CN101871109B - 一种双卷连续电沉积加厚装置 - Google Patents

一种双卷连续电沉积加厚装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101871109B
CN101871109B CN2009100388317A CN200910038831A CN101871109B CN 101871109 B CN101871109 B CN 101871109B CN 2009100388317 A CN2009100388317 A CN 2009100388317A CN 200910038831 A CN200910038831 A CN 200910038831A CN 101871109 B CN101871109 B CN 101871109B
Authority
CN
China
Prior art keywords
galvanic deposition
deposition cell
washing bath
guide roller
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN2009100388317A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101871109A (zh
Inventor
夏登峰
杨伟民
苏陟
郑永德
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guangzhou Fangbang Electronics Co Ltd
Original Assignee
GUANGZHOU LIJIA ELECTRONIC CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by GUANGZHOU LIJIA ELECTRONIC CO Ltd filed Critical GUANGZHOU LIJIA ELECTRONIC CO Ltd
Priority to CN2009100388317A priority Critical patent/CN101871109B/zh
Publication of CN101871109A publication Critical patent/CN101871109A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101871109B publication Critical patent/CN101871109B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

一种双卷连续电沉积加厚装置,包括放卷装置,电沉积槽、水洗槽、烘干箱和收卷装置,放卷装置与电沉积槽之间设置有入槽导向辊,电沉积槽后设置有水洗槽,水洗槽后设置有烘干箱,烘干箱后设置有收卷装置;电沉积槽上设置有给电装置,所述的放卷装置由第一放卷机构和第二放卷机构组成,相应的收卷装置由第一收卷机构和第二收卷机构组成,放卷装置与电沉积槽之间设置有放卷纠偏装置;烘干箱与收卷装置之间设置有收卷纠偏装置;给电装置由两个辊轴组成,运行的时候其中的一辊轴向上倾斜。本发明有效的解决不同幅宽的双卷连续基材电沉积加厚的技术问题,提高生产效率,沉积层厚度均匀,产品质量有保障。

