JP2012231166A - 太陽電池モジュール - Google Patents

太陽電池モジュール Download PDF

Info

Publication number
JP2012231166A
JP2012231166A JP2012153758A JP2012153758A JP2012231166A JP 2012231166 A JP2012231166 A JP 2012231166A JP 2012153758 A JP2012153758 A JP 2012153758A JP 2012153758 A JP2012153758 A JP 2012153758A JP 2012231166 A JP2012231166 A JP 2012231166A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solar cell
cell element
connection
connection portion
wiring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012153758A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5511903B2 (ja
Inventor
Tomonari Sakamoto
智成 坂元
Naoya Kohamoto
直也 小波本
Yuta Shinike
勇太 新池
Kenichi Okada
健一 岡田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2012153758A priority Critical patent/JP5511903B2/ja
Publication of JP2012231166A publication Critical patent/JP2012231166A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5511903B2 publication Critical patent/JP5511903B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042PV modules or arrays of single PV cells
    • H01L31/05Electrical interconnection means between PV cells inside the PV module, e.g. series connection of PV cells
    • H01L31/0504Electrical interconnection means between PV cells inside the PV module, e.g. series connection of PV cells specially adapted for series or parallel connection of solar cells in a module
    • H01L31/0508Electrical interconnection means between PV cells inside the PV module, e.g. series connection of PV cells specially adapted for series or parallel connection of solar cells in a module the interconnection means having a particular shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0216Coatings
    • H01L31/02161Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/02167Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • H01L31/02168Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells the coatings being antireflective or having enhancing optical properties for the solar cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0224Electrodes
    • H01L31/022408Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/022425Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0224Electrodes
    • H01L31/022408Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/022425Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • H01L31/022441Electrode arrangements specially adapted for back-contact solar cells
    • H01L31/02245Electrode arrangements specially adapted for back-contact solar cells for metallisation wrap-through [MWT] type solar cells
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0236Special surface textures
    • H01L31/02363Special surface textures of the semiconductor body itself, e.g. textured active layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/04Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
    • H01L31/042PV modules or arrays of single PV cells
    • H01L31/05Electrical interconnection means between PV cells inside the PV module, e.g. series connection of PV cells
    • H01L31/0504Electrical interconnection means between PV cells inside the PV module, e.g. series connection of PV cells specially adapted for series or parallel connection of solar cells in a module
    • H01L31/0516Electrical interconnection means between PV cells inside the PV module, e.g. series connection of PV cells specially adapted for series or parallel connection of solar cells in a module specially adapted for interconnection of back-contact solar cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/547Monocrystalline silicon PV cells

Abstract

【課題】簡易な構成でかつ高効率な太陽電池モジュールを提供する。
【解決手段】太陽電池モジュールが、受光面である第1の面1Fとその裏側の第2の面1Sとの間に貫通孔3を有する半導体基板と、第2の面上に設けられた複数の第1接続部および貫通孔内に設けられ第1接続部4cと接続された導通部4bを有する第1の電極と、第2の面上に設けられた第2接続部5aおよびこれに電気的に接続されている集電部5bを含む第2の電極と、を含む複数の太陽電池素子を備え、第1の太陽電池素子の複数の第1接続部と第2の太陽電池素子の第2接続部が直線状の配線材で該配線材の長手方向が複数の太陽電池素子の配列方向に沿うように電気的に接続されており、各太陽電池素子において、第1接続部が、互いに離間し且つ配線材の長手方向に沿って配置されており、第2の電極から離れつつ配線材によって互いに接続されている。
【選択図】図12

