JP2013234313A - エポキシ樹脂組成物、その半硬化体および硬化体、並びにそれを用いた樹脂シート、プリプレグ、積層板、金属基板、プリント配線板、およびパワー半導体装置 - Google Patents
エポキシ樹脂組成物、その半硬化体および硬化体、並びにそれを用いた樹脂シート、プリプレグ、積層板、金属基板、プリント配線板、およびパワー半導体装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】下記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂モノマーと、フィラーとを含有し、前記フィラーが、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において、重量累積分布の小粒径側からの累積50%に対応する平均粒子径(D50)が1nm〜500nmでありかつα−アルミナ粒子を含む第一のフィラーを含有する、エポキシ樹脂組成物。一般式(I)中、R1〜R4はそれぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を表す。
【選択図】なし
Description
また、それぞれ特定の平均粒子径を有する粗粉と微粉からなる無機フィラーを有した樹脂組成物が開示されている(例えば、特許文献2および3参照)。この樹脂組成物は、優れた熱伝導性を有し、かつ絶縁信頼性にも優れると報告されている。
また、ビフェニル基を有するエポキシ樹脂とキサンテン基を有する硬化剤と無機充填材とを含有する樹脂組成物が開示されている(例えば、特許文献9参照)。この樹脂組成物は、放熱性に優れると報告されている。
さらに、メソゲン基含有エポキシ樹脂と特定の構造単位を有する化合物を含むフェノールノボラック樹脂と無機充填材とを含有する樹脂組成物が開示されている(例えば、特許文献10参照)。この樹脂組成物は、硬化前における保存安定性に優れ、硬化後における熱伝導率が高いと報告されている。
〔一般式(I)中、R1〜R4はそれぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を表す。〕
〔一般式(I)中、R1〜R4はそれぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を表す。〕
〔一般式(II−1)および(II−2)中、R21はそれぞれ独立に、アルキル基、アリール基、またはアラルキル基を表す。R22およびR23はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、芳香族基、またはアラルキル基を表す。mはそれぞれ独立に、0〜2の整数を表す。nはそれぞれ独立に、1〜7の整数を表す。〕
〔一般式(IV)中、R41、R42およびR43はそれぞれ独立して、直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、または水素原子を表す。R44は直鎖または分岐鎖のアルキル基を表す。nは任意の正の整数を表す。〕
本発明のエポキシ樹脂組成物は、下記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂モノマーと、フィラーとを含む。前記フィラーは、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において、重量累積粒度分布の小粒径側からの累積50%に対応する平均粒子径(D50)が1nm〜500nmであり、かつα−アルミナ粒子を含む第一のフィラーを含有する。
特定のエポキシ樹脂モノマーと特定のフィラーとを組み合わせることで、エポキシ樹脂組成物の硬化後の高熱伝導性を達成することができる。
また、本発明者らは、エポキシ樹脂組成物に含まれるα−アルミナ粒子の平均粒子径(D50)が1nm〜500nmである場合、前記エポキシ樹脂モノマーの高次構造形成効果が顕著であり、熱伝導性の向上も顕著であることも見出した。
一般式(I)で表されるエポキシ樹脂モノマーにα−アルミナ粒子を5体積%〜10体積%含有する組成物の硬化物(厚さ:0.1μm〜20μm)を、スライドガラス(厚さ:約1mm)に挟み、これを偏光顕微鏡(例えば、オリンパス株式会社製BX51)を用いて観察する。α−アルミナ粒子が存在する領域ではα−アルミナ粒子を中心として干渉模様が観察され、α−アルミナ粒子が存在しない領域では干渉模様は観察されない。このことより、α−アルミナ粒子を中心として一般式(I)で表されるエポキシ樹脂モノマーの硬化物が高次構造を形成していることが分かる。
以下、エポキシ樹脂組成物に用いる材料について説明する。
本発明のエポキシ樹脂組成物は、下記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂モノマーを含む。
さらにR1〜R4のうちの2〜4個が水素原子であることが好ましく、3個または4個が水素原子であることが好ましく、4個すべてが水素原子であることが好ましい。R1〜R4のいずれかが炭素数1〜3のアルキル基である場合、R1およびR4の少なくとも一方が炭素数1〜3のアルキル基であることが好ましい。
なお、前記エポキシ樹脂組成物が後述の硬化剤や硬化促進剤を含む場合、ここでいうエポキシ樹脂モノマーの含有率には、特に断らない限り、これら硬化剤や硬化促進剤の含有率を含めるものとする。
