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  1. 絶縁表面を有する基板上に設けられた酸化物半導体層と、
    前記酸化物半導体層上に部分的に設けられた第1の導電層と、
    前記第1の導電層上に部分的に設けられた第2の導電層と、
    前記酸化物半導体層上、前記第1の導電層上及び前記第2の導電層上に設けられたゲート絶縁層と、
    前記ゲート絶縁層を介し前記酸化物半導体層上に設けられたゲート電極層と、
    を有し、
    前記ゲート電極層は、前記ゲート絶縁層を介して前記第1の導電層と重する領域を有し、
    前記ゲート電極層は、前記ゲート絶縁層を介して前記第2の導電層と非重畳とする半導体装置。
  2. 絶縁表面を有する基板上に設けられた酸化物半導体層と、
    前記酸化物半導体層上に部分的に設けられた第1の導電層と、
    前記第1の導電層上に部分的に設けられた第2の導電層と、
    前記第2の導電層上に設けられた絶縁層と、
    前記酸化物半導体層上、前記第1の導電層上、前記第2の導電層上及び前記絶縁層上に設けられたゲート絶縁層と、
    前記ゲート絶縁層を介し前記酸化物半導体層上に設けられたゲート電極層と、
    を有し、
    前記ゲート電極層は、前記ゲート絶縁層を介して前記第1の導電層と重する領域を有し、
    前記ゲート電極層は、前記ゲート絶縁層を介して前記第2の導電層と非重畳とする半導体装置。
  3. 絶縁表面を有する基板上に設けられた酸化物半導体層と、
    前記酸化物半導体層上に部分的に設けられた第1の導電層と、
    前記第1の導電層上に部分的に設けられた絶縁層と、
    前記絶縁層上に部分的に設けられ、前記絶縁層の開口部において前記第1の導電層に接して設けられた第2の導電層と、
    前記酸化物半導体層上、前記第1の導電層上、前記第2の導電層上及び前記絶縁層上に設けられたゲート絶縁層と、
    前記ゲート絶縁層を介し前記酸化物半導体層上に設けられたゲート電極層と、
    を有し、
    前記ゲート電極層は、前記ゲート絶縁層を介して前記第1の導電層と重する領域を有し、
    前記ゲート電極層は、前記ゲート絶縁層を介して前記第2の導電層と非重畳とする半導体装置。
  4. 絶縁表面を有する基板上に設けられた酸化物半導体層と、
    前記酸化物半導体層上に部分的に設けられた第1の導電層と、
    前記第1の導電層上に部分的に設けられた第2の導電層と、
    前記酸化物半導体層上、前記第1の導電層上及び前記第2の導電層上に設けられたゲート絶縁層と、
    前記ゲート絶縁層を介した前記酸化物半導体層上に設けられたゲート電極層と、
    前記絶縁表面を有する基板と前記酸化物半導体層との間に設けられた第3の導電層と、
    前記絶縁表面を有する基板と前記酸化物半導体層との間に設けられた絶縁層と、
    を有し、
    前記絶縁層の上面は、前記第3の導電層の上面の位置と同じ位置を有し、
    前記第3の導電層は、前記酸化物半導体層を介して前記第1の導電層と重畳する領域を有し、
    前記ゲート電極層は、前記ゲート絶縁層を介して前記第1の導電層と重する領域を有し、
    前記ゲート電極層は、前記ゲート絶縁層を介して前記第2の導電層と非重畳とする半導体装置。
  5. 絶縁表面を有する基板上に設けられた酸化物半導体層と、
    前記酸化物半導体層上に部分的に設けられた第1の導電層と、
    前記第1の導電層上に部分的に設けられた第2の導電層と、
    前記酸化物半導体層上、前記第1の導電層上及び前記第2の導電層上に設けられたゲート絶縁層と、
    前記ゲート絶縁層を介した前記酸化物半導体層上に設けられたゲート電極層と、
    前記絶縁表面を有する基板と前記酸化物半導体層との間に設けられた第3の導電層と、
    前記絶縁表面を有する基板と前記酸化物半導体層との間に設けられた絶縁層と、
    を有し、
    前記絶縁層の上面は、前記第3の導電層の上面の位置と同じ位置を有し、
    前記第3の導電層は、前記酸化物半導体層の開口部において、前記第1の導電層と接する領域を有し、
    前記ゲート電極層は、前記ゲート絶縁層を介して前記第1の導電層と重畳する領域を有し、
    前記ゲート電極層は、前記ゲート絶縁層を介して前記第2の導電層と非重畳とする半導体装置。
  6. 請求項1乃至請求項のいずれか一において、
    前記絶縁表面を有する基板上に、バッファ層が設けられている半導体装置。
  7. 請求項において、
    前記バッファ層は、アルミニウム、ガリウム、ジルコニウム、ハフニウム、又は希土類元素から選択された一以上の元素の酸化物を含む層である半導体装置。
  8. 請求項1乃至請求項のいずれか一において、
    前記酸化物半導体層は、c軸配向した結晶を含む半導体装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7241942B2 (ja) 2013-06-21 2023-03-17 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5806905B2 (ja) 2011-09-30 2015-11-10 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置
JP5912394B2 (ja) 2011-10-13 2016-04-27 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置
US10042446B2 (en) 2013-08-13 2018-08-07 Samsung Electronics Company, Ltd. Interaction modes for object-device interactions
US10108305B2 (en) * 2013-08-13 2018-10-23 Samsung Electronics Company, Ltd. Interaction sensing
US9607991B2 (en) 2013-09-05 2017-03-28 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device
KR102294507B1 (ko) * 2013-09-06 2021-08-30 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치