Description

本発明は太陽電池モジュールに関する。
太陽電池素子の一種として、バックコンタクト型の太陽電池素子が従来より公知である(例えば、特許文献1および特許文献2参照)。
従来の太陽電池素子は、一導電型を呈する半導体基板と、半導体基板とは逆の導電型を呈する逆導電型層と、第一の電極と、第一の電極とは極性が異なる第二の電極とを備える。半導体基板は、受光面と裏面との間を貫通する複数の貫通孔を備える。逆導電型層は、半導体基板の受光面上に設けられた第一逆導電型層と、半導体基板の貫通孔の表面に設けられた第二逆導電型層と、半導体基板の裏面側に設けられた第三逆導電型層とからなる。第一の電極は、半導体基板の受光面側に形成された受光面電極部と、貫通孔内に形成された貫通孔電極部と、半導体基板の裏面の端部に形成されたバスバー電極部とフィンガー電極部とからなる。受光面電極部と、貫通孔電極部と、フィンガー電極部と、バスバー電極部とは、電気的に接続されている。また、第二の電極は、半導体基板の裏面の第三逆導電型層が形成されない部分に形成されてなる。
従来の太陽電池モジュールは、上述のような構造を有する複数の太陽電池素子のバスバー電極同士が配線により接続された構成を有していた。
特開昭63−211773号公報 特表2002−500825号公報
上述の太陽電池素子を用いた太陽電池モジュールは、さらなる普及が期待されている中において、簡易な構成で太陽光の変換効率を向上させることが重要となっている。この変換効率の向上に関しては、光起電力の損失を低減させることが重要である。
本発明は、上記問題点に基づいてなされたものであり、簡易な構成で高効率な太陽電池モジュールを提供することを目的とする。
本発明の太陽電池モジュールに用いられる複数の太陽電池素子は、接続部と電気的に接続されており、接続部を囲む集電部を有する。複数の太陽電池素子のうち、隣り合う太陽電池素子を第一の太陽電池素子、第二の太陽電池素子としたとき、第一の太陽電池素子の接続部と第二の太陽電池素子の接続部とに接続された配線は、平面視で直線状である。
本発明の太陽電池モジュールは、上述の構成により、内部抵抗による光起電力の損失が低減され、簡易な構成で変換効率が高い太陽電池モジュールとすることができる。
本発明の第1の実施の形態に係る太陽電池素子10Aの構造を示す断面模式図である。 太陽電池素子10Aの平面図である。 本発明の第1の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Aの構成を模式的に示す図である。 太陽電池モジュール20Aにおける、太陽電池素子10A同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。 本発明の第2の実施の形態に係る太陽電池素子10Bの平面図である。 本発明の第3の実施の形態に係る太陽電池素子10Cおよびその変形例である太陽電池素子10C’の平面図である。 本発明の第3の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Cにおける、太陽電池素子10C同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。 本発明の第3の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Cおよび第4の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Dの全体について第一の面1Fの側から平面視した場合の概略図である。 太陽電池素子10Cの変形例である太陽電池素子10C”と、複数の太陽電池素子10C”を用いて構成してなる太陽電池モジュール20C”を示す図である。 本発明の第4の実施の形態に係る太陽電池素子10Dおよび太陽電池素子10D’の平面図である。 第4の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Dにおける、太陽電池素子10D同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。 本発明の第5の実施の形態に係る太陽電池素子10Eの平面図である。 第5の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Eにおける、太陽電池素子10E同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。 本発明の第6の実施の形態に係る太陽電池素子10Fの平面図である。 第6の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Fにおける、太陽電池素子10F同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。 本発明の第7の実施の形態に係る太陽電池素子10Gおよびその変形例である太陽電池素子10G’の平面図である。 第7の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Gにおける、太陽電池素子10Gと太陽電池素子10G’の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。 本発明の第8の実施の形態に係る太陽電池素子10Hの平面図である。 第8の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Hにおける、太陽電池素子10H同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。 第8の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Hにおける、太陽電池素子10H同士の異なる接続態様について説明するための図である。 本発明の第9の実施の形態に係る太陽電池素子10Iの平面図である。 第9の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Iにおける、太陽電池素子10I同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。 本発明の第10の実施の形態に係る太陽電池素子10Jの平面図である。 本発明の第11の実施の形態に係る太陽電池素子10Kの平面図である。 第11の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Kにおける、太陽電池素子10K同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。 太陽電池素子の断面方向の構造に係る種々の変形例を示す図である。 太陽電池素子の別の変形例を示す図である。 図28に示した変形例に係る太陽電池素子を用いて形成した太陽電池モジュールを示す図である。 フィンガー部を有する太陽電池素子を示す図である。 フィンガー部を有する太陽電池素子を示す図である。 第二逆導電型層2bと第三逆導電型層2cとを形成する代わりに、絶縁材料層9を形成してなる太陽電池素子50の断面模式図である。
本発明の太陽電池モジュールの実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
(第1の実施の形態)
≪太陽電池素子の構造≫
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る太陽電池素子10Aの構造を示す断面模式図である。
太陽電池素子10Aは、一導電型を有する半導体基板1と、半導体基板1と異なる導電型を有する逆導電型層2と、第一の電極4と、第二の電極5と、を備える。
太陽電池素子10Aは、第一の面1F(図1においては上面側)と第一の面1Fの裏側の第二の面1S(図1においては下面側)とを含む半導体基板1を有する。太陽電池素子10Aにおいては、第一の面1Fが受光面となる(説明の便宜上、第一の面1Fを半導体基板1の受光面などと称することもある)。
半導体基板1としては、所定のドーパント元素(導電型制御用の不純物)を有して一導電型(例えば、p型)を呈する単結晶シリコン基板や多結晶シリコン基板等の結晶シリコン基板が用いられる。なお、リボン法等の引き上げ法で得られた板状シリコンを用いる態様であってもよい。半導体基板1の厚みは、300μm以下であるのが好ましく、250μm以下であるのがより好ましく、150μm以下であるのがさらに好ましい。
本実施の形態においては、半導体基板1として、p型の導電型を呈する結晶シリコン基板を用いる場合を例として説明する。結晶シリコン基板からなる半導体基板1がp型を呈するようにする場合、ドーパント元素としては、ボロンあるいはガリウムを用いるのが好適な一例である。特にガリウムを用いた場合、光劣化現象を低減でき、太陽電池素子を高効率化できる。
半導体基板1の第一の面1Fの側には、第一の面1Fにおける入射光の反射を低減させて太陽光を半導体基板1内へより多く吸収させるべく、多数の微細な突起1bからなるテクスチャ構造(凹凸構造)1aが形成されている。突起1bは、幅と高さがそれぞれ2μm以下であり、かつアスペクト比(高さ/幅)が0.1以上2以下であるのが好適である。テクスチャ構造1aは、ウェットエッチングやドライエッチングなどの手法を用いて形成される。なお、テクスチャ構造1aを備えることは、本実施形態において必須の構成ではなく、必要に応じて形成すればよい。
また、半導体基板1には、第一の面1Fと第二の面1Sの間に複数の貫通孔3が形成されてなる。ただし、図1では、図示の便宜上、1つの貫通孔3のみを含む断面を図示してなる。貫通孔3は、後述するように、その表面に第二逆導電型層2bが形成されている。また貫通孔3の内部に、第一の電極4の導通部4bが形成されてなる。貫通孔3は、直径が50μm以上300μm以下の範囲で、一定のピッチで形成されるのが好ましい。なお、第一の面1Fと第二の面1Sとで、貫通孔3の直径が異なっていてもよい。貫通孔3は、機械的ドリルやウォータージェット、あるいはレーザー加工装置などによって形成される。
逆導電型層2は、半導体基板1とは逆の導電型を呈する層である。逆導電型層2は、半導体基板1の第一の面1F側に形成された第一逆導電型層2aと、貫通孔3の表面に形成された第二逆導電型層2bと、半導体基板1の第二の面1S側に形成された第三逆導電型層2cとを含む。半導体基板1としてp型の導電型を呈するシリコン基板を使用する場合であれば、n型の導電型を呈するように形成される。これは、例えば、熱拡散法などによってリン(P)を拡散させることによって実現される。逆導電型層2の形成方法については後で詳述する。
第一逆導電型層2aは、60〜300Ω/□程度のシート抵抗を有するn型として形成されるのが好適である。この範囲とすることで、第一の面1Fでの表面再結合の増大および表面抵抗の増大を抑えることができる。特に、テクスチャ構造1aと組み合わせて設けた場合には、太陽電池素子10Aの短絡電流が大幅に増大することになる。なお、シート抵抗の値は、四探針法により測定することができる。例えば、半導体基板1の表面に一直線上に並んだ4本の金属針を加圧しながら接触させ、外側の2本の針に電流を流したときに、内側の2本の針の間に発生した電圧を測定し、この電圧と流した電流からオームの法則によって抵抗値が求められる。
第一逆導電型層2aは、半導体基板1の第一の面1Fのうち、貫通孔3が存在する部分以外の領域に、0.2μm〜0.5μm程度の深さに形成されることが好ましい。第三逆導電型層2cは、半導体基板1の第二の面1Sのうち、貫通孔3の周辺部にのみ形成されればよい。
この逆導電型層2を有することにより、太陽電池素子10Aにおいては、逆導電型層2と半導体基板1のバルク領域(逆導電型層2以外の領域)との間に、pn接合が形成されてなる。
太陽電池素子10Aは、半導体基板1の内部に高濃度ドープ層6を有する。高濃度ドープ層6は、半導体基板1の第二の面1Sの近傍でキャリア再結合が生じることによる発電効率の低下を防ぐために、太陽電池素子10Aの内部に内部電界を形成することを目的として(いわゆるBSF効果を得ることを目的として)設けられる層である。高濃度ドープ層6は、半導体基板1の第二の面1Sの側において、貫通孔3近傍以外の略全面に形成される。より詳細には、高濃度ドープ層6は、第二の面1Sの側において、第三逆導電型層2cと接しないように(両者の間に半導体基板1のバルク領域が存在するように)形成されてなる。具体的な形成パターンは、第一の電極4の形成パターンによって異なる。
ここで、「高濃度」とは、半導体基板1において一導電型を呈するためにドープされてなるドーパント元素の濃度よりも高い濃度でドーパント元素が存在することを意味する。高濃度ドープ層6は、例えば、第二の面1Sからボロンやアルミニウムなどのドーパント元素を拡散させることによって、これらドーパント元素の濃度が1×1018〜5×1021atoms/cm程度となるように形成されるのが好適である。これにより、高濃度ドープ層6は、p型の導電型を呈するものとなっており、後述する集電部5bとの間にオーミックコンタクトが実現されてなる。
ボロンをドーパント元素とする場合であれば、高濃度ドープ層6は、BBr(三臭化ボロン)を拡散源とした熱拡散法を用いて形成することができる。アルミニウムをドーパント元素とする場合であれば、アルミニウム粉末と有機ビヒクル等からなるアルミニウムペーストを塗布・焼成することで、形成することができる。
高濃度ドープ層6は、半導体基板1の第二の面1Sを平面視した場合に、第二の面1Sの全領域の70%以上90%以下に形成されることが好ましい。70%以上とした場合には、太陽電池素子10Aの出力特性を向上させるBSF効果が得られる。90%以下とするのは、第一の電極4の第一接続部4cを形成するための領域や係る第一接続部4cの形成に伴って必要となる集電部5bの非形成領域RE(後述する)を確保することが必要だからである。ただし、本発明に係る太陽電池素子10Aにおいては、後述するように、第一接続部4cの形成領域を従来の太陽電池素子10Aよりも小さくすることができるので、最大で第二の面1Sを平面視した場合の全領域の90%という、充分に大きな範囲に高濃度ドープ層6を形成することが可能である。
太陽電池素子10Aは、半導体基板1の第一の面1F側に反射防止膜7を有する。反射防止膜7は、半導体基板1の表面において入射光の反射を低減する役割を有するものであり、第一逆導電型層2a上に形成されている。反射防止膜7は、窒化珪素膜(SiN膜(Siストイキオメトリを中心にして組成比(x)には幅がある))あるいは酸化物材料膜(TiO膜、SiO膜、MgO膜、ITO膜、SnO膜、ZnO膜)などによって形成されるのが好適である。反射防止膜7の厚みは、構成材料によって好適な値は異なるが、入射光に対して無反射条件が実現される値に設定される。例えば、半導体基板1としてシリコン基板を用いる場合であれば、屈折率が1.8〜2.3程度の材料によって500〜1200Å程度の厚みに反射防止膜7を形成すればよい。なお、反射防止膜7を備えることは、本実施形態において必須の構成ではなく、必要に応じて形成すればよい。反射防止膜7は、PECVD法、蒸着法、スパッタ法などによって形成される。
第一の電極4は、半導体基板1の第一の面1Fの上に形成された主電極部4aと、第二の面1Sの上に形成された第一接続部4cと、主電極部4aと第一接続部4cとを電気的に接続する貫通孔3内に設けられた導通部4bとから構成される。主電極部4aは、第一の面1Fにて生成したキャリアを集電する機能を有し、第一接続部4cは、外部配線を接続する配線接続部としての機能を有する。主電極部4aと導通部4bと第一接続部4cとは、例えば、金属粉末などを含む導電性ペーストを半導体基板1の第一の面1F(主電極部4aと導通部4bの場合)あるいは第二の面1S(第一接続部4c)の上に所定の電極パターンで塗布し、その後焼成することによって形成される。
一方、第二の電極5は、第一の電極4と異なる極性を有しており、第二接続部(バスバー部)5aと、第二接続部5aを囲む集電部5bとから構成される。集電部5bは、半導体基板1の第二の面1Sの側に形成されてなる高濃度ドープ層6の上に形成されてなり、第二の面1Sの側で生成したキャリアを集電する。第二接続部5aは、外部配線を接続する配線接続部としての役割を有する。両者を形成する際には、第二接続部5aの少なくとも一部が集電部5bと重なるように構成されることが好ましい。
集電部5bは、例えば、金属粉末としてアルミニウムや銀などを含む導電性ペーストを高濃度ドープ層6の上に所定の電極パターンで塗布し、その後焼成することによって形成される。なお導電性ペーストとしてアルミニウムペーストを用いる場合は、後述するように、高濃度ドープ層6と集電部5bとを同時に形成することも可能である。
第二接続部5aは、金属粉末として、銀を主成分として含む導電性ペーストを、高濃度ドープ層6の上に所定の電極パターンで塗布し、その後焼成することによって形成される。これにより、第二接続部5aは集電部5bと電気的に接続されてなる。
第二接続部5aとして銀が用いられ、集電部5bとしてアルミニウムが用いられる場合、第二接続部5aは亜鉛又は亜鉛合金を含有していると好ましい。このような構成とすることにより、集電部5bと第二接続部5aとの間における抵抗の上昇を低減できる。特に銀100重量部に対して亜鉛または亜鉛合金を7重量部以上35重量部以下含有するように形成した場合、さらに太陽電池素子10Aの出力特性が低下しくい。
上述のような構成を有することで、第一の電極4と第二の電極5との間に、逆導電型層2と半導体基板1と高濃度ドープ層6とからなるn/p/p接合を有する太陽電池素子10Aが実現されてなる。
図2は、第一の電極4および第二の電極5の電極パターンの一例を示す太陽電池素子10Aの平面図である。図2(a)は太陽電池素子10Aを第二の面1Sの側から平面視した図(これを裏面図とも称する)であり、図2(b)は太陽電池素子10Aを第一の面1Fの側から平面視した図(受光面図とも称する)である。ただし、第一の面1Fの側に設けられている電極パターンと第二の面1Sの側に設けられている電極パターンの関係についての理解を容易にするため、図2(a)と図2(b)においては、太陽電池素子10Aの表裏面を実際に反転させた関係にある電極パターンを図示するのではなく、図2(b)に示す受光面側から仮想的に太陽電池素子10Aを透視した場合の裏面側の電極パターンが図2(a)に示す電極パターンに相当する関係となるように図示を行っている。特に断らないが、同様の関係にある以降の図についても同じである。
図2(b)に示すように、太陽電池素子10Aにおいては、半導体基板1に複数の貫通孔3が形成されていることに対応して、複数の導通部4bが形成されてなる。すなわち、図2(b)にて黒丸状に図示している導通部4bの形成位置が貫通孔3の形成位置に対応する。本実施の形態においては、図2(b)において矢印AR1にて示す方向(半導体基板1の第一の面1Fの基準辺BSに対して傾斜角θだけ傾斜した方向)に平行に、複数列(図2(b)では3列)の配列が生じるように複数の貫通孔3が形成され、複数の貫通孔3のそれぞれの内部に導通部4bが形成されてなる場合を例示している。なお、基準辺BSとは、複数の太陽電池素子10Aを配列させて太陽電池モジュール20Aを形成する場合に配列方向に平行とされる辺である。なお、基準辺BSに沿う方向(基準辺BSに平行な方向)を基準方向と称することとする。図2(b)において、貫通孔3は複数の(図2では3本の)直線状に配列するように設けられており、太陽電池素子10Aは、おおむね均等な間隔で形成された貫通孔3(導通部4b)を有する。
なお、本明細書中において平行とは、数学的な定義のように厳密に解すべきものではないことは言うまでもない。
さらに、主電極部4aは、それぞれの別個の配列に属する複数個(図2(b)においては3個)の導通部4bと接続する複数の線状のパターンとして、第一の面1Fの上に形成されてなる。係る主電極部4aは、50〜100μm程度の線幅を有するように形成されるのが好適である。これにより、第一の面1Fに均等に光が照射された場合には、一つの導通部4bに集中して電流が流れ、抵抗損失が大きくなることが低減されてなる。よって、太陽電池素子の出力特性が低下しにくい。なお、主電極部4aのパターンは図2(b)に示したものに限られず、種々のパターンを形成可能である(以降の実施形態においても同様)。
加えて、太陽電池素子10Aにおいては、受光面である第一の面1Fの面全体に比して第一の電極4を構成する主電極部4aの占める割合が非常に小さいものとなっているため、高い受光効率が実現されるとともに、主電極部4aが一様に形成されてなるので、第1の面1Fにおいて発生したキャリアを効率よく集電することができる。
一方、図2(a)に示すように、半導体基板1の第二の面1S上であって複数の導通部4b(貫通孔3)の直下の位置には、導通部4bの配列方向に長手方向を有する長尺形状(平行四辺形状)であり(帯状をなし)、かつ、導通部4bと接続されてなる第一接続部4cが、形成されてなる。第一接続部4cは、導通部4bの配列に対応して、複数個(図2(a)においては3個)形成されてなる。
また、第一接続部4c、第一接続部4cの周辺部分、第二の電極5の第二接続部5aを除く第二の面1Sの略全面には、集電部5bが形成されてなる。ここで、「略全面」とは、半導体基板1の第二の面1Sを平面視した場合に、集電部5bが第二の面1Sの全領域の70%以上90%以下に形成されることをいう。なお、太陽電池素子10Aの半導体基板1の端面近傍であって、第一接続部4cが形成されないものの後述する太陽電池モジュール20Aの形成時に配線11によって覆われることになる領域は、配線11が集電部5bと接触してリークが生じることを低減するために、集電部5bが形成されない非形成領域REとされてなる。集電部5bを第一接続部4cが形成された領域および非形成領域RE以外の略全面に設けることは、集電部5bで集電されるキャリアの移動距離が短くなり、ひいては第二接続部5aから取り出されるキャリアの量を増加させることになるので、太陽電池素子10Aの出力特性の向上に寄与するものである。
さらに、第二接続部5aは、集電部5b上に少なくとも一部が重なるように設けられている。複数の(図2(a)においては第一接続部4cに対応して3つの)第二接続部5aは、複数の第一接続部4cのそれぞれに並行する態様にて、第一接続部4cと同様の長尺形状(平行四辺形状)を有する(帯状をなす)。なお、それぞれの第二接続部5aの形成位置(特に、隣接する第一接続部4cとの形成間隔)は、複数の太陽電池素子10Aを互いに隣接配置する場合(太陽電池モジュールを構成する場合)の隣り合う太陽電池素子10Aの配置間隔に応じて定まる。これについては後述する。
≪太陽電池モジュール≫
本実施の形態に係る太陽電池素子10Aは、単独で使用することが可能であるが、同じ構造を有する複数の太陽電池素子10Aを隣接配置し、さらに互いを直列に接続してモジュールを構成する場合に、好適な構造を有してなる。そこで、複数の太陽電池素子10Aを用いて形成される太陽電池モジュールについて次に説明する。
図3は、係る太陽電池モジュール20Aの構成を模式的に示す図である。図3(a)は太陽電池モジュール20の断面図であり、図3(b)は太陽電池モジュール20を受光面側から見た正面図である。
図3(a)に示すように、太陽電池モジュール20Aは、ガラス等からなる透光性部材12と、透明のエチレンビニルアセテート共重合体(EVA)等からなる表側充填材24と、複数の太陽電池素子10Aと、EVA等からなる裏側充填材15と、ポリエチレンテレフタレート(PET)や金属箔をポリフッ化ビニル樹脂(PVF)等で挟みこんだ裏面保護材13と、を主として備える。複数の太陽電池素子10Aは、隣り合う太陽電池素子10A同士が接続部材としての機能を有する配線11によって互いに直列接続されてなる。
図4は、太陽電池モジュール20Aにおける、太陽電池素子10A同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。図4(a)は、太陽電池モジュール20Aにおいて互いに隣り合う2つの太陽電池素子10Aを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図4(b)は、同じく第一の面1Fの側から平面視した図である。
図3では概略的な断面を示すのみであるが、太陽電池モジュール20Aにおいては、図4(a)に示すように、隣り合う太陽電池素子10Aの一方の第一接続部4cともう一方の太陽電池素子10Aの第二接続部5aとが1つずつ、長尺状の(直線状の)配線11によって接続されてなる。図4の場合は、3ヶ所において接続がなされている。なお、便宜上、以下においては、図4において配線11によって接続されてなる2つの太陽電池素子10Aのうち、第一接続部4cに配線11が接続される太陽電池素子10Aを第一の太陽電池素子10Aαと称し、第二接続部5aに配線が接続される太陽電池素子10Aを第二の太陽電池素子10Aβと称することとする。
より詳細に言えば、太陽電池モジュール20Aにおいては、第一の太陽電池素子10Aαと第二の太陽電池素子10Aβが、それぞれの基準辺BSが同一直線上に位置するように、かつ、第一の太陽電池素子10Aαの第一接続部4cのそれぞれの長手方向と、第二の太陽電池素子10Aβの対応する第二接続部5aの長手方向とが、略同一の直線上に位置するように、第一の太陽電池素子10Aαと第二の太陽電池素子10Aβとが配置されてなる。そして、該略同一の直線上において、第一の太陽電池素子10Aαと第二の太陽電池素子10Aβとは平面視で直線状の配線11による接続がなされている。これは、太陽電池素子10A同士が所定の距離wを空けて隣り合って配置される場合に、第一の太陽電池素子10Aαの第一接続部4cと第二の太陽電池素子10Aβの第二接続部5aとが上述のような位置関係をみたすように、太陽電池素子10Aの第一接続部4cと第二接続部5aの配置態様(例えば傾斜角θや第一接続部4cと第二接続部5aの間隔など)が、定められていることによるものである。換言すれば、第一の太陽電池素子10Aαと第二の太陽電池素子10Aβとを互いに並進対称の関係となるように距離wを空けて配置した場合に第一の太陽電池素子10Aαと第二の太陽電池素子10Aβとが複数の配線11にて電気的に接続可能であるように、第一接続部4cと第二接続部5aが配置されてなるということである。
なお、傾斜角θは、15cm角の半導体基板1が用いられる場合であれば、0.3度以上15度以下とすることが好ましい。また、半導体基板1の一辺の大きさが15cm以上である場合は、さらに小さい値とすることができる。係る場合、配線11を矩形状の半導体基板1の一辺に対してほぼ垂直に形成したかのように見せることができるため、美観を奏することができる。
また、太陽電池モジュール20Aにおいては、端部に配置された太陽電池素子10Aを除き、一の配線11で接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは第一接続部4cと第二接続部5aの組が全て並進対称の関係にある)ので、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11に、同一形状のものを用いることができる。
係る配線11としては、例えば、厚さ0.1〜0.4mm程度、幅2mm程度で、その全面が半田材料によって被覆された帯状の銅箔をその長手方向について所定の長さに切断したものを用いることができる。半田材料により被覆された配線11の場合、ホットエアーや半田鏝等を用いて、あるいはリフロー炉などを用いて、太陽電池素子10Aの第一接続部4cと第二接続部5aとに半田付けされる。
係る態様で配線11が接続された太陽電池モジュール20Aにおいては、太陽電池素子の端部に設けられたバスバー部において一の配線による接続がなされる従来の太陽電池モジュールとは異なり、複数の第一接続部4cがそれぞれ個別かつ直接に、隣接する太陽電池素子の第二接続部5aと接続されてなるので、個々の主電極部4aからの集電電流の経路が短縮されてなる。これにより、従来の太陽電池モジュールよりも、内部抵抗による光起電力の損失が生じにくくなっている。
なお、配線11は、第一接続部4cおよび第二接続部5aとの接続が十分に得られる(抵抗が十分に小さい)限り、それぞれの一部分と接続されていればよく、必ずしも、第一接続部4cと第二接続部5aの全体を覆うように設けなくともよい。なお、第一接続部4cと配線11との接続に関しては、貫通孔3(導通部4b)の直下の部分において配線11が存在するように、配線11が配置されるようにする。このように配線11が配置されてなる貫通孔3の直下では、第一接続部4cに加えて配線11もが導電部材として存在することになるので、導電部分の断面積が大きくなる。これにより、集電電流を取り出す際の導通抵抗の低減が実現されてなる。
なお、第一の太陽電池素子10Aαの第一接続部4cと第二の太陽電池素子10Aβの第二接続部5aとが同一直線上に配置されることで、配線11を接続する際の位置決めが容易となる、という効果も得ることができる。すなわち、太陽電池素子10Aと配線11との接続工程が複雑化しにくいという効果が得られる。