Aw:エポキシ樹脂モノマーの質量組成比(質量%)
Bw:硬化剤の質量組成比(質量%)
Cw:硬化促進剤の質量組成比(質量%)
D1w:第一のフィラーの質量組成比(質量%)
D2w:第二のフィラーの質量組成比(質量%)
Ew:その他の任意成分(有機溶剤を除く)の質量組成比(質量%)
Ad:エポキシ樹脂モノマーの比重
Bd:硬化剤の比重
Cd:硬化促進剤の比重
D1d:第一のフィラーの比重
D2d:第二のフィラーの比重
Ed:その他の任意成分(有機溶剤を除く)の比重
前記エポキシ樹脂組成物は、フィラーを含む。前記フィラーは、少なくとも、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において、横軸に粒子径を、縦軸に重量累積をとった粒子径分布曲線を描いた場合(以下、重量累積粒子径分布曲線ともいい、図2に対応する)、重量累積分布の小粒径側からの累積50%に対応する平均粒子径(D50)が1nm〜500nmでありかつα−アルミナ粒子を含む第一のフィラーを含有する。または、前記エポキシ樹脂組成物は、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において、横軸に粒子径を、縦軸に頻度をとった粒子径分布曲線を描いた場合(以下、頻度粒子径分布曲線ともいい、図1に対応する)、1nm〜500nmの範囲にピークを有し、かつ1nm〜500nmの粒子径を有するフィラーがα−アルミナ粒子を含む。
前記フィラーは、平均粒子径(D50)が1μm〜100μmであり、かつセラミックス粒子を含む第二のフィラーをさらに含有することが好ましい。または、前記エポキシ樹脂組成物は、頻度粒子径分布曲線において1μm〜100μmの範囲にピークを有し、かつ1μm〜100μmの粒子径を有するフィラーがセラミックス粒子をさらに含むことが好ましい。
前記フィラーに含まれる第一のフィラーは、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において、重量累積分布の小粒径側からの累積50%に対応する平均粒子径(D50)が1nm〜500nmでありかつα−アルミナ粒子を含む。
前記第一のフィラーの平均粒子径(D50)は、熱伝導性および流動性の観点から50nm以上500nm未満であることが好ましく、100nm〜450nmであることがより好ましい。
前記第一のフィラーは、頻度粒子径分布曲線において50nm以上500nm未満の範囲にピークを有することが好ましく、100nm〜450nmの範囲にピークを有することがより好ましい。
平均粒子径(D50)は、上記測定より得られた重量累積粒子径分布曲線において、小粒径側からの累積が50%となる粒子径のことをいう。
前記フィラーは、前記第一のフィラーとともにD50が1μm〜100μmであり、かつセラミックス粒子を含む第二のフィラーを含有することが好ましい。または、頻度粒子径分布曲線において1μm〜100μmの範囲にピークを有し、かつ1μm〜100μmの粒子径を有するフィラーがセラミックス粒子をさらに含むことが好ましい。前記第二のフィラーは、熱伝導性向上のために通常フィラーとして用いられるものから適宜選択して適用することができる。
また、前記第二のフィラーの含有率は特に制限されない。熱伝導性および流動性、成形性を高める観点から、第二のフィラーの含有率はエポキシ樹脂組成物に含まれるフィラーの合計体積の80体積%〜95体積%であることが好ましく、85体積%〜95体積%であることがより好ましく、85体積%〜90体積%であることがさらに好ましい。
前記エポキシ樹脂組成物は、硬化剤の少なくとも1種を含むことが好ましい。硬化剤は、エポキシ樹脂モノマーを熱硬化可能であれば特に制限されない。例えば、酸無水物硬化剤、アミン硬化剤、フェノール硬化剤、およびメルカプタン硬化剤等の重付加型硬化剤や、イミダゾール等の触媒型硬化剤などを挙げることができる。
中でも、耐熱性の観点から、アミン硬化剤およびフェノール硬化剤から選ばれる少なくとも1種類を用いることが好ましく、さらに、保存安定性の観点から、フェノール硬化剤の少なくとも1種類を用いることがより好ましい。
中でも、熱伝導性の観点から、4,4’−ジアミノジフェニルメタンおよび1,5−ジアミノナフタレンから選ばれる少なくとも1種類であることが好ましく、1,5−ジアミノナフタレンであることがより好ましい。
フェノールノボラック樹脂の具体例としては、クレゾールノボラック樹脂、カテコールノボラック樹脂、レゾルシノールノボラック樹脂、ヒドロキノンノボラック樹脂等の、1種類のフェノール化合物をノボラック化した樹脂;カテコールレゾルシノールノボラック樹脂、レゾルシノールヒドロキノンノボラック樹脂等の、2種類またはそれ以上のフェノール化合物をノボラック化した樹脂を挙げることができる。
mはそれぞれ独立に、0〜2の整数を表わし、mが2の場合、2つのR21は同一であっても異なっていてもよい。本発明において、mはそれぞれ独立に、0または1であることが好ましく、0であることがより好ましい。
nはフェノールノボラック樹脂に含まれる一般式(II−1)および(II−2)で表される構造単位の数であり、それぞれ独立に、1〜7の整数を表す。
さらに、耐熱性の観点から、R22およびR23の少なくとも一方は芳香族基であることもまた好ましく、炭素数6〜12である芳香族基であることがより好ましい。
