JP2013165382A - 論理信号絶縁伝送回路 - Google Patents

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Abstract

【課題】定常電流を必要としない論理回路を用いることで消費電力の低減を図るようにした論理信号絶縁伝送回路を提供する。
【解決手段】高耐圧キャパシタ3aは駆動回路2の出力デジタル信号の直流を遮断し、ラッチ回路4aは高耐圧キャパシタ3aの出力デジタル信号を反転して保持する。この場合、電源電圧Vcを相補的にオンオフするMOSトランジスタM1〜M4を用いてラッチ回路4aを構成している。
【選択図】図1

Description

本発明は、絶縁バリアを通じて論理信号を伝送する論理信号絶縁伝送回路に関する。
この種の論理信号絶縁伝送回路は、容量式アイソレータを用いている(例えば、特許文献1〜3参照)。これらの特許文献に開示されている容量式アイソレータは、一対のキャパシタを用いて送信側と受信側とで直流を遮断している。例えば、特許文献1に示す技術思想は、受信側において、エッジ検出のためのハイパスフィルタ(HPF)、ウィンドウコンパレータ、直流バイアスを出力するための参照電圧生成回路、コンパレータの電源回路、などを用いて構成され、その出力はRSフリップフロップによって保持される。
米国特許7755400号明細書 米国特許4748419号明細書 米国特許4678939号明細書
しかしながら、従来の絶縁方式では、アナログ回路であるウィンドウコンパレータ、参照電圧生成回路、コンパレータの電源回路を用いて構成する必要があるため、定常的なバイアスを必要とするため、消費電力が大きくなってしまう。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は、定常的なバイアスを必要としないようにして消費電力の低減を図るようにした論理信号絶縁伝送回路を提供することにある。
請求項1記載の発明によれば、駆動回路は入力デジタル信号を一対の差動デジタル信号に変換し、絶縁バリアはこの一対の差動デジタル信号を通過して直流を遮断する。ラッチ回路は、絶縁バリアの出力にそれぞれ接続されたインバータを備えて構成されている。このインバータは電源電圧を相補的にオンオフするスイッチを用いて論理レベルを出力する。このため定常的なバイアスを必要としない。
ラッチ回路の入力インピーダンスは、駆動回路の一対の差動デジタル信号がそれぞれ論理変化したときに、絶縁バリアを通過して生じる入力過渡電圧がそれぞれラッチ回路の論理反転しきい値電圧を跨ぐように設定されている。このため、ラッチ回路は、一対の差動デジタル信号がそれぞれ論理変化したときに論理反転して保持することになる。インバータを用いて構成しているため、定常的なバイアスを必要としなくなり消費電力の低減を図ることができる。
本発明の第1実施形態を示す論理信号絶縁伝送回路の構成図 ラッチ回路の構成図 各ノードの電圧変化を示すタイミングチャート (A)(B)は、ラッチ回路の入力電圧の過渡特性図((A)は入力過渡電圧が閾値電圧を跨ぐ場合、(B)は入力過渡電圧が閾値電圧を跨がない場合)、(C)は消費電流の動作周波数依存性を示す特性図 本発明の第2実施形態を示す図1相当図 本発明の第3実施形態を示す図1相当図 各ノードの電圧波形を示すタイミングチャート 本発明の第4実施形態を示す図1相当図 本発明の第5実施形態を示す図1相当図 本発明の第6実施形態において、パッケージの内部構造を概略的に示す平面図 パッケージ内部の電気的構成(キャパシタの構造)を概略的に示す図 本発明の第7実施形態を示す図11相当図 本発明の第8実施形態を示す図1相当図
(第1実施形態)
以下、第1実施形態について図1〜図4を参照しながら説明する。
図1に示すように、論理信号絶縁伝送回路1は、駆動回路2と、一対の絶縁バリア3と、一対のラッチ回路4とを備える。駆動回路2は、入力ノードが互いに接続された反転バッファ2aおよび非反転バッファ2bを備え、入力デジタル信号VINを一対の差動デジタル信号にして出力する。
一対の絶縁バリア3は、互いに同一構造の高耐圧キャパシタ3a、3bを含んで構成されている。これらの高耐圧キャパシタ3a、3bは、それぞれ数pF〜0.数pFの容量値のものが用いられ、例えばその入力側の駆動回路2が直流電位650V付近(例えば645〜650V)でロジック動作するのに対し、出力側が0V付近(例えば0〜5V)でロジック動作する。すなわち高耐圧キャパシタ3a、3bは、それぞれ直流を遮断してレベルシフトする。