さらに、本実施の形態に係る太陽電池モジュール20Aにおいては、配線11は太陽電池素子10Aの第二の面1Sの側に設けられた第一接続部4cおよび第二接続部5aのみと接続して設けられるので、従来の太陽電池モジュールのように、配線11を折り曲げて第一の面1Fの側で接続させる必要がない。これにより、配線が電極から剥離することが低減される。
加えて、太陽電池素子10A同士は第二の面1Sの側のみで接続されることから、図4(b)に示すように、受光面である第一の面1Fの側から太陽電池モジュールを見た場合に、金属素材のため光沢を有する配線11が占める領域は相対的に小さいことになる。これにより、太陽電池モジュール20Aは、美観が損なわれにくいものとなっている。
なお、裏面保護材13として白色等の反射率の高い材質のものを用いれば、太陽電池素子10Aの間に照射された光が裏面保護材13で乱反射して太陽電池素子10Aに照射されるので、太陽電池素子10Aにおける受光量がより増大することになる。
≪太陽電池素子の製造方法≫
次に、太陽電池素子の製造方法について説明する。
<半導体基板の準備工程>
まずp型の導電型を呈する半導体基板1を準備する。
半導体基板1として単結晶シリコン基板を用いる場合であれば、FZやCZ法など公知の製法で作製された単結晶シリコンインゴットを所定の厚みに切り出すことで半導体基板1を得ることができる。また、多結晶シリコン基板を半導体基板1として用いる場合であれば、キャスト法や鋳型内凝固法などの公知の製法で作製された多結晶シリコンインゴットを所定の厚みに切り出すことで半導体基板1を得ることができる。また、リボン法等の引き上げ法で得られた板状シリコンを用いる場合は、この板状シリコンを所定の大きさにカットし、必要に応じて表面研磨処理等を施すことで所望の半導体基板1を得ることができる。
以下においては、ドーパント元素としてBあるいはGaを1×1015〜1×1017atoms/cm程度ドープして成ることでp型の導電型を呈する結晶シリコン基板を半導体基板1として用いる場合を例にとって説明する。ドーパント元素のドープは、上述したそれぞれのシリコンインゴット製造方法において、シリコン融液中に、ドーパント元素そのものを、あるいはドーパント元素がシリコン中に適量含まれたドーパント材を、適量溶かすことで実現できる。
なお、切り出し(スライス)に伴う半導体基板1の表層部の機械的ダメージ層や汚染層を除去するために、切り出した半導体基板1の表面側および裏面側の表層部をNaOHやKOH、あるいはフッ酸と硝酸の混合液などでそれぞれ10〜20μm程度エッチングし、その後、純水などで洗浄することで、有機成分や金属成分を除去しておくようにする。
<貫通孔の形成工程>
次に、半導体基板1の第一の面1Fと第二の面1Sとの間に貫通孔3を形成する。
貫通孔3は、機械的ドリル、ウォータージェットあるいはレーザー加工装置等を用いて形成する。係る場合、受光面となる第一の面1Fが損傷することを避けるべく、半導体基板1の第二の面1Sの側から第一の面1Fの側に向けて加工を行うようにする。ただし、加工による半導体基板1への損傷が少なければ、第一の面1Fの側から第二の面1Sの側に向けて加工を行うようにしてもよい。
<テクスチャ構造の形成工程>
次に、貫通孔3が形成された半導体基板1の受光面側に、光反射率の低減を効果的に行うための微細な突起(凸部)1bをもつテクスチャ構造1aを形成する。
テクスチャ構造1aの形成方法としては、NaOHやKOHなどのアルカリ水溶液によるウェットエッチング法や、Siをエッチングする性質を有するエッチングガスを用いるドライエッチング法を用いることができる。
ここで、ウェットエッチング法を用いる場合は、半導体基板1の第二の面1Sの側にも凹凸が形成されてしまうことを防ぐべく、第二の面1Sの側をエッチング防止材でマスクすることが好ましい。
ドライエッチング法を用いる場合は、基本的に処理面側(第一の面1F側)にだけ微細なテクスチャ構造1aを形成することができる。ドライエッチング法として、RIE法(Reactive Ion Etching法)を用いると、広い波長域に渡って極めて低い光反射率に抑えられる微細なテクスチャ構造1aを広い面積に渡って短時間で形成することができ、太陽電池素子10Aの高効率化に極めて有効である。特に、RIE法は、結晶の面方位に大きく影響されないで凹凸構造を形成できるため、半導体基板1として多結晶シリコン基板を用いた場合でも、多結晶シリコン基板内の各結晶粒の面方位に無関係に、基板全域に渡って低反射率を有する微細なテクスチャ構造1aを一様に形成することができる。
<逆導電型層の形成工程>
次に、逆導電型層2を形成する。すなわち、半導体基板1の第一の面1Fに第一逆導電型層2aを形成し、貫通孔3の表面に第二逆導電型層2bを形成し、第二の面1Sに第三逆導電型層2cを形成する。
p型の導電型を呈する結晶シリコン基板を半導体基板1として用いる場合、逆導電型層2を形成するためのn型化ドーピング元素としては、P(リン)を用いることが好ましい。
逆導電型層2は、半導体基板1におけるその形成対象箇所にペースト状態にしたPを塗布して熱拡散させる塗布熱拡散法、ガス状態にしたPOCl(オキシ塩化リン)を拡散源として形成対象箇所に拡散させる気相熱拡散法、およびpイオンを形成予定箇所に対して直接に拡散させるイオン打ち込み法などによって形成する。気相拡散法を用いれば半導体基板1の両主面における形成対象箇所と貫通孔3の表面とに、同時に逆導電型層2を形成することができるので好ましい。
なお、形成対象箇所以外にも拡散領域が形成されるような条件下では、その部分にあらかじめ拡散防止層を形成したうえで逆導電型層2を形成するようにすることにより、部分的に拡散を防止することができる。また、拡散防止層を形成せず、形成対象箇所以外に形成された拡散領域を後からエッチングして除去してもよい。なお、逆導電型層2の形成後、後述するように高濃度ドープ層6をアルミニウムペーストによって形成する場合は、p型ドーパント元素であるアルミニウムを充分な濃度で充分な深さまで拡散させることができるので、既に形成されていた浅い拡散領域の存在は無視することができる。すなわち、高濃度ドープ層6の形成予定箇所に存在する逆導電型層2は特に除去する必要がない。係る場合、第一接続部4cが形成される領域の周囲についてのみ、ガラス等からなるエッチングペーストを塗布・焼成することで、pn分離を行ってもよい。
<反射防止膜の形成工程>
次に、第一逆導電型層2aの上に、反射防止膜7を形成することが好ましい。
反射防止膜7の形成方法としては、PECVD法、蒸着法やスパッタ法などを用いることができる。例えば、SiNx膜からなる反射防止膜7をPECVD法で形成する場合であれば、反応室内を500℃程度としてシラン(Si)とアンモニア(NH)との混合ガスを窒素(N)で希釈し、グロー放電分解でプラズマ化させて堆積させることで反射防止膜7が形成される。
なお、後ほど形成する主電極部4aの形成予定箇所に反射防止膜7が形成されないように、所定のパターンでパターニングしつつ、反射防止膜7を形成するようにしてもよい。パターニング法としては、レジストなどマスクを用いたエッチング法(ウェットエッチングあるいはドライエッチング)を用いて主電極部4aの形成予定箇所に反射防止膜7を除去する方法のほか、反射防止膜7の形成に先だってマスクをあらかじめ形成しておき、反射防止膜7の形成後にこれを除去する方法などを用いることができる。
あるいは、パターニング法を用いる代わりに、反射防止膜7を一様に形成した後、その表面であってかつ主電極部4aの形成予定箇所の上に主電極部4aを形成するための導電性ペーストを直接塗布し、これを焼き付けることによって、主電極部4aと第一逆導電型層2aとを電気的に接触させる、いわゆるファイヤースルー法を用いるようにしてもよい。ファイヤースルー法については後述する。
<高濃度ドープ層の形成工程>
次に、半導体基板1の第二の面1Sに、高濃度ドープ層6を形成する。
ボロンをドーパント元素とする場合、BBr(三臭化ボロン)を拡散源とする熱拡散法により、800〜1100℃程度の温度で形成することができる。この場合、高濃度ドープ層6の形成に先立ち、高濃度ドープ層6の形成予定箇所以外の領域の上に、例えば、既に形成されている逆導電型層2などの上に、酸化膜などからなる拡散バリアを形成し、高濃度ドープ層6の形成後にこれを除去するようにするのが望ましい。
また、ドーパント元素としてアルミニウムを用いる場合は、アルミニウム粉末と有機ビヒクル等からなるアルミニウムペーストを印刷法で半導体基板1の第二の面1Sに塗布した後、700〜850℃程度の温度で熱処理(焼成)してアルミニウムを半導体基板1に向けて拡散させることによって、高濃度ドープ層6を形成することができる。この場合、アルミニウムペーストの印刷面である第二の面1Sだけに所望の拡散領域である高濃度ドープ層6を形成することができる。しかも、焼成後に第二の面1Sの上に形成されたアルミニウムからなる層を、除去せずにそのまま集電部5bとして利用することもできる。
<電極の形成方法>
次に、第一の電極4を構成する主電極部4aと導通部4bとを形成する。
主電極部4aと導通部4bとは、塗布法を用いて形成される。具体的には、半導体基板1の第一の面1Fに、例えば銀等からなる金属粉末100重量部に対して有機ビヒクルを10〜30重量部、ガラスフリットを0.1〜10重量部を添加してなる導電性ペーストを、図2(b)に示す主電極部4aの形成パターンにて塗布することで塗布膜を形成した後、該塗布膜を最高温度500〜850℃で数十秒〜数十分程度焼成することにより、主電極部4aと導通部4bとを形成することができる。なお、この場合、導電性ペーストを塗布する際に貫通孔3にも該導電性ペーストが充填されることで、導通部4bの形成が実現される。ただし、後述のように第一接続部4cを形成する際にも、第二の面1Sの側から導電性ペーストが塗布され、その際に貫通孔3にも導電性ペーストが再度充填されて、その後焼成がなされるので、第一の面1Fに導電性ペーストを塗布する際に貫通孔3に十分に導電性ペーストが充填されなくてもかまわない。
なお、導電性ペーストを塗布した後、焼成に先だって、所定の温度で塗布膜中の溶剤を蒸散させて該塗布膜を乾燥させるのが好ましい。また、あらかじめ貫通孔3にのみ導電性ペーストを充填・乾燥し、その後、上述の場合と同様に図2(b)に示す主電極部4aのパターンにて導電性ペーストを塗布したうえで焼成するなど、主電極部4aと導通部4bとを別々に塗布・焼成して形成するようにしてもよい。
なお、上述したように、主電極部4aの形成に先立って、反射防止膜7が形成されてなる場合は、パターニングされた領域に主電極部4aが形成されるか、あるいは、ファイヤースルー法によって主電極部4aが形成されることになる。
ファイヤースルー法によって主電極部4aを形成する場合、例えば、ガラスフリットが鉛系ガラスフリット、またはリンを導電性ペースト中に含有させたファイヤースルー用導電性ペーストを反射防止膜上に塗布し、800℃以上の高温で焼成することで反射防止膜7をファイヤースルーすることができる。
あるいは、主電極部4aを形成した後に、反射防止膜7を形成してもかまわない。この場合、反射防止膜7をパターニングする必要もなく、またファイヤースルー法を用いる必要もないため、主電極部4aの形成条件が緩やかなものとなる。例えば、800℃程度の高温で焼成を行わずとも、主電極部4aを形成することができる。
続いて、半導体基板1の第二の面1S上に、集電部5bを形成する。
集電部5bについても、塗布法を用いて形成することができる。具体的には、半導体基板1の第二の面1Sに、例えばアルミニウムまたは銀等からなる金属粉末100重量部に対して有機ビヒクルを10〜30重量部、ガラスフリットを0.1〜5重量部を添加してなる導電性ペーストを、図2(a)に示す集電部5bの形成パターンにて塗布することで塗布膜を形成した後、該塗布膜を最高温度500〜850℃で数十秒〜数十分程度焼成することにより、集電部5bを形成することができる。なお、前述したように、アルミニウムペーストを用いる場合は、高濃度ドープ層6と集電部5bとを同時に形成することができる。
さらに、半導体基板1の第二の面1Sに、第一接続部4cと第二接続部(バスバー部)5aとを形成する。
第一接続部4cと第二接続部5aとは、塗布法を用いて同時に形成することができる。具体的には、半導体基板1の第二の面1Sに、例えば銀等からなる金属粉末100重量部に対して有機ビヒクルを10〜30重量部、ガラスフリットを0.1〜5重量部を添加してなる導電性ペーストを、図2(a)に示す第一接続部4cと第二接続部5aとの形成パターンにて塗布することで塗布膜を形成した後、該塗布膜を最高温度500〜850℃で数十秒〜数十分程度焼成することにより、第一接続部4cと第二接続部5aとを形成することができる。
なお、第一接続部4cと第二接続部5aとを別々に形成したり、相異なる組成の導電性ペーストを用いて形成してもよい。例えば、第二接続部5aを形成するための導電性ペーストとして、金属粉末として銀と亜鉛または亜鉛合金を含有するものを用いる態様であってもよい。例えば、銀100重量部、有機ビヒクルを10〜30重量部、ガラスフリットを0.1〜5重量部に対して亜鉛または亜鉛合金を7重量部以上35重量部以下含有する導電性ペーストを用いて第二接続部5aを形成した場合には、第二接続部5aと集電部5bとの間の直列抵抗の上昇が低減される。
本実施の形態に係る太陽電池素子10Aは、以上のような手順で作製することができる。
なお、必要に応じて、半田ディップ処理によって第一接続部4cと第二接続部5aの上に、半田領域(図示せず)を形成してもよい。
≪太陽電池モジュールの製造方法≫
次に、上述のように形成される太陽電池素子10Aを用いて太陽電池モジュール20Aを製造する方法について説明する。
まず、あらかじめ、厚さ0.1〜0.4mm程度、幅2mm程度の銅箔の全面を半田材料によって被覆したものを長手方向について所定の長さに切断することによって、配線11を作製しておく。
そして、図4(a)に示すように、複数の太陽電池素子10Aをそれぞれ第二の面1Sを上にして所定の距離wで離間させて載置し、第一の太陽電池素子10Aαの第一接続部4cと第二の太陽電池素子10Aβの第二接続部5aとの間に、上方から配線11を接触させる。この状態で、ホットエアーや半田鏝を用いて、あるいはリフロー炉を用いて、配線11の表面の半田を溶融させることで、配線11と第一接続部4cおよび第二接続部5aとを接続させる。係る方法によれば、高い生産性で、太陽電池素子10A同士を接続することができる。
その後、透光性部材12の上に、表側充填材24と、配線11によって互いに接続された複数の太陽電池素子10Aと、裏側充填材15と、裏面保護材13とを順次に積層することで得られるモジュール基体を、ラミネータの中で脱気、加熱して押圧することによって一体化させることによって、太陽電池モジュール20Aが得られる。
そして、図3(b)に示すように、上述した太陽電池モジュール20Aの外周には、アルミニウムなどの枠18がはめ込まれる。また、図3(a)に示すように、直列接続された複数の太陽電池素子10Aのうち、最初の太陽電池素子10Aと最後の太陽電池素子10Aの電極の一端を、出力取出部である端子ボックス17に、出力取出配線16によって接続する。
係る手順によって、本実施の形態に係る太陽電池モジュール20Aを得ることができる。
(第2の実施形態)
本発明に係る太陽電池モジュールおよびこれを構成する太陽電池素子における第一の電極と第二の電極の配置態様は、第1の実施の形態にて示したものには限られない。以降、第一の電極と第二の電極の異なる配置態様について、各実施形態において順次説明する。すなわち、以降に示す各実施形態のいずれにおいても、第1の実施の形態に係る太陽電池素子および太陽電池モジュールと同様の効果を得ることができる。ただし、いずれの実施の形態においても、太陽電池モジュールおよび太陽電池素子を構成する要素は第1の実施の形態と同様であり、しかも、その貫通孔近傍における断面構造は図1と同様であるので、同一の作用を有する構成要素については第1の実施の形態と同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
まず、本発明の第2の実施形態に係る太陽電池素子10Bを図5を用いて説明する。
図5は、太陽電池素子10Bにおける第一の電極4および第二の電極5の電極パターンの一例を示す、太陽電池素子10Bの平面図である。図5(a)は太陽電池素子10Bを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図5(b)は太陽電池素子10Bを第一の面1Fの側から平面視した図である。
図5(a)に示すように、太陽電池素子10Bの第二の面1Sの側においては、複数個(図5(a)においては5個)の平行四辺形状の第一接続部4cが矢印AR2にて示す方向(第1の実施の形態に係る太陽電池素子10Aにおける第一接続部4cと第二接続部5aとの傾斜角θと同じ角度θだけ傾斜した方向)に並んだ複数の列(図5(a)においては3列)が形成されてなるとともに、この第一接続部4cの列に沿うように同じく矢印AR2の方向に並んだ平行四辺形状の複数個(図5(a)においては5個)の第二接続部5aからなる複数の列(図5(a)においては3列)が形成されてなる。係る場合、第一接続部4cの列と第二接続部5aの列との関係は、第1の実施の形態に係る太陽電池素子10Aが備える第一接続部4cと第二接続部5aとの関係と実質的に同様であるといえる。換言すれば、太陽電池素子10Bは、太陽電池素子10Aにおける長尺形状の第一接続部4cおよび第二接続部5aをそれぞれ、それよりも長手方向のサイズが小さい複数個の(図5(a)においてはいずれも5個の)第一接続部4cおよび第二接続部5aの配列に置き換えた構成を有しているともいえる。なお、集電部5bの形成態様は、第1の実施の形態に係る太陽電池素子10Aと同様である。
一方、図5(b)に示すように、貫通孔3(導通部4b)は、それぞれの第一接続部4cの形成位置と平面視で略一致するように形成されてなり、さらには、主電極部4aが、それぞれの別個の配列に属する複数個(図5(b)においては3個)の導通部4bと接続する複数の線状のパターンとして、第一の面1Fの上に一様に形成されてなる。
また、係る太陽電池素子10Bを複数用いて太陽電池モジュールを形成する場合においては、第1の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Aと同様に、隣り合う太陽電池素子10Bはそれぞれの基準辺BSが同一直線上に位置するように、かつ、互いに並進対称の関係となるように所定の距離を空けて配置されるが、その際には、複数個の第一接続部4cからなる列と複数個の第二の接続部5aとからなる列とが矢印AR2の方向に平行な同一直線上に位置するように配置される。このようにすることで、同じ直線上に位置する全ての第一接続部4cと全ての第二接続部5aとが、第1の実施の形態と同様に一の配線11によって接続されることになる。換言すれば、本実施の形態においても、一の配線11で接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは第一接続部4cと第二接続部5aの組が全て並進対称の関係にある)ので、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11に、同一形状のものを用いることができる。例えば、太陽電池モジュール20Aに用いるものと同様の形状のものを用いることができる。また、複数個の第一接続部4cからなる列と複数個の第二接続部5aとからなる列の関係は、第1の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Aにおける第一の太陽電池素子10Aαの第一接続部4cと第二の太陽電池素子10Aβの第二接続部5aとの関係と実質的に同じとなる。
なお、太陽電池素子10Bにおいては、上述の配列状態をみたすとともに配線11による接続態様が実現可能である限りにおいて、第一接続部4cと第二接続部5aとをそれぞれ上述したものと異なる形状(例えば、台形状、円形状、楕円形状、半円形状、扇型形状、あるいはそれらの複合形状など)に形成する態様であってもよい。
(第3の実施形態)
本発明の第3の実施形態に係る太陽電池素子10Cおよびその変形例である太陽電池素子10C’を図6および図7を用いて説明する。
図6は太陽電池素子10Cおよび太陽電池素子10C’における第一の電極4および第二の電極5の電極パターンの一例を示す太陽電池素子10Cおよび太陽電池素子10C’の平面図である。図6(a)は、太陽電池素子10Cを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図6(b)は太陽電池素子10Cを第一の面の側から平面視した図である。図6(c)は、太陽電池素子10C’を第二の面1Sの側から平面視した図であり、図6(d)は太陽電池素子10C’を第一の面の側から平面視した図である。
図6(a)に示すように、太陽電池素子10Cにおいては、第一接続部4cが複数個(図6(a)においては3個)設けられている。それぞれの第一接続部4cは、部分Aと部分Bとが基準辺BSと平行となっているが平面視で折れ曲がる(屈曲)構造を有する。一方、第二接続部5aも複数個(図6(a)においては3個)設けられてなる。第二接続部5aは、第一接続部4cの部分Aと同一直線上にあるように、かつ第二接続部5aの部分Bと平行になるように形成されてなる。また、本実施の形態においても、第一接続部4cの形成領域と非形成領域RE以外の略全面に、集電部5bが形成されてなる。
また、図6(c)に示す太陽電池素子10C’においては、太陽電池素子10Cにおいて一体的に形成されてなる第一接続部4cの部分Aおよび第二接続部5aがそれぞれ、断続的な形状を有する第一接続部4cの部分Cおよび複数個に分割された(図6においては3個の)第二接続部5aの配列に置き換えられた構成を有している。第一接続部4cの部分Dの形状は、太陽電池素子10Cの第一接続部4cの部分Bの形状と同じである。
なお、図6(a)、(c)に示す、第一接続部4cの部分Aおよび部分Cの長手方向(基準方向に一致)の長さが、基準辺BSの長さの30%以上70%以下程度となるようにそれぞれの第一接続部4cを設けた場合、配線11と第一接続部4cとの接触面積を大きくすることが可能となる。そのように接続すれば、抵抗損失をさらに抑えることができる。
一方、図6(b)、(d)に示すように、太陽電池素子10Cと太陽電池素子10C’のいずれにおいても、貫通孔3(導通部4b)は、それぞれの第一接続部4cの形成位置と平面視で略一致するように形成されてなり、さらには、主電極部4aが、それぞれの別個の配列に属する複数個(図6(b)、(d)においてはそれぞれ3個)の導通部4bと接続する複数の線状のパターンとして、第一の面1Fの上に一様に形成されてなる。
図7は、複数の太陽電池素子10Cを用いて構成される太陽電池モジュール20Cにおける、太陽電池素子10C同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。図7(a)は、太陽電池モジュール20Cにおいて互いに隣り合う2つの太陽電池素子10Cを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図7(b)は、同じく第一の面1Fの側から平面視した図である。また、図8(a)は、太陽電池モジュール20Cの全体について第一の面1Fの側から平面視した場合の概略図である。なお、図7(a)において太陽電池モジュール20Cを構成する太陽電池素子10Cは図6に示すものと同一ではなく、鏡面対称(太陽電池素子10Cの中心線に対し線対称)の関係にあるものであるが、一の太陽電池モジュール20Cを構成する場合に同一の太陽電池素子10Cを用いさえすれば、対称関係にあるどちらの太陽電池素子10Cを用いた場合でも、本実施の形態における説明は成り立つ。
第一接続部4cと第二接続部5aとが上述のような形状および配置関係を有する太陽電池素子10Cを用いて太陽電池モジュール20Cを構成する場合、図7(a)に示すように、隣り合う太陽電池素子10C同士をそれぞれの基準辺BSが同一直線上に位置するように、かつ、互いに並進対称の関係となるように配置すれば、一方の太陽電池素子10Cの第一接続部4cの部分Aともう一方の太陽電池素子10Cの第二接続部5aとが一直線上に存在することになる。太陽電池モジュール20Cにおいては、係る関係をみたしている第一接続部4cの部分Aと第二接続部5aとが、平面視直線状の配線11を用いて接続されてなる。なお、本実施の形態においても、一の配線11で接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは第一接続部4cと第二接続部5aの組が全て並進対称の関係にある)ので、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11に、同一形状のものを用いることができる。例えば、太陽電池モジュール20Aに用いるものと同様の形状のものを用いることができる。
なお、太陽電池素子10C’を複数用いて太陽電池モジュールを形成する場合においては、太陽電池モジュール20Cと同様に、隣り合う太陽電池素子10C’はそれぞれの基準辺BSが同一直線上に位置するように、かつ、互いに並進対称の関係となるように所定の距離を空けて配置される。このようにすることで、同じ直線上に位置する第一接続部4cの部分Cと全ての第二接続部5aとが、一の配線11によって接続されることになる。この場合も、一の配線11で接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは第一接続部4cと第二接続部5aの組が全て並進対称の関係にある)ので、それぞれの第一接続部4cの部分Cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11に、同一形状のものを用いることができる。例えば、太陽電池モジュール20Aに用いるものと同様の形状のものを用いることができる。
また、太陽電池素子10C’においては、上述の配列状態をみたすとともに配線11による接続態様が実現可能である限りにおいて、部分Cと第二接続部5aとをそれぞれ上述したものと異なる形状(例えば、台形状、円形状、楕円形状、半円形状、扇型形状、あるいはそれらの複合形状など)に形成する態様であってもよい。
図9は、本実施の形態に係る太陽電池素子10Cのさらに別の変形例である太陽電池素子10C”と、複数の太陽電池素子10C”を用いて構成してなる太陽電池モジュール20C”を示す図である。図9(a)は、太陽電池素子10C”を第二の面1Sの側から平面視した図であり、図9(b)は、太陽電池モジュール20C”において互いに隣り合う2つの太陽電池素子10C”を第二の面1Sの側から平面視した図である。
太陽電池素子10C”においては、第一接続部4cが屈曲形状を有する点では、太陽電池素子10Cと同様であるが、第二接続部5aもが屈曲形状を有する点で太陽電池素子10Cと相違する。しかしながら、この太陽電池素子10C”を用いて構成される太陽電池モジュール20C”においても、図9(b)に示すように、隣り合う太陽電池素子10C”同士をそれぞれの基準辺BSが同一直線上に位置するように、かつ、互いに並進対称の関係となるように配置することで、一方の太陽電池素子10C”の第一接続部4cともう一方の太陽電池素子10Cの第二接続部5aとが一直線上に存在する状態が実現されるのは同様である。この一直線上に並んだ第一接続部4cと第二接続部5aと平面視直線状の配線11を用いて接続する点も太陽電池モジュール20Cと同様である。
(第4の実施形態)
本発明の第4の実施形態に係る太陽電池素子10Dおよびその変形例である太陽電池素子10D’を、図10および図11を用いて説明する。
図10は太陽電池素子10Dおよび太陽電池素子10D’における第一の電極4および第二の電極5の電極パターンの一例を示す、太陽電池素子10Dおよび太陽電池素子10D’の平面図である。図10(a)は、太陽電池素子10Dを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図10(b)は太陽電池素子10Dを第一の面の側1Fから平面視した図である。図10(c)は、太陽電池素子10D’を第二の面1Sの側から平面視した図であり、図10(d)は太陽電池素子10D’を第一の面1Fの側から平面視した図である。
図10(a)に示すように、太陽電池素子10Dにおいては、第一接続部4cが複数個(図10(a)においては4個)設けられてなる。それぞれの第一接続部4cは、基準辺BSと平行な長尺形状(長方形状)とされてなり、また、基準方向に平行に略等間隔に設けられてなる。一方、第二接続部5aも第一接続部4cと同じ個数が設けられている。それぞれの第二接続部5aも、基準辺BSと平行な長尺形状(長方形状)とされてなり、基準方向に平行に略等間隔に設けられてなる。第一接続部4cと第二接続部5aとは、交互に配置されてなる。しかも、太陽電池素子10Dにおいて第一接続部4cと第二接続部5aとは、後述するように、太陽電池モジュール20Dを構成する場合に隣り合う太陽電池素子10Dの間で回転対称配置が実現されるように、それぞれの配置位置が定められてなる。
また、本実施の形態においては、第二接続部5aの周囲に長尺状の集電部5bが形成されてなる。これにより、第一接続部4cの両端近傍に非形成領域REが確保されてなる。この点については後述する。