なお、上記芳香族基は芳香族環にヘテロ原子を含む構造であってもよい。この場合、ヘテロ原子と炭素の合計数が6〜12となるヘテロアリール基であることが好ましい。
また、一般式(II−2)で表されるカテコールに由来する構造単位を有する化合物においても同様、カテコール以外のフェノール化合物に由来する部分構造の少なくとも1種類を含んでいてもよい。カテコール以外のフェノール化合物としては、上記の化合物を挙げることができる。
また、熱伝導性を特に高める観点から、nの数で含有される構造単位は、レゾルシノールに由来する基を含んでいることが好ましい。
なお、m及びnの合計値の下限値は特に制限されない。
なお、一般式(III−1)〜(III−4)のいずれかで表される部分構造を有するフェノールノボラック樹脂は、電界脱離イオン化質量分析法(FD−MS)によって、そのフラグメント成分として前記部分構造を容易に特定することができる。
前記エポキシ樹脂組成物においてフェノール硬化剤を用いる場合、必要に応じて硬化促進剤を併用することが好ましい。硬化促進剤を併用することで、エポキシ樹脂組成物をさらに十分に硬化させることができる。硬化促進剤の種類や含有量は特に制限されないが、反応速度や反応温度、保管性の観点から、適切なものを選択することが望ましい。以下に詳細を記載する。
中でも、耐熱性の観点から、有機ホスフィン化合物、及び有機ホスフィン化合物と有機ボロン化合物との錯体からなる群より選択される少なくとも1つであることが好ましい。
例えば、前記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂モノマーと、前記一般式(II−1)および(II−2)からなる群より選択される少なくとも1つで表される構造単位を有する化合物を含むノボラック樹脂との反応の場合は、トリフェニルホスフィンとテトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレートの組み合わせが挙げられる。上記の反応の場合、トリフェニルホスフィンでは150℃以下の熱で反応が進む。これに対し、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレートでは150℃以下の熱では反応がほとんど進まない。つまり、半硬化エポキシ樹脂組成物を作製する際には150℃以下の熱をかけてトリフェニルホスフィンのみを作用させ、硬化反応を進行させすぎずに柔軟性やフロー性を保った状態のエポキシ樹脂組成物が作製できる。硬化エポキシ樹脂組成物を作製する際には150℃以上の熱をかけてテトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレートも作用させ、硬化反応を十分に進行させることが可能である。なお、半硬化エポキシ樹脂組成物および硬化エポキシ樹脂組成物の作製方法はこの限りではない。
前記エポキシ樹脂組成物は、さらにエラストマーを含むことが好ましい。前記エラストマーは熱伝導性の観点から分子内に下記一般式(IV)で示される構造単位を有する化合物であることが好ましい。分子内に一般式(IV)で示される構造単位を有する化合物を含むことで、熱伝導性をほとんど低下させることなく電気絶縁性を向上でき、かつ成形性も向上する。
また、ヒドロキシ基を有する構造単位を形成しうるモノマーとしては、炭素数が2〜20のヒドロキシアルキル基を含む(メタ)アクリル酸エステルを挙げることができ、炭素数2〜6のヒドロキシアルキル基を含む(メタ)アクリル酸エステルであることが好ましい。具体的には、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシブチル等を挙げることができる。
また、カルボキシ基は、水素イオンを放出するため、硬化反応時にエポキシ基が開環しやすく、触媒として作用する効果をもたらす。さらに、カルボキシ基はフィラー表面の水酸基と作用するため、フィラーに対する表面処理の効果をもたらす。このような表面処理の効果により、フィラーと上記エラストマーとの濡れ性が改善される。このため、後述のエポキシ樹脂ワニスを調製する際のワニスの粘度が下がり、塗布が容易となる傾向がある。さらに、濡れ性の改善によって、フィラーがより高度に分散されるため、熱伝導率の向上にも寄与することになる。
また、R45およびR46はそれぞれ独立して、互いに炭素数の異なる直鎖または分岐鎖アルキル基を表す。R47〜R50はそれぞれ独立して、水素原子またはメチル基を表す。
さらに、可とう性と柔軟性のバランスの観点から、R45の炭素数が2〜6であり、R46の炭素数が8〜16であることが好ましく、R45の炭素数が3〜5であり、R46の炭素数が10〜14であることがより好ましい。
また、構造単位dに対する構造単位cの含有比(c/d)は、0.01〜0.5が好ましく、0.03〜0.3がより好ましく、0.035〜0.25がさらに好ましい。
前記エラストマーにおける構造単位a〜d以外の構造単位の含有率は10mol%以下であり、5mol%以下が好ましく、1mol%以下がより好ましい。
前記エポキシ樹脂組成物は、シランカップリング剤の少なくとも1種をさらに含むことが好ましい。シランカップリング剤は、アルミナフィラーの表面とそれを取り囲む熱硬化性樹脂との間で共有結合を形成する役割(バインダ剤に相当)、熱を効率よく伝達する役割、さらには水分の浸入を妨げることによって絶縁信頼性を向上させる役割を果たすことができる。
