JP2015146401A - ガラスインターポーザー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1面と第2面とを有し、第1面から第2面に貫通する孔が該第1面内で複数行、複数列をもつように複数設けられ、第2面上が、半導体チップが位置すべき領域である第1領域と該第1領域以外の領域である第2領域とに分けられ、第1領域における孔の部分が占める面積比が、第2領域における孔の部分が占める面積比より小さくされている、ガラス製の基層と、基層の孔それぞれの内部に位置する縦方向導電体と、基層の第1面に連なる面である縦方向導電体の下面に接触して設けられた第1の導体と、基層の第2面上に設けられた絶縁層と、基層の第2面の第1領域上に絶縁層を介して設けられた、半導体チップを接続するためのランドと、基層の第2面に連なる面である縦方向導電体の上面に接触しつつ該上面からランドまで延設された第2の導体とを具備する。
【選択図】図1
Description
Claims (8)
- 第1面と該第1面の反対の側の第2面とを有し、前記第1面から前記第2面に貫通する孔が該第1面内で複数行、複数列をもつように複数設けられ、前記第2面上が、半導体チップが位置すべき領域である第1領域と該第1領域以外の領域である第2領域とに分けられ、前記第1領域における前記孔の部分が占める割合である第1の面積比が、前記第2領域における前記孔の部分が占める割合である第2の面積比より小さくされている、ガラス製の基層と、
前記基層の前記孔それぞれの内部に位置する縦方向導電体と、
前記基層の前記第1面に連なる面である前記縦方向導電体の下面に接触して設けられた第1の導体と、
前記基層の前記第2面上に設けられた絶縁層と、
前記基層の前記第2面の前記第1領域上に前記絶縁層を介して設けられた、前記半導体チップを接続するためのランドと、
前記基層の前記第2面に連なる面である前記縦方向導電体の上面に接触しつつ該上面から前記ランドまで延設された第2の導体と
を具備するガラスインターポーザー。 - 前記縦方向導電体が、導電性組成物でできている請求項1記載のガラスインターポーザー。
- 前記基層が、無アルカリガラスでできている請求項1記載のガラスインターポーザー。
- 前記基層が、前記孔の形成位置が前記第2面において前記第2領域に限られており前記第2面の前記第1領域には孔が形成されていない基層である請求項1記載のガラスインターポーザー。
- 前記基層が、前記孔が前記第2面の前記第2領域において少なくとも2つの方向のそれぞれにおいて等ピッチでアレイ状に設けられている基層である請求項1記載のガラスインターポーザー。
- 前記基層が、前記孔が前記第2面の前記第1領域において少なくとも2つの方向のそれぞれにおいて等ピッチでアレイ状に設けられている基層である請求項1記載のガラスインターポーザー。
- 前記基層が、前記第1領域にある前記孔と前記第2領域にある前記孔とが同じ径で形成されている基層である請求項1記載のガラスインターポーザー。
- 前記基層が、前記第1領域にある前記孔が前記第2領域にある前記孔より小さい径で形成されている基層である請求項1記載のガラスインターポーザー。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017143140A (ja) * | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 凸版印刷株式会社 | 配線回路基板用のコア基板の製造方法、配線回路基板の製造方法、および半導体装置の製造方法 |
JP2017216189A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-07 | 香川県 | 大気圧プラズマ発生用電極、大気圧プラズマ発生装置、表面改質基材の製造方法、及び再利用電極の製造方法 |
KR20190008103A (ko) | 2017-07-14 | 2019-01-23 | 가부시기가이샤 디스코 | 유리 인터포저의 제조 방법 |
KR20230157991A (ko) | 2021-03-15 | 2023-11-17 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 유리 기판, 관통 구멍 형성용 유리 원판 및 유리 기판의 제조 방법 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004253738A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Toshiba Corp | パッケージ基板及びフリップチップ型半導体装置 |
JP2005311182A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 基板及び半導体装置 |
JP2013512583A (ja) * | 2009-12-17 | 2013-04-11 | インテル コーポレイション | 多層ガラスコアを含む集積回路デバイス用基板、及びその製造方法 |
JP2013122963A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板 |
JP2013531380A (ja) * | 2010-07-02 | 2013-08-01 | ショット アクチエンゲゼルシャフト | インターポーザおよびインターポーザに孔を生成する方法 |
WO2013134237A1 (en) * | 2012-03-05 | 2013-09-12 | Corning Incorporated | Three-dimensional integrated circuit which incorporates a glass interposer and method for fabricating the same |
JP2013219191A (ja) * | 2012-04-09 | 2013-10-24 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板及び配線基板の製造方法 |
-
2014
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004253738A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Toshiba Corp | パッケージ基板及びフリップチップ型半導体装置 |
JP2005311182A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 基板及び半導体装置 |
JP2013512583A (ja) * | 2009-12-17 | 2013-04-11 | インテル コーポレイション | 多層ガラスコアを含む集積回路デバイス用基板、及びその製造方法 |
JP2013531380A (ja) * | 2010-07-02 | 2013-08-01 | ショット アクチエンゲゼルシャフト | インターポーザおよびインターポーザに孔を生成する方法 |
JP2013122963A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板 |
WO2013134237A1 (en) * | 2012-03-05 | 2013-09-12 | Corning Incorporated | Three-dimensional integrated circuit which incorporates a glass interposer and method for fabricating the same |
JP2013219191A (ja) * | 2012-04-09 | 2013-10-24 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 配線基板及び配線基板の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017143140A (ja) * | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 凸版印刷株式会社 | 配線回路基板用のコア基板の製造方法、配線回路基板の製造方法、および半導体装置の製造方法 |
JP2017216189A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-07 | 香川県 | 大気圧プラズマ発生用電極、大気圧プラズマ発生装置、表面改質基材の製造方法、及び再利用電極の製造方法 |
KR20190008103A (ko) | 2017-07-14 | 2019-01-23 | 가부시기가이샤 디스코 | 유리 인터포저의 제조 방법 |
US10796926B2 (en) | 2017-07-14 | 2020-10-06 | Disco Corporation | Method of manufacturing glass interposer |
KR20230157991A (ko) | 2021-03-15 | 2023-11-17 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 유리 기판, 관통 구멍 형성용 유리 원판 및 유리 기판의 제조 방법 |
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