また、図10(c)に示す太陽電池素子10D’においては、長方形状を有する複数の第一接続部4cと複数の第二接続部5aとがいずれも、太陽電池素子10Dにおいて第一接続部4cと第二接続部5aとが形成されてなる位置に、略等間隔に離散的に設けられてなる。すなわち、太陽電池素子10D’は、太陽電池素子10Dにおける長尺形状の第一接続部4cおよび第二接続部5aをそれぞれ、それよりも長手方向のサイズが小さい複数個(図10(c)においてはいずれも5個)の第一接続部4cおよび第二接続部5aの配列に置き換えた構成を有しているともいえる。なお、集電部5bの形成態様は、太陽電池素子10Dと同様である。
一方、図10(b)、(d)に示すように、太陽電池素子10Dと太陽電池素子10D’のいずれにおいても、貫通孔3(導通部4b)は、それぞれの第一接続部4cの形成位置と平面視で略一致するように形成されてなり、さらには、主電極部4aが、それぞれの別個の配列に属する複数(図10(b)、(d)においてはそれぞれ4個)の導通部4bと接続する複数の線状のパターンとして、第一の面1Fの上に一様に形成されてなる。
図11は、複数の太陽電池素子10Dを用いて構成される太陽電池モジュール20Dにおける、太陽電池素子10D同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。図11(a)は、太陽電池モジュール20Dにおいて互いに隣り合う2つの太陽電池素子10Dを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図11(b)は、同じく第一の面1Fの側から平面視した図である。また、図8(b)は、太陽電池モジュール20Dの全体について第一の面1Fの側から平面視した場合の概略図である。
第一接続部4cと第二接続部5aとが上述のような形状および配置関係を有する太陽電池素子10Dを用いて太陽電池モジュール20Dを構成する場合、図11(a)に示すように、隣り合う太陽電池素子10D同士を、それぞれの基準辺BSが平行かつ同一直線上にない位置にくるように、かつ、互いに回転対称(より具体的には点対称)の関係となるように配置すれば、一方の太陽電池素子10Dの第一接続部4cともう一方の太陽電池素子10Dの第二接続部5aとが一直線上に存在することになる。図11に示す場合であれば、点Qが回転対称の中心となる。太陽電池モジュール20Dにおいては、係る関係をみたしている第一接続部4cと第二接続部5aとが、平面視直線形状の配線11を用いて接続されてなる。なお、本実施の形態においても、一の配線11で接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは第一接続部4cと第二接続部5aの組が全て並進対称の関係にある)ので、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11に、同一形状のものを用いることができる。例えば、太陽電池モジュール20Aに用いるものと同様の形状のものを用いることができる。
また、上述したように太陽電池素子10Dにおいて第一接続部4cの両端近傍に非形成領域REが確保されてなるのは、太陽電池モジュール20Dにおいては、それぞれの太陽電池素子10Dが取り得る向きが2通りあり、その向きによって配線11による接続位置が異なることに対応するためである。すなわち、向きによらず同一の電極パターンを有する太陽電池素子10Dを用いることができるようにするためである。
一方、太陽電池素子10D’を複数用いて太陽電池モジュールを形成する場合においては、太陽電池モジュール20Dと同様に、隣り合う太陽電池素子10D同士が、それぞれの基準辺BSが平行かつ同一直線上にない位置にくるように、かつ、互いに回転対称(より具体的には点対称)の関係となるように配置される。このようにすることで、同じ直線上に位置する全ての第一接続部4cと全ての第二接続部5aとが、一の配線11によって接続されることになる。この場合、一の配線11で接続される関係にある複数の第一接続部4cと複数の第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは複数の第一接続部4cと複数の第二接続部5aとの組が全て並進対称の関係にある)ので、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11に、同一形状のものを用いることができる。
なお、太陽電池素子10D’においては、上述の配列状態をみたすとともに配線11による接続態様が実現可能である限りにおいて、第一接続部4cと第二接続部5aとはそれぞれ、上述したものと異なる形状(例えば、台形状、円形状、楕円形状、半円形状、扇型形状、あるいはそれらの複合形状など)に形成する態様であってもよい。
なお、第一接続部4cおよび第二接続部5aの集電量は、半導体基板1の端部の方が、その中央部よりも小さいため、端部における第一接続部4cおよび第二接続部5aの短手方向の形成幅を、中央部よりも小さくする態様であってもよい。
(第5の実施形態)
本発明の第5の実施形態に係る太陽電池素子10Eを、図12および図13を用いて説明する。
図12は太陽電池素子10Eにおける第一の電極4および第二の電極5の電極パターンの一例を示す、太陽電池素子10Eの平面図である。図12(a)は、太陽電池素子10Eを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図12(b)は太陽電池素子10Eを第一の面の側から平面視した図である。
図12(a)に示すように、太陽電池素子10Eにおいては、基準方向に長手方向を有する長方形状の第一接続部4cが、複数の列(図12(a)においては3列)にそれぞれ複数個ずつに分割されており、略等間隔に隙間をあけて設けられてなる(図12(a)においては5個)。それぞれの列は、基準方向に平行に略等間隔に設けられてなる。一方、第二接続部5aとしては、基準方向に長手方向を有する長方形状のものが、それぞれ第一接続部4cの列に沿う複数の列(すなわち、列数は第一接続部4cの列と同じである)に複数個ずつ(図12(a)においては4個)、略等間隔に隙間をあけて設けられてなる。
さらに詳述すれば、第一接続部4cと第二接続部5aとは、第一接続部4c同士の間隙の全てについて、少なくとも部分的に隣接する第二接続部5aが存在する、という関係をみたすように配置されてなる。例えば、間隙s1の一部分には第二接続部5a1が隣接してなり、間隙s2には全体的に第二接続部5a2が隣接してなる。なお、このような配置関係で第一接続部4cと第二接続部5aとを配置すると、第二接続部5aの個数の方が第一接続部4cの個数よりも少なくなる(それゆえ長手方向のサイズが大きくなる)が、第二接続部5aが第一接続部4cと同数あるいはより多いように配置される態様であってもよい。また、第二接続部5aを複数個ずつ設けずに1個の長尺形状としてもよい。さらに、集電部5bの形成によって高濃度ドープ層6を設ける場合には、複数個の第二接続部5aを多く配置する態様にすることで、集電部5b(高濃度ドープ層6)を第二接続部5aの間隙に多く設けることができ、太陽電池素子10Eの出力特性を向上させることができる。
しかも、太陽電池素子10Eにおいて第一接続部4cと第二接続部5aとは、後述するように、太陽電池モジュール20Eを構成する場合に隣り合う太陽電池素子10Eの間で回転対称配置が実現されるように、それぞれの配置位置が定められてなる。
また、太陽電池素子10Eにおいても、他の実施の形態と同様に、第一接続部4cの形成領域以外の略全面に集電部5bが形成されてなる。ただし、太陽電池素子10Eの場合、第一接続部4cと第二接続部5aのいずれもが、その配列方向において半導体基板1の端部近傍にまで配置され、非形成領域REが確保されないことと、基準辺BSに平行な同じ列内に配置されてなる第一接続部4c同士の間隙部分においても集電部5bを形成することの2点によって、集電部5bの形成領域の拡大が、ひいては高濃度ドープ層6の形成領域の拡大が、図られている。
このような配置関係を有する太陽電池素子10Eにおいては、基準辺BSに平行な第一接続部4cの列に対して第二接続部5aの列とは反対側の領域において集電部5bにより集められるキャリアについても、第二接続部5aから良好に取り出すことができる。図12(a)に示す場合であれば特に、第二接続部5aが設けられていない領域Fからの集電が効果的に行われる。すなわち、領域Fに第二接続部5aを設けなくとも、良好な集電効率が得られる。
一方、図12(b)に示すように、太陽電池素子10Eにおいては、貫通孔3(導通部4b)が、それぞれの第一接続部4cの形成位置と平面視で略一致するように形成されてなる。なお、太陽電池素子10Eにおいては、1つの第一接続部4cに対応して、2つの貫通孔3(導通部4b)が形成されてなる。さらには、主電極部4aが、全ての導通部4bと接続する複数の線状のパターンとして、第一の面1Fの上に一様に形成されてなる。なお、配線11の接続方向に対して垂直に設けられる主電極部4aについては、導通部4bの間隙が大きい部分のみに設けるようにしてもよい。
図13は、複数の太陽電池素子10Eを用いて構成される太陽電池モジュール20Eにおける、太陽電池素子10E同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。図13(a)は、太陽電池モジュール20Eにおいて互いに隣り合う2つの太陽電池素子10Eを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図13(b)は、同じく第一の面1Fの側から平面視した図である。
上述のような太陽電池素子10Eを用いて太陽電池モジュール20Eを構成する場合、太陽電池モジュール20Dの場合と同様、図13(a)に示すように、隣り合う太陽電池素子10E同士を、それぞれの基準辺BSが平行かつ同一直線上にない位置にくるように、かつ、互いに回転対称(より具体的には点対称)の関係となるように配置する。このような配置とすることにより、一方の太陽電池素子10Eの第一接続部4cともう一方の太陽電池素子10Eの第二接続部5aとが一直線上に存在することになる。太陽電池モジュール20Eにおいては、係る第一接続部4cと第二接続部5aとが、平面視直線状の配線11を用いて接続されてなる。なお、本実施の形態においても、一の配線11で接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは第一接続部4cと第二接続部5aの組が全て並進対称の関係にある)。従って、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続は、同一形状の配線11により行われる。例えば、太陽電池モジュール20Aに用いるものと同様の形状のものが用いられる。
なお、太陽電池素子10Eの第一接続部4cに接続される配線11が同じ太陽電池素子10Eの集電部5bと接すると、第一接続部4cと集電部5bとが短絡してリークが生じる。よって、配線11と接触しうる箇所の集電部5bの上には、絶縁層を形成しておくことが好ましい。あるいは、後述する断面視で複数の屈曲部を有する配線11Bと同様のものを用いて接続する態様であってもよい。
また、太陽電池素子10Eにおいては、上述の配列状態をみたすとともに配線11による接続態様が実現可能である限りにおいて、第一接続部4cと第二接続部5aとをそれぞれ上述したものと異なる形状(例えば、台形状、円形状、楕円形状、半円形状、扇型形状、あるいはそれらの複合形状など)に形成する態様であってもよい。
(第6の実施形態)
本発明の第6の実施形態に係る太陽電池素子10Fを、図14および図15を用いて説明する。
図14は太陽電池素子10Fにおける第一の電極4および第二の電極5の電極パターンの一例を示す、太陽電池素子10Fの平面図である。図14(a)は、太陽電池素子10Fを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図14(b)は太陽電池素子10Fを第一の面の側1Fから平面視した図である。
図14(a)に示すように、太陽電池素子10Fにおいては、基準方向に長手方向を有する長方形状の第一接続部4cが、複数の列(図14(a)においては6列)にそれぞれ複数個ずつ、略等間隔に隙間をあけて設けられてなる(図14(a)においては4個)。それぞれの列は、基準方向と平行に略等間隔に設けられてなる。一方、第二接続部5aとしては、第一接続部4cと同様に基準方向に長手方向を有する長方形状のものが、それぞれ第一接続部4cの列に沿う複数の列(すなわち、列数は第一接続部4cの列と同じである)に複数個ずつ(図14(a)においては4個)、略等間隔に隙間をあけて設けられてなる。
さらに詳述すれば、第一接続部4cの列と第二接続部5aの列とは、それぞれが複数列ずつ(図14(a)においては2列ずつ)交互に、かつ互いに隣接して配置された複数の組(図14(a)においては3組)を構成してなる。なお、第二接続部5aの列との配置関係から、第一接続部4cの列は、一方側にのみ第二接続部5aの列が存在する第一の列4caと両方の側に第二接続部5aの列が存在する(第二接続部5aの列に挟まれている)第二の列4cbとに区別される。しかも、同じ組に属する第一接続部4cの隣り合う列同士(例えば、図14(a)であれば第一の列4caと第二の列4cb)は、基準方向における第一接続部4cと間隙との配置関係が隣り合う列同士で互いに反対になるように配置されてなる。
同様に、同じ組に属する第二接続部5aの隣り合う列同士(例えば、図14(a)であれば第二の列4cbの両側にある2つの列)においては、基準方向における第二接続部5aと間隙との配置関係が隣り合う列同士で互いに反対になるように、しかも、第二の列4cbを構成する第一接続部4cには第二接続部5aが隣接するように、配置されてなる。
しかも、太陽電池素子10Fにおいて第一接続部4cと第二接続部5aとは、後述するように、太陽電池モジュール20Fを構成する場合に隣り合う太陽電池素子10Fの間で回転対称配置が実現されるように、それぞれの配置位置が定められてなる。
また、太陽電池素子10Fにおいても、他の実施の形態と同様に、第一接続部4cの形成領域以外の略全面に集電部5bが形成されてなる。なお、太陽電池素子10Fの場合も、非形成領域REは設けられておらず、同じ列内に配置されてなる第一接続部4c同士の間隙部分においても集電部5bが形成されてなる。すなわち、集電部5bの形成領域の拡大が、ひいては高濃度ドープ層6の形成領域の拡大が、図られている。
一方、図14(b)に示すように、太陽電池素子10Fにおいては、貫通孔3(導通部4b)が、それぞれの第一接続部4cの形成位置と平面視で略一致するように形成されてなる。なお、太陽電池素子10Fにおいては、1つの第一接続部4cに対応して、2つの貫通孔3(導通部4b)が形成されてなる。さらには、主電極部4aが、それぞれの別個の組に属する複数個(図14(b)においては3個)の導通部4bと接続する複数の線状のパターンとして、第一の面1Fの上に一様に形成されてなる。
図15は、複数の太陽電池素子10Fを用いて構成される太陽電池モジュール20Fにおける、太陽電池素子10F同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。図15(a)は、太陽電池モジュール20Fにおいて互いに隣り合う2つの太陽電池素子10Fを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図15(b)は、同じく第一の面1Fの側から平面視した図である。
上述のような太陽電池素子10Fを用いて太陽電池モジュール20Fを構成する場合、太陽電池モジュール20Dの場合と同様、図15(a)に示すように、隣り合う太陽電池素子10F同士を、それぞれの基準辺BSが平行かつ同一直線上にない位置にくるように、かつ、互いに回転対称(より具体的には点対称)の関係となるように配置する。このような配置とすることにより、一方の太陽電池素子10Fの第一接続部4cともう一方の太陽電池素子10Fの第二接続部5aとが一直線上に存在することになる。太陽電池モジュール20Fにおいては、係る第一接続部4cと第二接続部5aとが、平面視直線状の配線11を用いて接続されてなる。なお、本実施の形態においても、一の配線11で接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは第一接続部4cと第二接続部5aの組が全て並進対称の関係にある)ので、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11に、同一形状のものを用いることができる。例えば、太陽電池モジュール20Aに用いるものと同様の形状のものを用いることができる。
図15に示す太陽電池モジュール20Fの場合、これまでの実施の形態にて示した太陽電池モジュールよりも、配線11の本数が多いことから、1本の配線11に集中して電流が流れることに起因する抵抗損失が生じにくくなる。
なお、太陽電池素子10Fの第一接続部4cに接続される配線11が同じ太陽電池素子10Fの集電部5bと接すると、第一接続部4cと集電部5bとが短絡してリークが生じるので、配線11と接触しうる箇所の集電部5bの上には、図示しない絶縁層を形成しておくことが好ましい。あるいは、後述する断面視折れ線形状の配線11Bと同様のものを用いて接続する態様であってもよい。
また、太陽電池素子10Fにおいては、上述の配列状態をみたすとともに配線11による接続態様が実現可能である限りにおいて、第一接続部4cと第二接続部5aとをそれぞれ上述したものと異なる形状(例えば、台形状、円形状、楕円形状、半円形状、扇型形状、あるいはそれらの複合形状など)に形成する態様であってもよい。
(第7の実施形態)
本発明の第7の実施形態に係る太陽電池素子10Gおよびその変形例である太陽電池素子10G’を、図16および図17を用いて説明する。
図16は太陽電池素子10Gおよび太陽電池素子10G’における第一の電極4および第二の電極5の電極パターンの一例を示す、太陽電池素子10Gおよび太陽電池素子10G’の平面図である。図16(a)は、太陽電池素子10Gを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図16(b)は太陽電池素子10Gを第一の面の側1Fから平面視した図である。図16(c)は、太陽電池素子10G’を第二の面1Sの側から平面視した図であり、図16(d)は太陽電池素子10G’を第一の面の側1Fから平面視した図である。
図16(a)、(c)に示す太陽電池素子10Gおよび太陽電池素子10G’の第一接続部4cと第二接続部5aの形状および配置関係はいずれも、基準方向に長手方向を有し、かつ、両者が基準方向に平行かつ交互に配置されてなる点で、第4の実施の形態に係る太陽電池素子10Dの第一接続部4cと第二接続部5aと類似している。しかしながら、太陽電池素子10Gおよび太陽電池素子10G’と太陽電池素子10Dとは、第一接続部4cと第二接続部5aの個数の関係が相違する。
すなわち、図16(a)に示すように、太陽電池素子10Gでは第一接続部4cをn個(nは自然数)とすると第二接続部5aがn−1個となるように配置されてなる。図16(a)では、n=4の場合を例示している。一方、図16(c)に示すように、太陽電池素子10G’では第一接続部4cをn−1個で第二接続部5aがn個となるように配置されてなる。図16(c)では、n=4の場合を例示している。
一方、図16(b)、(d)に示すように、太陽電池素子10Gと太陽電池素子10G’のいずれにおいても、貫通孔3(導通部4b)は、それぞれの第一接続部4cの形成位置と平面視で略一致するように形成されてなり、さらには、主電極部4aが、それぞれの別個の配列に属する複数(図16(b)においては4個、図16(d)においては3個)の導通部4bと接続する複数の線状のパターンとして、第一の面1Fの上に一様に形成されてなる。
図17は、複数の太陽電池素子10Gと複数の太陽電池素子10G’とを用いて構成される太陽電池モジュール20Gにおける、太陽電池素子10Gと太陽電池素子10G’との配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。図17(a)は、太陽電池モジュール20Gにおいて互いに隣り合う太陽電池素子10Gと太陽電池素子10G’とを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図17(b)は、同じく第一の面1Fの側から平面視した図である。
太陽電池モジュール20Gは、これまで説明した各実施の形態に係る太陽電池モジュールとは異なり、第一接続部4cと第二接続部5aとの配置関係が異なる太陽電池素子10Gと太陽電池素子10G’とを、交互にかつそれぞれの基準辺BSが一直線上に位置するように配置してなる。係る構成を有する太陽電池モジュール20Gにおいては、ある太陽電池素子10Gの第一接続部4cと隣に位置する太陽電池素子10G’の第二接続部5aとが一直線上に存在することになる。太陽電池モジュール20Gにおいては、係る関係をみたしている第一接続部4cと第二接続部5aとが、平面視直線状の配線11(第一の配線、第二の配線)を用いて接続されてなる。なお、本実施の形態においても、一の配線11で接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは第一接続部4cと第二接続部5aの組が全て並進対称の関係にある)ので、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11に、同一形状のものを用いることができる。例えば、太陽電池モジュール20Aに用いるものと同様の形状のものを用いることができる。
(第8の実施形態)
本発明の第8の実施形態に係る太陽電池素子10Hを、図18、図19および図20を用いて説明する。
図18は太陽電池素子10Hにおける第一の電極4および第二の電極5の電極パターンの一例を示す、太陽電池素子10Hの平面図である。図18(a)は、太陽電池素子10Hを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図18(b)は太陽電池素子10Hを第一の面の側1Fから平面視した図である。
図18(a)に示すように、太陽電池素子10Hにおいては、矩形形状の第一接続部4cが、基準方向に平行な複数の列(図18(a)においては3列)にそれぞれ複数個ずつ、略等間隔に離散的に設けられてなるとともに、それぞれの列において、第一接続部4c同士の間に、第二接続部5aが設けられてなる。図18(a)においては、1つの列に第一接続部4cが5個、第二接続部5aが4個設けられてなる。それぞれの列は、基準方向と平行に略等間隔に設けられてなる。なお、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aは、後述する太陽電池モジュール20Hの形成に際して基準方向に平行に2つの配線11を配置できるサイズに形成される。
また、太陽電池素子10Hにおいても、他の実施の形態と同様に、第一接続部4cの形成領域以外の略全面に集電部5bが形成されてなる。なお、太陽電池素子10Hでは集電部5bに挟まれる態様で第二接続部5aが配置されることになるので、集電部5bで集電されたキャリアが効率的に第二接続部5aに集められることになる。
一方、図18(b)に示すように、太陽電池素子10Hにおいては、貫通孔3(導通部4b)が、それぞれの第一接続部4cの形成位置と平面視で略一致するように形成されてなる。なお、太陽電池素子10Hにおいては、1つの第一接続部4cに対応して、2つの貫通孔3(導通部4b)が形成されてなる。さらには、主電極部4aが、それぞれの別個の組に属する複数個(図18(b)においては3個)の導通部4bと接続する複数の線状のパターンとして、第一の面1Fの上に一様に形成されてなる。
図19は、複数の太陽電池素子10Hを用いて構成される太陽電池モジュール20Hにおける、太陽電池素子10H同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。図19(a)は、太陽電池モジュール20Hにおいて互いに隣り合う2つの太陽電池素子10Hを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図19(b)は、同じく第一の面1Fの側から平面視した図である。
第一接続部4cと第二接続部5aとが上述のような形状および配置関係を有する太陽電池素子10Hを用いて太陽電池モジュール20Hを構成する場合、太陽電池モジュール20Aの場合と同様、図19(a)に示すように、隣り合う太陽電池素子10H同士を、それぞれの基準辺BSが平行かつ同一直線上にくるように、かつ、互いに並進対称の関係となるように配置すれば、一方の太陽電池素子10Hの第一接続部4cともう一方の太陽電池素子10Hの第二接続部5aとが一直線上に存在することになる。なお、便宜上、以下においては、図19において配線11によって接続されてなる2つの太陽電池素子10Hのうち、第一接続部4cに配線11が接続される太陽電池素子10Hを第一の太陽電池素子10Hαと称し、第二接続部5aに配線が接続される太陽電池素子10Hを第二の太陽電池素子10Hβと称することとする。
太陽電池モジュール20Hにおいては、係る関係をみたしている第一の太陽電池素子10Hαの第一接続部4cと第二の太陽電池素子10Hβの第二接続部5aとが、第1の実施の形態に係る太陽電池モジュール20Aと同様の断面視直線状の配線11を用いて接続されてなる。この場合、一の太陽電池素子10Hにおいて一列に交互に配置されてなる第一接続部4cと第二接続部5aとが、それぞれ異なる太陽電池素子の第二接続部5aと第一接続部4cとに接続される。すなわち、当該列には2つの配線11が並行して接続される。
ただし、この場合、そのまま配線11で接続しようとすると、第一の太陽電池素子10Hα内と第二の太陽電池素子10Hβ内でとそれぞれ、第一接続部4cと第二接続部5aとが短絡することになる。これを避けるため、本実施の形態においては、太陽電池素子10Hを作製する際に、あるいは太陽電池モジュール20Hを構成する際に、第一の太陽電池素子10Hαの第二接続部5aと第二の太陽電池素子10Hβの第一接続部4cの上であって、配線11の直下に位置することになる部分に、酸化膜や樹脂(エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂等)や絶縁テープ等からなる図示しない絶縁層を設けたうえで、配線11による接続がなされる。より詳細に言えば、第一接続部4cと第二接続部5aが交互に位置する列に接続先の異なる2つの配線11が接続されることから、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aとにおいては、その半分の領域についてのみ、その上に絶縁層が形成されることになる。すなわち、第一接続部4cの場合は第二の太陽電池素子10Hβの第一接続部4cとみなされる領域のみに、第二接続部5aの場合は第一の太陽電池素子10Hαの第二接続部5aとみなされる領域のみに、絶縁層が形成される。
このようにすることで、本実施の形態においても、一の配線11で接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは第一接続部4cと第二接続部5aの組が全て並進対称の関係にある)ので、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11に、同一形状のものを用いることができる。
絶縁層の形成は、該当箇所のみに形成されるように塗布法などでパターニングすることで行う態様であってもよいし、第一接続部4c、第二接続部5a、および集電部5bが形成された後の半導体基板1の第二の面1Sの側に絶縁層形成材料による膜形成を行った後、不要部分を除去する態様であってもよい。
また、図20(a)は、太陽電池モジュール20Hにおける別の接続態様を説明するべく示す、太陽電池モジュール20Hにおいて互いに隣り合う2つの太陽電池素子10Hの、基準方向に平行な断面の模式図である。図20(b)は、係る接続態様における接続の様子を示す斜視図である。
この態様においては、図20に示すように断面視で複数の屈曲部を有する配線11Bを用いて、第一の太陽電池素子10Hαの第一接続部4cと第二の太陽電池素子10Hβの第二接続部5aとが接続される。配線11Bとしては、配線11に用いるものと同様の半田を被覆した銅箔を、適宜の形状に折り曲げたものを用いることができる。
係る配線11Bは、第一の太陽電池素子10Hαの側で第一接続部4cと接続する複数の第一接続面11aと、2つの第一接続面11aの間の第一離間部11bと、第二の太陽電池素子10Hβの側で第二接続部5aと接続する複数の第二接続面11cと、2つの第二接続面11cの間の第二離間部11dとを有する。複数の太陽電池素子10Hが上述のように配置された状態で、第一の太陽電池素子10Hαの第一接続部4cのそれぞれに配線11Bの第一接続面11aを接続し、第二の太陽電池素子10Hβの第二接続部5aのそれぞれに配線11Bの第二接続面11cを接続すると、第一の太陽電池素子10Hαの第二接続部5aと配線11Bの第一離間部11bとの間には隙間G1が存在することになる。同様に、第二の太陽電池素子10Hβの第一接続部4cと配線11Bの第二離間部11dとの間には隙間G2が存在することになる。この隙間G1、G2が、図19に示したように断面視直線状の配線11を用いる場合の絶縁層と同様の役割を果たすことによって、一の太陽電池素子10H内における第一接続部4cと第二接続部5aとの短絡が低減される。なお、隙間G1、G2を埋めるための図示しない絶縁層を、あらかじめ配線11Bに設けておいた上で、配線11Bを接続する態様であってもよい。
