JP6685754B2 - ポンプ装置および基板処理装置 - Google Patents
ポンプ装置および基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6685754B2 JP6685754B2 JP2016026852A JP2016026852A JP6685754B2 JP 6685754 B2 JP6685754 B2 JP 6685754B2 JP 2016026852 A JP2016026852 A JP 2016026852A JP 2016026852 A JP2016026852 A JP 2016026852A JP 6685754 B2 JP6685754 B2 JP 6685754B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- processing liquid
- downstream
- upstream
- outlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 57
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 187
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 114
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 4
- 239000004813 Perfluoroalkoxy alkane Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229920011301 perfluoro alkoxyl alkane Polymers 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02299—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment
- H01L21/02307—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment treatment by exposure to a liquid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/40—Filters located upstream of the spraying outlets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B9/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour
- B05B9/03—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour characterised by means for supplying liquid or other fluent material
- B05B9/04—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour characterised by means for supplying liquid or other fluent material with pressurised or compressible container; with pump
- B05B9/0403—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour characterised by means for supplying liquid or other fluent material with pressurised or compressible container; with pump with pumps for liquids or other fluent material
- B05B9/0413—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent material, without essentially mixing with gas or vapour characterised by means for supplying liquid or other fluent material with pressurised or compressible container; with pump with pumps for liquids or other fluent material with reciprocating pumps, e.g. membrane pump, piston pump, bellow pump
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B17/00—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors
- F04B17/03—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors driven by electric motors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
- F04B53/06—Venting
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
- F04B53/20—Filtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02343—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to a liquid
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Details Of Reciprocating Pumps (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
すなわち、本発明に係る、処理液を送るポンプ装置は、処理液を流通させる処理液流路に介在して設けられたフィルタと、前記フィルタの上流であって前記処理液流路に介在して設けられた上流ポンプと、前記フィルタの下流であって前記処理液流路に介在して設けられた下流ポンプと、を備え、前記下流ポンプの入口は、前記上流ポンプの出口よりも高い位置に配置されていると共に、前記フィルタの出口よりも高い位置に配置されており、前記下流ポンプと、前記上流ポンプまたはこれよりも前段との間には、前記下流ポンプの戻り出口から前記上流ポンプまたはこれよりも前段に処理液を戻すための戻り流路が接続されており、前記戻り出口は、前記下流ポンプの供給出口よりも高い位置に配置されていることを特徴とするものである。