一対のラッチ回路4は、2つのラッチ回路4a、4bを備える。ラッチ回路4aは高耐圧キャパシタ3aに接続され、ラッチ回路4bは高耐圧キャパシタ3bに接続されている。これらのラッチ回路4a,4bは互いに同一構成となっているため、以下では、ラッチ回路4aの構成を説明し、ラッチ回路4bの構成は、ラッチ回路4aの添え字「a」と対応して添え字「b」を図面中に付してその説明を省略する。
ラッチ回路4aは、偶数段のインバータ4aa、4abをループ接続して構成されている。本実施形態では2段の例を示すが偶数段であれば何段で構成しても良い。図2のラッチ回路4aの具体的構成に示すように、1段目(入力段の1段前)のインバータ4aaは、電源電圧Vcの供給端子−グランド間に、Pチャネル型のMOSトランジスタM1、抵抗R1、抵抗R2、Nチャネル型のMOSトランジスタM2を直列接続すると共に、MOSトランジスタM1およびM2のゲートを互いに接続して構成されている。抵抗R1、R2は、例えば数百Ω〜数kΩ程度の抵抗値のものが用いられる。
対して、2段目(入力段)のインバータ4abは、電源電圧Vcの供給端子−グランド間(第1電源線−第2電源線間)に、Pチャネル型のMOSトランジスタM3と、Nチャネル型のMOSトランジスタM4とを直列接続すると共に、当該MOSトランジスタM3およびM4のゲートを互いに接続して構成されている。
ラッチ回路4aの入力ノードIN2は、抵抗R1およびR2の共通接続ノードおよびMOSトランジスタM3およびM4の共通ゲートに接続されている。また、ラッチ回路4aの出力ノードOUT1は、MOSトランジスタM3およびM4の共通ドレイン接続ノードおよびMOSトランジスタM1およびM2の共通ゲートに接続されている。
このラッチ回路4aの入力ノードIN2に「H」レベルが入力されたときには、MOSトランジスタM3がオフ、MOSトランジスタM4がオンするため、出力ノードOUT1は「L」レベルとなる。出力ノードOUT1が「L」レベルとなると、MOSトランジスタM1がオン、MOSトランジスタM2がオフする。
このとき、MOSトランジスタM3およびM4のゲートの入力インピーダンスは、無限大とすることができるので、MOSトランジスタM1およびM2のオン抵抗がR1、R2に比較して十分に小さい場合には、このラッチ回路4aの入力ノードIN2の入力インピーダンスは、MOSトランジスタM1のオン抵抗および抵抗R1の抵抗値の直列合成インピーダンス値(ほぼ抵抗R1の抵抗値=数百Ω〜数kΩ)にほぼ一致する。
また、このラッチ回路4aに「L」レベルが入力されたときには、MOSトランジスタM4がオフ、MOSトランジスタM3がオンするため、出力ノードOUT1は「H」レベルとなる。出力ノードOUT1が「H」レベルとなると、MOSトランジスタM1がオフ、MOSトランジスタM2がオンする。このタイミングにおけるラッチ回路4aの入力ノードIN2の入力インピーダンスは、MOSトランジスタM2のオン抵抗および抵抗R2の抵抗値の直列合成インピーダンス値(ほぼ抵抗R2の抵抗値=数百Ω〜数kΩ)にほぼ一致する。
前述した回路構成の過渡現象について図3および図4を参照しながら説明する。
図3は、各ノードの電圧波形を示している。駆動回路2は例えばDC650V付近でロジック動作している。このため、反転バッファ2aは入力デジタル信号VINを論理反転したデジタル信号を電圧VH1−VL1間で出力する。ここで例えばVH1=650V、VL1=645Vである。他方、非反転バッファ2bは、入力デジタル信号VINをバッファしたデジタル信号を電圧VH1−VL1間で出力する。
高耐圧キャパシタ3aは直流を遮断する。このため、キャパシタ3aの出力ノードでは、反転バッファ2aの出力デジタル信号が電圧VH2−VL2間で出力される。ここで、例えばVH2=5V、VL2=0Vである。他方、高耐圧キャパシタ3bもまた直流を遮断し、非反転バッファ2bの出力デジタル信号が電圧VH2−VL2間で出力される。
ラッチ回路4aは、反転バッファ2aがキャパシタ3aを通じて出力したデジタル信号の論理レベルを反転して保持する。したがって、反転バッファ2aの出力デジタル信号が変化したときにラッチ回路4aが保持するデジタル信号も変化する。他方、ラッチ回路4bもまた、非反転バッファ2bがキャパシタ3bを通じて出力したデジタル信号の論理レベルを反転して保持し、非反転バッファ2bの出力デジタル信号が変化したときにラッチ回路4bが保持するデジタル信号も変化する。
図4(A)および図4(B)は、ラッチ回路4aの入力ノードIN2の入力過渡電圧VIN2の変化を概略的に示している。ラッチ回路4aの閾値電圧Vrefは電源電圧Vcの例えば1/2に設定されている。この閾値電圧Vrefは論理反転しきい値電圧に相当する。