Description

一种双卷连续电沉积加厚装置
技术领域
本发明属于连续电沉积设备领域,具体为卷对卷连续金属膜电沉积加厚设备,特别是一种双卷连续电沉积加厚装置。
背景技术
目前,在卷状带材金属层加厚处理中,电沉积法以镀层质密、杂质少、成本低等诸多优点,一直以来被广泛应用。然而在卷对卷连续电沉积金属层的过程中,由于卷状带材在连续运转的过程中较容易跑偏,一般连续电沉积设备,很难对较薄的带材进行较好的传动控制。而且,目前的电沉积设备仅能对一卷基材进行电沉积加厚,对于多种幅宽的带材同时电镀没有相应的处理办法。
发明内容
本发明的目的是针对以上所述现有卷对卷连续电沉积设备存在的不足,提供具有收放纠偏功能,并可以双卷同步电沉积,提高生产效率的一种双卷连续电沉积加厚装置。
本发明是这样实现的:一种双卷连续电沉积加厚装置,包括放卷装置,电沉积槽、水洗槽、烘干箱和收卷装置,放卷装置与电沉积槽之间设置有入槽导向辊,电沉积槽后设置有水洗槽,水洗槽后设置有烘干箱,烘干箱后设置有收卷装置;电沉积槽上设置有给电装置,所述的放卷装置由第一放卷机构和第二放卷机构组成,相应的收卷装置由第一收卷机构和第二收卷机构组成。
所述的第一放卷机构和第二放卷机构可以由第一放卷轴和张力检测辊组成。
所述的放卷装置与电沉积槽之间设置有放卷纠偏装置。
所述的烘干箱与收卷装置之间设置有收卷纠偏装置。
所述的放卷装置中的放卷轴后设置有套张力检测辊。
所述的给电装置由两个辊轴组成,运行的时候其中的一辊轴向上倾斜,使基材与辊轴充分的电接触。
所述的电沉积槽分级设置,槽上方相配合的设置有第一槽上导向辊和第二槽上导向辊,每级电沉积槽内底部设置有槽下导向辊。
所述的水洗槽为分级设置,水洗槽的上方设置有第一水洗槽上导向辊和第二水洗槽上导向辊,每级水洗槽内底部设置有槽中导向辊。
所述的水洗槽中的最后一级水洗槽的槽中导向辊的下部设置有超生波震板。
所述的电沉积槽外设置有镀液储槽,镀液储槽出口端与电沉积槽通过管道连接,入口端通过电镀过滤机与电沉积槽连接,形成循环流动的过滤系统。
本发明具有如下优点:(1)双放卷和收卷方式的设计,可以对一半宽度的基材进行放料,也可以实现双卷同步电沉积;(2)配置放卷纠偏系统和收卷配置纠偏系统确保基材在镀槽内的左右距离一致性,有利于控制镀层厚度;(3)双上导向辊设计,确保双卷电沉积时的同步性;(4)给电装置与基材接触角可调,有效的保证了基材与辊轴进行电接触;(5)配置纯水洗和超声波水洗,保证电沉积后的品质;(6)配置热风烘干装置;(7)收放料加装自动张力装置,对基材进行张力控制;(8)设置有循环流动的过滤系统,保证镀液不会因为常时间进料而受到污染。本发明有效的解决不同幅宽和双卷连续基材连续电沉积的技术难题,提高生产效率,沉积层厚度均匀,产品质量有保障。
附图说明
图1为一种双卷连续加厚电沉积装置的结构示意图;
图2为一种双卷连续加厚电沉积装置的双卷基材电沉积示意图;
图3为一种双卷连续加厚电沉积装置的单卷基材电沉积示意图;
图4为一种双卷连续加厚电沉积装置的给电装置接触角调节示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明一种双卷连续加厚电沉积装置进行详细说明:
一种双卷连续电沉积加厚装置,如图1所示,包括放卷装置1,电沉积槽20、水洗槽、烘干箱12和收卷装置15。放卷装置1与电沉积槽之间设置有入槽导向辊6,电沉积槽20后设置有水洗槽,水洗槽后设置有烘干箱12,烘干箱12后设置有收卷装置15。烘干箱12为热风烘干装置。
放卷装置1设置在放卷架上,由第一放卷机构2和第二放卷机构3组成。第一放卷机构2可以由第一放卷轴2和张力检测辊4组成。第二放卷机构3可以由第二放卷轴2和张力检测辊4组成。张力检测辊4可以有效的检测卷状基材的张力,可以通过检测到的张力情况及时人工或者自动调节放卷轴,使卷状基材的处于合适的张力环境中。
在放卷装置1与电沉积槽20之间设置有放卷纠偏装置5,以防止在放卷过程中出现基材偏位的情况发生。放卷纠偏装置5可以采用双纠偏导向辊形式,纠偏导向辊选用直径φ75~φ150mm,其宽度与设计电沉积槽的宽度相同,纠偏驱动采用电机驱动。
放卷纠偏装置5与电沉积槽20之间设置有入槽导向辊6。电沉积槽20为分级设置,优选的设置有三级。第一级电沉积槽内设置有一级电沉积下导向辊18。一级电沉积下导向辊18可以设置有两个,第二个一级电沉积下导向辊18上的电沉积槽20上设置有给电装置9。第一级电沉积槽与第二级电沉积槽之间的上方设置有第一槽上导向辊7和第二槽上导8向辊,第二级电沉积槽内设置有槽下导向辊22。第二级电沉积槽与三级电沉积槽之间的上方设置有第一槽上导向辊7和第二槽上导8向辊,第三级电沉积槽内设置有槽下导向辊22。槽下导向辊22向上的切向位置的电沉积槽上设置有给电装置9。如图4所示,给电装置9由两个辊轴33组成,运行的时候其中的一辊轴向上倾斜,使基材与辊轴3充分的电接触。电沉积槽20外设置有镀液储槽32,镀液储槽32出口端与电沉积槽20通过管道连接,入口端通过电镀过滤机31与电沉积槽20连接,形成循环流动的过滤系统。电沉积槽20中的第一电沉积槽内挂有一级钛篮19,第二电沉积槽内挂有二级钛篮21,第三电沉积槽内挂有三级钛篮,钛篮用于盛放了为镀液补充铜离子的阳极铜球或者铜块。
第三级电沉积槽的上方的第一槽上导向辊7后设置有第一水洗槽导向辊10,第二槽上导向辊8后设置有第二水洗槽导向辊11。水洗槽为分级设置,可以设置有三级,分别是第一级水洗槽23、第二级水洗槽25和第三级水洗槽26。第一级水洗槽23与第三级电沉积槽之间的上方,第一级水洗槽23与第二级水洗槽25之间的上方,第二级水洗槽25与第三级水洗槽26之间的上方分别设置有第一水洗槽导向辊10和第二水洗槽导向辊11。每级槽内设置有槽中导向辊24。在最后一级的第三级水洗槽26内的槽中导向辊24的下部设置有超生波震板27,以去除基材表面的污迹。
最后第三级水洗槽26的后面设置有烘干箱12,第三级水洗槽26与烘干箱12设置有导向辊13。烘干箱12设置在烘干箱支架28上。
烘干箱12后设置的是收卷纠偏装置14,收卷纠偏装置14后设置收卷装置。收卷纠偏装置14的结构与放卷纠偏装置5相同。收卷装置15设置在收卷架内,由第一收卷机构和第二收卷机构组成。第一放卷机构可以由第一放卷轴16和收卷张力检测辊29组成。第二放卷机构可以由第二放卷轴17和张力检测辊29组成。
本发明可实现双机卷基材30的电沉积,放卷方式如图2所示;也可以实现单卷基材30的电沉积,放卷如图3所示。