TWI663733B (zh) * 2014-06-18 2019-06-21 日商半導體能源研究所股份有限公司 電晶體及半導體裝置
WO2016009693A1 (ja) * 2014-07-17 2016-01-21 ソニー株式会社 光電変換素子、撮像装置、光センサ及び光電変換素子の製造方法
KR102373434B1 (ko) * 2014-11-07 2022-03-14 삼성디스플레이 주식회사 박막 트랜지스터 어레이 기판, 이를 포함하는 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
TWI581317B (zh) * 2014-11-14 2017-05-01 群創光電股份有限公司 薄膜電晶體基板及具備該薄膜電晶體基板之顯示面板
US9954112B2 (en) 2015-01-26 2018-04-24 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
CN104576759A (zh) * 2015-01-27 2015-04-29 北京大学 一种金属氧化物半导体薄膜晶体管及其制备方法
US9653613B2 (en) * 2015-02-27 2017-05-16 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
US20160308067A1 (en) * 2015-04-17 2016-10-20 Ishiang Shih Metal oxynitride transistor devices
US9825177B2 (en) * 2015-07-30 2017-11-21 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Manufacturing method of a semiconductor device using multiple etching mask
JP6850096B2 (ja) * 2015-09-24 2021-03-31 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法及び電子機器の作製方法
WO2017175095A1 (en) * 2016-04-08 2017-10-12 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
KR101914835B1 (ko) * 2016-11-18 2018-11-02 아주대학교산학협력단 금속산화물 이종 접합 구조, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 박막트랜지스터
RU2646545C1 (ru) * 2016-12-14 2018-03-05 ООО "Тонкопленочные технологии" Полупроводниковый резистор
US10490130B2 (en) 2017-02-10 2019-11-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display system comprising controller which process data
CN110678989B (zh) 2017-03-13 2024-02-13 株式会社半导体能源研究所 半导体装置及半导体装置的制造方法
US10084074B1 (en) * 2017-03-24 2018-09-25 Qualcomm Incorporated Compound semiconductor field effect transistor gate length scaling
KR20190142344A (ko) 2017-04-28 2019-12-26 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치 및 반도체 장치의 제작 방법
CN109937484B (zh) 2017-08-31 2022-06-10 京东方科技集团股份有限公司 薄膜晶体管、阵列基板、显示装置及制造薄膜晶体管的方法
US11289475B2 (en) 2019-01-25 2022-03-29 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method of semiconductor device
TW202144319A (zh) 2020-04-03 2021-12-01 日商半導體能源研究所股份有限公司 芳基胺化合物、電洞傳輸層用材料、電洞注入層用材料、發光器件、發光裝置、電子裝置及照明設備

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01136373A (ja) * 1987-11-24 1989-05-29 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 薄膜型半導体装置の製法
US5270567A (en) * 1989-09-06 1993-12-14 Casio Computer Co., Ltd. Thin film transistors without capacitances between electrodes thereof
JPH03185840A (ja) * 1989-12-15 1991-08-13 Casio Comput Co Ltd 薄膜トランジスタ
JPH0471237A (ja) * 1990-07-11 1992-03-05 Nippon Soken Inc 半導体装置の製造方法
JPH05206166A (ja) * 1991-12-26 1993-08-13 Fuji Xerox Co Ltd 薄膜トランジスタ
JPH08330593A (ja) * 1995-05-31 1996-12-13 Sharp Corp 薄膜トランジスタの製造方法
JP3986767B2 (ja) * 2001-06-05 2007-10-03 株式会社半導体エネルギー研究所 スタティックram及び半導体集積回路
JP2003110108A (ja) * 2001-09-28 2003-04-11 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置の製造方法及びその構造
