JP6966265B2 - ポンプ装置、処理液供給装置、基板処理装置、液抜き方法および液置換方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体基板、液晶表示器用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板に処理液を供給するポンプ装置、処理液供給装置、基板処理装置、液抜き方法および液置換方法に関する。

基板処理装置は、基板を水平姿勢で保持し、保持された基板を回転させる保持回転部と、保持回転部で保持された基板上に処理液を吐出するためのノズルと、ノズルに処理液を送るポンプ装置とを備えている。

ポンプ装置は、処理液を収容する貯留部を有するチャンバと、貯留部の容積を変化させるために可動部材を変位させる駆動機構とを備えている（例えば、特許文献１参照）。チャンバの下部には、入口が設けられ、チャンバの上部には、出口が設けられている。すなわち、チャンバ下部の入口から処理液を流入させ、チャンバ上部の出口から流出させている。これは、処理液中に混入する気泡（エア）をチャンバ上部に集め、処理液を送る際に確実に気泡を抜くためである。

また、特許文献２には、第１段階ポンプ、フィルタ、および第２段階ポンプを備えた多段式ポンプが開示されている。第１段階ポンプは、フィルタを通じて、第２段階ポンプに液体を送るように構成されている。また、第２段階ポンプは、液体を排出するためのパージ弁を備えており、パージ弁を通して排出された液体は、第１段階ポンプに戻される。

特開２００９−０４９２２８号公報 特開２０１３−１００８２５号公報

しかしながら、従来装置は、次のような問題がある。ポンプ装置のチャンバ内から処理液などの液体を抜きたい場合がある。例えば、ポンプ装置、処理液供給装置および基板処理装置を出荷する場合に、チャンバ内を洗浄した後、チャンバ内の液体を抜いている。このチャンバ内から液体を抜く作業は、液体が抜けにくく、時間が掛かる。例えば、上述のチャンバ下部の入口から気体を流入させ、チャンバ上部の出口から液体を流出させるとする。この場合、液体よりも気体の方が、チャンバ上部の出口に速く到着してチャンバ上部に空間ができてしまうので、チャンバ内から液体がうまく抜けない。なお、チャンバ内に液体（例えばフォトレジスト液）が残ると汚染物質となってしまう。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、チャンバ内の液体を容易に抜くことができるポンプ装置、処理液供給装置、基板処理装置、液抜き方法および液置換方法を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわち、本発明に係るポンプ装置は、液体を収容する内部空間である貯留部と、前記貯留部に接するローリングダイアフラムとを備え、前記ローリングダイアフラムが変位することにより前記貯留部の容積が変化するチャンバであって、前記貯留部を有するチャンバ本体と、前記ローリングダイアフラムの中央に位置する肉厚部を収容する凹部を有するガイド部を備え、前記ローリングダイアフラムを介在させて、前記チャンバ本体と前記ガイド部とを突き合わせることにより形成されている前記チャンバと、前記ローリングダイアフラムを変位させる駆動部とを備え、前記チャンバは、前記貯留部に連通する少なくとも３つの開口、即ち、第１開口、第２開口、第３開口が形成されており、前記第２開口は、前記第１開口よりも高い位置にあり、前記第３開口は、前記３つの開口の中で最も低い位置にあり、前記３つの開口の中で任意の２つの開口は、前記ローリングダイアフラムの変位に連動させて液体の流通が制御されることにより、前記貯留部内への液体の吸引と前記貯留部からの液体の送り出しである通常の液送りに用いられ、前記チャンバの前記貯留部は、鉛直面と、前記鉛直面よりも大径の円とを結ぶ傾斜面を有する円錐台状に形成され、前記第３開口は、前記貯留部の底部でかつ、前記傾斜面の下部傾斜面に設けられ、前記ローリングダイアフラムの外縁部は、前記円側の前記チャンバ本体の突き合わせ面と前記ガイド部の突き合わせ面で挟まれるように固定され、前記凹部の内周面は、前記貯留部の前記円よりも小径となるように構成され、前記第３開口は、他の２つの開口の中で少なくともいずれか１つの開口から前記貯留部内に気体が導入されることにより、前記貯留部内の液体を排出するために用いられることを特徴とするものである。

本発明に係るポンプ装置によれば、チャンバには、貯留部に連通する少なくとも３つの開口である第１開口、第２開口、第３開口が形成されている。第２開口は、第１開口よりも高い位置にある。第３開口は、他の２つの開口の中で少なくともいずれか１つの開口から貯留部内に気体が導入されることにより、貯留部内の液体を排出するために用いられる。第３開口は、３つの開口の中で最も低い位置にあるので、貯留部に収容される液体を容易に抜くことができる。
また、第３開口が貯留部の底部に設けられているので、貯留部に収容される液体をより容易に抜くことができる。

また、上述のポンプ装置の一例は、前記第１開口と第３開口が同じ高さ位置に設けられていることである。これにより、例えば、第１開口と第３開口の各々に接続されている配管を逆に接続することができる。すなわち、第３開口から貯留部内に気体を導入し、貯留部内の処理液を第１開口から排出することもできる。これにより、配管の接続をシンプルにできる。

また、上述のポンプ装置において、前記第１開口と前記第３開口は、前記ローリングダイアフラムの変位に連動させて流体の流通が制御されることにより、前記第１開口を介して前記貯留部内に液体を吸引し、前記第３開口を介して前記貯留部内の液体を送り出す通常の液送りに用いられ、更に、前記第３開口は、前記第１開口を介して前記貯留部内に気体を導入することにより、前記第３開口を介して前記貯留部内の液体を排出するために用いられることが好ましい。これにより、液体を吸引する第１開口は、第２開口５５Ｂよりも低い位置にあり、液体を送り出す第３開口は、３つの開口（第１開口、第２開口および第３開口）の中で最も低い位置にある。そのため、通常の液送りの際に、第２開口付近に気泡が集まるので、第３開口を通じて貯留部から気泡を送り出すことを防止できる。

また、上述のポンプ装置において、前記第２開口は、前記貯留部内の上部に集まった気泡を、前記第２開口を介して排出するために用いられることが好ましい。通常の液送りの際に、第２開口５５Ｂよりも低い位置にある第１開口から液体を吸引し、３つの開口の中で最も低い位置にある第３開口から液体を送り出す。この場合、第２開口付近に集まった気泡を第２開口から排出できる。

また、本発明に係るポンプ装置は、液体を収容する内部空間である貯留部と、前記貯留部に接する可動部材とを備え、前記可動部材が変位することにより前記貯留部の容積が変化するチャンバと、前記可動部材を変位させる駆動部とを備え、前記チャンバは、前記貯留部に連通する少なくとも３つの開口、即ち、第１開口、第２開口、第３開口が形成されており、前記第２開口は、前記第１開口よりも高い位置にあり、前記第３開口は、前記３つの開口の中で最も低い位置にあり、前記３つの開口の中で前記第１開口と前記第２開口は、前記可動部材の変位に連動させて液体の流通が制御されることにより、前記第１開口を介して前記貯留部内に液体を吸引し、前記第２開口を介して前記貯留部内の液体を送り出す通常の液送りに用いられ、前記第３開口は、前記第１開口を介して前記貯留部内に気体を導入することにより、前記第３開口を介して前記貯留部内の液体を排出するために用いられることを特徴とするものである。
本発明に係るポンプ装置によれば、チャンバには、貯留部に連通する少なくとも３つの開口である第１開口、第２開口、第３開口が形成されている。第２開口は、第１開口よりも高い位置にある。第３開口は、第１開口から貯留部内に気体が導入されることにより、貯留部内の液体を排出するために用いられる。第３開口は、３つの開口の中で最も低い位置にあるので、貯留部に収容される液体を容易に抜くことができる。
また、液体を送り出す第２開口は、液体を吸引する第１開口よりも高い位置にある。そのため、通常の液送りの際に、第２開口を通じて貯留部から気泡を除くことができる。
また、上述のポンプ装置において、前記可動部材は、前記貯留部に接するように設けられたダイアフラムであり、前記駆動部は、前記ダイアフラムを変位させる駆動部であることが好ましい。可動部材がダイアフラムである場合において、貯留部に収容される液体をより容易に抜くことができる。

また、上述のポンプ装置において、前記可動部材は、前記貯留部を取り囲むように設けられた弾性を有するチューブ部材であり、前記駆動部は、前記チューブ部材の胴部が変位することにより前記貯留部の容積を変化させる駆動部であることが好ましい。可動部材がチューブ部材である場合において、貯留部に収容される液体をより容易に抜くことができる。

また、本発明に係る処理液供給装置は、上述のポンプ装置と、前記ポンプ装置の前記第１開口に接続する流路に設けられ、液体である処理液をろ過するフィルタとを備えたことを特徴とするものである。

本発明に係る処理液供給装置によれば、チャンバには、貯留部に連通する少なくとも３つの開口である第１開口、第２開口、第３開口が形成されている。第２開口は、第１開口よりも高い位置にある。第３開口は、他の２つの開口の中で少なくともいずれか１つの開口から貯留部内に気体が導入されることにより、貯留部内の液体を排出するために用いられる。第３開口は、３つの開口の中で最も低い位置にあるので、貯留部に収容される液体を容易に抜くことができる。

また、本発明に係る基板処理装置は、上述のポンプ装置と、前記ポンプ装置の前記第１開口に接続する流路に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、前記ポンプ装置の前記第２開口または前記第３開口に接続する流路の末端に設けられたノズルとを備えたことを特徴とするものである。

本発明に係る基板処理装置によれば、チャンバには、貯留部に連通する少なくとも３つの開口である第１開口、第２開口、第３開口が形成されている。第２開口は、第１開口よりも高い位置にある。第３開口は、他の２つの開口の中で少なくともいずれか１つの開口から貯留部内に気体が導入されることにより、貯留部内の液体を排出するために用いられる。第３開口は、３つの開口の中で最も低い位置にあるので、貯留部に収容される液体を容易に抜くことができる。