Claims (4)

1.一种双卷连续电沉积加厚装置,包括放卷装置,电沉积槽、水洗槽、烘干箱和收卷装置,放卷装置与电沉积槽之间设置有入槽导向辊,电沉积槽后设置有水洗槽,水洗槽后设置有烘干箱,烘干箱后设置有收卷装置;电沉积槽上设置有给电装置,其特征在于:所述的放卷装置由第一放卷机构和第二放卷机构组成,相应的收卷装置由第一收卷机构和第二收卷机构组成;所述的第一放卷机构和第二放卷机构由第一放卷轴和张力检测辊组成;放卷纠偏装置与电沉积槽之间设置有入槽导向辊;所述的放卷装置与电沉积槽之间设置有放卷纠偏装置;所述的烘干箱与收卷装置之间设置有收卷纠偏装置;所述的给电装置由两个辊轴组成,运行的时候其中的一辊轴向上倾斜;所述的水洗槽为分级设置,水洗槽上方设置有第一水洗槽上导向辊和第二水洗槽上导向辊,每级水洗槽内底部设置有槽中导向辊;所述的水洗槽中的最后一级水洗槽的槽中导向辊的下部设置有超生波震板;电沉积槽中的第一电沉积槽内挂有一级钛篮,第二电沉积槽内挂有二级钛篮,第三电沉积槽内挂有三级钛篮,钛篮用于盛放了为镀液补充铜离子的阳极铜球或者铜块。
2.如权利要求1所示的一种双卷连续电沉积加厚装置,其特征在于:所述的放卷装置中放卷轴后设置有套张力检测辊。
3.如权利要求1所示的一种双卷连续电沉积加厚装置,其特征在于:所述的电沉积槽分级设置,电沉积槽的上方设置有第一槽上导向辊和第二槽上导向辊,每级电沉积槽内底部设置有槽下导向辊。
4.如权利要求1所示的一种双卷连续电沉积加厚装置,其特征在于:所述的电沉积槽外设置有镀液储槽,镀液储槽出口端与电沉积槽通过管道连接,入口端通过电镀过滤机与电沉积槽连接,形成循环流动的过滤系统。
CN2009100388317A 2009-04-21 2009-04-21 一种双卷连续电沉积加厚装置 Active CN101871109B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009100388317A CN101871109B (zh) 2009-04-21 2009-04-21 一种双卷连续电沉积加厚装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2009100388317A CN101871109B (zh) 2009-04-21 2009-04-21 一种双卷连续电沉积加厚装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101871109A CN101871109A (zh) 2010-10-27
CN101871109B true CN101871109B (zh) 2012-08-15