例えば、ラッチ回路4aの入力ノードIN2の論理レベルが「L」レベルであるときに当該入力ノードIN2の電圧VIN2が閾値電圧Vrefより高くなると、ラッチ回路4aの正帰還の作用により入力ノードIN2の論理レベルは「H」レベルに遷移する(図4(A)参照)。
しかし、入力ノードIN2の論理レベルが「L」レベルであるときに、ノイズが生じ閾値電圧Vrefより低い電圧が入力ノードIN2に印加されたとしても、抵抗R1またはR2を通じて電流が流れることで、ノイズに応じた変動電圧が徐々に減衰し、入力ノードIN2の電圧は「L」レベルの標準電圧(0V)に戻り、入力ノードIN2の論理レベルは反転しない。したがってラッチ回路4aが保持する論理レベルも変化しない。
この回路を採用するときには、高耐圧キャパシタ3aの容量値Cと、ラッチ回路4aの入力ノードIN2の入力インピーダンスZinとによるハイパスフィルタ(HPF)の時定数τ=C・Zinが予め調整されていると、ノイズ耐性を適切に保つことができる。したがって、高耐圧キャパシタ3aの容量値Cに応じて、MOSトランジスタM1,M2のオン抵抗および抵抗R1,R2の合成インピーダンス値を設定すると良い。
入力インピーダンスZinは、抵抗R1、R2の抵抗値、および、MOSトランジスタM1およびM2のオン抵抗値の合成抵抗値に応じて定まり抵抗性を有する。なお、抵抗R1、R2は必要に応じて設ければ良く、この場合、MOSトランジスタM1およびM2のオン抵抗を主とした抵抗値に応じて入力インピーダンスZinを定めても良い。この場合には、MOSトランジスタM1、M2のサイズ(ゲート長、ゲート幅)に応じてオン抵抗を設定でき、入力インピーダンスZinを調整できる。
この例では、ラッチ回路4aの入力電圧VIN2が低値から高値に閾値電圧Vrefを超えて跨ぎ、当該入力ノードIN2の論理レベルが「L」レベルから「H」レベルに反転する例を示しているが、逆も同様である。すなわち、ラッチ回路4aの入力電圧VIN2が高値から低値に閾値電圧Vrefを下回ることで跨ぎ、当該入力ノードIN2の論理レベルが「H」レベルから「L」レベルに反転する場合も前述と同様に作用する。ラッチ回路4bの動作も同様であるためその動作説明を省略する。
図4(C)は、動作周波数に応じた消費電流特性を示している。従来構成を採用すると、定常電流を余計に消費しているのに対し、本実施形態では定常電流(直流バイアス電流)を消費する構成がないため、その分、消費電流を抑制できる。
以上、説明したように、本実施形態によれば、高耐圧キャパシタ3aは駆動回路2の出力デジタル信号の直流を遮断し、ラッチ回路4aは高耐圧キャパシタ3aの出力デジタル信号を反転して保持する。この場合、電源電圧Vcを相補的にオンオフするMOSトランジスタM1〜M4を用いてラッチ回路4aを構成しているため、定常的なバイアスを必要とすることなく構成できる。
ラッチ回路4aの入力インピーダンスZinは、駆動回路2の出力デジタル信号がそれぞれ論理変化したときに、入力電圧VIN2がラッチ回路4aの閾値電圧Vrefを跨ぐように設定されている。このため、ラッチ回路4aはデータを反転して保持することになる。また、高耐圧キャパシタ3aの容量値Cと、ラッチ回路4aの入力ノードIN2の入力インピーダンスZinによるハイパスフィルタ(HPF)の時定数τ=C・Zinが調整されていると、ノイズ耐性を適切に保つことができる。
ラッチ回路4aは、高耐圧キャパシタ3aの出力に抵抗R1,R2を接続して構成されているため、当該抵抗R1、R2の値に応じて入力インピーダンスZinを調整できる。
ラッチ回路4aの入力インピーダンスZinが、MOSトランジスタM1、M2の内部抵抗を用いて設定されていると、当該トランジスタのサイズ(ゲート幅、ゲート長)に応じて入力インピーダンスZinを調整できる。
(第2実施形態)
図5は、本発明の第2実施形態を示すもので、前述実施形態と異なるところは、ラッチ回路の出力に出力保持回路を追加したところにある。前述実施形態と同一または類似部分、同一または類似機能を有する要素には同一または類似符号を付して説明を省略し、前述実施形態と異なる部分について説明する。
図5に示すように、論理信号絶縁伝送回路11は、前述実施形態で説明した駆動回路2、一対の絶縁パリア3、一対のラッチ回路4、に加えて、出力保持回路5をラッチ回路4の出力に接続している。出力保持回路5は、NOR(否定論理和)ゲート5a、5bを組み合わせたRS−FFを備え、一対のラッチ回路4の出力デジタル信号を保持する。このような実施形態を適用したとしても前述実施形態とほぼ同様の作用効果を奏すると共に、ラッチ回路4が保持したデジタル信号を安定して保持できる。
(第3実施形態)
