JP2013219191A5 - - Google Patents
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Description
本発明の一観点によれば、板状の第１ガラス基板からなり、前記第１ガラス基板を厚さ方向に貫通する第１貫通電極を有する第１コア基板と、板状の第２ガラス基板からなり、前記第２ガラス基板を厚さ方向に貫通し前記第１貫通電極と径が異なる第２貫通電極を有し、前記第１コア基板と平面方向に離間して並設された第２コア基板と、前記第１コア基板及び前記第２コア基板を覆う絶縁層と、を有する。
Claims (9)
- 板状の第１ガラス基板からなり、前記第１ガラス基板を厚さ方向に貫通する第１貫通電極を有する第１コア基板と、
板状の第２ガラス基板からなり、前記第２ガラス基板を厚さ方向に貫通し前記第１貫通電極と径が異なる第２貫通電極を有し、前記第１コア基板と平面方向に離間して並設された第２コア基板と、
前記第１コア基板及び前記第２コア基板を覆う絶縁層と、
を有することを特徴とする配線基板。 - 前記絶縁層は、
前記第１コア基板と前記第２コア基板との間に形成された第１絶縁部材と、
前記第２コア基板の外周端部を覆うように形成された第２絶縁部材と、
前記第１コア基板及び前記第２コア基板の一方の面を覆うように形成された第１絶縁層と、
前記第１コア基板及び前記第２コア基板の他方の面を覆うように形成された第２絶縁層と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の配線基板。 - 前記第１絶縁層に形成され、前記第１貫通電極と電気的に接続された第１ビアと、
前記第２絶縁層に形成され、前記第１貫通電極と電気的に接続された第２ビアと、
前記第１絶縁層に形成され、前記第２貫通電極と電気的に接続された第３ビアと、
前記第２絶縁層に形成され、前記第２貫通電極と電気的に接続された第４ビアと、
を有することを特徴とする請求項２に記載の配線基板。 - 前記第２貫通電極は、前記第１貫通電極より径が大きく形成され、
前記第２ガラス基板は、前記第１ガラス基板より厚いことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の配線基板。 - 前記第２貫通電極は、前記第１貫通電極を形成したピッチよりも大きいピッチで形成されたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の配線基板。
- 前記第２コア基板は、前記第１コア基板の形状に応じた収容孔を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の配線基板。
- 前記絶縁層に形成されたビアを介して前記第１貫通電極に接続された配線層を有し、
１つの前記ビアに対して複数の前記第１貫通電極を接続したことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の配線基板。 - 板状のガラスに対し、該板状のガラスを厚さ方向に貫通する第１貫通電極を形成して第１コア基板を形成する工程と、
板状のガラスに対し、前記第１貫通電極と径が異なり該板状のガラスを厚さ方向に貫通する第２貫通電極を形成して第２コア基板を形成する工程と、
前記第１及び第２コア基板を覆う絶縁層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記絶縁層を形成する工程は、
前記第１コア基板を前記第２コア基板の収容孔内に配置し前記第２コア基板より外形が大きい第１絶縁シートの上に前記第１及び第２コア基板を平面方向に離間して並設し、前記第１及び第２コア基板の前記第１絶縁シートと反対側の面に前記第２コア基板より外形が大きい第２絶縁シートを配置し、前記第１及び第２絶縁シートにより前記第１及び第２コア基板を挟むようにして前記第１及び第２コア基板を覆う絶縁層を形成し、前記絶縁層により前記第１コア基板と前記第２コア基板の隙間を充填する第１絶縁部材と前記第２コア基板の外周端部を覆う第２絶縁部材と前記第１コア基板および前記第２コア基板の一方の面を覆う第１絶縁層と前記第１コア基板及び前記第２コア基板の他方の面を覆う第２絶縁層とを形成する工程を含むことを特徴とする請求項８に記載の配線基板の製造方法。
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