また、本発明に係る処理液供給装置は、処理液をろ過するフィルタと、前記フィルタの上流側に設けられて前記フィルタに処理液を送り込む第１のポンプ装置と、前記フィルタの下流側に設けられて前記フィルタでろ過された処理液を取り込んで送り出す第２のポンプ装置と、前記第１および第２のポンプ装置の駆動制御および処理液の流通制御を行う制御部とを備えた処理液供給装置であって、前記第１のポンプ装置と前記第２のポンプ装置は、それぞれが、液体を収容する内部空間である貯留部と、前記貯留部に接する可動部材とを備え、前記可動部材が変位することにより前記貯留部の容積が変化するチャンバと、前記可動部材を変位させる駆動部とを備え、前記チャンバは、前記貯留部に連通する少なくとも３つの開口、即ち、第１開口、第２開口、第３開口が形成されており、前記第２開口は、前記第１開口よりも高い位置にあり、前記第３開口は、前記３つの開口の中で最も低い位置にあり、そして、前記第１のポンプ装置の第１開口は、第１開閉弁が設けられた第１流路が接続されており、前記第１のポンプ装置の第２開口は、第２開閉弁が設けられた第２流路によって前記フィルタの流入口に接続されており、前記フィルタの流出口は、第３開閉弁が設けられた第３流路によって前記第２のポンプ装置の第１開口に接続されおり、前記第２のポンプ装置の第２開口は、第４開閉弁が設けられた第４流路によって前記第１のポンプ装置の第３開口に接続されており、前記第２のポンプ装置の第３開口は、第５開閉弁が設けられた第５流路が接続されており、前記制御部は、処理液を供給する通常の液送り動作の場合に、前記第１および第２のポンプ装置の前記可動部材の変位に連動させて前記第１から第５開閉弁を開閉制御することにより、前記第１のポンプ装置は、前記第１流路と前記第１のポンプ装置の第１開口を経て処理液を吸引し、さらに、前記第１のポンプ装置の第２開口と前記第２流路を経て処理液を前記フィルタに送り、そして、前記第２のポンプ装置は、前記フィルタでろ過された処理液を前記第３流路と前記第２のポンプ装置の第１開口を経て吸引し、さらに、吸引した処理液の一部を前記第２のポンプ装置の第２開口と前記第４流路を経て前記第１のポンプ装置の前記第３開口に戻すと共に、吸引した処理液の残部を前記第２のポンプ装置の第３開口と前記第５流路を経て送り出し、さらに、前記制御部は、前記第１および第２のポンプ装置から液体を排出する場合は、前記第１開閉弁、前記第２開閉弁、前記第３開閉弁、前記第４開閉弁、前記第５開閉弁を操作して、気体を前記第１流路と前記第１のポンプ装置の第１開口を経て前記第１のポンプ装置の貯留部に送り込むことにより、前記第１のポンプ装置の貯留部内の液体を前記第１のポンプ装置の第３開口と前記第４流路を経て前記第２のポンプ装置へ排出し、さらに、前記第１のポンプ装置から前記第４流路を経て送られてきた気体を前記第２のポンプ装置の貯留部に送り込み、そして、前記第２のポンプ装置の貯留部内の液体を前記第２のポンプ装置の第３開口と前記第５流路を経て排出することを特徴とするものである。

本発明に係る処理液供給装置によれば、通常の液送りでは、処理液は、第４流路を通じて、第２のポンプ装置の第２開口から第１のポンプ装置の第３開口に送られる。本発明の液抜き動作では、通常の液送りに対して、液体を逆に流す。すなわち、液抜きの際に、処理液は、第４流路を通じて、第１のポンプ装置の第３開口から第２のポンプ装置の第２開口に送られる。第１のポンプ装置の第３開口は、３つの開口の中で最も低い位置にあるので、第１のポンプ装置の貯留部に収容される液体を容易に抜くことができる。同様に、第２のポンプ装置の第３開口は、３つの開口の中で最も低い位置にあるので、貯留部に収容される液体を容易に抜くことができる。更に、第１のポンプ装置の第３開口と第２のポンプ装置の第２開口との間の第４経路内の液体を抜くことができる。

また、上述の処理液供給装置において、前記制御部は、前記第１および第２のポンプ装置から処理液を排出する前、または排出した後に、前記第１開閉弁、前記第２開閉弁、前記第３開閉弁、前記第４開閉弁、前記第５開閉弁を操作して、気体を前記第１流路と前記第１のポンプ装置の第１開口を経て前記第１のポンプ装置の貯留部に送り込み、さらに、前記第１のポンプ装置の第２開口から前記第２流路を経て前記フィルタへ送り、前記フィルタから前記第３流路と前記第２のポンプ装置の第１開口を経て前記第２のポンプ装置の貯留部に送り込み、そして、前記第２のポンプ装置の貯留部内の液体を前記第２のポンプ装置の第３開口と前記第５流路を経て排出することが好ましい。

第２のポンプ装置の第３開口は、３つの開口の中で最も低い位置にあるので、貯留部に収容される液体を容易に抜くことができる。更に、第１のポンプ装置の第２開口と第２のポンプ装置の第１開口との間の第２経路および第３経路内の液体を抜くことができる。したがって、第１のポンプ装置の貯留部、第２のポンプ装置の貯留部、第２流路、第３流路、第４流路の液体を少なくとも抜くことができる。

また、本発明に係る基板処理装置は、上述の第１のポンプ装置および第２のポンプ装置を有する処理液供給装置と、前記第２のポンプ装置の第３開口に接続する前記第５流路の末端に設けられたノズルと、を備えたことを特徴とするものである。

本発明に係る、第５流路の末端に設けられたノズルを備える基板処理装置によれば、通常の液送りでは、処理液は、第４流路を通じて、第２のポンプ装置の第２開口から第１のポンプ装置の第３開口に送られる。本発明の液抜き動作では、通常の液送りに対して、液体を逆に流す。すなわち、液抜きの際に、処理液は、第４流路を通じて、第１のポンプ装置の第３開口から第２のポンプ装置の第２開口に送られる。第１のポンプ装置の第３開口は、３つの開口の中で最も低い位置にあるので、第１のポンプ装置の貯留部に収容される液体を容易に抜くことができる。同様に、第２のポンプ装置の第３開口は、３つの開口の中で最も低い位置にあるので、貯留部に収容される液体を容易に抜くことができる。更に、第１のポンプ装置の第３開口と第２のポンプ装置の第２開口との間の第４経路内の液体を抜くことができる。

また、本発明に係る液抜き方法は、液体を収容する内部空間である貯留部と、前記貯留部に接する可動部材とを備え、前記可動部材が変位することにより前記貯留部の容積が変化するチャンバと、前記可動部材を変位させる駆動部とを備えた処理液供給装置の液抜き方法において、前記可動部材の変位に連動させて液体の流通を制御することにより、前記チャンバに形成された前記貯留部に連通する少なくとも３つの開口、即ち、第１開口、前記第１開口よりも高い位置にある第２開口、前記３つの開口の中で最も低い位置にある第３開口、の中で前記第１開口と前記第２開口を用いて、前記第１開口を介して前記貯留部内に液体を吸引し、前記第２開口を介して前記貯留部内の液体を送り出す通常の液送り工程と、前記第１開口を介して前記貯留部内に気体が導入されることにより、前記第３開口を介して前記貯留部内の液体を排出する液体排出工程と、を備えていることを特徴とするものである。

本発明に係る液抜き方法によれば、チャンバには、貯留部に連通する少なくとも３つの開口である第１開口、第２開口、第３開口が形成されている。第２開口は、第１開口よりも高い位置にある。第３開口は、第１開口から貯留部内に気体が導入されることにより、貯留部内の液体を排出するために用いられる。第３開口は、３つの開口の中で最も低い位置にあるので、貯留部に収容される液体を容易に抜くことができる。
また、液体を送り出す第２開口は、液体を吸引する第１開口よりも高い位置にある。そのため、通常の液送りの際に、第２開口を通じて貯留部から気泡を除くことができる。

また、本発明に係る液置換方法は、液体を収容する内部空間である貯留部と、前記貯留部に接する可動部材とを備え、前記可動部材が変位することにより前記貯留部の容積が変化するチャンバと、前記可動部材を変位させる駆動部とを備えた処理液供給装置の液置換方法において、前記可動部材の変位に連動させて液体の流通を制御することにより、前記チャンバに形成された前記貯留部に連通する少なくとも３つの開口、即ち、第１開口、前記第１開口よりも高い位置にある第２開口、前記３つの開口の中で最も低い位置にある第３開口、の中で前記第１開口と前記第２開口を用いて、前記第１開口を介して前記貯留部内に液体を吸引し、前記第２開口を介して前記貯留部内の液体を送り出す通常の液送り工程と、前記第１開口を介して前記貯留部内に気体が導入されることにより、前記第３開口を介して前記貯留部内の液体を排出する液体排出工程と、前記３つの開口の中で任意の１つの開口から前記貯留部に前記液体と異なる第２液体を投入する第２液体投入工程と、を備えていることを特徴とするものである。

本発明に係る液置換方法によれば、チャンバには、貯留部に連通する少なくとも３つの開口である第１開口、第２開口、第３開口が形成されている。第２開口は、第１開口よりも高い位置にある。第３開口は、第１開口から貯留部内に気体が導入されることにより、貯留部内の液体を排出するために用いられる。第３開口は、３つの開口の中で最も低い位置にあるので、貯留部に収容される液体を容易に抜くことができる。これにより、元の液体から第２液体に容易に置き換えることができる。
また、液体を送り出す第２開口は、液体を吸引する第１開口よりも高い位置にある。そのため、通常の液送りの際に、第２開口を通じて貯留部から気泡を除くことができる。

また、上述の液置換方法において、前記第２液体の一例は、洗浄液である。これにより、貯留部内を洗浄することができる。

本発明に係るポンプ装置、処理液供給装置、基板処理装置、液抜き方法および液置換方法によれば、チャンバ内の液体を容易に抜くことができる。

実施例１に係る基板処理装置の概略構成図である。 ポンプ本体の縦断面図である。 ダイアフラム側から見たチャンバ本体を示す斜視図である。 （ａ）、（ｂ）は、ポンプ装置の動作を説明するための図である。 ポンプ装置の動作を説明するための図である。 実施例２に係る処理液供給装置の構成を示す図である。 （ａ）は、図６のダイアフラム側から見た第２チャンバ本体を示す斜視図であり、（ｂ）は、図６のダイアフラム側から見た第１チャンバ本体を示す斜視図である。 （ａ）〜（ｅ）は、処理液供給装置の動作を説明するための図である。 第１チャンバ本体および戻り配管の液抜き動作を説明するための図である。 送り流路および第２チャンバ本体の液抜き動作を説明するための図である。 （ａ）、（ｂ）は、ポンプ装置の変形例を示す図である。 ポンプ装置の変形例を示す図である。 フォトレジスト液Ａからフォトレジスト液Ｂへの置き換えを説明するフローチャートである。

以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、実施例１に係る基板処理装置の概略構成図である。

＜基板処理装置１の構成＞
図１を参照する。基板処理装置１は、ノズル２と保持回転部３とを備えている。ノズル２は、基板Ｗに対して処理液を吐出するものである。処理液は、例えば、フォトレジスト液（以下適宜、「レジスト液」と呼ぶ）、反射防止膜形成用の薬液、現像液、溶剤や純水（ＤＩＷ）などのリンス液が用いられる。保持回転部３は、基板Ｗを略水平姿勢で保持して回転させるものである。

保持回転部３は、スピンチャック４と回転駆動部５とを備えている。スピンチャック４は、回転軸ＡＸ周りに回転可能に基板Ｗを保持する。スピンチャック４は、例えば、基板Ｗの裏面を真空吸着する。回転駆動部５は、スピンチャック４を回転軸ＡＸ周りに回転させる駆動を行う。回転駆動部５は、電動モータ等で構成されている。

基板処理装置１は、更に、液体気体供給部７（気体供給部ともいう）、配管９Ａ，９Ｂ、および処理液供給装置１１を備えている。また、液体気体供給部７は、処理液容器１５、気体供給源１７、気体配管１９、および開閉弁Ｖ１を備えている。なお、処理液は、本発明の液体に相当する。

処理液容器（例えばボトル）１５は、処理液を収容するものである。処理液容器１５には、配管９Ａが接続されている。気体供給源１７は、例えば工場に設置される気体供給配管、あるいは気体を収容する容器が挙げられる。気体は、例えば、窒素ガスなどの不活性ガスや、空気が用いられる。気体配管１９は、気体供給源１７と処理液容器１５と接続する。気体配管１９には、開閉弁Ｖ１が設けられている。開閉弁Ｖ１は、気体供給源１７から処理液容器１５への気体の供給および気体の供給停止を行う。気体配管１９を通じて処理液容器１５内に気体が送られると、送られた気体は、処理液容器１５内の処理液を、配管９Ａを通じて押し出す。押し出された処理液は、配管９Ａを通じて処理液供給装置１１に送られる。

また、基板処理装置１は、制御部２１と操作部２２とを備えている。制御部２１は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）を備えている。制御部２１は、処理液供給装置１１を含む基板処理装置１の各構成を制御する。したがって、制御部２１は、本発明に係るポンプ装置の制御部に相当する。操作部２２は、表示部、記憶部および入力部を備えている。表示部は、液晶モニタなどで構成されている。記憶部は、ＲＯＭ（Read-only Memory）、ＲＡＭ（Random-Access Memory）、およびハードディスクのいずれかを少なくとも備えている。入力部は、キーボード、マウス、および各種ボタンの少なくともいずれかを備えている。記憶部には、基板処理の各種条件等や動作プログラムが記憶されている。

＜処理液供給装置１１の構成＞
処理液供給装置１１は、処理液を濾過するフィルタ２３と、ポンプ装置（第１のポンプ装置）２５を備えている。ポンプ装置２５は、ポンプ本体２５Ａと開閉弁Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４を備えている。なお、図１において、ポンプ装置２５は、フィルタ２３の下流に設けられているが、フィルタ２３の上流に設けられてもよい。

処理液供給装置１１内では、処理液は、配管２７Ａ〜２７Ｃを流れる。フィルタ２３は、配管２７Ａ，２７Ｂの間に設けられている。フィルタ２３は、処理液をろ過し、ポンプ装置２５の後述する第１開口５５Ａに接続する配管（流路）２７Ｂに設けられている。一方、ポンプ装置２５は、配管２７Ｂ，２７Ｃの間に設けられる。また、配管２７Ｂには、開閉弁Ｖ２が設けられ、配管２７Ｃには、開閉弁Ｖ３が設けられている。開閉弁Ｖ２は、配管２７Ｂに処理液を流し、また、処理液の流れを停止させる。開閉弁Ｖ３は、配管２７Ｃに処理液を流し、また、処理液の流れを停止させる。なお、ポンプ装置２５には、排出配管２９が接続されている。排出配管２９には、開閉弁Ｖ４が設けられている。開閉弁Ｖ４は、排出配管２９に処理液を流し、また、処理液の流れを停止させる。

フィルタ２３は、処理液供給装置１１に対して着脱自在であり、交換可能である。フィルタ２３の上面２３Ａには、入口（流入口）２３Ｂ、出口（流出口）２３Ｃおよびベント部２３Ｄが設けられている。入口２３Ｂには、配管２７Ａが接続されており、出口２３Ｃには、配管２７Ｂが接続されている。ベント部２３Ｄには、気泡を排出する排出配管３０が接続されている。排出配管３０には、開閉弁Ｖ５が設けられている。ベント部２３Ｄは、フィルタ２３内の気泡等を排出するための出口である。フィルタ２３は、処理液を実際にろ過するフィルタ本体２３Ｅを備えている。フィルタ本体２３Ｅでは、気泡等の不純物が取り除かれる。ベント部２３Ｄは、フィルタ本体２３Ｅを通過する前の気泡、または気泡を含む処理液を排出する。

図２は、ポンプ本体２５Ａの縦断面図である。図３は、ダイアフラム４３側から見たチャンバ本体４０を示す斜視図である。ポンプ本体２５Ａは、電動モータＭ１（以下、「モータ」と呼ぶ）とチャンバ３３とを備えている。モータＭ１は、例えば、ステッピングモータである。具体的には、図２のように、モータＭ１は、磁界を内周側に発生させるステータ３５と、ステータ３５の内周側に回転可能に配置され、ステータ３５により回転される筒状のロータ３６と、ロータ３６の中空部に螺合され、ロータ３６の回転によりロータ３６に対して進退駆動されるシャフト（ねじ軸）３７とを備えている。

モータＭ１には、チャンバ３３が取り付けられている。チャンバ３３は、ガイド部３９と、処理液を収容するチャンバ本体４０を備えている。ガイド部３９は、ガイドピン４１が挿通されている。ガイドピン４１の一端は、シャフト３７に連結されている。また、ガイドピン４１の他端は、チャンバ本体４０側に設けられたダイアフラム４３の肉厚部４３Ａに連結されている。ガイド部３９には、シャフト３７の周りに回転させずにガイドピン４１を図２に示す矢印Ｐの左右方向に案内する案内孔４５が設けられている。すなわち、ロータ３６のねじとシャフト３７のねじは、噛み合っている。ロータ３６の回転がシャフト３７に伝わると、シャフト３７と連結されるガイドピン４１は、シャフト３７の周りに回転されずに、案内孔４５によって、矢印Ｐの左右方向に案内される。

チャンバ本体４０側のガイド部３９には、ダイアフラム４３の中央に位置する肉厚部４３Ａと、ガイドピン４１の他端とを収容する凹部４７が形成されている。ダイアフラム４３は、後述する貯留部４８に接するように設けられている。ダイアフラム４３は、その薄肉部４３Ｂの外縁がガイド部３９とチャンバ本体４０との合わせ面で挟まれるように固定されている。すなわち、ダイアフラム４３の薄肉部４３Ｂの外縁がガイド部３９またはチャンバ本体４０の内壁に取り付けられており、チャンバ本体４０の内壁の一部を構成する。ダイアフラム４３は、チャンバ本体４０内とガイドピン４１側の空間ＳＰ１とを隔離する。ダイアフラム４３は、樹脂製であり、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン：polytetrafluoroethylene）で構成されている。また、本実施例では、ダイアフラム４３は、ローリングダイアフラムであるが、フラットダイアフラムなど他のダイアフラムであってもよい。

チャンバ本体４０は、貯留部４８を備えている。貯留部４８は、チャンバ本体４０における凹部４７と対向する面に設けられている。貯留部４８は、チャンバ本体４０の内部空間であり、処理液を収容する。貯留部４８は、シャフト３７から見た場合に円形状である（図３参照）。貯留部４８において、シャフト３７と直交する方向に形成された鉛直面４９は、ガイド部３９の反対側に形成されている。鉛直面４９は、シャフト３７から見た場合の直径が、凹部４７の直径よりも小さく形成されている。また、鉛直面４９は、その外縁端から、凹部４７の内周面よりも若干大径となる円とを結ぶように傾斜面５０が形成されている。すなわち、チャンバ本体４０の貯留部４８は、円錐台状で形成されている。また、鉛直面４９には、貯留部４８と外部とを連通する検査開口部５１が形成されている。この検査開口部５１には、貯留部４８内の圧力を測定する圧力センサ５３が取り付けられている。

チャンバ本体４０には、図２、図３のように、貯留部４８に連通する３つの開口、すなわち、第１開口５５Ａ、第２開口５５Ｂ、第３開口５５Ｃが設けられている。後述する説明から明らかになるように、実施例１において、第１開口５５Ａは貯留部４８に処理液を取り込むための流入口として作用する。第２開口５５Ｂは貯留部４８内の処理液をノズル２へ送り出すための流出口として作用する。第３開口５５Ｃは貯留部４８内の処理液を排出するための排出口として作用する。

第１開口５５Ａおよび第３開口５５Ｃは、傾斜面５０の下部に設けられている。更に、第１開口５５Ａおよび第３開口５５Ｃは、図３のように、ガイド部３９側から見た場合、貯留部４８の中心部より下方であって、貯留部４８の縦方向の中心線を挟んで左右対称な位置関係で形成されている。すなわち、第１開口５５Ａおよび第３開口５５Ｃは、貯留部４８内（チャンバ本体４０内）の底部（ほぼ最低位置）に配置されている。例えば、図３のように、第１開口５５Ａと第３開口５５Ｃは、同じ高さ位置に設けられていてもよい。

また、第２開口５５Ｂは、傾斜面５０の上部に設けられている。更に、第２開口５５Ｂは、図３のように、ガイド部３９側から見た場合、貯留部４８の中心部より上方であって、貯留部４８の縦方向の中心線上の位置に形成されている。すなわち、第２開口５５Ｂは、貯留部４８内におけるほぼ最高位置に設けられている。そのため、第２開口５５Ｂは、第１開口５５Ａおよび第３開口５５Ｃよりも高い位置に設けられている。

図２のように、第１開口５５Ａ、第２開口５５Ｂ、および第３開口５５Ｃは、傾斜面５０に直交する方向に延びるようにチャンバ本体４０に形成されている。第１開口５５Ａは配管２７Ｂに接続されている。第２開口５５Ｂは配管２７Ｃに接続されている。第３開口５５Ｃは排出配管２９に接続されている。なお、図２において、図示の都合上、第３開口５５Ｃは、第１開口５５Ａと重なるので、「５５Ａ，５５Ｃ」と示す。また、ノズル２は、第２開口５５Ｂに接続する配管（流路）２７Ｃ，９Ｂの末端に設けられている（図１参照）。

上述した構成の処理液供給装置１１は、モータＭ１を駆動してシャフト３７およびガイドピン４１をモータＭ１側（図２における右方向）に後退させる。この際、開閉弁Ｖ２〜Ｖ４は、予め設定された操作が行われる。これらにより、ダイアフラム４３の肉厚部４３Ａが凹部４７に収容されて退避された状態となる（吸引動作）。この動作により、貯留部４８には、処理液が吸い込まれて収容される。一方、モータＭ１を駆動してシャフト３７をチャンバ本体４０側（図２における左方向）に前進させる。この際、開閉弁Ｖ２〜Ｖ４は、予め設定された操作が行われる。これらにより、ダイアフラム４３の肉厚部４３Ａが鉛直面４９に近い位置にまで前進した状態となる（送り出し動作）。この動作により、貯留部４８に貯留されていた処理液が送り出される。

なお、ダイアフラム４３は、本発明の可動部材に相当する。図２に示す駆動機構５７は、モータＭ１、シャフト３７、ガイド部３９、ガイドピン４１、案内孔４５および凹部４７を備えている。駆動機構５７は、本発明の駆動部に相当する。駆動機構５７は、ダイアフラム４３を変位させる。チャンバ３３は、ダイアフラム４３が変位することにより貯留部４８の容積が変化する。なお、例えば、ダイアフラム４３（肉厚部４３Ａ）を貯留部４８に進入させることで、貯留部４８の容積が減る。ダイアフラム４３（肉厚部４３Ａ）を凹部４７に後退させることで、凹部４７におけるダイアフラム４３と貯留部４８との間の空間によって、貯留部４８の容積が増える。

＜基板処理装置１の動作＞
次に、基板処理装置１の動作について説明する。図１において、図示しない基板搬送機構は、保持回転部３上に基板Ｗを搬送する。保持回転部３は、基板Ｗの下面を吸着して保持する。その後、図示しないノズル移動機構は、基板Ｗ外の待機位置から基板Ｗ中心の上方の所定位置にノズル２を移動させる。ノズル２を移動させた後、基板Ｗを回転または回転を停止させた状態で、処理液供給装置１１は、処理液容器１５から送られた処理液をノズル２に送る。これにより、ノズル２から基板Ｗ上に処理液が吐出される。

なお、液体気体供給部７は、処理液供給装置１１に処理液を送る。開閉弁Ｖ１が開かれると、気体供給源１７から処理液容器１５に気体配管１９を通じて、気体（例えば窒素ガス）が送られる。気体配管１９を通じて送られた気体は、処理液容器１５から配管９Ａに処理液を押し出す。これにより、配管９Ａを通じて処理液供給装置１１に処理液が送られる。

ノズル２から処理液を吐出して、基板処理が終了した後、ノズル移動機構は、基板Ｗ上方の所定位置から待機位置にノズル２を戻す。そして、保持回転部３は、基板Ｗの回転が停止した状態で基板Ｗの保持を解除する。基板搬送機構は、保持回転部３から基板Ｗを搬送する。

＜処理液供給装置１１の動作＞
次に、処理液供給装置１１の動作について説明する。チャンバ本体４０には、処理液を流入させるための第１開口５５Ａおよび処理液を流出させるための第２開口５５Ｂに加えて、処理液を排出するための第３開口５５Ｃが設けられている。これにより、処理液供給装置１１のチャンバ本体４０から処理液を抜きやすくさせている。そのため、処理液供給装置１１について、まず、ノズル２へ処理液を送る通常の液送り動作について説明し、続いて、ポンプ装置２５の液抜き動作について説明する。なお、開閉弁Ｖ１〜Ｖ５は、通常閉じているものとする。また、開閉弁Ｖ１は、加圧したいときだけ開かれる。

通常の液送り動作は、次のように行う。制御部２１は、第１開口５５Ａと第２開口５５Ｂを用いて、ダイアフラム４３の変位に連動させて処理液の流通を制御することにより、第１開口５５Ａを介して貯留部４８内に処理液を吸引し、第２開口５５Ｂを介して貯留部４８内の処理液を送り出す通常の液送りを行う。具体的に説明する。図１において、液体気体供給部７は、配管９Ａ、２７Ａを通じてフィルタ２３の入口２３Ｂに処理液を送る。フィルタ２３の入口２３Ｂに送られた処理液は、フィルタ本体２３Ｅで気泡等の不純物が取り除かれた後、出口２３Ｃ、配管２７Ｂの順番に送られる。すなわち、開閉弁Ｖ２まで処理液が送られている状態である。

ポンプ装置２５は、貯留部４８内（チャンバ本体４０内）に処理液を吸引させる。すなわち、モータＭ１は、ダイアフラム４３およびガイドピン４１を右側に後退させる。これにより、ダイアフラム４３が変位または変形されて、貯留部４８の容積を増加させる。このシャフト３７およびガイドピン４１を後退させる際に、開閉弁Ｖ２は開かれ、開閉弁Ｖ３〜Ｖ５は閉じられる。これにより、チャンバ本体４０に設けられた第１開口５５Ａから貯留部４８内に処理液が吸引される。

処理液の吸引後、ポンプ装置２５は、貯留部４８内の処理液を送り出す。すなわち、モータＭ１は、図１に示すシャフト３７およびガイドピン４１を左側に前進させる。これにより、ダイアフラム４３が変位または変形されて、貯留部４８の容積を減少させる。このシャフト３７およびガイドピン４１を前進させる際に、開閉弁Ｖ２，Ｖ４，Ｖ５は閉じられ、開閉弁Ｖ３は開かれる。これにより、貯留部４８内の処理液が、チャンバ本体４０に設けられた第２開口５５Ｂを通じて、配管２７Ｃ、配管９Ｂ、ノズル２の順番に送られる。ノズル２から処理液が吐出される。

一方、ポンプ装置２５の液抜き動作は、次のように行う。液抜き動作は、チャンバ本体４０に設けられた第１開口５５Ａに気体（加圧気体）を送り込んで、貯留部４８内から処理液を抜く動作である。操作者は、例えば、図１に示す処理液容器１５を、処理液が貯留されていない空の容器に置き換える。なお、空の容器は、処理液容器１５から処理液を送り出して空の状態になった容器でもよい。

〔ステップＳ０１〕ポンプ装置２５の第２開口５５Ｂからノズル２までの液抜き
制御部２１は、ステップＳ０２の前、すなわち、第１開口５５Ａ、貯留部４８内、第３開口５５Ｃの順番に気体を送って第３開口５５Ｃから貯留部４８内の処理液を抜く前に、ポンプ装置２５の第２開口５５Ｂからノズル２までの処理液を抜く（排出する）。すなわち、制御部２１は、開閉弁Ｖ２，Ｖ３を開くと共に、開閉弁Ｖ４，Ｖ５を閉じ、更に、液体気体供給部７により、第１開口５５Ａ、貯留部４８内、第２開口５５Ｂ、配管２７Ｃ、配管９Ｂの順番に気体を送って第２開口５５Ｂからノズル２に亘って貯留する処理液を抜く。

具体的に説明する。開閉弁Ｖ２，Ｖ３は開かれ、開閉弁Ｖ４，Ｖ５は閉じられる。そして、液体気体供給部７は、気体供給源１７からの気体を、気体配管１９を通じて空の容器に送る。空の容器に送られた気体は、更に、処理液を押しながら、配管９Ａ、配管２７Ａ、フィルタ２３、配管２７Ｂの順番に送られる。そして、図４（ａ）のように、配管２７Ｂに送られた気体は、第１開口５５Ａを通じて貯留部４８内に送られる。貯留部４８内に送られた気体は、第２開口５５Ｂから貯留部４８内の処理液を多少押し出す。なお、図４（ａ）において、符号ＬＱは、処理液を示す（図１、図４（ｂ）、図５も同様である）。また、図４（ａ）、図４（ｂ）は、理解容易のため、第１開口５５Ａ，第２開口５５Ｂ，第３開口５５Ｃの位置を図２と異なる形態で表示している。実際には、第１開口５５Ａ，第２開口５５Ｂ，第３開口５５Ｃの位置は、図２、図３等のように構成されている。この点、図１、図５、図６、図８〜図１０も同様である。

しかしながら、第２開口５５Ｂは、第１開口５５Ａよりも高く、貯留部４８内のほぼ最高位置に配置されている。そのため、貯留部４８内に送られた気体は、図４（ａ）のように、貯留部４８内の全ての処理液を第２開口５５Ｂから押し出す前に、処理液よりも優先的に第２開口５５Ｂに向かうので、貯留部４８内に処理液が残ってしまう。また、貯留部４８内に気体を多く送っても、図４（ｂ）のように、貯留部４８内の処理液を効果的に第２開口５５Ｂから押し出すことはできない。貯留部４８内に処理液が残ってしまうが、第１開口５５Ａ、貯留部４８内、第２開口５５Ｂ、配管２７Ｃ、配管９Ｂの順番に気体を送ることで、第２開口５５Ｂからノズル２まで、すなわち、配管９Ｂ、２７Ｃ内およびノズル２内の処理液を抜くことができる。

ステップＳ０１および後述するステップＳ０２の動作中、ダイアフラム４３の肉厚部４３Ａは、図２のように、凹部４７に収容されていてもよく、液流を妨げない程度に、肉厚部４３Ａが鉛直面４９に近い位置にあってもよい。なお、ダイアフラム４３およびガイドピン４１は静止している。

〔ステップＳ０２〕ポンプ装置２５の第３開口５５Ｃからの液抜き
制御部２１は、第１開口５５Ａを介して貯留部４８内に加圧気体を導入することにより、第３開口５５Ｃを介して貯留部４８内の処理液を排出する。すなわち、制御部２１は、図５のように、開閉弁Ｖ２，Ｖ４を開くと共に、開閉弁Ｖ３，Ｖ５を閉じる。更に、制御部２１は、液体気体供給部７により、第１開口５５Ａから貯留部４８内に気体を送って第３開口５５Ｃおよび配管２９から液体を抜く。

具体的に説明する。ステップＳ０１の後、開閉弁Ｖ３，Ｖ５が閉じられると共に、開閉弁Ｖ２，Ｖ４が開かれる。そして、液体気体供給部７は、気体供給源１７からの気体を空の容器等および第１開口５５Ａを通じて貯留部４８内に送る。送られた気体は、貯留部４８内の上側から、第３開口５５Ｃに向けて処理液を押す。そのため、送られた気体は、第３開口５５Ｃを通じて排出配管２９に処理液を押し出す。第３開口５５Ｃは、第２開口５５Ｂよりも低い位置でかつ、貯留部４８内部の底部（ほぼ最低位置）に配置されている。そのため、送られた気体によって、貯留部４８内の処理液を容易に抜くことができる。また、ステップＳ０１，Ｓ０２により、貯留部４８内、排出配管２９内、配管２７Ａ〜２７Ｃ，９Ａ，９Ｂ内、およびノズル２内の処理液を抜くことができる。なお、ステップＳ０２の後に、ステップＳ０１を行ってもよい。