係る配線11Bを用いて接続を行う場合、配線11Bと第一接続部4cおよび第二接続部5aとの位置合わせの良否を目視で確認することが可能となる。これにより、接続不良の低減が実現される。
なお、配線11Bを用いる場合も接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価であることに変わりはないので、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11Bに、同一形状のものを用いることができる。
また、太陽電池素子10Hにおいては、上述の配列状態をみたすとともに配線11による接続態様が実現可能である限りにおいて、第一接続部4cと第二接続部5aとをそれぞれ上述したものと異なる形状(例えば、台形状、円形状、楕円形状、半円形状、扇型形状、あるいはそれらの複合形状など)に形成する態様であってもよい。
(第9の実施の形態)
本発明の第9の実施形態に係る太陽電池素子10Iを、図21および図22を用いて説明する。
図21は太陽電池素子10Iにおける第一の電極4および第二の電極5の電極パターンの一例を示す、太陽電池素子10Iの平面図である。図21(a)は、太陽電池素子10Iを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図21(b)は太陽電池素子10Iを第一の面の側1Fから平面視した図である。
図21(a)に示すように、太陽電池素子10Iにおいては、第5の実施の形態に係る太陽電池素子10Eと同様に、基準方向に長手方向を有する長方形状の第一接続部4cが、複数の列(図21(a)においては3列)にそれぞれ複数個ずつ、略等間隔に隙間をあけて設けられてなる(図21(a)においては5個)。それぞれの列は、基準方向に平行に略等間隔に設けられてなる。一方、第二接続部5aとしては、基準方向に長手方向を有する長方形状のものが、それぞれ第一接続部4cの列に沿う複数の列(すなわち、列数は第一接続部4cの列と同じである)に複数個ずつ(図21(a)においては4個)、略等間隔に隙間をあけて設けられてなる。
また、第一接続部4cと第二接続部5aとの配置位置が、後述する太陽電池モジュール20Iを構成する場合に隣り合う太陽電池素子10Iの間で回転対称配置が実現される定められてなる点も同様である。
しかも、第一接続部4cと第二接続部5aとが、第一接続部4c同士の間隙の全てについて、少なくとも部分的に隣接する第二接続部5aが存在する、という関係をみたすように配置されてなる点や、集電部5bの形成態様も太陽電池素子10Eと同様である。
さらには、図21(b)に示すように、貫通孔3(導通部4b)の形成態様も類似している。
しかしながら、太陽電池素子10Iは、第一接続部4cの列と第二接続部5aの列とが離間していること、それぞれの第一接続部4cが、配線が配置される領域4c1と、貫通孔と接続される領域4c2とからなり、後者を凸部とする平面視凸状に形成されること、および、貫通孔3が第一接続部4cの貫通孔配置領域4c2の直上にのみ形成され、配線配置領域4c1の直上には形成されないことの3点において、第5の実施の形態に係る太陽電池素子10Eと相違する。
図22は、このような構成を有する複数の太陽電池素子10Iを用いて構成される太陽電池モジュール20Iにおける、太陽電池素子10I同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。図22(a)は、太陽電池モジュール20Iにおいて互いに隣り合う2つの太陽電池素子10Iを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図22(b)は、同じく第一の面1Fの側から平面視した図である。
上述のような太陽電池素子10Iを用いて太陽電池モジュール20Iを構成する場合、太陽電池モジュール20Eの場合と同様、図22(a)に示すように、隣り合う太陽電池素子10E同士を、それぞれの基準辺BSが平行かつ同一直線上にない位置にくるように、かつ、互いに回転対称(より具体的には点対称)の関係となるように配置する。このような配置とすることにより、一方の太陽電池素子10Eの第一接続部4cともう一方の太陽電池素子10Iの第二接続部5aとが一直線上に存在することになる。太陽電池モジュール20Iにおいては、係る第一接続部4cと第二接続部5aとが、平面視直線状の配線11を用いて接続されてなる。なお、本実施の形態においても、一の配線11で接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは第一接続部4cと第二接続部5aの組が全て並進対称の関係にある)ので、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11に、同一形状のものを用いることができる。例えば、太陽電池モジュール20Aに用いるものと同様の形状のものを用いることができる。
このようにそれぞれの太陽電池素子10Iを接続してなる太陽電池モジュール20Iの第一接続部4cにおいては、図22に示すように、配線11は配線配置領域4c1においてのみ接続されるので、直上に導通部4bが形成されてなる貫通孔配置領域4c2には配線11が直接接触しない構造となっている。これにより、ホットエアーや半田鏝、あいはリフロー炉などを用いて配線11を第一接続部4cと接続する際に貫通孔3において生じ得る、熱収縮応力の発生を、緩和することができる。結果として、比較的強度の弱い貫通孔3におけるクラック発生を低減することができる。
なお、一の太陽電池素子10Iの第一接続部4cに接続される配線11が同じ太陽電池素子10Iの集電部5bと接すると、第一接続部4cと集電部5bとが短絡してリークが生じるので、配線11と接触しうる箇所の集電部5bの上には、絶縁層を形成しておくことが好ましい。あるいは、配線11Bと同様のものを用いて接続する態様であってもよい。
また、太陽電池素子10Iにおいては、上述の配列状態をみたすとともに配線11による接続態様が実現可能である限りにおいて、第一接続部4cの配線配置領域4c1および貫通孔配置領域4c2と第二接続部5aとをそれぞれ上述したものと異なる形状(例えば、台形状、円形状、楕円形状、半円形状、扇型形状、あるいはそれらの複合形状など)に形成する態様であってもよい。
(第10の実施の形態)
本発明の第10の実施形態に係る太陽電池素子10Jを、図23を用いて説明する。
図23は太陽電池素子10Jにおける第一の電極4および第二の電極5の電極パターンの一例を示す、第二の面1Sの側から平面視した太陽電池素子10Jの平面図である。
太陽電池素子10Jは、第7の実施の形態に係る太陽電池素子10G’と同様に、第一接続部4cと第二接続部5aの形状および配置関係はいずれも、基準方向に長手方向を有し、かつ、両者が基準方向に平行かつ交互に配置されてなる。しかも、第一接続部4cをn−1個で第二接続部5aがn個となるように配置されてなる点も同様である。図23では、n=4の場合を例示している。
しかしながら、太陽電池素子10Jのそれぞれの第一接続部4cは、幅の異なる2つの部位を基準方向において交互に設けることで基準方向に沿って凹凸形状を有してなる点で太陽電池素子10G’と相違する。それぞれの部位のうち、幅が大きい方を溶着領域4c3、幅が小さい方を非溶着領域4c4と称することとする。
複数個の太陽電池素子10Jと配線11とを用いて太陽電池モジュールを構成する場合(厳密には太陽電池素子10Gに対応する構造を有する太陽電池素子も必要である)、第一接続部4cにおいては、溶着領域4c3においてのみ配線11の半田を溶着させて配線11を第一接続部4cと接続させるようにする。すなわち、ポイントごとに溶着を行うようにする。配線11は第一接続部4cの全面に溶着して接続することがより好ましいが、このように、ポイントごとに溶着を行う態様であっても、十分良好な接続が実現される。
また、係る態様の場合、溶着領域4c3より幅が狭小の非溶着領域4c4を設けることに伴って、図23に示すように、集電部5bおよび高濃度ドープ層6を、より広げて形成することが可能となる。つまり、第一接続部4cを基準方向に凹凸形状を有するように形成するとともに、集電部5bおよび高濃度ドープ層6において第一接続部4cとの界面部分について基準方向に凹凸形状を有するように形成することが可能となる。このようにすると、高濃度ドープ層6の形成領域の面積がより増大するので、太陽電池素子の出力特性がさらに向上することになる。
(第11の実施の形態)
本発明の第11の実施形態に係る太陽電池素子10Kおよびその変形例である太陽電池素子10K’を、図24および図25を用いて説明する。
図24は太陽電池素子10Kにおける第一の電極4および第二の電極5の電極パターンの一例を示す、太陽電池素子10Kの平面図である。図24(a)は、太陽電池素子10Kを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図24(b)は太陽電池素子10Kを第一の面1Fの側から平面視した図であり、図24(c)は、太陽電池素子10K’を第二の面1Sの側から平面視した図である。
太陽電池素子10Kは、第一接続部4cの一部である矩形形状の配線配置領域4c5を、基準方向に複数の列(図24(a)においては3列)にそれぞれ複数個(図24(a)においては3個)ずつ、略等間隔に離散的に設けるとともに、それぞれの列において、それぞれの配線配置領域(第一の電極の第一の部分)4c5を挟むように、複数個の第二接続部5aを設けた構造を有する点において、第8の実施の形態に係る太陽電池素子10Hと類似する構成を有してなるともいえる(ただし図18(a)に示す太陽電池素子10Hと図24(a)に示す太陽電池素子10Kとは基準辺BSの位置が90°異なる)。また、集電部5bの形成態様も太陽電池素子10Hと同様である。
ただし、太陽電池素子10Kは、それぞれの配線配置領域4c5が、基準方向と垂直な方向に延びる非配線配置領域(第一の電極の第二の部分)4c6によって異なる列の配線配置領域4c5と連続してなる点で、換言すれば第一接続部4cが基準方向と垂直な方向に長手方向を有すると共に該方向に沿って凹凸形状を有するように設けられてなる点で、太陽電池素子10Hとは相違する。図24(a)において、複数の太陽電池素子の配置方向における配線配置領域4c5と非配線配置領域4c6との幅は異なり、配線配置領域4c5の方が非配線配置領域4c6の幅よりも大きい。
なお、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aは、後述する太陽電池モジュール20Kの形成に際して基準方向に平行に2つの配線11を配置できるサイズに形成される。
また、太陽電池素子10Kにおいても、半導体基板1に複数の貫通孔3が形成されていることに対応して、複数の導通部4bが形成されてなる。太陽電池素子10Kの貫通孔3(導通部4b)は、図24(b)に示すように、それぞれの第一接続部4cの長手方向(基準方向と垂直な方向)に沿ってその直上に位置するように形成されてなる。また、主電極部4aが、基準方向に位置する複数個(図24(b)においては3個)の導通部4bと接続する複数の線状のパターンとして、第一の面1Fの上に一様に形成されてなる。
図25は、複数の太陽電池素子10Kを用いて構成される太陽電池モジュール20Kおよび複数の太陽電池素子10K’を用いて構成される太陽電池モジュール20K’における、太陽電池素子10K同士あるいは太陽電池素子10K’同士の配線11による接続の様子についてより詳細に示す図である。図25(a)は、太陽電池モジュール20Kにおいて互いに隣り合う2つの太陽電池素子10Kを第二の面1Sの側から平面視した図であり、図25(b)は、同じく第一の面1Fの側から平面視した図であり、図25(c)は、太陽電池モジュール20K’において互いに隣り合う2つの太陽電池素子10K’を第二の面1Sの側から平面視した図である。
第一接続部4cと第二接続部5aとが上述のような形状および配置関係を有する太陽電池素子10Kを用いて太陽電池モジュール20Kを構成する場合、太陽電池モジュール20Hの場合と同様、図24(a)に示すように、隣り合う太陽電池素子10K同士を、それぞれの基準辺BSが平行かつ同一直線上にくるように、かつ、互いに並進対称の関係となるように配置すれば、一方の太陽電池素子10Kの第一接続部4cともう一方の太陽電池素子10Kの第二接続部5aとが一直線上に存在することになる。
ただし、この場合も、太陽電池素子10Hの場合と同様に、そのまま配線11で接続しようとすると、一の太陽電池素子10Kのなかで、第一接続部4cと第二接続部5aとが短絡することになる。これを避けるため、本実施の形態においても太陽電池モジュール20Hを構成する場合と同様に、太陽電池素子10Kを作製する際に、あるいは太陽電池モジュール20Kを構成する際に、接続の必要がない部位に図示しない絶縁層を設けたうえで、配線11による接続がなされる。あるいは、図20に示したように、折れ線状の配線11Bを用いて、絶縁層に相当する間隙を設けるようにして太陽電池素子10K同士が接続される。あるいは、係る間隙に絶縁層を設けるようにして、太陽電池素子10K同士が接続される。
図24(c)に示す太陽電池素子10K’は、太陽電池素子10Kの第一接続部4cと第二接続部5aのうち、その上に絶縁層が形成されるかあるいは空隙が設けられる領域について、第一接続部4cおよび第二接続部5aの形成をせず、その代わりに集電部5bを形成するようにしたものである。すなわち、太陽電池素子10K’においては太陽電池素子10Kよりも集電部5bの領域が大きくなっているので、太陽電池素子10K’においては、太陽電池素子10Kよりもさらに出力特性の向上が実現されてなる。ただし、太陽電池素子10K’において第一接続部4cと第二接続部5aとは、太陽電池モジュール20K’を構成する際に隣り合う太陽電池素子10K’の間で回転対称配置が実現されるように、それぞれの配置位置が定められてなるものとする。
第一接続部4cと第二接続部5aとが上述のような形状および配置関係を有する太陽電池素子10K’を用いて太陽電池モジュール20K’を構成する場合、図25(c)に示すように、隣り合う太陽電池素子10K’同士を、それぞれの基準辺BSが平行かつ同一直線上にない位置にくるように、かつ、互いに回転対称(より具体的には点対称)の関係となるように配置すれば、一方の太陽電池素子10K’の第一接続部4cともう一方の太陽電池素子10K’の第二接続部5aとが一直線上に存在することになる。
このように複数の太陽電池素子10K’が配置された太陽電池モジュール20K’においては、第一接続部4cと第二接続部5aとが、平面視直線状の配線11を用いて接続されてなる。なお、一の太陽電池素子10K’の第一接続部4cに接続される配線11が同じ太陽電池素子10K’の集電部5bと接すると、第一接続部4cと集電部5bとが短絡してリークが生じるので、配線11と接触しうる箇所の集電部5bの上には、図示しない絶縁層を形成しておくことが好ましい。あるいは、断面視で複数の屈曲部を有する配線11Bと同様のものを用いて接続する態様であってもよい。
なお、太陽電池モジュール20Kおよび20K’のいずれの場合も、一の配線11あるいは配線11Bで接続される関係にある第一接続部4cと第二接続部5aとの相対的な配置関係は等価である(つまりは第一接続部4cと第二接続部5aの組が全て並進対称の関係にある)ので、それぞれの第一接続部4cと第二接続部5aの組の接続に用いる配線11あるいは配線11Bに、同一形状のものを用いることができる。
また、太陽電池素子10Kおよび10K’においては、上述の配列状態をみたすとともに配線11による接続態様が実現可能である限りにおいて、第一接続部4cと第二接続部5aとをそれぞれ上述したものと異なる形状(例えば、台形状、円形状、楕円形状、半円形状、扇型形状、あるいはそれらの複合形状など)に形成する態様であってもよい。
(変形例)
次に、本発明の上述した各実施の形態に係る太陽電池モジュールに適用が可能な、太陽電池素子の種々の変形例について説明する。
<高濃度ドープ層および集電部の拡張>
図26は、太陽電池素子の断面方向の構造に係る種々の変形例を示す図である。
図26(a)は、高濃度ドープ層6の形成領域を、平面視で第一接続部4cの形成領域と重なる位置にまで拡張する場合の構造を示す図である。これは、高濃度ドープ層6を形成する際に、第一接続部4cの形成予定箇所と重なる部分を含んで(ただし、貫通孔3の直下部分を除いて)これを形成し、その後、高濃度ドープ層6の形成領域のうち、第一接続部4cの形成予定箇所と重なる領域の上に、例えば、酸化シリコンなどの酸化膜、窒化シリコンなどの窒化膜などからなる絶縁層8aを形成したうえで、第一接続部4cを形成する、という手順で実現される。係る構成を採用することにより、上述の実施形態よりもさらに、太陽電池素子の出力特性を向上させることができる。
図26(b)は、高濃度ドープ層6のみならず集電部5bについても、その形成領域を平面視で第一接続部4cの形成領域と重なる位置にまで広げる場合の構造を示す図である。これは、高濃度ドープ層6および集電部5bを順次に形成する際に、第一接続部4cの形成予定箇所と重なる部分を含んで(ただし、貫通孔3の直下部分を除いて)これらを形成し、その後、集電部5bの形成領域のうち、第一接続部4cの形成予定箇所と重なる領域を被覆するように、絶縁層8aを形成したうえで、第一接続部4cを形成する、という手順で実現される。係る構成を採用することにより、上述した高濃度ドープ層6を広げることの効果に加えて、第二接続部5aで集電されるキャリアの移動距離が短くなり、太陽電池素子の出力特性がより向上する、という効果が得られる。
図26(c)は、図26(b)に示した構造の応用として、帯状ではない複数個の第一接続部4c(例えば点状のもの)を、配線11の配置方向について列をなすように配置する場合に、第一接続部4c同士の間に高濃度ドープ層6および集電部5bを延在させる場合の構造を示す図である。係る場合、配線11は、第一接続部4cとの接続箇所以外では、集電部5bの上に形成した酸化膜、樹脂、絶縁テープ等の絶縁層8aの上に配置される。この場合も、図26(b)に示した構造を採用する場合と同様の効果を得ることができる。
図27は、上述の各実施の形態に係る太陽電池素子において集電部5bを形成しない領域として確保されていた非形成領域REの部分にも、集電部5bを設ける場合の変形例を示す図である。図27(a)は、図2(a)に示す第1の実施の形態に係る太陽電池素子10Aの変形例を示す平面図であり、図27(b)は、図6(a)に示す第3の実施の形態に係る太陽電池素子10Cの変形例を示す平面図であり、また、図27(c)は、図10(a)に示す第4の実施の形態に係る太陽電池素子10Dの変形例を示す平面図である。図27(a)〜(c)のいずれも、半導体基板1の第2の面1Sの側から平面視した図である。また、図27(d)は図27(a)に示す太陽電池素子のY−Y部分の断面を示す断面模式図である。図28は、これら変形例に係る太陽電池素子を用いて形成した太陽電池モジュールを示す図である。図28(a)は、図27(a)に示す太陽電池素子を用いた場合の太陽電池モジュールの平面図であり、図28(b)は、図27(b)に示す太陽電池素子を用いた場合の太陽電池モジュールの平面図であり、また、図28(c)は、図27(c)に示す太陽電池素子を用いた場合の太陽電池モジュールの平面図である。図28(a)〜(c)のいずれも、半導体基板1の第2の面1Sの側から平面視した図である。
図27(a)〜(c)に示す各太陽電池素子はいずれも、平面視した場合に、その元になる構造を有する太陽電池素子における集電部5bの非形成領域REに相当する箇所に、酸化膜、樹脂、絶縁テープ等からなる絶縁層8bを形成したものである。より詳細に言えば、図27(d)に示すように、当該箇所においては、集電部5bを延在させた上で、これを被覆する態様で、絶縁層8bが設けられてなる。これにより、キャリアの集電効率がより向上する、という効果が得られる。
しかも、絶縁層8bを設けていることにより、太陽電池素子を用いて上述の対応する実施の形態と同様に太陽電池モジュールを構成した場合には、非形成領域REを確保した場合と同様に、配線11と集電部5bとが接触してリークが生じることが低減される。
絶縁層8bは、例えば、CVD等の薄膜形成技術を用いて形成する態様であってもよいし、樹脂ペーストなどからなる絶縁性ペーストを塗布し、焼成することによって形成する態様であってもよいし、市販の絶縁テープを貼り付けることで形成する態様であってもよい。なお、絶縁性ペーストを焼成する際には、電極形成のときに、同時に焼成して形成することも可能である。あるいは、絶縁層8bを、太陽電池素子の側にではなく、配線11の側にあらかじめ設けておいたうえで、これを用いて接続を行う態様であってもよい。
<フィンガー部の形成>
図29および図30は、上述の各実施の形態に係る太陽電池素子において、第二接続部5aから離れた集電部5bからの集電効率を高める構成を採用する場合の変形例を示す図である。
図29(a)は、図2(a)に示す第1の実施の形態に係る太陽電池素子10Aの変形例を示す平面図であり、図29(b)は、図6(a)に示す第3の実施の形態に係る太陽電池素子10Cの変形例を示す平面図である。また、図30は、図12(a)に示す第5の実施の形態に係る太陽電池素子10Eの変形例を示す平面図である。図29および図30はいずれも、半導体基板1の第2の面1Sの側から平面視した図を示している。
図29に示す太陽電池素子は、第二接続部5aに接続され、第一接続部4cの外周を回り込むようにして第二の面1Sの第二接続部5aが設けられていない領域Eにまで延在するフィンガー部5cを有する。フィンガー部5cは、集電部5bよりも抵抗が低い材料を用いて形成される。
太陽電池素子10Aや太陽電池素子10Cのように、第一接続部4cが半導体基板1の一方辺側から他方辺側にまで延在するように設けられる場合、フィンガー部5cを備えていなければ、領域Eにおいて集電されたキャリアは、第一接続部4cを迂回して第二接続部5aに集電されることになる。係るキャリアの移動経路に沿って集電部5bよりも抵抗が小さいフィンガー部5cを設けることで、領域Eからの集電を、より効率的に行うことができる。なお、集電部5bがアルミニウムからなる場合であれば、フィンガー部5cは銀や銅等の金属を主成分として形成することができる。特に、フィンガー部5cに銅を用いる場合、低コストにフィンガー部5cを形成することができる。なお、第二接続部5aとフィンガー部5cとは異なる導電性ペーストで形成するようにされてよい。例えば、第二接続部5aに銀ペーストを用い、フィンガー部5cに銅ペーストを用いるようにしてもよい。
また、図30に係る太陽電池素子10Eにおいては、フィンガー部5cを第一接続部4c同士の間隙に設けてなる。係る場合も、隣接する第一接続部4cに関して反対側にある集電部5bによって集められたキャリアを、効率よく第二接続部5aに伝えることができる。
<貫通孔の絶縁>
図31は、第二逆導電型層2bと第三逆導電型層2cとを形成する代わりに、酸化膜や窒化膜などからなる絶縁材料層9を形成してなる太陽電池素子50の断面模式図である。具体的には、貫通孔3の表面に第一絶縁材料層9aを形成するとともに、半導体基板1の第2の面1Sに、酸化膜や窒化膜などからなる第二絶縁材料層9bを形成する場合を例示している。
第一絶縁材料層9aを形成することにより、導通部4bと半導体基板1とに生じるリークを低減することができる。また、第二絶縁材料層9bを形成することにより、半導体基板1と第一接続部4cと生じるリークを低減することができる。しかも、第二絶縁材料層9bとして酸化膜や窒化膜を形成した場合には、パッシベーション効果によって半導体基板1の第2の面1Sにおける表面再結合速度が低減するので、太陽電池素子の出力特性が向上することになる。
具体的には、シリコン酸化膜(SiO膜)、チタン酸化膜(TiO)やシリコン窒化膜(SiNx)などを、スパッタ法、蒸着法あるいはCVD法などを用いて、10nm〜50μm程度の厚みに形成することによって、絶縁材料層9を形成することができる。また、酸素雰囲気または大気雰囲気の熱酸化炉内で半導体基板1に熱処理を施したり、酸化膜材料をスピンコート法、スプレー法やスクリーン印刷法等の塗布法を用いて塗布・焼成することによって、絶縁材料層9となる酸化膜を形成してもかまわない。なお、絶縁材料層9は単層膜であってもよいし、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の二層構造等からなる複数層であってもよい。
なお、係る絶縁材料層9に水素を含有させた場合、パッシベーション効果がさらに向上する。例えば、プラズマCVD法を用いて形成したシリコン窒化膜は、水素(H)を含んでいることから、成膜中および成膜後の加熱により、半導体基板1内に水素(H)を拡散させ、半導体基板1中に存在するダングリングボンド(余った化学結合手)に水素(H)を結合させることにより、キャリアがダングリングボンドに捕まる確率を低減することができる。ゆえに、例えば、第2の面1Sの略全面にシリコン窒化膜を形成することにより、より高効率な太陽電池素子が得られることになる。
また、第2の面の略全面に第二絶縁材料層9bを形成することで、逆導電型層(拡散層)の形成に際して、半導体基板1の裏面側に逆導電型層2が形成されにくい。特に、CVD法や塗布法等を用いれば、絶縁材料層9のみを半導体基板1の第2の面のみに形成することができるため好ましい。
また、絶縁材料層9の上に第一接続部4cを形成することにより、半導体基板1上に電極を形成する場合に比べて、電極中にガラスフリットを有することから電極強度を向上させることができる。
<その他の変形例>
逆導電型層2の形成態様は、上述したものに限定されるものではない。例えば、薄膜形成技術を用いて、水素化アモルファスシリコン膜や、微結晶シリコン膜を含む結晶質シリコン膜などを形成してもよい。ここで水素化アモルファスシリコン膜を用いて逆導電型層2を形成する場合は、その厚さは50nm以下、好ましくは20nm以下とし、結晶質シリコン膜を用いて形成する場合はその厚さは500nm以下、好ましくは200nm以下とする。さらに、半導体基板1と逆導電型層2との間に、i型(ノンドープ型)のシリコン領域を厚さ20nm以下で形成してもよい。
高濃度ドープ層6を、薄膜技術を用いて例えば水素化アモルファスシリコン膜や微結晶シリコン相を含む結晶質シリコン膜などによって形成してもよい。特に、逆導電型層2と半導体基板1のバルク領域(逆導電型層2以外の領域)との間のpn接合を、薄膜技術を用いて形成する場合は、高濃度ドープ層6の形成も薄膜技術を用いて行うことが好ましい。このとき、高濃度ドープ層6の膜厚は10〜200nm程度とする。さらに、半導体基板1と高濃度ドープ層6との間にi型シリコン領域を厚さ20nm以下で形成すると特性向上に有効である。
また、主電極部4a、導通部4b、第一接続部4c、第二接続部5a、集電部5bを形成する際の塗布・焼成は、上述の実施形態で述べた順序で行う必要はない。これに代えて、例えば、それぞれを形成するためとなる導電性ペーストを全て塗布した後に一括焼成を行って全ての電極を形成する態様であってもよい。あるいは、集電部5b、第二接続部5a、第一接続部4cおよび導通部4bを塗布・焼成して形成した後に、主電極部4aを塗布・焼成して形成してもよい。その他、適宜、手順を組み合わせて形成すればよい。さらに、第二接続部5aの直下に集電部5bを設けても構わない。
また、配線11に絶縁層8を設ける際に、太陽電池モジュールにおいて太陽電池素子同士の間隙となる位置にも絶縁層8を設けるようにしてもよい。さらには、裏面保護材13や裏側充填材15と同様の色彩に絶縁層8を着色することによって、美観を向上させることができる。
1 半導体基板
1a テクスチャ構造
1b 突起
2 逆導電型層
2a 第一逆導電型層
2b 第二逆導電型層
2c 第三逆導電型層
3 貫通孔
4 第一の電極
4a 主電極部
4b 導通部
4c 第一接続部
5 第二の電極
5a 接続部
5a(5a1、5a2) 第二接続部
5b 集電部
5c フィンガー部
7 反射防止膜
8(8a、8b) 絶縁層
9 絶縁材料層
9a 第一絶縁材料層
9b 第二絶縁材料層
10A(10Aα、10Aβ)、10B、10C、10D、10E、10F、10G、10H(10Hα、10Hβ)、10I、10J、10K 太陽電池素子
11、11B 配線
11a 第一接続面
11b 第一離間部
11c 第二接続面
11d 第二離間部
12 透光性部材
13 裏面保護材
15 裏側充填材
16 出力取出配線
17 端子ボックス
20(20A、20C、20D、20E、20F、20G、20H、20I、20K ) 太陽電池モジュール
24 表側充填材