また、下流ポンプの戻り出口から気泡を上流ポンプまたはこれよりも前段に戻すことができる。すなわち、上流ポンプ、フィルタおよび下流ポンプの間で処理液を循環させることができる。そのため、下流ポンプに送られた気泡を含む処理液を上流ポンプに戻し、再度フィルタに処理液を通過させて、気泡を取り除くことができる。
本発明に係るポンプ装置によれば、上流ポンプ、フィルタ、下流ポンプは、その順番で処理液流路に介在して設けられている。下流ポンプの入口は、上流ポンプの出口よりも高い位置に配置されていると共に、フィルタの出口よりも高い位置に配置されている。すなわち、下流ポンプは、上流ポンプおよびフィルタよりも高い位置に配置されている。そのため、下から上に向けて処理液を流すことができる。仮に処理液中に気泡が発生しても、その気泡は浮力によって処理液流路内を下から上に向かって移動して下流側に集めることができるので、処理液流路内から気泡を抜きやすくできる。
また、処理液に含まれる気泡が上端付近に上昇するので、ポンプ内流路の上端よりも低い位置に配置される供給出口から気泡が流れ出ることを防止できる。
図1を参照する。基板処理装置1は、ノズル2と保持回転部3とを備えている。ノズル2は、基板Wに対して処理液を吐出するものである。処理液は、例えば、フォトレジスト液、反射防止膜形成用の薬液、現像液、溶剤や純水(DIW)などのリンス液が用いられる。保持回転部3は、基板Wを略水平姿勢で保持して回転させるものである。
次に、図2を参照して、ポンプ装置13について説明する。図2は、ポンプ装置13の高さ関係を示す図である。矢印ARは、上下方向を示している。ポンプ装置13は、フィルタ23、上流ポンプ(フィルポンプとも呼ばれる)25、および下流ポンプ(ディスペンスポンプとも呼ばれる)27を備えている。ポンプ装置13は、下から上に処理液を流すように構成されている。
次に、基板処理装置1の動作について説明する。図1において、図示しない基板搬送機構は、保持回転部3上に基板Wを搬送する。保持回転部3は、基板Wの裏面を吸着して保持する。そして、図示しないノズル搬送機構は、基板W外の待機位置から基板W上方の所定の吐出位置にノズル2を移動させる。
2 … ノズル
11 … トラップタンク
13 … ポンプ装置
17a〜17d … 処理液流路
19 … 制御部
23 … フィルタ
23b … 入口
23c … 出口
23d … ベント部
25 … 上流ポンプ
25b … 上流ポンプ内流路
25g … 入口
25h … 戻り入口
25j … 出口
27 … 下流ポンプ
27b … 上流ポンプ内流路
27g … 入口
27j … 供給出口
27k … 戻り出口
29 … 排出流路
31 … 戻り流路
UP … 上端(上面)
Claims (8)
- 処理液を送るポンプ装置において、
処理液を流通させる処理液流路に介在して設けられたフィルタと、
前記フィルタの上流であって前記処理液流路に介在して設けられた上流ポンプと、
前記フィルタの下流であって前記処理液流路に介在して設けられた下流ポンプと、を備え、
前記下流ポンプの入口は、前記上流ポンプの出口よりも高い位置に配置されていると共に、前記フィルタの出口よりも高い位置に配置されており、
前記下流ポンプと、前記上流ポンプまたはこれよりも前段との間には、前記下流ポンプの戻り出口から前記上流ポンプまたはこれよりも前段に処理液を戻すための戻り流路が接続されており、
前記戻り出口は、前記下流ポンプの供給出口よりも高い位置に配置されていることを特徴とするポンプ装置。 - 請求項1に記載のポンプ装置において、
前記処理液流路は、前記フィルタの出口から水平方向および上方向の少なくともいずれかの方向に延びるが、下方向に延びることなく前記下流ポンプの入口に接続されていることを特徴とするポンプ装置。 - 処理液を送るポンプ装置において、
処理液を流通させる処理液流路に介在して設けられたフィルタと、
前記フィルタの上流であって前記処理液流路に介在して設けられた上流ポンプと、
前記フィルタの下流であって前記処理液流路に介在して設けられた下流ポンプと、を備え、
前記下流ポンプの入口は、前記上流ポンプの出口よりも高い位置に配置されていると共に、前記フィルタの出口よりも高い位置に配置されており、
前記下流ポンプは、前記処理液流路が接続される供給出口を有しており、
前記供給出口は、前記下流ポンプのポンプ内流路の上端よりも低い位置に配置されていることを特徴とするポンプ装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載のポンプ装置において、
前記フィルタは、気泡を排出するベント部を備えていることを特徴とするポンプ装置。 - 請求項1に記載のポンプ装置において、
前記戻り出口は、更に、前記下流ポンプのポンプ内流路の上端と接する高さに配置されていることを特徴とするポンプ装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載のポンプ装置において、
前記上流ポンプの出口は、前記上流ポンプの入口よりも高い位置に配置されていることを特徴とするポンプ装置。 - 請求項1から6のいずれかに記載のポンプ装置において、
前記フィルタの入口は、前記上流ポンプの出口よりも高い位置に配置されていることを特徴とするポンプ装置。 - 基板を処理する基板処理装置において、
前記基板に対して処理液を吐出するノズルと、
請求項1から7のいずれかに記載のポンプ装置であって、前記ノズルに処理液を送る前記ポンプ装置と、を備えていることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016026852A JP6685754B2 (ja) | 2016-02-16 | 2016-02-16 | ポンプ装置および基板処理装置 |
KR1020160183202A KR101991159B1 (ko) | 2016-02-16 | 2016-12-30 | 펌프 장치 및 기판 처리 장치 |
US15/429,610 US10507484B2 (en) | 2016-02-16 | 2017-02-10 | Pump apparatus and substrate treating apparatus |
