JP2012112390A5 - - Google Patents

Claims (25)

1. ポンプ装置における入口弁の下流であってかつ出口弁の上流に位置したチャンバ内に流体を導入することと、
   前記入口弁及び出口弁を閉じることと、
   該チャンバ内の圧力が所望の圧力を上回るか否かを判断することと、
   該チャンバ内の圧力を実質的に所望の圧力に維持するために、該ポンプ装置のポンプ手段の移動を制御することと、
   を含み、
   前記判断および前記制御は、前記流体の分注が開始されるまで、準備完了区分内で繰り返される、方法。
2. 前記所望の圧力は、分注圧力またはその一部である、請求項１に記載の方法。
3. 前記チャンバ内の圧力が前記所望の圧力を上回るか否かを判断することは、圧力センサから該チャンバ内の圧力を受信し、該圧力が該所望の圧力の許容値内であるか否かを判断することを含む、請求項１に記載の方法。
4. 前記ポンプ手段の最初の位置に基づいて分注位置を判断することと、
   該分注が開始されるときの該ポンプ手段の位置から該分注位置へ該ポンプ手段を移動させることとをさらに含む、請求項３に記載の方法。
5. 前記ポンプ手段の最初の位置に基づく分注距離を計算することと、
   該ポンプ手段が前記所望の圧力を維持するために移動する距離に基づく補正距離を計算することと、
   該分注距離に該補正距離を加えた距離だけ該ポンプ手段を移動させることとをさらに含む、請求項３に記載の方法。
6. 前記ポンプ手段の最初の位置に基づく分注距離を計算することと、
   該分注距離だけ該ポンプ手段を移動させることとをさらに含む、請求項３に記載の方法。
7. 前記ポンプ手段が移動している間は、前記圧力が前記所望の圧力を上回るか否かの判断は行われない、請求項３に記載の方法。
8. 前記ポンプ手段が移動している間に、前記圧力センサを使用不能にすることをさらに含む、請求項３に記載の方法。
9. 前記圧力が前記所望の圧力の許容値内であるか否かを判断する前に、前記ポンプ手段が既に動作を停止していることを検出することをさらに含む、請求項３に記載の方法。
10. コンピュータ読み取り可能媒体であって、
    装置に、
    ポンプ装置における入口弁の下流であってかつ出口弁の上流に位置したチャンバ内へ流体を導入することと、
    前記入口弁及び出口弁を閉じることと、
    該チャンバ内の圧力が所望の圧力を上回るか否かを判断することであって、該所望の圧力は分注圧力またはその一部である、ことと、
    該チャンバ内の圧力を実質的に所望の圧力に維持するために、該ポンプ装置のポンプ手段の移動を制御することと、
    前記判断および前記制御を、前記流体の分注が開始されるまで、準備完了区分内で繰り返えすことと、
    を実行させる命令を格納してなる、コンピュータ読み取り可能媒体。
11. 分注のための流体を受けるように動作可能な分注チャンバと、該分注チャンバ内のポンプ手段と、該分注チャンバ内の圧力を感知するように動作可能な圧力センサとを含む、ポンプ装置と、
    前記ポンプ装置の上流に設けられた遮断弁と、
    前記ポンプ装置の下流に設けられた出口弁と、
    ａ）前記遮断弁及び前記出口弁を閉じ、ｂ）前記圧力センサからの前記圧力を受信し、ｃ）前記分注チャンバ内の圧力が所望の圧力を上回るか否かを判断し、ｄ）該分注チャンバ内の該所望の圧力を実質的に維持するように該ポンプ手段の移動を調整し、かつ、ｅ）前記流体の分注が開始されるまで、前記ｂ）〜ｄ）を繰り返すように構成された制御装置と
    を含み、
    該制御装置は、該ポンプ手段の移動を調整することにより、該分注チャンバから流体を分注するようにさらに動作可能である、システム。
12. 前記分注チャンバ内の圧力が前記所望の圧力を上回るか否かを判断することは、該圧力が該所望の圧力の許容値内であるか否かを判断することを含む、請求項１１に記載のシステム。