Claims (11)

  1. 太陽光を受光する第1の面、前記第1の面の裏側の第2の面および前記第1の面と前記第2の面との間の貫通孔を有する半導体基板と、
    前記半導体基板の前記第2の面上に設けられた複数の第1接続部および前記貫通孔内に設けられ、前記第1接続部に接続された導通部を有する第1の電極と、
    前記半導体基板の前記第2の面上に設けられた第2接続部および該第2接続部と電気的に接続された集電部を含む第2の電極とを含む複数の太陽電池素子を備え、
    前記複数の太陽電池素子のうち隣り合う2つの太陽電池素子を第1の太陽電池素子および第2の太陽電池素子とする場合に、前記第1の太陽電池素子の前記複数の第1接続部と前記第2の太陽電池素子の前記第2接続部とは、直線状の配線材で電気的に接続され、
    前記配線材は、長手方向が前記複数の太陽電池素子の配列方向に沿うように配置されており、
    前記複数の太陽電池素子のそれぞれにおいて、前記複数の第1接続部は、互いに離れて且つ前記配線材の長手方向に沿って配置されており、前記複数の第1接続部のそれぞれは、前記第2の電極から離れつつ前記第2の電極によって周囲全体を囲まれているとともに前記配線材によって互いに接続されている、
    ことを特徴とする太陽電池モジュール。
  2. 前記第2の電極は、前記集電部上に設けられたフィンガー部をさらに備え、
    前記フィンガー部は、前記第2接続部と電気的に接続されており、前記集電部よりも抵抗値が小さいことを特徴とする請求項1に記載の太陽電池モジュール。
  3. 前記集電部は、アルミニウムを含んでなり、前記フィンガー部は、銀または銅を含んでなることを特徴とする請求項2に記載の太陽電池モジュール。
  4. 前記第1接続部および前記第2接続部は、同1直線上に設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の太陽電池モジュール。
  5. 前記導通部は、互いに間隔を空けて複数配列されており、
    前記第1接続部および前記第2接続部は、前記導通部の配列方向に沿って、交互に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の太陽電池モジュール。
  6. 前記配線材と前記第2の電極との間に絶縁層をさらに設けたことを特徴とする請求項5に記載の太陽電池モジュール。
  7. 前記配線材は、前記第1の太陽電池素子の前記第1接続部と接続する接続面と、前記第1の太陽電池素子の前記第2接続部から離れている非接続面と、を有していることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の太陽電池モジュール。
  8. 前記配線材は、前記接続面と前記離間部とからなる屈曲部を有することを特徴とする請求項7に記載の太陽電池モジュール。
  9. 前記第1の電極は、隣り合う前記第1接続部の間に前記第1接続部と接続された、前記配線材と接続しない非溶着部をさらに備え、
    前記非溶着部は、前記複数の太陽電池素子の配列方向と直交する方向における幅が、前記第1接続部よりも小さいことを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の太陽電池モジュール。
  10. 前記第1の太陽電池素子と前記第2の太陽電池素子とが、互いに並進対称の関係に配置されていることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の太陽電池モジュール。
  11. 前記第1の太陽電池素子と前記第2の太陽電池素子とが、互いに回転対称の関係に配置されていることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の太陽電池モジュール。
JP2012153758A 2006-12-26 2012-07-09 太陽電池モジュール Expired - Fee Related JP5511903B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012153758A JP5511903B2 (ja) 2006-12-26 2012-07-09 太陽電池モジュール

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006349707 2006-12-26
JP2006349707 2006-12-26
JP2007245406 2007-09-21
JP2007245406 2007-09-21
JP2012153758A JP5511903B2 (ja) 2006-12-26 2012-07-09 太陽電池モジュール

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008551116A Division JPWO2008078741A1 (ja) 2006-12-26 2007-12-25 太陽電池モジュール

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014061229A Division JP5869608B2 (ja) 2006-12-26 2014-03-25 太陽電池モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012231166A true JP2012231166A (ja) 2012-11-22
JP5511903B2 JP5511903B2 (ja) 2014-06-04

Family

ID=39562530

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008551116A Pending JPWO2008078741A1 (ja) 2006-12-26 2007-12-25 太陽電池モジュール
JP2012153758A Expired - Fee Related JP5511903B2 (ja) 2006-12-26 2012-07-09 太陽電池モジュール
JP2014061229A Expired - Fee Related JP5869608B2 (ja) 2006-12-26 2014-03-25 太陽電池モジュール

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008551116A Pending JPWO2008078741A1 (ja) 2006-12-26 2007-12-25 太陽電池モジュール

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014061229A Expired - Fee Related JP5869608B2 (ja) 2006-12-26 2014-03-25 太陽電池モジュール

Country Status (4)

Country Link
US (2) US8575475B2 (ja)
EP (1) EP2105970A4 (ja)
JP (3) JPWO2008078741A1 (ja)
WO (1) WO2008078741A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160018491A (ko) * 2013-06-07 2016-02-17 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 백컨택트형 태양전지 셀
JP2022077049A (ja) * 2020-11-11 2022-05-23 株式会社カネカ 太陽電池デバイスおよび太陽電池モジュール