前記エポキシ樹脂組成物は、有機溶剤の少なくとも1種類をさらに含んでいてもよい。有機溶剤を含むことで、エポキシ樹脂組成物を種々の成形プロセスに適合させることができる。有機溶剤としては通常用いられる有機溶剤を用いることができる。具体的には、アルコール溶剤、エーテル溶剤、ケトン溶剤、アミド溶剤、芳香族炭化水素溶剤、エステル溶剤、ニトリル溶剤等を挙げることができる。例えば、メチルイソブチルケトン、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、N−メチル−2−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、スルホラン、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン等を用いることができる。これらの有機溶剤は1種類単独でも、2種類以上を併用した混合溶剤として用いてもよい。
前記エポキシ樹脂組成物は、上記成分に加え、必要に応じてその他の成分を含むことができる。その他の成分の例としては、分散剤、可塑剤等が挙げられる。分散剤としては例えば、味の素ファインテック株式会社製アジスパーシリーズ、楠本化成株式会社製HIPLAADシリーズ、花王株式会社製ホモゲノールシリーズ等が挙げられる。これらの分散剤は1種類単独でも、2種類以上を併用してもよい。
本発明の半硬化エポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂組成物の半硬化体である。前記半硬化エポキシ樹脂組成物は前記エポキシ樹脂組成物に由来するものであり、前記エポキシ樹脂組成物を半硬化処理して得られる。前記半硬化エポキシ樹脂組成物は、例えば、これをシート状に成形した場合に、半硬化処理していないエポキシ樹脂組成物からなる樹脂シートに比べて取り扱い性が向上する。
本発明の硬化エポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂組成物の硬化体である。本発明の硬化エポキシ樹脂組成物は前記エポキシ樹脂組成物に由来するものであり、前記エポキシ樹脂組成物を硬化処理して得られる。前記硬化エポキシ樹脂組成物は熱伝導性に優れる。これは例えば、エポキシ樹脂組成物に含まれる分子構造中にメソゲン基を有する一般式(I)で表されるエポキシ樹脂モノマーが、α−アルミナ粒子を含む第一のフィラーを中心に高次構造を形成しているためと考えることができる。
例えば、未硬化状態のエポキシ樹脂組成物または前記半硬化エポキシ樹脂組成物を100℃〜250℃で1時間〜10時間、好ましくは130℃〜230℃で1時間〜8時間加熱することで硬化エポキシ樹脂組成物が得られる。
本発明の樹脂シートは、本発明のエポキシ樹脂組成物のシート状成形体である。前記樹脂シートは、例えば、前記エポキシ樹脂組成物を支持体上に塗布し、必要に応じて含まれる溶剤の少なくとも一部を除去することで製造することができる。前記樹脂シートは、前記エポキシ樹脂組成物から形成されることで、熱伝導性および電気絶縁性に優れる。
本発明のプリプレグは、繊維基材と、前記繊維基材に含浸された本発明のエポキシ樹脂組成物と、を有する。かかる構成を有する本発明のプリプレグは、熱伝導性および電気絶縁性に優れる。また、フィラーを含有するエポキシ樹脂組成物は、チキソ性が向上する。このため、プリプレグを作製する際の後述の塗工工程や含浸工程におけるフィラーの沈降を抑制することができる。したがって、プリプレグの厚み方向でのフィラーの濃淡分布の発生を抑えることができる。その結果、熱伝導性および電気絶縁性に優れるプリプレグが得られる。
本発明における積層板は、被着材と、前記被着材上に配置された半硬化エポキシ樹脂組成物層または硬化エポキシ樹脂組成物層と、を有する。前記半硬化エポキシ樹脂組成物層および硬化エポキシ樹脂組成物層は、前記エポキシ樹脂組成物、前記樹脂シート、および前記プリプレグから選択される少なくとも1つの半硬化体又は硬化体の樹脂層である。前記積層板は、前記エポキシ樹脂組成物から形成される半硬化エポキシ樹脂組成物層または硬化エポキシ樹脂組成物層を有することで、熱伝導性および電気絶縁性に優れる。
本発明の金属箔付樹脂硬化物は、金属箔と、前記エポキシ樹脂組成物、前記樹脂シート、および前記プリプレグからなる群より選択される少なくとも1つの硬化体である樹脂層(硬化エポキシ樹脂組成物層)と、金属箔と、がこの順に積層されてなる。前記金属箔付樹脂硬化物は前記積層板の一例であり、後述のプリント配線板を作製するのに用いることができる。
前記金属箔付樹脂硬化物を構成する金属箔および硬化エポキシ樹脂組成物層の詳細は、既述の通りである。
本発明の金属基板は、金属箔と、前記エポキシ樹脂組成物、前記樹脂シート、および前記プリプレグからなる群より選択される少なくとも1つの硬化体である樹脂層(硬化エポキシ樹脂組成物層)と、金属板と、がこの順に積層されてなる。前記金属基板は前記積層板の一例であり、後述のプリント配線板を作製するのに用いることができる。
前記金属基板を構成する金属箔及び硬化エポキシ樹脂組成物層の詳細は、既述の通りである。
本発明のプリント配線板は、金属板と、前記エポキシ樹脂組成物、前記樹脂シート、および前記プリプレグからなる群より選択される少なくとも1つの硬化体である樹脂層(硬化エポキシ樹脂組成物層)と、配線層と、がこの順に積層されてなる。前記プリント配線板は、前記エポキシ樹脂組成物から形成される硬化エポキシ樹脂組成物層を有することで、熱伝導性および電気絶縁性に優れる。