Family

ID=42996186

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009100388317A Active CN101871109B (zh) 2009-04-21 2009-04-21 一种双卷连续电沉积加厚装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101871109B (zh)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102485964A (zh) * 2010-12-02 2012-06-06 加贺开发科技有限公司 具有张力控制机制的卷对卷电镀设备
US9487880B2 (en) 2011-11-25 2016-11-08 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Flexible substrate processing apparatus
CN102790002B (zh) * 2012-07-27 2015-02-11 京东方科技集团股份有限公司 柔性基板处理装置
CN103060869B (zh) * 2012-12-31 2017-03-15 上海新阳半导体材料股份有限公司 柔性载带电镀装置
CN103230962B (zh) * 2013-03-22 2015-08-12 奇瑞新能源汽车技术有限公司 一种辊压设备的双收双放机构及其控制方法
CN104562122B (zh) * 2014-12-26 2016-12-07 惠州市特创电子科技有限公司 电镀铜厚的延时补偿方法和系统
CN109735880A (zh) * 2019-03-04 2019-05-10 深圳市汇美新科技有限公司 一种超薄薄膜电化学沉积系统
CN110129865A (zh) * 2019-05-30 2019-08-16 天水迈格智能设备有限公司 一种卷对卷轮式电镀线引线框架的导电装置
CN110451324B (zh) * 2019-07-22 2021-08-03 常德力元新材料有限责任公司 双层海绵的卷对卷化学镀系统
CN113106529A (zh) * 2021-04-07 2021-07-13 益阳市菲美特新材料有限公司 一种导电布生产装置及其生产方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2431065A (en) * 1938-12-12 1947-11-18 Meaker Company Continuous wire and strip electro-processing machine
CN2818504Y (zh) * 2005-04-28 2006-09-20 江苏华达涂层有限公司 卷板碱性镀锌—涂耐指纹膜连续生产线
CN201447508U (zh) * 2009-04-21 2010-05-05 广州力加电子有限公司 一种双卷连续电沉积加厚装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2431065A (en) * 1938-12-12 1947-11-18 Meaker Company Continuous wire and strip electro-processing machine
CN2818504Y (zh) * 2005-04-28 2006-09-20 江苏华达涂层有限公司 卷板碱性镀锌—涂耐指纹膜连续生产线
CN201447508U (zh) * 2009-04-21 2010-05-05 广州力加电子有限公司 一种双卷连续电沉积加厚装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN101871109A (zh) 2010-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101871109B (zh) 一种双卷连续电沉积加厚装置
US6752915B2 (en) Web conveying apparatus, and apparatus and method for electrodeposition using web conveying apparatus
CN106087028B (zh) 一种电镀夹导电式卷对卷垂直连续电镀设备
JP2000173969A (ja) リンス方法および光起電力素子
CN201447508U (zh) 一种双卷连续电沉积加厚装置
EP1750491B1 (en) System and method for manufacturing flexible copper clad laminate film
KR101630979B1 (ko) 금속박판 제조장치
CN218115633U (zh) 一种具有双面镀膜功能的水电镀设备
KR101613426B1 (ko) 이차전지 전극단자용 표면처리 장치
CN210151236U (zh) 一种柔性板卷对卷水平电镀线
JP2005537392A (ja) 少なくとも表面が導電性であるワークピースを電解処理するための装置および方法
KR20130053115A (ko) 고속 금속박 제조방법 및 장치
JP2000297397A (ja) 電析方法
JP4212081B2 (ja) 連続湿式処理方法及び装置並びに液シール方法及び装置
CN210296499U (zh) 补锂装置及电池生产线
KR101206986B1 (ko) 철 폼 전해 도금 장치
CN218123443U (zh) 一种极片的预锂设备
EP3890458A1 (en) Circuit pattern continuous manufacturing device
KR102333203B1 (ko) 금속 박판 제조장치
CN110685005A (zh) 一种展平辊、输送机构及处理装置
CN107698170A (zh) 一种镀膜设备
KR101373167B1 (ko) 강판 도금장치 및 강판 도금방법
KR101520827B1 (ko) 강판 코팅장치
JP3445161B2 (ja) 酸化亜鉛膜の電析方法、および電析装置
CN218521355U (zh) 一种v型结构电镀设备