Families Citing this family (76)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4948473B2 (ja) * 2008-04-21 2012-06-06 三洋電機株式会社 太陽電池モジュール
JPWO2009131111A1 (ja) * 2008-04-25 2011-08-18 株式会社アルバック 太陽電池の製造方法,太陽電池の製造装置,及び太陽電池
KR100997113B1 (ko) * 2008-08-01 2010-11-30 엘지전자 주식회사 태양전지 및 그의 제조방법
JP2010050350A (ja) * 2008-08-22 2010-03-04 Sanyo Electric Co Ltd 太陽電池モジュール及び太陽電池
DE102008044910A1 (de) * 2008-08-30 2010-03-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Solarzelle und Solarzellenmodul mit einseitiger Verschaltung
JP5131847B2 (ja) * 2008-09-09 2013-01-30 シャープ株式会社 太陽電池モジュールおよびその製造方法
JP2010080576A (ja) * 2008-09-25 2010-04-08 Sharp Corp 光電変換素子およびその製造方法
WO2010087388A1 (ja) * 2009-01-29 2010-08-05 京セラ株式会社 光電変換セルおよび光電変換モジュール
JP4958187B2 (ja) * 2009-02-05 2012-06-20 シャープ株式会社 太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュール
US20100206370A1 (en) * 2009-02-18 2010-08-19 Qualcomm Incorporated Photovoltaic Cell Efficiency Using Through Silicon Vias
DE102009047778A1 (de) * 2009-02-24 2010-09-02 Bosch Solar Energy Ag MWT-Halbleiter-Solarzelle mit einer Vielzahl von das halbleitende Material kontaktierenden, parallel zueinander verlaufenden schmalen leitfähigen Fingern vorgegebener Länge
KR101135591B1 (ko) * 2009-03-11 2012-04-19 엘지전자 주식회사 태양 전지 및 태양 전지 모듈
KR101627217B1 (ko) 2009-03-25 2016-06-03 엘지전자 주식회사 태양전지 및 그 제조방법
CN102365755A (zh) * 2009-04-08 2012-02-29 夏普株式会社 布线板、带布线板的太阳能电池单元、太阳能电池模块以及带布线板的太阳能电池单元的制造方法
KR100984700B1 (ko) * 2009-06-04 2010-10-01 엘지전자 주식회사 태양 전지 및 그 제조 방법
KR101254566B1 (ko) 2009-06-04 2013-04-15 엘지전자 주식회사 태양 전지 및 태양 전지 모듈
KR100990110B1 (ko) * 2009-08-18 2010-10-29 엘지전자 주식회사 태양 전지
KR20110024947A (ko) * 2009-09-03 2011-03-09 삼성전자주식회사 태양 전지
NL2003482C2 (nl) * 2009-09-14 2011-03-15 Stichting Energie Zonnecel en samenstel van een aantal zonnecellen.
KR101597831B1 (ko) * 2009-10-08 2016-02-25 엘지전자 주식회사 태양 전지 및 태양 전지 모듈
WO2011052597A1 (ja) * 2009-10-26 2011-05-05 京セラ株式会社 太陽電池素子および太陽電池モジュール
US9012766B2 (en) 2009-11-12 2015-04-21 Silevo, Inc. Aluminum grid as backside conductor on epitaxial silicon thin film solar cells
JP5495777B2 (ja) * 2009-12-25 2014-05-21 京セラ株式会社 太陽電池モジュール
WO2011105510A1 (ja) * 2010-02-24 2011-09-01 京セラ株式会社 太陽電池モジュールおよびその製造方法
WO2011132707A1 (ja) * 2010-04-20 2011-10-27 京セラ株式会社 太陽電池素子およびそれを用いた太陽電池モジュール
US9214576B2 (en) 2010-06-09 2015-12-15 Solarcity Corporation Transparent conducting oxide for photovoltaic devices
EP2595196B1 (en) * 2010-06-25 2020-06-03 Kyocera Corporation Solar cell element
CN203277411U (zh) * 2010-07-30 2013-11-06 三洋电机株式会社 太阳能电池模块
TWI441347B (zh) * 2010-12-01 2014-06-11 Ind Tech Res Inst 太陽能電池
KR101642158B1 (ko) 2011-01-04 2016-07-22 엘지전자 주식회사 태양 전지 모듈
US9153713B2 (en) 2011-04-02 2015-10-06 Csi Cells Co., Ltd Solar cell modules and methods of manufacturing the same
CN102800723B (zh) * 2011-05-27 2015-10-21 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 太阳电池组件及其制造方法
CN102760777A (zh) * 2011-04-29 2012-10-31 无锡尚德太阳能电力有限公司 太阳电池、太阳电池组件及其制备方法
CN102760778A (zh) * 2011-04-29 2012-10-31 无锡尚德太阳能电力有限公司 太阳电池、太阳电池组件及其制备方法
WO2012145863A1 (zh) * 2011-04-29 2012-11-01 无锡尚德太阳能电力有限公司 太阳电池、太阳电池组件及其制备方法
KR101254564B1 (ko) 2011-05-18 2013-04-19 엘지전자 주식회사 태양 전지 모듈
US9281435B2 (en) 2011-05-27 2016-03-08 Csi Cells Co., Ltd Light to current converter devices and methods of manufacturing the same
JP5289625B1 (ja) * 2011-09-13 2013-09-11 京セラ株式会社 太陽電池モジュール
WO2013046376A1 (ja) * 2011-09-28 2013-04-04 三洋電機株式会社 太陽電池
WO2013046773A1 (ja) * 2011-09-29 2013-04-04 三洋電機株式会社 太陽電池モジュール
US8328077B1 (en) * 2011-11-01 2012-12-11 Flextronics Ap, Llc PV cell mass reflow
CN102646728B (zh) * 2012-05-02 2015-11-11 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 一种背接触硅太阳能电池片的背面电极结构及其制备方法
DE102012107026A1 (de) * 2012-08-01 2014-02-06 Solarworld Innovations Gmbh Solarzelle und Verfahren zum Herstellen einer Solarzelle
GB2508792A (en) * 2012-09-11 2014-06-18 Rec Modules Pte Ltd Back contact solar cell cell interconnection arrangements
US8636198B1 (en) 2012-09-28 2014-01-28 Sunpower Corporation Methods and structures for forming and improving solder joint thickness and planarity control features for solar cells
JP2014127552A (ja) * 2012-12-26 2014-07-07 Sharp Corp 太陽電池
US9412884B2 (en) 2013-01-11 2016-08-09 Solarcity Corporation Module fabrication of solar cells with low resistivity electrodes
US9219174B2 (en) 2013-01-11 2015-12-22 Solarcity Corporation Module fabrication of solar cells with low resistivity electrodes
US10074755B2 (en) 2013-01-11 2018-09-11 Tesla, Inc. High efficiency solar panel
CN103094369A (zh) * 2013-01-15 2013-05-08 常州亿晶光电科技有限公司 一种晶硅mwt太阳能电池
TW201431096A (zh) * 2013-01-24 2014-08-01 Motech Ind Inc 太陽能電池、其模組及其製造方法
WO2014134825A1 (en) * 2013-03-08 2014-09-12 China Sunergy (Nanjing) Co., Ltd. Solar cells having a novel bus bar structure
JP6141223B2 (ja) 2013-06-14 2017-06-07 三菱電機株式会社 受光素子モジュールおよびその製造方法
JP6313005B2 (ja) * 2013-09-25 2018-04-18 京セラ株式会社 光電変換素子及び太陽電池モジュール
CN105706245B (zh) * 2013-11-07 2017-06-16 三菱电机株式会社 太阳能电池及其制造方法、太阳能电池模块
CN103700715A (zh) * 2013-12-31 2014-04-02 天威新能源控股有限公司 晶体硅太阳电池背接触电池及其制备方法
CN105097987B (zh) * 2014-05-16 2018-08-24 上海凯世通半导体股份有限公司 背接触电池及其制作方法和太阳能电池组件
US10309012B2 (en) 2014-07-03 2019-06-04 Tesla, Inc. Wafer carrier for reducing contamination from carbon particles and outgassing
US20160035907A1 (en) * 2014-08-04 2016-02-04 Lg Electronics Inc. Solar cell module
CN104282788B (zh) * 2014-09-28 2017-03-22 苏州中来光伏新材股份有限公司 无主栅、高效率背接触太阳能电池模块、组件及制备工艺
US20160233352A1 (en) * 2014-12-05 2016-08-11 Solarcity Corporation Photovoltaic electrode design with contact pads for cascaded application
US9899546B2 (en) 2014-12-05 2018-02-20 Tesla, Inc. Photovoltaic cells with electrodes adapted to house conductive paste
JP6832615B2 (ja) * 2015-02-05 2021-02-24 シャープ株式会社 光電変換素子および光電変換素子の製造方法
WO2016152649A1 (ja) * 2015-03-25 2016-09-29 ナミックス株式会社 太陽電池モジュール及びその製造方法
US20160380120A1 (en) 2015-06-26 2016-12-29 Akira Terao Metallization and stringing for back-contact solar cells
WO2017043518A1 (ja) * 2015-09-08 2017-03-16 デクセリアルズ株式会社 太陽電池モジュールの製造方法、太陽電池モジュール、及び太陽電池セルの接続方法
DE202015106557U1 (de) * 2015-12-02 2016-01-04 Solarworld Innovations Gmbh Bifaziales Photovoltaikmodul
US10115838B2 (en) 2016-04-19 2018-10-30 Tesla, Inc. Photovoltaic structures with interlocking busbars
US10115855B2 (en) * 2016-09-30 2018-10-30 Sunpower Corporation Conductive foil based metallization of solar cells
US11908958B2 (en) * 2016-12-30 2024-02-20 Maxeon Solar Pte. Ltd. Metallization structures for solar cells
JP6995828B2 (ja) * 2017-03-03 2022-01-17 株式会社カネカ 太陽電池モジュール
US10672919B2 (en) 2017-09-19 2020-06-02 Tesla, Inc. Moisture-resistant solar cells for solar roof tiles
US11190128B2 (en) 2018-02-27 2021-11-30 Tesla, Inc. Parallel-connected solar roof tile modules
US10490682B2 (en) 2018-03-14 2019-11-26 National Mechanical Group Corp. Frame-less encapsulated photo-voltaic solar panel supporting solar cell modules encapsulated within multiple layers of optically-transparent epoxy-resin materials
WO2020184301A1 (ja) * 2019-03-11 2020-09-17 株式会社カネカ 太陽電池デバイスおよび太陽電池モジュール、並びに太陽電池デバイスの製造方法
JP6796176B2 (ja) * 2019-09-27 2020-12-02 信越化学工業株式会社 太陽電池、太陽電池モジュール、及び太陽光発電システム

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63119274A (ja) * 1986-11-06 1988-05-23 Sharp Corp 太陽電池素子
JPH0415962A (ja) * 1990-05-09 1992-01-21 Sharp Corp 太陽電池及びその製造方法
JPH11224954A (ja) * 1998-02-04 1999-08-17 Sanyo Electric Co Ltd 太陽電池、太陽電池モジュール、太陽電池モジュールの設置方法及び太陽電池の製造方法
JP2000261012A (ja) * 1999-03-09 2000-09-22 Mitsubishi Electric Corp 太陽電池
JP2001135834A (ja) * 1999-11-08 2001-05-18 Sharp Corp 光電変換素子およびその製造方法
JP2002532888A (ja) * 1998-11-25 2002-10-02 フラウンホファー ゲセルシャフトツール フェールデルンク ダー アンゲヴァンテン フォルシュンク エー.ファオ. 薄膜太陽電池アレイ・システムおよびその製造方法
JP2003044119A (ja) * 2001-08-02 2003-02-14 Canon Inc Id付き被加工物とその製造方法
JP2006080217A (ja) * 2004-09-08 2006-03-23 Sharp Corp 太陽電池及び太陽電池モジュール
JP2006203056A (ja) * 2005-01-21 2006-08-03 Toyota Motor Corp 光電変換素子
JP2006332264A (ja) * 2005-05-25 2006-12-07 Kyocera Corp 太陽電池モジュールの製造方法
WO2006135443A2 (en) * 2004-10-29 2006-12-21 Bp Corporation North America Inc. Back-contact photovoltaic cells

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63211773A (ja) * 1987-02-27 1988-09-02 Mitsubishi Electric Corp 化合物半導体太陽電池
JPS63211733A (ja) 1987-02-27 1988-09-02 Mitsubishi Electric Corp ワイヤボンデイング装置
JPH0252362A (ja) 1988-08-15 1990-02-21 Tomoegawa Paper Co Ltd 電子写真用トナーとその製造方法
JPH0711475Y2 (ja) * 1988-09-30 1995-03-15 日本電気株式会社 太陽電池セル
JPH08148709A (ja) * 1994-11-15 1996-06-07 Mitsubishi Electric Corp 薄型太陽電池の製造方法及び薄型太陽電池の製造装置
JP3050064B2 (ja) * 1994-11-24 2000-06-05 株式会社村田製作所 導電性ペースト、この導電性ペーストからなるグリッド電極が形成された太陽電池及びその製造方法
EP0881694A1 (en) * 1997-05-30 1998-12-02 Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum Vzw Solar cell and process of manufacturing the same
JP2000150929A (ja) * 1998-11-10 2000-05-30 Canon Inc 光起電力素子およびその製造方法
JP2004288677A (ja) * 2003-03-19 2004-10-14 Sharp Corp 太陽電池モジュールサブアセンブリおよび複層ガラス型太陽電池モジュール
US7170001B2 (en) * 2003-06-26 2007-01-30 Advent Solar, Inc. Fabrication of back-contacted silicon solar cells using thermomigration to create conductive vias
JP4334455B2 (ja) * 2004-10-22 2009-09-30 シャープ株式会社 太陽電池モジュール
WO2006123938A1 (en) * 2005-05-19 2006-11-23 Renewable Energy Corporation Asa Method for interconnection of solar cells
JP2006324590A (ja) * 2005-05-20 2006-11-30 Sharp Corp 裏面電極型太陽電池とその製造方法
US20090277491A1 (en) * 2005-10-14 2009-11-12 Sharp Kabushiki Kaisha Solar Cell, Interconnector-Equipped Solar Cell, Solar Cell String And Solar Cell Module
JP5142980B2 (ja) * 2006-03-01 2013-02-13 三洋電機株式会社 太陽電池セル、及び、この太陽電池セルを用いた太陽電池モジュール

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63119274A (ja) * 1986-11-06 1988-05-23 Sharp Corp 太陽電池素子
JPH0415962A (ja) * 1990-05-09 1992-01-21 Sharp Corp 太陽電池及びその製造方法
JPH11224954A (ja) * 1998-02-04 1999-08-17 Sanyo Electric Co Ltd 太陽電池、太陽電池モジュール、太陽電池モジュールの設置方法及び太陽電池の製造方法
JP2002532888A (ja) * 1998-11-25 2002-10-02 フラウンホファー ゲセルシャフトツール フェールデルンク ダー アンゲヴァンテン フォルシュンク エー.ファオ. 薄膜太陽電池アレイ・システムおよびその製造方法
JP2000261012A (ja) * 1999-03-09 2000-09-22 Mitsubishi Electric Corp 太陽電池
JP2001135834A (ja) * 1999-11-08 2001-05-18 Sharp Corp 光電変換素子およびその製造方法
JP2003044119A (ja) * 2001-08-02 2003-02-14 Canon Inc Id付き被加工物とその製造方法
JP2006080217A (ja) * 2004-09-08 2006-03-23 Sharp Corp 太陽電池及び太陽電池モジュール
WO2006135443A2 (en) * 2004-10-29 2006-12-21 Bp Corporation North America Inc. Back-contact photovoltaic cells
JP2006203056A (ja) * 2005-01-21 2006-08-03 Toyota Motor Corp 光電変換素子
JP2006332264A (ja) * 2005-05-25 2006-12-07 Kyocera Corp 太陽電池モジュールの製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160018491A (ko) * 2013-06-07 2016-02-17 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 백컨택트형 태양전지 셀
KR102186500B1 (ko) * 2013-06-07 2020-12-03 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 백컨택트형 태양전지 셀
JP2022077049A (ja) * 2020-11-11 2022-05-23 株式会社カネカ 太陽電池デバイスおよび太陽電池モジュール
JP7275090B2 (ja) 2020-11-11 2023-05-17 株式会社カネカ 太陽電池デバイスおよび太陽電池モジュール

Also Published As

Publication number Publication date
US20090272419A1 (en) 2009-11-05
JP5511903B2 (ja) 2014-06-04
JP2014140062A (ja) 2014-07-31
US20140034108A1 (en) 2014-02-06
EP2105970A1 (en) 2009-09-30
JP5869608B2 (ja) 2016-02-24
WO2008078741A1 (ja) 2008-07-03
JPWO2008078741A1 (ja) 2010-04-30
US9076910B2 (en) 2015-07-07
EP2105970A4 (en) 2015-08-05
US8575475B2 (en) 2013-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5869608B2 (ja) 太陽電池モジュール
JP5025184B2 (ja) 太陽電池素子及びこれを用いた太陽電池モジュール、並びに、これらの製造方法
JP5289625B1 (ja) 太陽電池モジュール
JP5091161B2 (ja) 太陽電池素子及び太陽電池素子の製造方法
JP5174903B2 (ja) 太陽電池セルの製造方法
JP5258325B2 (ja) 太陽電池モジュール
WO2015064696A1 (ja) 太陽電池セルおよび太陽電池モジュール
WO2011052597A1 (ja) 太陽電池素子および太陽電池モジュール
JP2008270743A5 (ja)
KR20160010536A (ko) 태양전지 셀 및 그 제조 방법, 태양전지 모듈
WO2009123149A1 (ja) 太陽電池素子及び太陽電池モジュール
JP5495777B2 (ja) 太陽電池モジュール
WO2011074280A1 (ja) 光起電力装置およびその製造方法
JP2015159276A (ja) 太陽電池素子および太陽電池モジュール
JP2016122749A (ja) 太陽電池素子および太陽電池モジュール
JP2013048146A (ja) 太陽電池モジュール
JP5219977B2 (ja) 太陽電池素子および太陽電池モジュール
WO2017170529A1 (ja) 太陽電池素子および太陽電池モジュール
JP4467337B2 (ja) 太陽電池モジュール
CN110024136B (zh) 高光电变换效率太阳能电池胞及高光电变换效率太阳能电池胞的制造方法
TWI668880B (zh) Solar battery unit and solar battery module
JP2016178280A (ja) 太陽電池素子およびこれを用いた太陽電池モジュール
JP5219984B2 (ja) 太陽電池モジュール
JP2011096731A (ja) 太陽電池素子および太陽電池モジュール
JP5726308B2 (ja) 太陽電池素子および太陽電池モジュール

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130806

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130807

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131007

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140225

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140325

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5511903

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees