JP2010080576A - 光電変換素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この太陽電池セル(光電変換素子)1は、貫通孔10aが形成されたp型のシリコン基板10と、シリコン基板10の受光面上に設けられた受光面電極21と、貫通孔10aの内部に設けられた貫通孔電極22と、シリコン基板10の裏面上に設けられた裏面電極23とを備える。貫通孔電極22および裏面電極23は、受光面電極21よりもガラスフリットの含有率が小さい。
【選択図】図1
Description
10 シリコン基板(半導体基板)
10a 貫通孔
11 p型不純物領域(第1不純物層)
12 n+型不純物領域(第2不純物層)
13 n+型不純物領域(第3不純物層)
15 n+型不純物領域(第4不純物層)
20 反射防止膜(絶縁膜)
21 受光面電極
21a 銀ペースト(第1電極材料)
22 貫通孔電極
22a 銀ペースト(第2電極材料)
23 裏面電極
23a 銀ペースト(第3電極材料)
Claims (11)
- 第1導電型の第1不純物層を含むとともに、貫通孔が形成された半導体基板と、
前記半導体基板の受光面に設けられ、前記第1不純物層に接する第2導電型の第2不純物層と、
前記半導体基板の裏面の一部に設けられ、前記第1不純物層に接する第2導電型の第3不純物層と、
前記半導体基板の貫通孔の内面に設けられるとともに、前記第1不純物層に接し、かつ、前記第2不純物層および前記第3不純物層を接続する第2導電型の第4不純物層と、
前記第2不純物層の前記第1不純物層とは反対側の面上に設けられ、前記第2不純物層に電気的に接続された受光面電極と、
前記貫通孔の内部に設けられ、前記受光面電極に電気的に接続された貫通孔電極と、
前記第3不純物層の前記第1不純物層とは反対側の面上に設けられ、前記貫通孔電極に電気的に接続された裏面電極とを備え、
前記貫通孔電極および前記裏面電極は、前記受光面電極よりもガラスフリットの含有率が小さいことを特徴とする光電変換素子。 - 前記貫通孔電極および前記裏面電極のガラスフリットの含有率は、1wt%以下であることを特徴とする請求項1に記載の光電変換素子。
- 前記貫通孔電極および前記裏面電極の少なくとも一方は、ガラスフリットを含有していないことを特徴とする請求項2に記載の光電変換素子。
- 前記貫通孔電極および前記裏面電極の両方が、ガラスフリットを含有していないことを特徴とする請求項3に記載の光電変換素子。
- 前記第2不純物層、前記第3不純物層および前記第4不純物層は、前記半導体基板に第2導電型の不純物を導入することにより形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光電変換素子。
- 第1導電型の第1不純物層を含む半導体基板に、貫通孔を形成する工程と、
前記第1不純物層に接するように、前記半導体基板の受光面に第2導電型の第2不純物層を設ける工程と、
前記第1不純物層に接するように、前記半導体基板の裏面に第2導電型の第3不純物層を設ける工程と、
前記第1不純物層に接し、かつ、前記第2不純物層および前記第3不純物層を接続するように、前記半導体基板の貫通孔の内面に第2導電型の第4不純物層を設ける工程と、
ガラスフリットを含有する第1電極材料を用いて、前記第2不純物層に電気的に接続するように、前記第2不純物層の前記第1不純物層とは反対側の面上に受光面電極を設ける工程と、
前記第1電極材料よりもガラスフリットの含有率が小さい第2電極材料を用いて、前記受光面電極に電気的に接続するように、前記貫通孔の内部に貫通孔電極を設ける工程と、
前記第1電極材料よりもガラスフリットの含有率が小さい第3電極材料を用いて、前記貫通孔電極に電気的に接続するように、前記第3不純物層の前記第1不純物層とは反対側の面上に裏面電極を設ける工程とを備えることを特徴とする光電変換素子の製造方法。 - 前記第2電極材料および前記第3電極材料のガラスフリットの含有率は、1wt%以下であることを特徴とする請求項6に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記第2電極材料および前記第3電極材料の少なくとも一方は、ガラスフリットを含有していないことを特徴とする請求項7に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記第2電極材料および前記第3電極材料の両方が、ガラスフリットを含有していないことを特徴とする請求項8に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記第2不純物層、前記第3不純物層および前記第4不純物層は、前記半導体基板に第2導電型の不純物を導入することにより形成されることを特徴とする請求項6〜9のいずれか1項に記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記受光面電極を設ける工程に先立って、前記第2不純物層の前記第1不純物層とは反対側の面上に、絶縁膜を設ける工程をさらに備え、
前記受光面電極を設ける工程は、
前記絶縁膜の前記第2不純物層とは反対側の面上の所定領域に、前記第1電極材料を配置する工程と、
前記第1電極材料を、熱処理することにより前記絶縁膜を貫通させ、前記第2不純物層に電気的に接続するように前記受光面電極を設ける工程とを含むことを特徴とする請求項6〜10のいずれか1項に記載の光電変換素子の製造方法。
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