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: GUANGZHOU FANGBANG ELECTRONICS CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: GUANGZHOU LIJIA ELECTRONIC CO., LTD.

Effective date: 20141230

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 510000 GUANGZHOU, GUANGDONG PROVINCE TO: 510660 GUANGZHOU, GUANGDONG PROVINCE

TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20141230

Address after: 510660, A5 building, No. 11, Kaiyuan Avenue, Guangzhou hi tech Industrial Development Zone, Guangdong, Guangzhou, Sixth

Patentee after: GUANGZHOU FANG BANG ELECTRONICS Co.,Ltd.

Address before: 510000 C2-204 room, innovation building, Guangzhou Science City, Guangzhou, Guangdong, Luogang District

Patentee before: GUANGZHOU LIJIA ELECTRONIC Co.,Ltd.

C56 Change in the name or address of the patentee
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 510660, A5 building, No. 11, Kaiyuan Avenue, Guangzhou hi tech Industrial Development Zone, Guangdong, Guangzhou, Sixth

Patentee after: GUANGZHOU FANG BANG ELECTRONICS Co.,Ltd.

Address before: 510660, A5 building, No. 11, Kaiyuan Avenue, Guangzhou hi tech Industrial Development Zone, Guangdong, Guangzhou, Sixth

Patentee before: GUANGZHOU FANG BANG ELECTRONICS Co.,Ltd.

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Double winding continuous electro-deposition thickening device

Effective date of registration: 20200628

Granted publication date: 20120815

Pledgee: Guangzhou Development Zone sub branch of Huaxia Bank Co.,Ltd.

Pledgor: GUANGZHOU FANG BANG ELECTRONICS Co.,Ltd.

Registration number: Y2020440000147

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20210804

Granted publication date: 20120815

Pledgee: Guangzhou Development Zone sub branch of Huaxia Bank Co.,Ltd.

Pledgor: GUANGZHOU FANG BANG ELECTRONICS Co.,Ltd.

Registration number: Y2020440000147

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Double roll continuous electrodeposition thickening device

Effective date of registration: 20211229

Granted publication date: 20120815

Pledgee: Guangzhou Development Zone sub branch of Huaxia Bank Co.,Ltd.

Pledgor: GUANGZHOU FANG BANG ELECTRONICS Co.,Ltd.

Registration number: Y2021440000411

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20221019

Granted publication date: 20120815

Pledgee: Guangzhou Development Zone sub branch of Huaxia Bank Co.,Ltd.

Pledgor: GUANGZHOU FANG BANG ELECTRONICS Co.,Ltd.

Registration number: Y2021440000411

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: A Double roll Continuous Electrodeposition Thickening Device

Effective date of registration: 20221027

Granted publication date: 20120815

Pledgee: Guangzhou Development Zone sub branch of Huaxia Bank Co.,Ltd.

Pledgor: GUANGZHOU FANG BANG ELECTRONICS Co.,Ltd.

Registration number: Y2022440000285

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Granted publication date: 20120815

Pledgee: Guangzhou Development Zone sub branch of Huaxia Bank Co.,Ltd.

Pledgor: GUANGZHOU FANG BANG ELECTRONICS Co.,Ltd.

Registration number: Y2022440000285