御部
11 スピンチャック
2 減圧供給源
3 フィルタ部
25 ポンプ
4 減圧部
41、42 トラップタンク
43 真空トラップタンク
136 排気路
311 レジスト導入ポート
312 外部供給ポート
313 ベント用ポート
Claims (14)
- 新規なフィルタ部内に処理液を満たす工程と、
次いで前記フィルタ部から気泡を除去するために当該フィルタ部内を負圧雰囲気である第1の圧力雰囲気にする工程と、
その後、前記フィルタ部内が目標圧力雰囲気になるように当該フィルタ部内を前記第1の圧力雰囲気から昇圧させる工程と、
しかる後、前記フィルタ部の二次側を前記第1の圧力雰囲気よりも高い第2の圧力雰囲気にした状態で、その一次側から処理液を前記フィルタ部に通液させる工程と、
前記フィルタ部を通液した処理液を、ノズルを介して被処理体に供給して液処理を行う工程と、を含むことを特徴とする処理液供給方法。 - 前記第2の圧力雰囲気は、前記目標圧力雰囲気よりもその圧力が低く、前記第1の圧力雰囲気よりもその圧力が高い負圧雰囲気であることを特徴とする請求項1記載の処理液供給方法。
- 前記フィルタ部と前記ノズルとの間に設けられ、処理液をノズルに送るためのプロセス用のポンプの減圧動作により前記第1の圧力雰囲気が形成されることを特徴とする請求項2記載の処理液供給方法。
- 前記第1の圧力雰囲気は、処理液をノズルに送るプロセス用のポンプとは別の減圧部により形成されることを特徴とする請求項2記載の処理液供給方法。
- 前記第1の圧力雰囲気の圧力は−51kPa〜−80kPaであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の処理液供給方法。
- 前記フィルタ部内を前記目標圧力雰囲気に昇圧させる工程は、フィルタ部内を大気圧雰囲気にする工程であることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の処理液供給方法。
- 前記処理液を被処理体に供給して液処理を行った後、当該被処理体に対して液処理の検査を行い、検査結果が良好でないときには、再度フィルタ部内を第1の圧力雰囲気にする工程から第2の圧力雰囲気にする工程までの一連の工程を行うことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一項に記載の処理液供給方法。
- 処理液供給源、フィルタ部及びノズルが上流側からこの順に設けられ、ノズルから被処理体に処理液を供給して液処理を行うための処理液供給装置において、
前記フィルタ部の一次側、二次側及びベントに夫々設けられた一次側バルブ、二次側バルブ、ベントバルブと、
前記フィルタ部内を減圧するための減圧部と、
前記バルブ及び減圧部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記一次側から処理液を供給してフィルタ部内に処理液を満たすステップと、前記一次側バルブ、二次側バルブ及びベントバルブのうち少なくとも1つを閉状態、他のバルブを開状態として、前記減圧部により当該フィルタ部内を負圧雰囲気である第1の圧力雰囲気にするステップと、
その後、前記閉状態となっているバルブを開放して前記フィルタ部内が目標圧力雰囲気になるように当該フィルタ部内を前記第1の圧力雰囲気から昇圧させるステップと、
しかる後、前記フィルタ部の二次側を前記第1の圧力雰囲気よりも高い第2の圧力雰囲気にした状態で、その一次側から処理液を前記フィルタ部に通液させ、前記ノズルを介して被処理体に供給して液処理を行うステップと、
を実行するプログラムを備えていることを特徴とする処理液供給装置。 - フィルタ部とノズルとの間にプロセス用のポンプが設けられ、
前記第2の圧力雰囲気は前記目標圧力雰囲気よりもその圧力が低い負圧雰囲気であり、前記フィルタ部における一次側からの通液は、当該プロセス用のポンプにより当該第2の圧力雰囲気が形成されることにより行われることを特徴とする請求項8記載の処理液供給装置。 - 前記減圧部は、前記プロセス用のポンプを兼用していることを特徴とする請求項9記載の処理液供給装置。
- 前記減圧部は、前記プロセス用のポンプとは別個に設けられていることを特徴とする請求項9記載の処理液供給装置。
- 前記第1の圧力雰囲気の圧力は−51kPa〜−80kPaであることを特徴とする請求項8ないし11のいずれか一項に記載の処理液供給装置。
- 前記フィルタ部内を目標圧力雰囲気に昇圧させるステップは、フィルタ部内を大気圧雰囲気にするステップであることを特徴とする請求項8ないし12のいずれか一項に処理液供給装置。
- 処理液供給源、フィルタ部及びノズルが上流側からこの順に設けられ、ノズルから被処理体に処理液を供給して液処理を行うための処理液供給装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項1ないし7のいずれか一項に記載された処理液供給方法を実施するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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