TW106104616A TWI675398B (zh) | 2016-02-16 | 2017-02-13 | 泵裝置及基板處理裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016026852A JP6685754B2 (ja) | 2016-02-16 | 2016-02-16 | ポンプ装置および基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017144372A JP2017144372A (ja) | 2017-08-24 |
JP6685754B2 true JP6685754B2 (ja) | 2020-04-22 |
Family
ID=59559523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016026852A Active JP6685754B2 (ja) | 2016-02-16 | 2016-02-16 | ポンプ装置および基板処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10507484B2 (ja) |
JP (1) | JP6685754B2 (ja) |
KR (1) | KR101991159B1 (ja) |
TW (1) | TWI675398B (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6920133B2 (ja) * | 2017-08-23 | 2021-08-18 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液供給装置 |
JP6966260B2 (ja) * | 2017-08-30 | 2021-11-10 | 株式会社Screenホールディングス | ポンプ装置、処理液供給装置および基板処理装置 |
JP6966265B2 (ja) * | 2017-08-31 | 2021-11-10 | 株式会社Screenホールディングス | ポンプ装置、処理液供給装置、基板処理装置、液抜き方法および液置換方法 |
CN107574423A (zh) * | 2017-09-11 | 2018-01-12 | 德淮半导体有限公司 | 可结晶液体雾化装置及方法 |
CN110875212B (zh) * | 2018-08-31 | 2022-07-01 | 辛耘企业股份有限公司 | 基板处理装置 |
TWI702675B (zh) * | 2018-08-31 | 2020-08-21 | 辛耘企業股份有限公司 | 基板處理裝置 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5167837A (en) | 1989-03-28 | 1992-12-01 | Fas-Technologies, Inc. | Filtering and dispensing system with independently activated pumps in series |
JPH06267837A (ja) * | 1993-03-16 | 1994-09-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 処理液塗布装置及びその方法 |
US6171367B1 (en) * | 1997-06-05 | 2001-01-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Method and apparatus for delivering and recycling a bubble-free liquid chemical |
JP2003181364A (ja) | 2001-12-21 | 2003-07-02 | Tokyo Electron Ltd | 塗布処理装置 |
JP3890229B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2007-03-07 | 株式会社コガネイ | 薬液供給装置および薬液供給装置の脱気方法 |
CN1265246C (zh) * | 2003-07-11 | 2006-07-19 | 友达光电股份有限公司 | 一种光刻胶涂敷装置 |
JP4511868B2 (ja) | 2004-04-26 | 2010-07-28 | 株式会社コガネイ | 可撓性タンクとこれを用いた薬液供給装置 |
KR101231945B1 (ko) | 2004-11-23 | 2013-02-08 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 가변 홈 위치 토출 장치용 시스템 및 방법 |
KR101243509B1 (ko) | 2005-12-02 | 2013-03-20 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 펌프에서의 압력 보상을 위한 시스템 및 방법 |
US20080169230A1 (en) * | 2007-01-12 | 2008-07-17 | Toshiba America Electronic Components, Inc. | Pumping and Dispensing System for Coating Semiconductor Wafers |
CN103943539B (zh) | 2009-02-25 | 2017-09-19 | 芝浦机械电子株式会社 | 基板的处理装置以及处理方法 |
JP5038378B2 (ja) | 2009-11-11 | 2012-10-03 | 株式会社コガネイ | 薬液供給装置および薬液供給方法 |
JP5451515B2 (ja) * | 2010-05-06 | 2014-03-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 薬液供給システム、これを備える基板処理装置、およびこの基板処理装置を備える塗布現像システム |
US10399018B2 (en) | 2013-08-16 | 2019-09-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Liquid supply system and method |
WO2015037678A1 (ja) | 2013-09-12 | 2015-03-19 | Hattori Mitsuharu | 相溶性透明含水油の製造方法及び相溶性透明含水油製造装置 |
JP6020405B2 (ja) | 2013-10-02 | 2016-11-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理液供給装置及び処理液供給方法 |