本発明のパワー半導体装置は、金属板、はんだ層及び半導体チップがこの順に積層された半導体モジュールと、放熱部材と、前記半導体モジュールの前記金属板と前記放熱部材との間に配置された本発明の樹脂組成物のシート状成形体である樹脂シートの硬化体と、を含む。
前記パワー半導体装置は、半導体モジュール部分のみが封止材等で封止されていても、パワー半導体モジュール全体がモールド樹脂等でモールドされていてもよい。以下、前記パワー半導体装置の例を図面を用いて説明する。
また、図4はパワー半導体装置の構成の別の一例を示す概略断面図である。図4では、金属板106とはんだ層110と半導体チップ108とがこの順に積層された半導体モジュールにおける金属板106と、放熱ベース基板104との間に樹脂シートの硬化体102が配置され、半導体モジュールと放熱ベース基板104とがモールド樹脂112でモールドされている。
(エポキシ樹脂モノマー)
・樹脂モノマーA:
[エポキシ当量:238、特開2010−241797号公報に記載の方法により製造]
・AA−04[α−アルミナ粒子、住友化学(株)製、平均粒子径:400nm]
・HIT−70[α−アルミナ粒子、住友化学(株)製、平均粒子径:150nm]
・AA−18[アルミナ粒子、住友化学(株)製、平均粒子径:18μm]
・AA−3[アルミナ粒子、住友化学(株)製、平均粒子径:3μm]
・HP−40[窒化ホウ素粒子、水島合金鉄(株)製、平均粒子径:18μm]
・FAN−f30[窒化アルミニウム粒子、古河電子(株)製、平均粒子径:30μm]
・FAN−f05[窒化アルミニウム粒子、古河電子(株)製、平均粒子径:5μm]
・CRN[カテコールレゾルシノールノボラック(仕込み比:5/95)樹脂、日立化成工業(株)製、シクロヘキサノン50%含有]
撹拌機、冷却器、温度計を備えた3Lのセパラブルフラスコに、レゾルシノール627g、カテコール33g、37%ホルムアルデヒド316.2g、シュウ酸15g、水300gを入れ、オイルバスで加温しながら100℃に昇温した。104℃前後で還流し、還流温度で4時間反応を続けた。その後、水を留去しながらフラスコ内の温度を170℃に昇温した。170℃を保持しながら8時間反応を続けた。反応後、減圧下20分間濃縮を行い、系内の水等を除去し、目的であるフェノールノボラック樹脂CRNを得た。
また、得られたCRNについて、FD−MSにより構造を確認したところ、一般式(III−1)〜(III−4)で表される部分構造すべての存在が確認できた。
MnおよびMwの測定は、(株)日立製作所製高速液体クロマトグラフィL6000、および(株)島津製作所製データ解析装置C−R4Aを用いて行った。分析用GPCカラムは東ソー(株)製G2000HXLおよびG3000HXLを使用した。試料濃度は0.2質量%、移動相にはテトラヒドロフランを用い、流速1.0ml/minで測定を行った。ポリスチレン標準サンプルを用いて検量線を作成し、それを用いてポリスチレン換算値でMnおよびMwを計算した。
水酸基当量は、塩化アセチル−水酸化カリウム滴定法により測定した。なお、滴定終点の判断は溶液の色が暗色のため、指示薬による呈色法ではなく、電位差滴定によって行った。具体的には、測定樹脂の水酸基をピリジン溶液中塩化アセチル化した後に、過剰の試薬を水で分解し、生成した酢酸を水酸化カリウム/メタノール溶液で滴定したものである。
・TPP:トリフェニルホスフィン[和光純薬工業(株)製]
・TPP−K:テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート[北興化学(株)製]
・REB122−4:下記構造式を有するアクリル樹脂
[乳酸エチル溶解品(Nv=45)、特開2010−106220号公報に記載の方法により製造]
・KBM−573:3−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン[シランカップリング剤、信越化学工業(株)製]
・MEK:メチルエチルケトン
・CHN:シクロヘキサノン
・PETフィルム[藤森工業(株)製、75E−0010CTR−4、厚さ:75μm]
・銅箔[古河電工(株)製、厚さ:80μm、GTSグレード]
<エポキシ樹脂組成物の作製>
樹脂モノマーAを5.98質量%、第一のフィラー(AA−04)を7.29質量%、第二のフィラー(AA−18:48.08質量%、AA−3:17.48質量%)を計65.56質量%、CRNを3.48質量%、TPPを0.06質量%、KBM−573を0.08質量%、および溶剤(MEK:14.47質量%、CHN:3.08質量%)を計17.55質量%混合し、溶剤を含むエポキシ樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
上記エポキシ樹脂ワニスを、アプリケーターを用いて乾燥後の厚みが200μmとなるようにPETフィルム上に塗布した後、常温(20〜30℃)で15分、さらに130℃で5分間乾燥させた。その後、真空プレスにて熱間加圧(プレス温度:130℃、真空度:1kPa、プレス圧:1MPa、加圧時間:1分)を行い、シート状の半硬化エポキシ樹脂組成物を得た。