なお、液抜きの動作において、フィルタ２３を配置させているが、フィルタ本体２３Ｅのないもので配管２７Ａと配管２７Ｂとの間を接続してもよい。

本実施例によれば、チャンバ３３には、貯留部４８に連通する少なくとも３つの開口である第１開口５５Ａ、第２開口５５Ｂ、第３開口５５Ｃが形成されている。第２開口５５Ｂは、第１開口５５Ａよりも高い位置にある。第３開口５５Ｃは、第１開口５５Ａから貯留部４８内に加圧気体が導入されることにより、貯留部４８内の処理液を排出するために用いられる。第３開口５５Ｃは、貯留部４８の底部に設けられているので、貯留部４８に収容される処理液をより容易に抜くことができる。

すなわち、図４（ａ）に示す貯留部４８内から処理液に含まれる気泡を抜くために、第２開口５５Ｂは、第１開口５５Ａよりも高い位置に配置されている。そのため、貯留部４８内の処理液を抜くときに、第２開口５５Ｂでは抜きにくい。そこで、第３開口５５Ｃから貯留部４８内の処理液を抜く。第３開口５５Ｃは、第２開口５５Ｂよりも低い位置であり、貯留部４８内の底部に設けられている。これにより、貯留部４８内の処理液を容易に抜くことができる。

また、第１開口５５Ａと第３開口５５Ｃが同じ高さ位置に設けられている。これにより、例えば、図３において、第１開口５５Ａと第３開口５５Ｃの各々に接続されている配管を逆に接続することができる。すなわち、第３開口５５Ｃから貯留部４８内に加圧気体を導入し、貯留部４８内の処理液を第１開口５５Ａから排出することもできる。これにより、配管の接続をシンプルにできる。

次に、図面を参照して本発明の実施例２を説明する。なお、実施例１と重複する説明は省略する。

実施例１の処理液供給装置１１は、単一のポンプ装置２５を備えていた。この点、実施例２の処理液供給装置６１は、ポンプ装置２５に加えて、更に、第２のポンプ装置６３を備えている。なお、本実施例において、ポンプ装置２５は、第１のポンプ装置２５と呼ぶ。

図６は、実施例２に係る処理液供給装置６１の構成を示す図である。処理液供給装置６１は、フィルタ２３、第１のポンプ装置２５、および第２のポンプ装置６３を備えている。実施例１では、第１のポンプ装置２５は、フィルタ２３の下流に設けられていたが、実施例２では、フィルタ２３の上流に設けられている。また、第２のポンプ装置６３は、フィルタ２３の下流に設けられている。

第１のポンプ装置２５は、実施例１、図６、図７（ｂ）のように、ポンプ本体２５Ａと開閉弁Ｖ１１、Ｖ１２、Ｖ１４を備えている。ポンプ本体２５Ａは、チャンバ本体４０、駆動機構５７、第１開口５５Ａ、第２開口５５Ｂ、第３開口５５Ｃ、圧力センサ５３を備えている。開閉弁Ｖ１１は、第１開口５５Ａに接続する配管７５Ａに設けられている。開閉弁Ｖ１２は、第２開口５５Ｂに接続する配管７５Ｂに設けられている。開閉弁Ｖ１４は、第３開口５５Ｃに接続する配管７６に設けられている。貯留部４８は、処理液を収容する内部空間である。駆動機構５７は、貯留部４８の容積を変化させるために、ダイアフラム４３を変位させる。駆動機構５７は、図２のように、モータＭ１、シャフト３７、ガイド部３９、ガイドピン４１、案内孔４５および凹部４７を備えている。ポンプ装置２５の詳細は、実施例１の通りである。

第２のポンプ装置６３の構成は、図２に示すポンプ装置２５と基本的に同じである。すなわち、第２のポンプ装置６３は、図６のように、ポンプ本体６３Ａと開閉弁Ｖ１３、Ｖ１４、Ｖ１６を備えている。ポンプ本体６３Ａは、第２チャンバ本体６５、第２駆動機構６７、圧力センサ６９、第１開口７１Ａ、第２開口７１Ｂ、第３開口７１Ｃを備えている。開閉弁Ｖ１３は、第１開口７１Ａに接続する配管７５Ｃに設けられている。開閉弁Ｖ１４は、第２開口７１Ｂに接続する配管７６に設けられている。開閉弁Ｖ１６は、第３開口７１Ｃに接続する配管７５Ｄに設けられている。なお、開閉弁Ｖ１４は、第１のポンプ装置２５と第２のポンプ装置６３とに兼用されている。第２貯留部７４は、処理液を収容する内部空間である。第２駆動機構６７は、第２貯留部７４の容積を変化させるために、第２ダイアフラム７３を変位させる。

第２駆動機構６７は、図２，図６のように、電動モータＭ２（以下、「モータＭ２」と呼ぶ）、第２シャフト３７、第２ガイド部３９、第２ガイドピン７２、第２案内孔４５および第２凹部４７を備えている。なお、モータＭ２、第２ガイドピン７２および第２ダイアフラム７３以外は、第１のポンプ装置２５と同じ符号で示す。第２ガイドピン７２は、図２に示す矢印Ｐのように左右方向に案内される。第２ダイアフラム７３は、肉厚部７３Ａと薄肉部７３Ｂを有する。第２ダイアフラム７３の中央に位置する肉厚部７３Ａは、第２ガイドピン７２と連結する。第２ダイアフラム７３の薄肉部７３Ｂの外縁が第２ガイド部３９または第２チャンバ本体６５の内壁に取り付けられており、第２チャンバ本体６５の内壁の一部を構成する。第２ダイアフラム７３は、第２貯留部７４（第２チャンバ本体６５内）と第２ガイドピン７２側の空間ＳＰ２とを隔離する。モータＭ２により発生された回転は、ロータ（図示しない）、第２シャフト３７および第２案内孔４５などによって直線移動に変換される。

図６、図７（ａ）のように、第２チャンバ本体６５には、第１開口７１Ａ、第２開口７１Ｂ、および第３開口７１Ｃが設けられている。第２開口７１Ｂは、第２貯留部７４内の処理液の一部を第１のポンプ装置２５に戻すための開口である。第１開口７１Ａ、第２開口７１Ｂ、および第３開口７１Ｃは、それぞれ第２傾斜面５０（図２、図７（ａ）参照）に直交する方向に延びるように第２チャンバ本体６５に形成されている。すなわち、３つの開口７１Ａ〜７１Ｃは、第２貯留部７４と連通するように構成されている。第１開口７１Ａおよび第３開口７１Ｃは、チャンバ本体４０内の底部（ほぼ最低位置）に配置されている。第２開口７１Ｂは、第１開口７１Ａおよび第３開口７１Ｃよりも高い位置に配置されている。

処理液供給装置６１内では、配管７５Ａ〜７５Ｄ、および戻り配管７６を処理液が流れる。配管７５Ａは、図１に示す配管９Ａと、第１のポンプ装置２５の第１開口５５Ａとを接続する。配管７５Ｂは、第１のポンプ装置２５の第２開口５５Ｂと、フィルタ２３の入口２３Ｂとを接続する。配管７５Ｃは、フィルタ２３の出口２３Ｃと、第２のポンプ装置６３の第１開口７１Ａとを接続する。配管７５Ｄは、第２のポンプ装置６３の第３開口７１Ｃと、図１に示すノズル２とを接続する。すなわち、ノズル２は、第２のポンプ装置６３の第３開口７１Ｃに接続する配管７５Ｄの末端に設けられている。配管７６は、第２のポンプ装置６３の第２開口７１Ｂと、第１のポンプ装置２５の第３開口５５Ｃを接続する。排出配管３０には開閉弁Ｖ１５が設けられている。

なお、配管７５Ａは本発明の第１流路に相当し、開閉弁Ｖ１１は本発明の第１開閉弁に相当する。配管７５Ｂは本発明の第２流路に相当し、開閉弁Ｖ１２は本発明の第２開閉弁に相当する。配管７５Ｃは本発明の第３流路に相当し、開閉弁Ｖ１３は本発明の第３開閉弁に相当する。配管７６は本発明の第４流路に相当し、開閉弁Ｖ１４は本発明の第４開閉弁に相当する。配管７５Ｄは本発明の第５流路に相当し、開閉弁Ｖ１６は本発明の第５開閉弁に相当する。

＜処理液供給装置６１の動作＞
次に、処理液供給装置６１の動作について説明する。まず、処理液を供給する通常の液送り動作を簡単に説明し、続いて、液抜き動作を説明する。

通常の液送り動作の概要を説明する。制御部２１は、図６のように、第１および第２のポンプ装置２５，６３のダイアフラム４３，７３の変位に連動させて開閉弁Ｖ１１〜Ｖ１６を開閉制御する。これにより、第１のポンプ装置２５は、配管７５Ａと第１開口５５Ａを経て処理液を吸引する。さらに、第１のポンプ装置２５は、第２開口５５Ｂと配管７５Ｂを経て処理液をフィルタ２３に送る。そして、第２のポンプ装置６３は、フィルタ２３で濾過された処理液を配管７５Ｃと第１開口７１Ａを経て吸引する。さらに、第２のポンプ装置６３は、吸引した処理液の一部を第２開口７１Ｂと配管７６を経て第１のポンプ装置２５の第３開口５５Ｃに戻すと共に、吸引した処理液の残部を第３開口７１Ｃと配管７５Ｄを経て送り出す。通常の液送り動作の詳細を次に説明する。

図８（ａ）〜図８（ｅ）は、処理液供給装置６１の動作を説明するための図である。図１に示す制御部２１は、第１および第２のポンプ装置２５，６３の駆動制御および処理液の流通制御を行う。

〔ステップＴ０１〕準備完了（Ready）
図８（ａ）に示す準備完了工程から説明する。吸引工程、濾過工程、パージ工程および吐出工程などによって、図８（ａ）のように、第１のポンプ装置２５の第１チャンバ本体４０内（貯留部４８）および第２のポンプ装置６３の第２チャンバ本体６５内（第２貯留部７４）に処理液が吸引された状態にする。なお、図８（ａ）において、開閉弁Ｖ１１〜Ｖ１６は閉じている。

〔ステップＴ０２〕吐出
図８（ｂ）は、吐出工程を示している。第２のポンプ装置６３は、第２ガイドピン７２を左方向に前進させる。この際、開閉弁Ｖ１６が開かれ、開閉弁Ｖ１１〜Ｖ１５が閉じられる。これにより、第２のポンプ装置６３の第２チャンバ本体６５内に吸引された処理液は、ノズル２に送られ、ノズル２から処理液が吐出される。