図6および図7は、本発明の第3実施形態を示すもので、前述実施形態と異なるところは、コモンモード誤動作防止回路を追加したところにある。前述実施形態と同一または類似部分、同一または類似機能を有する要素には同一または類似符号を付して説明を省略し、前述実施形態と異なる部分について説明する。
図6に示すように、論理信号絶縁伝送回路12は、一対のラッチ回路4と出力保持回路5との間に回路(第1回路に相当)6を追加している。この回路6は、NOT(反転)ゲート6aa、NOR(否定論理和)ゲート6abと、NOT(反転)ゲート6ba、NOR(否定論理和)ゲート6bbとを組み合わせて構成され、同時Hレジベル出力防止用、コモンモードノイズによる誤動作防止用に構成される。
ラッチ回路4aの出力はNOTゲート6aaに入力され、NOTゲート6aaの出力はNORゲート6abに入力されている。他方、ラッチ回路4bの出力はNOTゲート6baに入力され、NOTゲート6baの出力はNOTゲート6bbに入力されている。ラッチ回路4aの出力はNORゲート6bbに入力され、ラッチ回路4bの出力はNORゲート6abに入力されている。NORゲート6abの出力は出力保持回路5のNORゲート5aに入力され、NORゲート6bbの出力は出力保持回路5のNORゲート5bに入力されている。
図7(A)のタイミングチャートの左側に示すように、入力デジタル信号VINの入力端子から一対の絶縁バリア3の出力にかけて、同相の正のパルスノイズ電圧Va(例えばVp−p≒42V)が重畳するものと仮定する。すると、この同相パルスノイズ電圧Vaは、反転バッファ2aおよび高耐圧キャパシタ3aを通じてラッチ回路4aに入力される。他方の差動対にも、非反転バッファ2bおよび高耐圧キャパシタ3bを通じてラッチ回路4bに入力される。
図7(B)のタイミングチャートの左側に示すように、パルスノイズ電圧Vaが入力されたとしても、当該パルスノイズ電圧Vaは、ラッチ回路4a(低電圧側回路:受信側回路)の電源回路に回生し、パルスノイズ電圧Vaがクランプされる。他方、ラッチ回路4bの入力にはキャパシタ3bに入力されたパルスノイズ電圧Vaがそのまま反映され、パルスノイズ電圧Vaが変化すると、この電圧変化に合わせて論理レベルも変化する。
図7(C)のタイミングチャートの左側に示すように、ラッチ回路4a、4bは、ラッチ回路4a,4bに入力された論理信号を反転して保持する。パルスノイズ電圧Vaが重畳されたとしても、当該パルスノイズ電圧Vaはラッチ回路4aの入力ノードでクランプされるため、パルスノイズ電圧Vaの立上りタイミングではラッチ回路4aの出力論理レベルは変化しない。その後、パルスノイズ電圧Vaの立下りタイミングでは、ラッチ回路4aの出力は「L」レベルから「H」レベルに変化する。
他方、ラッチ回路4bの出力は、パルスノイズ電圧Vaの立上りタイミングに応じてインバータ4abの作用で「H」レベルから「L」レベルに変化し、さらに、パルスノイズ電圧Vaの立下りタイミングに応じてインバータ4abの作用で「L」レベルから「H」レベルに変化する。すなわち、パルスノイズ電圧Vaの立上り/立下りの両エッジタイミングにおいて論理レベルが変化する。すると、パルスノイズ電圧Vaが入力されると、ラッチ回路4a、4bの両出力は共に「H」レベルとなる。
このラッチ回路4a、4bの両出力は回路6に与えられている。図7(D)に示すように、回路6のNORゲート6bbの出力はパルスノイズ電圧Vaの立上りタイミングにおいて「H」レベルから「L」レベルに変化し、回路6のNORゲート6abの出力はパルスノイズ電圧Vaの立上り/立下り両タイミングでも「L」レベルのまま変化しない。したがって、回路6の出力は共に「L」レベルとなる。
出力保持回路5は、RSフリップフロップを用いて構成されているため、図7(E)に示すように、回路6の出力が共に「L」レベルであるときには、パルスノイズ電圧Vaが入力されたとしても出力端子OUT3、OUT3Bの論理レベルは変化しない。
逆に、同相の負パルスノイズ電圧Vbが生じた場合について、図7の右側のタイミングチャートを用いて説明する。
図7(A)のタイミングチャートの右側に示すように、入力デジタル信号VINの入力端子から絶縁バリア3にかけて同相の負パルスノイズ電圧Vbが重畳したものと仮定する。前述と同様に、この同相パルスノイズ電圧Vbは、反転バッファ2aおよび高耐圧キャパシタ3aを通じてラッチ回路4aに入力される。他方の差動対にも、非反転バッファ2bおよび高耐圧キャパシタ3bを通じてラッチ回路4bに入力される。