JP5967045B2 (ja) * | 2013-10-02 | 2016-08-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理液供給装置及び処理液供給方法 |
JP3189821U (ja) | 2014-01-20 | 2014-04-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理液供給配管回路 |
JP3191304U (ja) | 2014-02-19 | 2014-06-19 | 株式会社クラレ | 遠心分離機 |
KR20180033594A (ko) | 2014-03-10 | 2018-04-03 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 시스템 및 배관 세정 방법 |
-
2016
- 2016-02-16 JP JP2016026852A patent/JP6685754B2/ja active Active
- 2016-12-30 KR KR1020160183202A patent/KR101991159B1/ko active IP Right Grant
-
2017
- 2017-02-10 US US15/429,610 patent/US10507484B2/en active Active
- 2017-02-13 TW TW106104616A patent/TWI675398B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20170096578A (ko) | 2017-08-24 |
TW201735112A (zh) | 2017-10-01 |
JP2017144372A (ja) | 2017-08-24 |
US20170232460A1 (en) | 2017-08-17 |
US10507484B2 (en) | 2019-12-17 |
TWI675398B (zh) | 2019-10-21 |
KR101991159B1 (ko) | 2019-06-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6685754B2 (ja) | ポンプ装置および基板処理装置 | |
TWI601576B (zh) | A process liquid supply device, a process liquid supply method, and a storage medium | |
JP6512894B2 (ja) | 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法 | |
US10121685B2 (en) | Treatment solution supply method, non-transitory computer-readable storage medium, and treatment solution supply apparatus | |
JP2011101851A (ja) | 薬液供給装置および薬液供給方法 | |
US9649577B2 (en) | Bubble removing method, bubble removing apparatus, degassing apparatus, and computer-readable recording medium | |
JP2006528835A (ja) | マイクロリソグラフィ投影露光装置および浸漬液体を浸漬空間へ導入する方法 | |
JP5018255B2 (ja) | 薬液供給システム及び薬液供給方法並びに記憶媒体 | |
KR102408661B1 (ko) | 처리액 공급 장치 | |
JP7175122B2 (ja) | 基板処理装置、および基板処理方法 | |
KR102426267B1 (ko) | 펌프, 펌프 장치 및 액 공급 시스템 | |
JP5524154B2 (ja) | 液処理装置及び液処理方法 | |
KR20190029426A (ko) | 처리액 공급 장치 | |
KR102098450B1 (ko) | 펌프 장치 및 기판 처리 장치 | |
JP6685759B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP6576217B2 (ja) | 処理液供給装置および処理液供給装置の制御方法 | |
JP6159651B2 (ja) | フィルタ洗浄方法、液処理装置及び記憶媒体 | |
JP6425669B2 (ja) | 処理液供給方法、読み取り可能なコンピュータ記憶媒体及び処理液供給装置 | |
US11000783B2 (en) | Pumping apparatus, treatment solution supplying device, and substrate treating apparatus | |
US20190063415A1 (en) | Pumping apparatus, treatment solution supplying device, substrate treating apparatus, liquid draining method, and liquid replacing method | |
JP6576770B2 (ja) | 基板処理装置におけるフィルタ交換方法 | |
JP2008193094A (ja) | 液体シーリングユニット及びそれを有するイマージョンフォトリソグラフィ装置 | |
US20230131562A1 (en) | Liquid supply unit, substrate treating apparatus, and bottle replacing method | |
JP7202817B2 (ja) | 送液システム | |
KR20230084041A (ko) | 처리액 공급 장치 및 처리액 배출 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191001 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190927 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200310 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200401 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6685754 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |