JP2013129913A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 第１のボビンを有する基板搬出部と、
   前記基板搬出部と接続され、第１の槽と、前記第１の槽内にある第１の電極及び第１のローラと、を有する還元処理部と、
   前記還元処理部と接続され、第２の槽と、前記第２の槽内にある第２のローラとを有する洗浄部と、
   前記洗浄部と接続された乾燥部と、
   前記乾燥部と接続され、第２のボビンを有する基板搬入部と、
   電源と、
   を有し、
   前記第１のボビン、前記第２のボビン、前記第１のローラおよび前記第２のローラのいずれか一つ以上は、前記第１の電極と対になる第２の電極であり、
   前記電源の一方の端子は、前記第１の電極に電気的に接続され、
   前記電源の他方の端子は、前記第２の電極に電気的に接続され、
   前記電源により、前記第１の電極と前記第２の電極との間に還元電位を与えることで、前記還元処理部において還元処理が行われることを特徴とする可撓性基板処理装置。
2. 第１のボビンを有する基板搬出部と、
   前記基板搬出部と接続され、第１の槽と、前記第１の槽内にある第１の電極及び第１のローラと、を有する還元処理部と、
   前記還元処理部と接続され、第２の槽と、前記第２の槽内にある第２のローラとを有する洗浄部と、
   前記洗浄部と接続された乾燥部と、
   前記乾燥部と接続された重ね合わせ部と、
   前記重ね合わせ部と接続され、第２のボビンを有する基板搬入部と、
   電源と、
   を有し、
   前記第１のボビン、前記第２のボビン、前記第１のローラおよび前記第２のローラのいずれか一つ以上は、前記第１の電極と対になる第２の電極であり、
   前記電源の一方の端子は、前記第１の電極に電気的に接続され、
   前記電源の他方の端子は、前記第２の電極に電気的に接続され、
   前記電源により、前記第１の電極と前記第２の電極との間に還元電位を与えることで、前記還元処理部において還元処理が行われ、
   前記重ね合わせ部では、前記乾燥部で乾燥された第１の可撓性基板を第２の可撓性基板と重ね合わせることを特徴とする可撓性基板処理装置。
3. 請求項２において、前記第１の電極は、前記第１の可撓性基板の表裏両側に前記第１の可撓性基板と等間隔となるように設置されていることを特徴とする可撓性基板処理装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項において、前記基板搬出部、前記還元処理部、前記洗浄部、前記乾燥部、および前記基板搬入部は、それぞれ異なる室に設けられることを特徴とする可撓性基板処理装置。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項において、少なくとも前記還元処理部、洗浄部、および乾燥部には、吸気口及び排気口が設けられていることを特徴とする可撓性基板処理装置。
6. 請求項１乃至５のいずれか一項において、前記基板搬出部、前記還元処理部、前記洗浄部、前記乾燥部、および前記基板搬入部のそれぞれの間にニップローラ、またはスリットが設けられることを特徴とする可撓性基板処理装置。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項において、前記還元処理部および前記洗浄部は送風処理部を有することを特徴とする可撓性基板処理装置。