図7(B)のタイミングチャートの右側に示すように、パルスノイズ電圧Vbがキャパシタ3aに入力されると、ラッチ回路4aの入力にはキャパシタ3aに入力されたパルスノイズ電圧Vbがそのまま反映され、この電圧変化に合わせて論理レベルも変化する。他方、ラッチ回路4b側においては、パルスノイズ電圧Vbが入力されると、ラッチ回路4b(低電圧側回路:受信側回路)の電源回路に回生し、パルスノイズ電圧Vbがクランプされる。
図7(C)のタイミングチャートの右側に示すように、ラッチ回路4aの出力は、パルスノイズ電圧Vbの立下りタイミングで「L」レベルから「H」レベルに遷移し、パルスノイズ電圧Vbの立上りタイミングで「H」レベルから「L」レベルに変化する。
他方、パルスノイズ電圧Vbが入力されたとき、ラッチ回路4bの入力電圧がクランプされているため、ラッチ回路4bの出力はパルスノイズ電圧Vbの立下りタイミングでは論理レベルが変化しない。パルスノイズ電圧Vbの立上りタイミングでは「H」レベルから「L」レベルに変化する。すなわち、パルスノイズ電圧Vbの立上りタイミングにおいて論理レベルが変化する。したがって、パルスノイズ電圧Vbが入力されると、ラッチ回路4a、4bの両出力は共に「L」レベルとなる。
このラッチ回路4a、4bの両出力は回路6に与えられる。図7(D)に示すように、回路6のNORゲート6abの出力はパルスノイズ電圧Vbの立上り/立下り両タイミングでも「L」レベルのまま変化せず、回路6のNORゲート6bbの出力は「H」レベルから「L」レベルに変化する。したがって、回路6の出力は最終的に共に「L」レベルとなる。図7(E)に示すように、出力保持回路5は、RSフリップフロップにより構成されているため、パルスノイズ電圧Vbが入力されたとしても出力端子OUT3、OUT3Bの論理レベルは変化しない。
これにより、論理信号が伝送されているときに同相パルスノイズ電圧Va、Vbが重畳したとしても、これらのノイズに応じて、出力端子OUT3、OUT3Bの論理レベルは共に影響を受けない。
本実施形態によれば、回路6の入力に同相のパルスノイズ電圧Va、Vb(コモンモードノイズ)が重畳したときには、回路6は「L」「L」レベルを出力することになる。出力保持回路5は、RSフリップフロップを用いて構成されているため、「L」「L」レベル入力のときには前回データが保持されることになり、出力保持回路5に対する同時Hレベル入力を防止できると共に、コモンモードノイズ電圧による誤動作を防止できる。
(第4実施形態)
図8は、本発明の第4実施形態を示すもので、前述実施形態と異なるところは、ラッチ回路のインバータとしてシュミットトリガ入力のものを適用したところにある。前述実施形態と同一または類似部分、同一または類似機能を有する要素には同一または類似符号を付して説明を省略し、前述実施形態と異なる部分について説明する。
図8に示すように、ラッチ回路4は、前述実施形態で説明したインバータ4abに代えて、シュミットトリガ入力のインバータ4acを用いて構成されている。また、前述実施形態で説明したインバータ4bbに代えて、シュミットトリガ入力のインバータ4bcを用いて構成されている。すると、入力信号にノイズが重畳したとしても当該入力信号の揺らぎに対する耐性を得ることができノイズの影響を抑制できる。
(第5実施形態)
図9は、本発明の第5実施形態を示すもので、前述実施形態と異なるところは、絶縁バリアがデジタル信号を通過するトランスを備えるところにある。前述実施形態と同一または類似部分、同一または類似機能を有する要素には同一または類似符号を付して説明を省略し、前述実施形態と異なる部分について説明する。
図9に示すように、絶縁バリア3は、高耐圧キャパシタ3aの後段にトランス3aaを備えると共に、このトランス3aaの二次側に直流遮断用のコンデンサ3abを備え、デジタル信号はコンデンサ3abを通じてラッチ回路4aに入力されている。
また、絶縁バリア3は、高耐圧キャパシタ3bの後段にトランス3baを備えると共に、このトランス3baの二次側に直流遮断用のコンデンサ3bbを備え、デジタル信号はコンデンサ3bbを通じてラッチ回路4bに入力されている。このような形態においても前述実施形態とほぼ同様の作用効果が得られる。
(第6実施形態)
図10および図11は、本発明の第6実施形態を示すもので、前述実施形態と異なるところは、絶縁バリアが、金属またはシリコンなどの導電材料を含む第1および第2導電層を層間絶縁膜で挟んだキャパシタを用いているところにある。また、高耐圧キャパシタを高圧側(送信側回路)に設けて構成したところにある。前述実施形態と同一または類似部分、同一または類似機能を有する要素には同一または類似符号を付して説明を省略し、前述実施形態と異なる部分について説明する。