上記で得られた半硬化エポキシ樹脂組成物のPETフィルムを剥がした後、2枚の銅箔で、前記銅箔のマット面がそれぞれ半硬化エポキシ樹脂組成物に対向するようにして挟み、真空プレスにて真空熱圧着(プレス温度:180℃、真空度:1kPa、プレス圧:4MPa、加圧時間:5分)した。その後、大気圧条件下、140℃で2時間、165℃で2時間、さらに190℃で2時間加熱し、銅箔付硬化エポキシ樹脂組成物を得た。
(樹脂シート硬化物の熱伝導率)
上記で得られた銅箔付硬化エポキシ樹脂組成物の銅箔をエッチングして取り除き、シート状の硬化エポキシ樹脂組成物(樹脂シート硬化物)を得た。得られた樹脂シート硬化物を10mm角に切って試料を得た。前記試料をグラファイトスプレーにて黒化処理した後、キセノンフラッシュ法(NETZSCH社製のLFA447 nanoflash)にて熱拡散率を評価した。この値と、アルキメデス法で測定した密度と、DSC(Perkin Elmer社製のDSC Pyris1)にて測定した比熱との積から、樹脂シート硬化物の熱伝導率を求めた。
結果を表1に示した。
上記で得られた樹脂シート硬化物の熱伝導率から、樹脂シート硬化物における樹脂部分の熱伝導率を、次式を用いて換算して求めた。すなわち、樹脂シート硬化物における樹脂部分の熱伝導率とは、樹脂シートの熱伝導率からフィラー部分の寄与分を除外した値のことである。
1−ν=[(λmix−λres)/(λres−λfil)]×(λres/λmix)x
(ただし、x=1/(1+χ))
結果を表1に示した。
λres:樹脂シートにおける樹脂部分の熱伝導率(W/mK)
λfil:樹脂シートにおけるフィラー部分の熱伝導率(W/mK)(第二のフィラーがアルミナの場合は30、窒化ホウ素の場合は60、後述の実施例3での窒化ホウ素とアルミナの混合物の場合は52、窒化アルミニウムの場合は130とした。)
ν:フィラーの体積分率(体積%)
χ:フィラーの形状パラメーター(第二のフィラーがアルミナの場合は2.2、窒化アルミニウムの場合は2.2、窒化ホウ素の場合は3.3、後述の実施例3での窒化ホウ素とアルミナの混合物の場合は3.0とした。)
上記エポキシ樹脂組成物の作製に用いたエポキシ樹脂モノマー、硬化剤、および硬化促進剤の混合物を溶融させた。前記熔融物を、2枚のアルミ板(厚さ:200μm)で挟み込み、大気圧条件下、140℃で1時間、165℃で1時間、さらに190℃で1時間加熱し、アルミ板付フィラー無しエポキシ樹脂硬化物(厚さ:約150μm)を得た。
上記で得られた銅箔付エポキシ樹脂硬化物の銅箔をエッチングして取り除き、硬化エポキシ樹脂組成物として樹脂シート硬化物を得た。得られた樹脂シート硬化物を、100mm角以上の寸法で切り出して試料を得た。ヤマヨ試験器(有)製YST−243−100RHOを用いて、直径25mmの円筒電極で前記試料を挟み、昇圧速度500V/s、室温、大気中にて絶縁破壊電圧を測定し、5点以上の測定点の平均値と最低値とを求めた。
結果を表1に示した。
樹脂モノマーAを7.55質量%、第一のフィラー(AA−04)を9.21質量%、第二のフィラー(HP−40)を45.78質量%、CRNを4.4質量%、TPPを0.08質量%、KBM−573を0.09質量%、および溶剤(CHN)を32.9質量%混合し、溶剤を含むエポキシ樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
上記エポキシ樹脂ワニスを、アプリケーターを用いて乾燥後の厚みが200μmとなるようにPETフィルム上に塗布した後、100℃で10分間乾燥させた。その後、真空プレスにて熱間加圧(プレス温度:150℃、真空度:1kPa、プレス圧:15MPa、加圧時間:1分)を行い、シート状の半硬化エポキシ樹脂組成物を得た。
上記で得られた半硬化エポキシ樹脂組成物のPETフィルムを剥がした後、2枚の銅箔のマット面をそれぞれ半硬化エポキシ樹脂組成物に対向するようにして挟み、真空プレスにて真空熱圧着(プレス温度:180℃、真空度:1kPa、プレス圧:15MPa、加圧時間:5分)した。その後、大気圧条件下、165℃で30分、さらに190℃で2時間加熱し、銅箔付硬化エポキシ樹脂組成物を得た。
その結果を表1に示した。
樹脂モノマーAを7.69質量%、第一のフィラー(AA−04)を7.69質量%、第二のフィラー(HP−40:28.03質量%、AA−3:18.44質量%)を計46.47質量%、CRNを4.48質量%、TPPを0.08質量%、KBM−573を0.08質量%、および溶剤(CHN)を33.51質量%混合し、溶剤を含むエポキシ樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
その結果を表1に示した。
樹脂モノマーAを6.35質量%、第一のフィラー(AA−04:15.53質量%、HIT−70:1.72質量%)を計17.25質量%、第二のフィラー(HP−40)を54.07質量%、CRNを3.58質量%、TPPを0.06質量%、KBM−573を0.11質量%、および溶剤(CHN)を18.56質量%混合し、溶剤を含むエポキシ樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
その結果を表1に示した。