〔ステップＴ０３〕濾過
図８（ｃ）は、濾過工程を示している。図８（ｂ）において、第１のポンプ装置２５のチャンバ本体４０内には、処理液が吸引されている。この処理液を、フィルタ２３を通じて、第２のポンプ装置６３の第２チャンバ本体６５に吸引させる。すなわち、第１のポンプ装置２５は、ガイドピン４１を左方向に前進させると共に、第２のポンプ装置６３は、第２ガイドピン７２を右方向に後退させる。この際、開閉弁Ｖ１２，Ｖ１３が開かれ、開閉弁Ｖ１１，Ｖ１４〜Ｖ１６が閉じられる。

〔ステップＴ０４〕パージ
図８（ｄ）は、パージ工程を示している。第２のポンプ装置６３は、第２ガイドピン７２を左方向に少し前進させる。この際、開閉弁Ｖ１１，Ｖ１４が開かれ、開閉弁Ｖ１２、Ｖ１３、Ｖ１５、Ｖ１６が閉じられる。これらにより、第２チャンバ本体６５に存在する気泡を含む処理液を、戻り配管７６を通じて、第１のポンプ装置２５のチャンバ本体４０内に戻すことができる。チャンバ本体４０に戻された気泡は、濾過工程の際に、フィルタ２３で取り除かれる。

〔ステップＴ０５〕吸引
図８（ｅ）は、吸引工程を示している。第１のポンプ装置２５は、ガイドピン４１を右方向に後退させる。この際、開閉弁Ｖ１１が開かれ、開閉弁Ｖ１２〜Ｖ１６が閉じられる。これにより、第１のポンプ装置２５のチャンバ本体４０内に処理液が吸引される。また、図８（ａ）の準備完了工程のようになり、ステップＴ０１〜Ｔ０５は、繰り返し実行される。

連続吐出の場合は、吐出工程と吸引工程が同時に行われる。この場合、例えば、吐出および吸引工程（ステップＴ０２＋Ｔ０５）、濾過工程（ステップＴ０３）、パージ（ステップＴ０４）がこの順番で繰り返される。なお、フィルタ２３のベント部２３Ｄ（図６参照）から気泡を排出する場合は、第１のポンプ装置２５は、ガイドピン４１を左方向に前進させる。この際、開閉弁Ｖ１２，Ｖ１５が開かれ、開閉弁Ｖ１１，Ｖ１３，Ｖ１４，Ｖ１６が閉じられる。

次に、図９、図１０を参照して、液抜きの動作について説明する。なお、開閉弁Ｖ１１〜Ｖ１６は、通常閉じているものとする。また、図１に示す開閉弁Ｖ１は、加圧したいときだけ開かれる。

液抜き動作は、液体気体供給部７からの気体を第１のポンプ装置２５および第２のポンプ装置６３に送り込み、貯留部４８、第２貯留部７４、配管７５Ｂ，７５Ｃおよび配管７６などに存在する処理液を抜く動作である。操作者は、例えば、図１に示す処理液容器１５を、処理液が貯留されていない空の容器に置き換える。また、操作者は、処理液容器１５内の処理液を送り出して、処理液容器１５内を空にさせる。

〔ステップＳ１１〕貯留部４８および配管７６の液抜き
図９において、制御部２１は、開閉弁Ｖ１１，Ｖ１４，Ｖ１６を開くと共に（開状態）、開閉弁Ｖ１２，Ｖ１３，Ｖ１５を閉じる（閉状態）。この状態で、制御部２１は、加圧気体を配管７５Ａと第１開口５５Ａを経て第１のポンプ装置２５の貯留部４８に送り込むことにより、貯留部４８内の処理液を第３開口５５Ｃと配管７６を経て第２のポンプ装置６３へ排出する。さらに、制御部２１は、第１のポンプ装置２５から配管７６を経て送られてきた加圧空気を第２のポンプ装置６３の第２貯留部７４に送り込み、そして、第２のポンプ装置６３の第２貯留部７４内の液体を第３開口７１Ｃと配管７５Ｄを経て排出する。

具体的に説明する。液体気体供給部７は、気体供給源１７からの気体を空の容器を通じて、配管９Ａに送って、配管９Ａ，７５Ａに存在する処理液をノズル２側へ押す。気体によって押された処理液は、配管９Ａ、配管７５Ａ、第１開口５５Ａ、貯留部４８内、第３開口５５Ｃ、配管７６、第２開口７１Ｂ、第２貯留部７４内、第３開口７１Ｃ、配管７５Ｄ、配管９Ｂ、ノズル２の順番に流れて、ノズル２から排出される。

このように、開閉弁Ｖ１１，Ｖ１４，Ｖ１６が開かれ、開閉弁Ｖ１２，Ｖ１３，Ｖ１５は閉じられることで、第１のポンプ装置２５の貯留部４８および配管７５Ａ，７５Ｄ，７６等の処理液を抜くことができる。なお、第２のポンプ装置６３の第２貯留部７４内の処理液も抜くことができる。しかしながら、この液抜き動作では、第１のポンプ装置２５と第２のポンプ装置６３との間の配管７５Ｂ，７５Ｃの処理液を抜くことができない。そのため、次のように開閉弁Ｖ１１〜Ｖ１６を操作する。

〔ステップＳ１２〕配管７５Ｂ，７５Ｃおよび第２チャンバ本体６５の液抜き
図１０において、制御部２１は、開閉弁Ｖ１１〜Ｖ１３およびＶ１６を開くと共に（開状態）、開閉弁Ｖ１４，Ｖ１５を閉じる（閉状態）。この状態で、制御部２１は、加圧気体を配管７５Ａと第１開口５５Ａを経て第１のポンプ装置２５の貯留部４８に送り込む。さらに、制御部２１は、第１のポンプ装置２５の第２開口５５Ｂから配管７５Ｂを経てフィルタ２３へ送り、フィルタ２３から配管７５Ｃと第２のポンプ装置６３の第１開口７１Ａを経て第２のポンプ装置６３の第２貯留部７４に送り込む。そして、制御部２１は、第２のポンプ装置６３の貯留部７４内の処理液を第３開口７１Ｃと配管７５Ｄを経て排出する。

具体的に説明する。ステップＳ１１によって、配管９Ａ，７５Ａおよび貯留部４８内などの処理液が抜けている。液体気体供給部７は、気体を配管９Ａに送ると、貯留部４８内に送られた気体は、第１のポンプ装置２５および第２のポンプ装置６３の間の配管７５Ｂ，７５Ｃに存在する処理液をノズル２側へ押す。気体によって押された処理液は、配管７５Ｂ、配管７５Ｃ、第１開口７１Ａ、第２貯留部７４、第３開口７１Ｃ、配管７５Ｄ，配管９Ｂ、ノズル２の順番に流れてノズル２から排出される。

このように、開閉弁Ｖ１１〜Ｖ１３，Ｖ１６が開かれ、開閉弁Ｖ１４，Ｖ１６が閉じられることで、第２貯留部７４内、配管７５Ａ〜７５Ｄ、ノズル２の処理液を抜くことができる。なお、ステップＳ１１において、第２貯留部７４の処理液は抜かれるが、ステップＳ１２において配管７５Ｂ，７５Ｃ内の処理液が流れ込むため、ステップＳ１２において再度、第２貯留部７４内の液抜きが行われる。

なお、ステップＳ１２の後に、ステップＳ１１を行ってもよい。すなわち、ステップＳ１２は、貯留部７４等から排出するステップＳ１１の第１液抜き動作の前、または、その第１液抜き動作の後に行われる。また、ステップＳ１２のみを行った場合は、貯留部４８内（第１チャンバ本体４０内）で、図４（ｂ）のように、処理液よりも気体が優先的に第２開口５５Ｂに到達してしまうので、貯留部４８内の処理液が残ってしまう。また、配管７６内の処理液が残ってしまう。そのため、ステップＳ１１を行うことで、貯留部４８内および戻り配管７６内の処理液を抜くことができる。

なお、ステップＳ１２において、開閉弁Ｖ１１，開閉弁Ｖ１２，開閉弁Ｖ１３，開閉弁Ｖ１６の順番に開閉弁Ｖ１１〜Ｖ１３，Ｖ１６を開くことで、配管７５Ｂに存在する処理液が第２開口５５Ｂから貯留部４８内へ逆流することを抑制できる。ステップＳ１１の場合は、開閉弁Ｖ１１，開閉弁Ｖ１４，開閉弁Ｖ１６の順番に開閉弁Ｖ１１，Ｖ１４，Ｖ１６が開かれる。

本実施例によれば、通常の液送りでは、処理液は、配管７６を通じて、第２のポンプ装置６３の第２開口７１Ｂから第１のポンプ装置２５の第３開口５５Ｃに送られる。本発明の液抜き動作では、開閉弁Ｖ１１，Ｖ１４，Ｖ１６を開くと共に、開閉弁Ｖ１２，Ｖ１３を閉じることにより、通常の液送りに対して、処理液を逆に流す。すなわち、液抜きの際に、処理液は、配管７６を通じて、第１のポンプ装置２５の第３開口５５Ｃから第２のポンプ装置６３の第２開口７１Ｂに送られる。第１のポンプ装置２５の第３開口５５Ｃは、貯留部４８の底部に設けられているので、第１のポンプ装置２５の貯留部４８に収容される処理液を容易に抜くことができる。同様に、第２のポンプ装置６３の第３開口７１Ｃは、第２貯留部７４（第２チャンバ本体６５内）の底部に設けられているので、第２貯留部７４（第２チャンバ本体６５内）に収容される処理液を容易に抜くことができる。更に、第１のポンプ装置２５の第３開口５５Ｃと第２のポンプ装置６３の第２開口７１Ｂとの間の配管７６内の液体を抜くことができる。

また、開閉弁Ｖ１１〜Ｖ１３およびＶ１６を開くと共に、開閉弁Ｖ１４，Ｖ１５を閉じる。これにより、第２のポンプ装置６３の第３開口７１Ｃは、第２貯留部７４の底部に設けられているので、第２貯留部７４に収容される処理液を容易に抜くことができる。更に、第１のポンプ装置２５の第２開口５５Ｂと第２のポンプ装置６３の第１開口７１Ａとの間の配管７５Ｂおよび配管７５Ｃの処理液を抜くことができる。したがって、第１のポンプ装置２５の貯留部４８、第２のポンプ装置６３の第２貯留部７４、配管７５Ｂ，７５Ｃ，７６の処理液を少なくとも抜くことができる。

次に、本発明の実施例３を説明する。なお、実施例１，２と重複する説明は省略する。図１３は、レジスト液Ａからレジスト液Ｂへの置き換えを説明するフローチャートである。

実施例１，２では、チャンバ本体４０に設けられた第１開口５５Ａに気体を送り込んで、チャンバ本体４０内から処理液を抜く液抜き動作について説明した。この点、実施例３では、図１３を参照しつつ、液抜き動作の応用例として、レジスト液Ａをレジスト液Ｂに置き換える場合について説明する。なお、図１に示す処理液供給装置１１を備えた基板処理装置１について説明するが、図６に示す処理液供給装置６１の場合も同様である。なお、開閉弁Ｖ２〜Ｖ５は、通常閉じているものとする。また、開閉弁Ｖ１は、加圧したいときだけ開かれる。

〔ステップＵ０１〕フォトレジスト液Ａの排出
実施例１のステップＳ０１，Ｓ０２の液抜き動作を行い、貯留部４８等からレジスト液Ａを抜く。実施例２の場合は、ステップＳ１１，Ｓ１２の液抜き動作を実施する。

〔ステップＵ０２〕置換液の投入（１回目）
処理液供給装置１１の内部、例えば貯留部４８に第１開口５５Ａからレジスト液Ａと異なる置換液を投入する。置換液は、例えば、ＯＫ７３シンナー（東京応化工業株式会社製）、ＰＧＭＥ（プロピレングリコールモノメチルエーテル：propylene glycol monomethyl ether）、またはＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート：propylene glycol monomethyl ether acetate）が用いられる。洗浄液は、レジスト液Ａ，Ｂに対して強く反応する。そのため、処理液供給装置１１の内部に置換液を流してレジスト液Ａまたは後述する洗浄液をリンスする。

具体的に説明する。レジスト液Ａが入った処理液容器１５を、置換液が入った置換液容器に交換する。そして、開閉弁Ｖ１を開いて、気体供給源１７からの気体を置換液容器に送る。そして、処理液供給装置１１は、吸引および送り出しの動作（通常の液送り）を繰り返すことで、配管９Ａからノズル２までの間のレジスト液Ａを置換液に置き換える。すなわち、開閉弁Ｖ２が開かれ、開閉弁Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５が閉じられ、更に、シャフト３７およびガイドピン４１が右側に後退する。これにより、第１開口５５Ａから貯留部４８内に置換液などを吸引する。そして、開閉弁Ｖ３が開かれ、開閉弁Ｖ２，Ｖ４，Ｖ５が閉じられ、更に、シャフト３７およびガイドピン４１が左側に前進する。これにより、貯留部４８内に吸引された置換液などが第２開口５５Ｂから送り出される。これらの吸引および送り出しの動作を繰り返すことで、処理液供給装置１１等の内部を置換液でリンスする。なお、排出配管２９，３０および配管７６内に置換液を送ってもよい。

〔ステップＵ０３〕洗浄液の投入
貯留部４８内の洗浄のために、第１開口５５Ａから貯留部４８内に置換液が入った状態で洗浄液を投入する。洗浄液は、例えば、ＮＭＰ（Ｎメチル−２−ピロリドン：N-methyl-2-pyrrolidone）、γ−ブチルラクトン（gamma-Butyrolactone）、またはアセトンなどが用いられる。

置換液容器を、洗浄液が入った洗浄液容器に置き換える。そして、開閉弁Ｖ１を開いて、気体供給源１７からの気体を洗浄液容器に送る。そして、処理液供給装置１１は、吸引および送り出しの動作を繰り返すことで、配管９Ａからノズル２までの間の置換液を洗浄液に置き換える。これにより、貯留部４８内を含む、配管９Ａからノズル２までの間を洗浄液で洗浄する。なお、排出配管２９，３０および配管７６内を洗浄してもよい。

〔ステップＵ０４〕置換液の投入（２回目）
第１開口５５Ａから貯留部４８内に洗浄液が入った状態で置換液を投入する。洗浄液容器を置換液容器に置き換える。そして、開閉弁Ｖ１を開いて、気体供給源１７からの気体を置換液容器に送る。そして、処理液供給装置１１は、吸引および送り出しの動作を繰り返すことで、配管９Ａからノズル２までの間の洗浄液を置換液に置き換える。なお、排出配管２９，３０および配管７６内に置換液を送ってもよい。

〔ステップＵ０５〕フォトレジスト液Ｂの投入
貯留部４８内に置換液が入った状態で第１開口５５Ａから貯留部４８にレジスト液Ｂを投入する。置換液容器を、レジスト液Ｂが入った処理液容器１５に交換する。そして、開閉弁Ｖ１を開いて、気体供給源１７からの気体を処理液容器１５に送る。そして、処理液供給装置１１は、吸引および送り出しの動作を繰り返すことで、配管９Ａからノズル２までの間の置換液をレジスト液Ｂに置き換える。

なお、ステップＵ０２の置換液を投入後、ステップＵ０１のように、投入した置換液を抜いてもよい。すなわち、処理液供給装置１１を介して配管９Ａからノズル２まで、置換液を流して、処理液供給装置１１等の内部をリンスする。この後、置換液容器を空の容器に交換した場合、あるいは、置換液を送り出して容器が空になった場合に、処理液供給装置１１のダイアフラム４３およびガイドピン４１の動作を停止させる。その後、実施例１のステップＳ０１，Ｓ０２の液抜き動作を行う。ステップＵ０３，Ｕ０４の場合も同様に洗浄液または置換液を投入後、液抜きし、次の液体（例えば、処理液であれば置換液）を投入してもよい。

実施例１，２のように、液抜き動作が容易となったことで、処理液供給装置１１等の内部を、例えば、レジスト液Ａから置換液に容易に置き換えることができる。これにより、置換液や洗浄液の使用量を削減でき、あるいは、ステップＵ０２を省略することもできる。なお、例えば処理液供給装置１１，６１または基板処理装置１等を出荷する場合は、ステップＵ０１〜Ｕ０３を行った後、ステップＳ０１，０２またはステップＳ１１，１２を行って液抜きする。そして、貯留部４８等の内部を乾燥させるために、液体気体供給部７から気体を供給し続けてもよい。この動作の際に、例えばステップＳ０１，０２のように、開閉弁Ｖ２〜Ｖ５を切り替えて、気体を行き渡らせるようにする。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した実施例１において、ステップＳ０１とステップＳ０２を繰り返してもよい。また、実施例２において、ステップＳ１１とステップＳ１２を繰り返してもよい。この場合、例えば、ステップＳ１２、ステップＳ１１、ステップＳ１２の順番で液抜き動作を行ってもよい。また、ステップＳ１２の後にステップＳ１１を行ってもよい。

（２）上述した実施例１のポンプ装置２５では、図１のように、第１開口５５Ａと第２開口５５Ｂは、ダイアフラム４３の変位に連動させて処理液の流通が制御されることにより、第１開口５５Ａを介して貯留部４８内に処理液を吸引し、第２開口５５Ｂを介して貯留部４８内の処理液を送り出す通常の液送りに用いられている。そして、第３開口５５Ｃは、第１開口５５Ａを介して貯留部４８内に加圧気体を導入することにより、第３開口５５Ｃを介して貯留部４８内の処理液を排出するために用いられている。これにより、処理液を送り出す第２開口５５Ｂは、処理液を吸引する第１開口５５Ａよりも高い位置にある。そのため、通常の液送りの際に、第２開口５５Ｂを通じて貯留部４８から気泡を除くことができる。

この点、図１に示す実施例１のポンプ装置２５は、図６に示す実施例２の第２のポンプ装置６３のような構成であってもよい。具体例を説明する。第１開口５５Ａと第３開口５５Ｃは、ダイアフラム４３の変位に連動させて処理液の流通が制御されることにより、第１開口５５Ａを介して貯留部４８内に処理液を吸引し、第３開口５５Ｃを介して貯留部４８内の処理液を送り出す通常の液送りに用いられる。更に、第３開口５５Ｃは、第１開口５５Ａを介して貯留部４８内に加圧気体を導入することにより、第３開口５５Ｃを介して貯留部４８内の処理機を排除するために用いられる。なお、この変形例の場合、ノズル２は、第３開口５５Ｃに接続する配管（流路）２７Ｃ，９Ｂの末端に設けられている。

これにより、処理液を吸引する第１開口５５Ａは、第２開口５５Ｂよりも低い位置にあり、処理液を送り出す第３開口５５Ｃは、３つの開口（第１開口５５Ａ、第２開口５５Ｂおよび第３開口５５Ｃ）の中で最も低い位置にある。そのため、通常の液送りの際に、第２開口５５Ｂ付近に気泡が集まるので、第３開口５５Ｃを通じて貯留部４８から気泡を送り出すことを防止できる。

また、第２開口５５Ｂは、貯留部４８内の上部に集まった気泡を、第２開口５５Ｂを介して排出するために用いられる。これにより、通常の液送りの際に、第２開口５５Ｂよりも低い位置にある第１開口から液体を吸引し、３つの開口５５Ａ〜５５Ｃの中で最も低い位置にある第３開口５５Ｃから液体を送り出す。この場合、第２開口５５Ｂ付近に集まった気泡を第２開口５５Ｂから排出できる。その後、気泡は、フィルタ２３でトラップされ、トラップされた気泡は、排出配管３０を通じて排出される。

また、この変形例は、次のように構成されていればよい。３つの開口の中で任意の２つの開口は、ダイアフラム４３の変位に連動させて処理液の流通が制御されることにより、貯留部４８内への処理液の吸引と貯留部４８からの処理液の送り出しである通常の液送りに用いられる。さらに、第３開口５５Ｃは、他の２つの開口５５Ａ，５５Ｂの中で少なくともいずれか１つの開口から貯留部４８内に加圧気体が導入されることにより、貯留部４８内の処理液を排出するために用いられる。

（３）上述した各実施例および各変形例では、図３、図７（ｂ）のように、第３開口５５Ｃは、貯留部４８内（第１チャンバ本体４０内）のほぼ最低位置で、第１開口５５Ａと同じ高さ位置に配置されていた。この点、第３開口５５Ｃは、第１開口５５Ａよりも低い位置に配置されていてもよい。例えば、第３開口５５Ｃは、図１１（ａ）のように、貯留部４８内の最低位置に配置されていてもよい。すなわち、貯留部４８内の中心を通過する縦方向の中心線ＣＬ上に配置されていてもよい。第２チャンバ本体６５に設けられる第３開口７１Ｃも、第１チャンバ本体４０に設けられた第３開口５５Ｃと同様である。