13. 前記流体を分注することは、前記ポンプ手段の最初の位置に基づいて分注位置を判断することと、該分注が開始されるときの該ポンプ手段の位置から該分注位置に該ポンプ手段が移動するように、該ポンプ手段の移動を調整することとをさらに含む、請求項１２に記載のシステム。
14. 前記流体を分注することは、前記ポンプ手段の最初の位置に基づく分注距離と、該ポンプ手段が前記基準圧力を維持するために移動する距離に基づく補正距離とを計算することと、該分注距離に該補正距離を加えた距離だけ該ポンプ手段を移動させるように、該ポンプ手段の移動を調整することとを含む、請求項１２に記載のシステム。
15. 前記流体を分注するステップは、前記ポンプ手段の最初の位置に基づく分注距離を計算し、前記分注距離だけ該ポンプ手段が動くように、該ポンプ手段の運動を調整することを含む、請求項１２に記載のシステム。
16. 前記ポンプ手段が移動している間は、前記圧力が前記所望の圧力を上回るか否かの判断は行われない、請求項１２に記載のシステム。
17. 前記制御装置は、前記ポンプ手段が移動している間は、前記圧力センサを使用不能にするように動作可能である、請求項１２に記載のシステム。
18. 前記制御装置は、前記圧力が前記所望の圧力の許容値内であるか否かを判断する前に、前記ポンプ手段が既に動作を停止していることを検出するように動作可能である、請求項１２に記載のシステム。
19. 前記圧力は、約３０ｋｈｚ、約１０ｋｈｚまたは約１ｋｈｚのサンプリングレートで受信される、請求項１２に記載のシステム。
20. 前記ポンプ手段は、モータインクリメント分だけ動くように調整される、請求項１２に記載のシステム。
21. 請求項１記載の方法において、前記チャンバが分注チャンバである場合に、
    前記ポンプ装置の供給チャンバからの流体をフィルタを介して排出し、かつ該流体を前記分注チャンバに導入するするために前記分注チャンバ内のピストンを引き込むことと、
    前記流体が導入された後、前記分注チャンバを囲むように、入口弁、前記供給チャンバと前記フィルタとの間の隔離弁、前記フィルタと前記分注チャンバとの間の遮断弁、パージ弁、及び出口弁、を備える弁の組を調整することと、
    をさらに備える、方法。
22. 請求項２１記載の方法において、前記ポンプを移動させることが、前記分注チャンバ内の回転ダイアフラムに接触するピストンを駆動するようモータを制御することである、方法。
23. 請求項１０記載のコンピュータ読み取り可能な格納媒体において、
    前記流体を前記ポンプ装置の前記チャンバ内に導入することが、前記ポンプ装置の供給チャンバからの流体をフィルタを介して排出し、かつ該流体を前記分注チャンバに導入するするために分注チャンバ内のピストンを引き込むことをさらに含んでおり、
    該コンピュータ読み取り可能な格納媒体はさらに、前記ポンプ装置に、前記流体が導入された後、前記分注チャンバを囲むように、入口弁、前記供給チャンバと前記フィルタとの間の隔離弁、前記フィルタと前記分注チャンバとの間の遮断弁、パージ弁、及び出口弁、を備える弁の組を調整することを実行させる命令を格納してなる、
    コンピュータ読み取り可能な格納媒体。
24. 請求項２３記載のコンピュータ読み取り可能な格納媒体において、前記ポンプを移動させることが、前記分注チャンバ内の回転ダイアフラムに接触するピストンを駆動するようモータを制御することである、コンピュータ読み取り可能な格納媒体。
25. 請求項１１記載のシステムにおいて、前記ポンプ装置が、
    前記供給チャンバと前記分注チャンバとの間に配設されたフィルタと、
    入口弁、前記供給チャンバと前記フィルタとの間の隔離弁、前記フィルタと前記分注チャンバとの間の遮断弁、パージ弁、及び出口弁、を備える弁の組とをさらに備え、
    前記制御装置が、前記流体が前記分注チャンバに導入された後、前記弁の組が前記分注チャンバを囲むよう調整するように、構成されている、
    システム。