JP2012112390A - ポンプ内の圧力補償のためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明による方法は、ポンプ装置のチャンバ内に流体を導入することと、該チャンバ内の圧力が所望の圧力を上回るか否かを判断することと、該チャンバ内の圧力が所望の圧力を上回るときに、該ポンプ装置のポンプ手段を移動させることにより、該チャンバの容積を増加させて、圧力増加を補償することと、該チャンバから流体を分注することと、を含み、該判断および移動は、該流体の分注が開始されるまで、該所望の圧力を実質的に維持するように繰り返される。
【選択図】図4A
Description
本願は、2005年12月2日に発明者である George Gonnella および James Cedrone によって出願された、名称「System and Method for Valve Compensation in a Pump」の米国仮特許出願第60/741,682号の優先権を主張し、その全内容はすべての目的のために参照によって本願明細書に明白に援用される。
本発明は、概して流体ポンプに関する。より具体的には、本発明の実施形態は、多段式ポンプに関する。さらに具体的には、本発明の実施形態は、半導体製造で使用されるポンプ内に生じ得る圧力変動の補償に関する。
できる。ポンプ制御装置20は、多段式ポンプで種々の弁およびモータを制御することができ、多段式ポンプに、低粘性流体(すなわち、100センチポアズ未満)または他の流体を含む流体を正確に分注させる。「I/O Interface System and Method for a Pump」の名称で Cedrone らが2005年12月2日に出願した米国特許出願第60/741,657号、および米国特許出願第______号、「I/O Systems,Methods And Devices For Interfacing A Pump Controller」の名称で発明者 Cedrone らが______に出願した[ENTG1810−1](参照によって本願明細書に全体として援用される)に記載のような入出力インターフェースコネクタは、ポンプ制御装置20を種々のインターフェースおよび製造ツールに接続するために使用することができる。
20 ポンプ制御装置
100 多段式ポンプ
105 供給段階部分
110 分注段階部分
112 圧力センサ
120 フィルタ
125 入口弁
130 隔離弁
135 遮断弁
140 パージ弁
145 排出弁
147 出口弁
150 供給ポンプ
155 供給チャンバ
160 供給段階ダイヤフラム
165 ピストン
175 充填モータ
180 分注ポンプ
185 分注チャンバ
190 分注段階ダイヤフラム
192 ピストン
200 分注モータ
Claims (20)
- ポンプ装置のチャンバ内に流体を導入することと、
該チャンバ内の圧力が所望の圧力を上回るか否かを判断することと、
該チャンバ内の圧力が所望の圧力を上回るときに、該ポンプ装置のポンプ手段を移動させることにより、該チャンバの容積を増加させて、圧力増加を補償することと、
該チャンバから流体を分注することと
を含み、
該判断および移動は、該流体の分注が開始されるまで、該所望の圧力を実質的に維持するように繰り返される、方法。 - 前記所望の圧力は、分注圧力またはその一部である、請求項1に記載の方法。
- 前記チャンバ内の圧力が前記所望の圧力を上回るか否かを判断することは、圧力センサから該チャンバ内の圧力を受信し、該圧力が該所望の圧力の許容値内であるか否かを判断することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記流体を分注することは、前記ポンプ手段の最初の位置に基づいて分注位置を判断することと、該分注が開始されるときの該ポンプ手段の位置から該分注位置へ該ポンプ手段を移動させることとをさらに含む、請求項3に記載の方法。
- 前記流体を分注することは、前記ポンプ手段の最初の位置に基づく分注距離を計算することと、該ポンプ手段が前記所望の圧力を維持するために移動する距離に基づく補正距離を計算することと、該分注距離に該補正距離を加えた距離だけ該ポンプ手段を移動させることとを含む、請求項3に記載の方法。
- 前記流体を分注することは、前記ポンプ手段の最初の位置に基づく分注距離を計算し、該分注距離だけ該ポンプ手段を移動させることを含む、請求項3に記載の方法。
- 前記ポンプ手段が移動している間は、前記圧力が前記所望の圧力を上回るか否かの判断は行われない、請求項3に記載の方法。
- 前記ポンプ手段が移動している間に、前記圧力センサを使用不能にすることをさらに含む、請求項3に記載の方法。
- 前記圧力が前記所望の圧力の許容値内であるか否かを判断する前に、前記ポンプ手段が既に動作を停止していることを検出することをさらに含む、請求項3に記載の方法。
- コンピュータ読み取り可能媒体であって、
ポンプ装置のチャンバ内へ流体を導入することと、
該チャンバ内の圧力が所望の圧力を上回るか否かを判断することであって、該所望の圧力は分注圧力またはその一部である、ことと、
該チャンバ内の圧力が所望の圧力を上回るときに、該ポンプ装置のポンプ手段を移動させることにより、該チャンバの容積を増加させて、圧力増加を補償することと、
該チャンバから流体を分注することと
に変換可能な命令を格納しており、
該判断および移動は、該流体の分注が開始されるまで、該所望の圧力を実質的に維持するように繰り返される、コンピュータ読み取り可能媒体。 - 供給チャンバと、分注のための流体を受けるように動作可能な分注チャンバと、該分注チャンバ内のポンプ手段と、該分注チャンバ内の圧力を感知するように動作可能な圧力センサとを含む、ポンプ装置と、
該圧力を受信し、該チャンバ内の圧力が所望の圧力を上回るか否かを判断し、該分注チャンバ内の該所望の圧力を実質的に維持するように該ポンプ手段の移動を調整し、流体の分注が開始されるまで、この受信、判断、調整を繰り返すように構成された制御装置と
を含み、
該制御装置は、該ポンプ手段の移動を調整することにより、該分注チャンバから流体を分注するようにさらに動作可能である、システム。 - 前記分注チャンバ内の圧力が前記所望の圧力を上回るか否かを判断することは、圧力センサから該チャンバ内の圧力を受信し、該圧力が該所望の圧力の許容値内であるか否かを判断することを含む、請求項11に記載のシステム。