樹脂モノマーAを6.78質量%、第一のフィラー(AA−04)を8.27質量%、第二のフィラー(FAN−f30:37.24質量%、FAN−f05:23.7質量%)を計60.94質量%、CRNを3.95質量%、TPPを0.07質量%、KBM−573を0.08質量%、および溶剤(MEK:16.42質量%、CHN:3.49質量%)を計19.91質量%混合し、溶剤を含むエポキシ樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
その結果を表1に示した。
樹脂モノマーBを8.52質量%、第一のフィラー(AA−04)を10.31質量%、第二のフィラー(HP−40)を51.28質量%、CRNを4.81質量%、TPPを0.09質量%、KBM−573を0.1質量%、および溶剤(CHN)を24.9質量%混合し、溶剤を含むエポキシ樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
その結果を表2に示した。
樹脂モノマーAを5.98質量%、第一のフィラー(AA−04)を7.29質量%、第二のフィラー(AA−18:48.08質量%、AA−3:17.48質量%)を計65.56質量%、CRNを3.48質量%、硬化促進剤(TPP:0.03質量%、TPP−K:0.03質量%)を計0.06質量%、KBM−573を0.08質量%、および溶剤(MEK:14.47質量%、CHN:3.08質量%)を計17.55質量%混合し、溶剤を含むエポキシ樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
その結果を表2に示した。
樹脂モノマーAを6.08質量%、第一のフィラー(AA−04)を7.46質量%、第二のフィラー(AA−18:49.2質量%、AA−3:17.89質量%)を計67.09質量%、CRNを3.55質量%、TPPを0.06質量%、REB122−4を0.09質量%、KBM−573を0.08質量%、および溶剤(MEK:13.03質量%、CHN:2.57質量%)を計15.6質量%混合し、溶剤を含むエポキシ樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
その結果を表2に示した。
樹脂モノマーAを8.36質量%、第一のフィラー(AA−04)を10.3質量%、第二のフィラー(HP−40)を51.21質量%、CRNを4.87質量%、TPPを0.09質量%、REB122−4を0.24質量%、KBM−573を0.1質量%、および溶剤(CHN)を24.82質量%混合し、溶剤を含むエポキシ樹脂組成物としてエポキシ樹脂ワニスを得た。
その結果を表2に示した。
樹脂モノマーAの代わりに樹脂モノマーCを用いたこと以外は、実施例2と同様にして半硬化エポキシ樹脂組成物および硬化エポキシ樹脂組成物を作製し、上記と同様にして評価した。
その結果を表3に示した。
樹脂モノマーAの代わりにYL6121H(三菱化学株式会社製)を用いたこと以外は、実施例2と同様にして半硬化エポキシ樹脂組成物および硬化エポキシ樹脂組成物を作製し、上記と同様にして評価した。
その結果を表3に示した。
第一のフィラーを添加しなかったこと以外は、実施例2と同様にして半硬化エポキシ樹脂組成物および硬化エポキシ樹脂組成物を作製し、上記と同様にして評価した。
その結果を表3に示した。
第一のフィラーとしてシリカ((株)アドマテックス製、商品名:アドマナノ、平均粒子径:15nm)を用いたこと以外は、実施例2と同様にして半硬化エポキシ樹脂組成物および硬化エポキシ樹脂組成物を作製し、上記と同様にして評価した。
その結果を表3に示した。
第一のフィラーとしてγ−アルミナ粒子(大明化学(株)製、商品名:TM−300D、平均粒子径:10nm)を用いたこと以外は、実施例2と同様にして半硬化エポキシ樹脂組成物および硬化エポキシ樹脂組成物を作製し、上記と同様にして評価した。
その結果を表3に示した。
第一のフィラーとして平均粒子径が700nmのα−アルミナ粒子(住友化学(株)製、商品名:AA−07)を用いたこと以外は、実施例2と同様にして半硬化エポキシ樹脂組成物および硬化エポキシ樹脂組成物を作製し、上記と同様にして評価した。
その結果を表3に示した。
なお、表1〜表3において、「−」は未添加であることを示す。
Claims (20)
- 下記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂モノマーと、フィラーとを含有し、前記フィラーが、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において、重量累積分布の小粒径側からの累積50%に対応する平均粒子径(D50)が1nm〜500nmであり、かつα−アルミナ粒子を含む第一のフィラーを含有する、エポキシ樹脂組成物。
〔一般式(I)中、R1〜R4はそれぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を表す。〕 - 前記第一のフィラーの含有率が、前記フィラーの合計体積の5体積%〜20体積%である請求項1に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記フィラーが、平均粒子径(D50)が1μm〜100μmでありかつセラミックス粒子を含む第二のフィラーをさらに含有し、前記第二のフィラーの含有率が前記フィラーの合計体積の80体積%〜95体積%である請求項1または請求項2に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 下記一般式(I)で表されるエポキシ樹脂モノマーと、フィラーとを含有し、前記フィラーが、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において1nm〜500nmの範囲にピークを有し、かつ1nm〜500nmの粒子径を有するフィラーがα−アルミナ粒子を含む、エポキシ樹脂組成物。
〔一般式(I)中、R1〜R4はそれぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜3のアルキル基を表す。〕 - 前記1nm〜500nmの粒子径を有するフィラーの含有率が、前記フィラーの合計体積の5体積%〜20体積%である請求項4に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記フィラーが、レーザー回折法を用いて測定される粒子径分布において1μm〜100μmの範囲にピークを有し、かつ1μm〜100μmの粒子径を有するフィラーがセラミックス粒子をさらに含有し、前記1μm〜100μmの粒子径を有するフィラーの含有率が前記フィラーの合計体積の80体積%〜95体積%である請求項4または請求項5に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記セラミックス粒子が、アルミナ粒子、窒化ホウ素粒子、窒化アルミニウム粒子からなる群より選択される少なくとも1つを含む請求項3または請求項6に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記フィラーの含有率が、前記エポキシ樹脂組成物の全固形分の全体積の60体積%〜90体積%である請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
- さらに硬化剤を含有し、前記硬化剤がフェノールノボラック樹脂を含む請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
- 前記フェノールノボラック樹脂が、下記一般式(II−1)および(II−2)からなる群より選択される少なくとも1つで表される構造単位を有する化合物を含む請求項9に記載のエポキシ樹脂組成物。
〔一般式(II−1)および(II−2)中、R21はそれぞれ独立に、アルキル基、アリール基、またはアラルキル基を表す。R22およびR23はそれぞれ独立に、水素原子、アルキル基、芳香族基、またはアラルキル基を表す。mはそれぞれ独立に、0〜2の整数を表す。nはそれぞれ独立に、1〜7の整数を表す。〕 - さらに硬化促進剤を含有し、前記硬化促進剤が有機ホスフィン化合物、及び有機ホスフィン化合物と有機ボロン酸との錯体からなる群より選択される少なくとも1つを含む請求項9または請求項10に記載のエポキシ樹脂組成物。
- さらに下記一般式(IV)で表される構造単位を有するエラストマーを含有する請求項1〜請求項11のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物。
〔一般式(IV)中、R41、R42およびR43はそれぞれ独立して、直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基、または水素原子を表す。R44は直鎖または分岐鎖のアルキル基を表す。nは任意の正の整数を表す。〕 - 請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物の半硬化体である半硬化エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物の硬化体である硬化エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物のシート状成形体である樹脂シート。
- 繊維基材と、前記繊維基材に含浸された請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物と、を有するプリプレグ。
- 被着材と、前記被着材上に配置された、請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物、請求項15に記載の樹脂シート、および請求項16に記載のプリプレグからなる群より選択される少なくとも1つの半硬化体または硬化体である樹脂層と、を有する積層板。
- 金属箔と、請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物、請求項15に記載の樹脂シート、および請求項16に記載のプリプレグからなる群より選択される少なくとも1つの硬化体である樹脂層と、金属板と、がこの順に積層された金属基板。
- 金属板と、請求項1〜請求項12のいずれか1項に記載のエポキシ樹脂組成物、請求項15に記載の樹脂シート、および請求項16に記載のプリプレグからなる群より選択される少なくとも1つの硬化体である樹脂層と、配線層と、がこの順に積層されたプリント配線板。
- 金属板、はんだ層及び半導体チップがこの順に積層された半導体モジュールと、放熱部材と、前記半導体モジュールの前記金属板と前記放熱部材との間に配置された請求項15に記載の樹脂シートの硬化体と、を含むパワー半導体装置。
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