図10にパッケージ内部構造の平面図を示すように、パッケージPKG内には、高圧(例えば645V〜650V)で動作する半導体チップCP1と、低圧(例えば0〜5V)で動作する半導体チップCP2とが内蔵されており、これらの半導体チップCP1およびCP2のボンディングパッドPAD−PAD間は、ボンディングBによって互いに接続されている。
図11にキャパシタ構造断面を示すように、支持基板7は、例えば2枚の単結晶シリコン基板8について絶縁層9を介して張り合わせたSOI(Silicon On Insulator)基板により構成されている。この支持基板7の単結晶シリコン基板8内には、その周囲がトレンチ分離された導電層10が形成されている。この導電層10は不純物が導入、拡散された拡散層として構成されている。この導電層10は第1導電層に対応する。
この導電層10の上には層間絶縁膜11が形成されている。層間絶縁膜11内には導電性材料による配線層12が形成されている。駆動回路2は半導体チップCP1内に構成され、配線層12は駆動回路2の例えば反転バッファ2aの出力に接続されている。したがって、駆動回路2の反転バッファ2aは配線層12を通じて導電層10にデジタル信号を印加できる。他方、層間絶縁膜11の上に最上配線層14、ボンディングパッドPADが構成されている。
これらの最上配線層14、ボンディングパッドPADが第2導電層に対応している。これにより高耐圧キャパシタ3aがこれらの層構造(10,11,14,PAD)を用いて構成されている。半導体チップCP2にはラッチ回路4aおよびその後段回路(図11には省略)が構成され、半導体チップCP2のボンディングパッドPADはラッチ回路4aの入力に電気的に接続されている。
差動対の一方の回路について説明したが、他方の回路(非反転バッファ2b、高耐圧キャパシタ3b、ラッチ回路4bおよびその後段回路)についても同様の構造を採用できる。
導電層10および最上配線層14を層間絶縁膜11で挟んで高耐圧キャパシタ3aを構成しているため、半導体チップCP1内に高耐圧キャパシタ3aを構成できる。
また、本実施形態によれば、高圧動作する半導体チップCP1内(送信側回路)に高耐圧キャパシタ3aを構成できる。また、駆動回路2の反転バッファ2aおよび高耐圧キャパシタ3aが同一の半導体チップCP1内に構成されると共に、ラッチ回路4aは半導体チップCP2内に構成され、これらの半導体チップCP1およびCP2はパッケージPKG内部でボンディングBによって接続されている。このため、1パッケージで構成できる。
第1または第2導電層として、導電層10、最上配線層14、ボンディングパッドPADを用いた態様を示したが、金属またはシリコンなどの導電性材料を用いれば良い。
(第7実施形態)
図12は、本発明の第7実施形態を示すもので、前述実施形態と異なるところは、絶縁バリアが、金属またはシリコンを含む第1および第2導電層を層間絶縁膜で挟んで構成されたキャパシタを用いて構成されているところにある。また、高耐圧キャパシタを低圧側(受信側回路)に設けて構成したところにある。前述実施形態と同一または類似部分、同一または類似機能を有する要素には同一または類似符号を付して説明を省略し、前述実施形態と異なる部分について説明する。
図12にキャパシタ構造断面を示すように、高耐圧キャパシタ3aの構造は前述実施形態の図11に示す構造とほぼ同様であるが、前述の図11と異なる部分は、第1に、キャパシタ3aが低圧側の半導体チップCP2内に構成されているところにある。そして、第2に、配線層12が半導体チップCP2内でラッチ回路4aの入力に接続されているところにある。また、第3に、半導体チップCP2のボンディングパッドPADがボンディングBを介して高圧側の半導体チップCP1のボンディングパッドPADに接続されているところにある。
このような構成を採用したとしても、導電層10および最上配線層14を層間絶縁膜11で挟んで高耐圧キャパシタ3aを構成しているため、半導体チップCP2内にキャパシタ3aを構成できる。
本実施形態によれば、キャパシタ3aおよびラッチ回路4aを同一の半導体チップCP2内に構成できると共に、駆動回路2は半導体チップCP1内に構成できる。そして、これらの半導体チップCP1、CP2はパッケージPKG内部でボンディングBにより接続されている。このため、1パッケージで構成できる。
第1または第2導電層として、導電層10、最上配線層14、ボンディングパッドPADを用いた態様を示したが、金属またはシリコンなどの導電材料を用いれば良い。
(第8実施形態)