- 前記流体を分注することは、前記ポンプ手段の最初の位置に基づいて分注位置を判断することと、該分注が開始されるときの該ポンプ手段の位置から該分注位置に該ポンプ手段が移動するように、該ポンプ手段の移動を調整することとをさらに含む、請求項12に記載のシステム。
- 前記流体を分注することは、前記ポンプ手段の最初の位置に基づく分注距離と、該ポンプ手段が前記基準圧力を維持するために移動する距離に基づく補正距離とを計算することと、該分注距離に該補正距離を加えた距離だけ該ポンプ手段を移動させるように、該ポンプ手段の移動を調整することとを含む、請求項12に記載のシステム。
- 前記流体を分注するステップは、前記ポンプ手段の最初の位置に基づく分注距離を計算し、前記分注距離だけ該ポンプ手段が動くように、該ポンプ手段の運動を調整することを含む、請求項12に記載のシステム。
- 前記ポンプ手段が移動している間は、前記圧力が前記所望の圧力を上回るか否かの判断は行われない、請求項12に記載のシステム。
- 前記制御装置は、前記ポンプ手段が移動している間は、前記圧力センサを使用不能にするように動作可能である、請求項12に記載のシステム。
- 前記制御装置は、前記圧力が前記所望の圧力の許容値内であるか否かを判断する前に、前記ポンプ手段が既に動作を停止していることを検出するように動作可能である、請求項12に記載のシステム。
- 前記圧力は、約30khz、約10khzまたは約1khzのサンプリングレートで受信される、請求項12に記載のシステム。
- 前記ポンプ手段は、モータインクリメント分だけ動くように調整される、請求項12に記載のシステム。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US74168205P | 2005-12-02 | 2005-12-02 | |
US60/741,682 | 2005-12-02 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008543354A Division JP5366555B2 (ja) | 2005-12-02 | 2006-11-20 | ポンプ内の圧力補償のためのシステムおよび方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012112390A true JP2012112390A (ja) | 2012-06-14 |
JP2012112390A5 JP2012112390A5 (ja) | 2013-03-28 |
JP5583708B2 JP5583708B2 (ja) | 2014-09-03 |
Family
ID=38123374
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008543354A Active JP5366555B2 (ja) | 2005-12-02 | 2006-11-20 | ポンプ内の圧力補償のためのシステムおよび方法 |
JP2012059979A Active JP5583708B2 (ja) | 2005-12-02 | 2012-03-16 | ポンプ内の圧力補償のためのシステムおよび方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008543354A Active JP5366555B2 (ja) | 2005-12-02 | 2006-11-20 | ポンプ内の圧力補償のためのシステムおよび方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
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US (3) | US8029247B2 (ja) |
JP (2) | JP5366555B2 (ja) |
KR (1) | KR101243509B1 (ja) |
CN (2) | CN101356372B (ja) |
TW (2) | TWI400389B (ja) |
WO (1) | WO2007067358A2 (ja) |
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- 2006-11-20 JP JP2008543354A patent/JP5366555B2/ja active Active
- 2006-11-20 WO PCT/US2006/045175 patent/WO2007067358A2/en active Application Filing
- 2006-11-20 US US11/602,508 patent/US8029247B2/en active Active
- 2006-11-20 CN CN2006800508012A patent/CN101356372B/zh active Active
- 2006-11-20 CN CN201210151908.3A patent/CN102705209B/zh active Active
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JP5583708B2 (ja) | 2014-09-03 |
US8870548B2 (en) | 2014-10-28 |
TWI506202B (zh) | 2015-11-01 |
CN101356372B (zh) | 2012-07-04 |
JP5366555B2 (ja) | 2013-12-11 |
US20120070311A1 (en) | 2012-03-22 |
KR20080071619A (ko) | 2008-08-04 |
US20140322032A1 (en) | 2014-10-30 |
CN102705209B (zh) | 2015-09-30 |
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Legal Events
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