JP2003258259A (ja) * 2002-02-28 2003-09-12 Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd 電極構造、薄膜トランジスタおよびそれらの製造方法
JP4356309B2 (ja) * 2002-12-03 2009-11-04 セイコーエプソン株式会社 トランジスタ、集積回路、電気光学装置、電子機器
JP5126729B2 (ja) 2004-11-10 2013-01-23 キヤノン株式会社 画像表示装置
JP4435057B2 (ja) * 2004-12-08 2010-03-17 セイコーエプソン株式会社 半導体装置およびその製造方法
JP2007013091A (ja) * 2005-05-31 2007-01-18 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置およびその製造方法
JP5078246B2 (ja) * 2005-09-29 2012-11-21 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置、及び半導体装置の作製方法
JP2007299850A (ja) * 2006-04-28 2007-11-15 Seiko Epson Corp 半導体装置の製造方法、電子機器の製造方法、半導体装置および電子機器
JP5413549B2 (ja) * 2006-11-28 2014-02-12 カシオ計算機株式会社 薄膜トランジスタパネルおよびその製造方法
KR20080052107A (ko) * 2006-12-07 2008-06-11 엘지전자 주식회사 산화물 반도체층을 구비한 박막 트랜지스터
JP2008205333A (ja) * 2007-02-22 2008-09-04 Toshiba Matsushita Display Technology Co Ltd 薄膜トランジスタ及びその製造方法
JP2008218468A (ja) * 2007-02-28 2008-09-18 Univ Of Ryukyus 3次元集積回路装置及びその製造方法
KR101453829B1 (ko) * 2007-03-23 2014-10-22 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체장치 및 그 제조 방법
JP5512930B2 (ja) * 2007-03-26 2014-06-04 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置の作製方法
US8044464B2 (en) * 2007-09-21 2011-10-25 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device
US20100224878A1 (en) * 2009-03-05 2010-09-09 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device
JP2010212326A (ja) * 2009-03-09 2010-09-24 Seiko Epson Corp 半導体装置
TWI485851B (zh) * 2009-03-30 2015-05-21 Semiconductor Energy Lab 半導體裝置及其製造方法
JP2010272706A (ja) * 2009-05-21 2010-12-02 Videocon Global Ltd 薄膜トランジスタ、液晶表示装置及びこれらの製造方法
KR101460868B1 (ko) * 2009-07-10 2014-11-11 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치
WO2011027656A1 (en) * 2009-09-04 2011-03-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Transistor and display device
KR102246529B1 (ko) * 2009-09-16 2021-04-30 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치
WO2011036999A1 (en) * 2009-09-24 2011-03-31 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Oxide semiconductor film and semiconductor device
KR20120091243A (ko) * 2009-10-30 2012-08-17 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치
WO2011058913A1 (en) * 2009-11-13 2011-05-19 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
KR20210043743A (ko) * 2009-12-04 2021-04-21 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치 및 그 제조 방법
KR101804589B1 (ko) * 2009-12-11 2018-01-10 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치 및 그 제조 방법
KR101301463B1 (ko) * 2009-12-25 2013-08-29 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치 및 이를 제작하기 위한 방법
WO2013042562A1 (en) * 2011-09-22 2013-03-28 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7241942B2 (ja) 2013-06-21 2023-03-17 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置

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