図13は、本発明の第8実施形態を示すもので、前述実施形態と異なるところは、一方のラッチ回路の奇数段目のインバータの出力が他方のラッチ回路の偶数段目のインバータの出力に接続され、当該接続ノードが一方の前記ラッチ回路の入力ノードとされており、他方の前記ラッチ回路の偶数段目のインバータの出力が他方のラッチ回路の奇数段目のインバータの出力に接続され、当該接続ノードが他方の前記ラッチ回路の入力ノードとされているところにある。前述実施形態と同一または類似部分、同一または類似機能を有する要素には同一または類似符号を付して説明を省略し、前述実施形態と異なる部分について説明する。
図13の回路構成に示すように、一対のラッチ回路4に代わるラッチ回路104は、ラッチ回路4とほぼ同様の構成を備えている。このラッチ回路104は、インバータ4aaの出力とキャパシタ3aの出力との間の共通接続ノードN1が、インバータ4bbの出力に共通接続されている。また、インバータ4baの出力とキャパシタ3bの出力との間の共通接続ノードN2が、インバータ4abの出力に共通接続されている。
回路構成上、インバータ4aa、4abは、それらの出力が互いに180°位相の異なる逆の論理レベルを定常状態とし、インバータ4ba、4bbもそれらの出力が互いに180°位相が異なる逆の論理レベルを定常状態としている。したがって、インバータ4aaおよび4bbは、それらの出力論理レベルが同相となる状態が定常状態となり、インバータ4abおよび4baは、それらの出力論理レベルが同相となる状態が定常状態となる。
差動対の一方のデジタル信号がキャパシタ3aを通じてノードN1に入力されると、このデジタル信号はインバータ4abに入力されると共にインバータ4baに入力される。差動対の他方のデジタル信号がキャパシタ3bを通じてノードN2に入力されると、このデジタル信号はインバータ4bbに入力されると共にインバータ4aaにも入力される。
これらの差動デジタル信号は、一方では複数のインバータ4ab、4baに同時入力されると共に、他方では複数のインバータ4aaおよび4bbに同時入力されるため、ラッチ回路104の論理レベルの反転閾値電圧を跨ぎやすくなる。言い換えると、一方のラッチ回路4aの論理変化の影響が他方のラッチ回路4bの論理変化に及ぼされると共に、他方のラッチ回路4bの論理変化の影響が一方のラッチ回路4aの論理変化に及ぼされることになり、ラッチ回路104のインバータ(4aa,4ab,4ba,4bb)が論理反転しやすくなる。
また、差動間のデジタル信号を利用しているため、ラッチ回路4のコモンモードノイズ耐性をも向上できる。インバータ(4aa、4ab)、インバータ(4ba、4bb)をそれぞれ2段接続した構成について説明したが、4段以上の偶数段接続の場合でも同様に適用できる。
ツェナーダイオード等によるクランプ回路を、MOSトランジスタ(M1,M2)、MOSトランジスタ(M3,M4)のゲートに接続して構成しても良い。M1〜M4のトランジスタの種類はMOSトランジスタに限られない。
図面中、1は論理信号絶縁伝送回路、2は駆動回路、3は一対の絶縁バリア、4は一対のラッチ回路、4a,4bはラッチ回路、4aa,4ab,4ba,4bbはインバータ、を示す。

Claims (14)

  1. 入力デジタル信号を一対の差動デジタル信号に変換する駆動回路(2)と、
    前記駆動回路が変換した一対の差動デジタル信号をそれぞれ通過し直流を遮断する一対の絶縁バリア(3)と、
    前記一対の絶縁バリア(3)の出力にそれぞれ接続されると共に、電源電圧を相補的にオンオフして論理レベルを出力するインバータ((4aa,4ab),(4ba,4bb))を偶数段ループ接続して構成され、その入力インピーダンスが、前記駆動回路(2)の一対の差動デジタル信号がそれぞれ論理変化したときに、前記一対の絶縁バリア(3)を通過して生じる入力過渡電圧がそれぞれ当該ラッチ回路(4a,4b)の論理反転しきい値電圧を跨ぐように設定された一対のラッチ回路(4)と、を備えたことを特徴とする論理信号絶縁伝送回路。
  2. 前記ラッチ回路(4a,4b)の入力インピーダンスは、前記絶縁バリア(3)の出力にそれぞれ接続されたインバータ(4aa,4ba)に抵抗(R1,R2)を接続した構成を用いて設定されていることを特徴とする請求項1記載の論理信号絶縁伝送回路。
  3. 前記インバータはトランジスタ(M1,M2)を用いて構成され、
    前記ラッチ回路(4a,4b)の入力インピーダンスは、前記トランジスタ(M1,M2)の内部抵抗を用いて設定されていることを特徴とする請求項1または2記載の論理信号絶縁伝送回路。
  4. 一方の前記ラッチ回路(4a)の奇数段目のインバータ(4aa)の出力が他方のラッチ回路(4b)の偶数段目のインバータ(4bb)の出力に接続され、当該接続ノードが一方の前記ラッチ回路(4a)の入力ノードとされ、
    他方の前記ラッチ回路(4b)の偶数段目のインバータ(4bb)の出力が他方のラッチ回路(4b)の奇数段目のインバータ(4ba)の出力に接続され、当該接続ノードが他方の前記ラッチ回路(4b)の入力ノードとされていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の論理信号絶縁伝送回路。
  5. 第1および第2反転ゲート(6aa,6ba)と第1および第2否定論理和ゲート(6ab,6bb)とを備え、前記第1反転ゲート(6aa)および前記第1否定論理和ゲート(6ab)の直列回路が一方の前記ラッチ回路(4a)の出力に接続されると共に、当該一方のラッチ回路(4a)の出力が前記第2否定論理和ゲート(6bb)の入力に接続され、前記第2反転ゲート(6ba)および第2否定論理和ゲート(6bb)の直列回路が他方のラッチ回路(4b)の出力に接続されると共に、当該他方のラッチ回路(4b)の出力が前記第1否定論理和ゲート(6ab)の入力に接続された同時Hレベル出力防止用の第1回路(6)と、
    前記第1回路の出力に接続されたRSフリップフロップを備え前記第1回路の出力を保持する第2回路(5)とを備えたことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の論理信号絶縁伝送回路。
  6. 前記ラッチ回路の出力を保持する出力保持回路(5)を備えたことを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の論理信号絶縁伝送回路。
  7. 前記一対のラッチ回路のインバータ(4ac,4bc)は、シュミットトリガ入力の構成を用いていることを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載の論理信号絶縁伝送回路。
  8. 前記一対の絶縁バリアは、一対の差動デジタル信号を通過するトランス(3aa,3ba)を備えることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の論理信号絶縁伝送回路。
  9. 前記絶縁バリアは、金属またはシリコンなどの導電材料を含む第1および第2導電層(10,14)を層間絶縁膜(11)で挟んで構成されたキャパシタ(3a)を用いることを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載の論理信号絶縁伝送回路。
  10. 前記キャパシタは、
    前記第2導電層(14)が前記第1導電層(10)上に層間絶縁膜を介して形成されたボンディングパッド(PAD)を備え、
    前記駆動回路の出力ノードが第1導電層に電気的に接続されると共に、前記ラッチ回路の入力ノードが前記ボンディングパッド(PAD)にボンディング(B)接続されていることを特徴とする請求項9記載の論理信号絶縁伝送回路。
  11. 前記駆動回路および前記キャパシタが同一半導体チップ(CP1)に構成され、
    前記ラッチ回路は、前記駆動回路および前記キャパシタが構成された半導体チップ(CP1)とは異なる半導体チップ(CP2)内に構成され、これらの半導体チップ(CP1,CP2)はパッケージ(PKG)内部でボンディング接続されていることを特徴とする請求項10記載の論理信号絶縁伝送回路。
  12. 前記キャパシタは、
    前記第2導電層(14)は前記第1導電層(10)上に層間絶縁膜を介して形成されたボンディングパッド(PAD)を備えるものであって、
    前記駆動回路(2)の出力ノードが前記ボンディングパッドにボンディング接続されると共に、前記ラッチ回路の入力ノードが前記第1導電層に電気的に接続されていることを特徴とする請求項9記載の論理信号絶縁伝送回路。
  13. 前記キャパシタおよび前記ラッチ回路が同一半導体チップ(CP2)に構成されると共に、
    前記駆動回路は、前記キャパシタおよび前記ラッチ回路が構成された半導体チップ(CP2)とは異なる半導体チップ(CP1)内に構成され、これらの半導体チップはパッケージ内部でボンディング(B)接続されていることを特徴とする請求項12記載の論理信号絶縁伝送回路。
  14. 前記絶縁バリアにはキャパシタ(3a)が用いられ、
    前記キャパシタの容量値に応じて前記ラッチ回路の入力インピーダンスが調整されていることを特徴とする請求項1〜13の何れかに記載の論理信号絶縁伝送回路。
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