また、図３、図７（ｂ）のように、第３開口５５Ｃは、貯留部４８内のほぼ最低位置に配置されていた。この点、第１開口５５Ａおよび第３開口５５Ｃが貯留部４８内の最低位置に配置されるように、貯留部４８内が形成されていてもよい。例えば、図１１（ｂ）において、第３開口５５Ｃおよび第１開口５５Ａに接する部分が平面ＦＬであってもよい。

なお、貯留部４８内において、第１開口５５Ａおよび第３開口５５Ｃの間には、第１開口５５Ａから第３開口５５Ｃまでの流れを妨げるような凸部が形成されていないものとする。

（４）上述した各実施例および各変形例では、処理液供給装置１１，６１は、図１のように、ノズル２、配管９Ａ，９Ｂ、液体気体供給部７等と個別に構成されていた。これに対し、処理液供給装置１１，６１は、ノズル２、配管９Ａ，９Ｂ、液体気体供給部７の少なくともいずれかを備えていてもよい。

（５）上述した各実施例および各変形例では、気体供給部としての液体気体供給部７は、気体供給源１７からの気体を空の容器等を介在させて処理液供給装置１１，６１に気体を供給していた。この点、液体気体供給部７は、気体供給源１７からの気体を、空の容器等を介在させないようにしてもよい。例えば、気体を配管２７Ａ，７５Ａまたは配管２７Ｂに供給するようにしてもよい。

（６）上述した各実施例および各変形例では、液抜き動作の際に、ダイアフラム４３，７３およびガイドピン４１，７２は、静止させていた。この点、液抜き動作の際に、ダイアフラム４３，７３およびガイドピン４１，７２は、移動させてもよい。

（７）上述した各実施例および各変形例では、第１のポンプ装置１５には、第１開口５５Ａ、第２開口５５Ｂ、および第３開口５５Ｃが設けられ、第２のポンプ装置６３には、第１開口７１Ａ、第２開口７１Ｂ、および第３開口７１Ｃが設けられていた。すなわち、第１のポンプ装置２５および第２のポンプ装置６３には、それぞれ３つの開口が設けられていた。この点、第１のポンプ装置２５および第２のポンプ装置６３には、更に、処理液を流入および／または流出させる１または２以上の開口が設けられてもよい。

（８）上述した各実施例および各変形例では、第３開口５５Ｃ，７１Ｃは、貯留部４８の底部に設けられていた。この点、第３開口５５Ｃ，７１Ｃは、貯留部４８の底部に設けずに、例えば、貯留部４８の底部よりも高い位置に設けられていてもよい。すなわち、ポンプ装置２５の場合、第３開口５５Ｃは、３つの開口５５Ａ〜５５Ｃの中で最も低い位置に設けられていればよい。すなわち、第３開口５５Ｃは、第２開口５５Ｂより低い位置に設けられると共に、第１開口５５Ａの位置以下に設けられる。第２のポンプ装置６３も第１のポンプ装置２５と同様である。

（９）上述した各実施例および変形例におけるチャンバ本体４０，６５とダイアフラム４３，７５との組み合わせに代えて、図１２に示すような弾性を有するチューブ部材８４を用いてもよい。この変形例について説明する。ポンプ装置８０は、ポンプ本体８０Ａ、開閉弁Ｖ２〜Ｖ４を備えている。ポンプ本体８０Ａは、チャンバ本体８２、チューブ部材８４、駆動機構８６、第１開口５５Ａ、第２開口５５Ｂ、第３開口５５Ｃを備えている。なお、開閉弁Ｖ２〜Ｖ４、第１開口５５Ａ、第２開口５５Ｂ、および第３開口５５Ｃは、実施例１のポンプ装置２５と同じ符号で示している。

チューブ部材８４は、貯留部８８（チャンバ本体８２内）を取り囲むように設けられている。また、チューブ部材８４は、貯留部８８に接するように設けられている。駆動機構８６は、チューブ部材８４の胴部が変位することにより貯留部８８の容積を変化させる。可動部材がチューブ部材８４である場合において、貯留部８８に収容される処理液をより容易に抜くことができる。駆動機構８６は、モータＭ１等で駆動せずに、水圧や空気圧を利用してチューブ部材８４を変形させるものであってもよい。

（１０）上述した各実施例および各変形例では、液抜き動作の際に、図１に示す液体気体供給部７の気体供給源１７からの気体を送っていた。この点、例えば、上述の通常の液送りのように処理液供給装置１１，６１を動作させることで、貯留部４８，７４内等に気体を導入させてもよい。この場合、処理液容器１５は、処理液が入っていない空の容器に置き換える。空の容器は、処理液を送り出して空の状態になった容器でもよい。また、空の容器には、外気が自由に入り込むことができるようになっていてもよいし、気体供給源１７から気体が供給されるようになっていてもよい。また、図６に示す実施例２の処理液供給装置６１において、２つのダイアフラム４３，７３等を協働させて貯留部４８，７４内等に気体を導入させてもよい。また、これに代えて、２つのダイアフラム４３，７３のいずれか一方を動作させてもよい。例えば、図９のステップＳ１１の液抜き動作において、ダイアフラム４３を動作させず、ダイアフラム７３を動作させる。この場合、開閉弁Ｖ１２，Ｖ１３，Ｖ１５を閉じ、開閉弁Ｖ１１を開いた状態で、開閉弁Ｖ１４，Ｖ１６およびダイアフラム７３等による吸引および送り出し動作を行う。これにより、液抜きを行う。

１ … 基板処理装置
２ … ノズル
７ … 液体気体供給部
９Ａ，９Ｂ，２７Ａ〜２７Ｃ，２９ … 配管
１１，６１ … 処理液供給装置
２１ … 制御部
２５ … ポンプ装置（第１のポンプ装置）
２５Ａ … ポンプ本体（第１のポンプ本体）
４０ … チャンバ本体（第１のチャンバ本体）
４３，７３ … ダイアフラム
４８ … 貯留部
５５Ａ，７１Ａ … 第１開口
５５Ｂ，７１Ｂ … 第２開口
５５Ｃ，７１Ｃ … 第３開口
５７ … 駆動機構
６３ … 第２のポンプ装置
６３Ａ … 第２のポンプ本体
６５ … 第２チャンバ本体
６７ … 第２駆動機構
７４ … 第２貯留部
７５Ａ〜７５Ｄ，７６ … 配管
Ｍ１，Ｍ２ … 電動モータ
Ｖ１〜Ｖ５，Ｖ１１〜Ｖ１６ … 開閉弁

Claims (15)

1. 液体を収容する内部空間である貯留部と、前記貯留部に接するローリングダイアフラムとを備え、前記ローリングダイアフラムが変位することにより前記貯留部の容積が変化するチャンバであって、前記貯留部を有するチャンバ本体と、前記ローリングダイアフラムの中央に位置する肉厚部を収容する凹部を有するガイド部を備え、前記ローリングダイアフラムを介在させて、前記チャンバ本体と前記ガイド部とを突き合わせることにより形成されている前記チャンバと、
   前記ローリングダイアフラムを変位させる駆動部とを備え、
   前記チャンバは、前記貯留部に連通する少なくとも３つの開口、即ち、第１開口、第２開口、第３開口が形成されており、
   前記第２開口は、前記第１開口よりも高い位置にあり、
   前記第３開口は、前記３つの開口の中で最も低い位置にあり、
   前記３つの開口の中で任意の２つの開口は、前記ローリングダイアフラムの変位に連動させて液体の流通が制御されることにより、前記貯留部内への液体の吸引と前記貯留部からの液体の送り出しである通常の液送りに用いられ、
   前記チャンバの前記貯留部は、鉛直面と、前記鉛直面よりも大径の円とを結ぶ傾斜面を有する円錐台状に形成され、
   前記第３開口は、前記貯留部の底部でかつ、前記傾斜面の下部傾斜面に設けられ、
   前記ローリングダイアフラムの外縁部は、前記円側の前記チャンバ本体の突き合わせ面と前記ガイド部の突き合わせ面で挟まれるように固定され、
   前記凹部の内周面は、前記貯留部の前記円よりも小径となるように構成され、
   前記第３開口は、他の２つの開口の中で少なくともいずれか１つの開口から前記貯留部内に気体が導入されることにより、前記貯留部内の液体を排出するために用いられることを特徴とするポンプ装置。
2. 請求項１に記載のポンプ装置において、
   前記第１開口と第３開口は、同じ高さ位置に設けられていることを特徴とするポンプ装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のポンプ装置において、
   前記第１開口と前記第３開口は、前記ローリングダイアフラムの変位に連動させて流体の流通が制御されることにより、前記第１開口を介して前記貯留部内に液体を吸引し、前記第３開口を介して前記貯留部内の液体を送り出す通常の液送りに用いられ、
   更に、前記第３開口は、前記第１開口を介して前記貯留部内に気体を導入することにより、前記第３開口を介して前記貯留部内の液体を排出するために用いられることを特徴とするポンプ装置。
4. 請求項３に記載のポンプ装置において、
   前記第２開口は、前記貯留部内の上部に集まった気泡を、前記第２開口を介して排出するために用いられることを特徴とするポンプ装置。
5. 液体を収容する内部空間である貯留部と、前記貯留部に接する可動部材とを備え、前記可動部材が変位することにより前記貯留部の容積が変化するチャンバと、
   前記可動部材を変位させる駆動部とを備え、
   前記チャンバは、前記貯留部に連通する少なくとも３つの開口、即ち、第１開口、第２開口、第３開口が形成されており、
   前記第２開口は、前記第１開口よりも高い位置にあり、
   前記第３開口は、前記３つの開口の中で最も低い位置にあり、
   前記３つの開口の中で前記第１開口と前記第２開口は、前記可動部材の変位に連動させて液体の流通が制御されることにより、前記第１開口を介して前記貯留部内に液体を吸引し、前記第２開口を介して前記貯留部内の液体を送り出す通常の液送りに用いられ、
   前記第３開口は、前記第１開口を介して前記貯留部内に気体を導入することにより、前記第３開口を介して前記貯留部内の液体を排出するために用いられることを特徴とするポンプ装置。
6. 請求項５に記載のポンプ装置において、
   前記可動部材は、前記貯留部に接するように設けられたダイアフラムであり、
   前記駆動部は、前記ダイアフラムを変位させる駆動部であることを特徴とするポンプ装置。
7. 請求項５に記載のポンプ装置において、
   前記可動部材は、前記貯留部を取り囲むように設けられた弾性を有するチューブ部材であり、
   前記駆動部は、前記チューブ部材の胴部が変位することにより前記貯留部の容積を変化させる駆動部であることを特徴とするポンプ装置。
8. 請求項１から請求項７のいずれかに記載のポンプ装置と、
   前記ポンプ装置の前記第１開口に接続する流路に設けられ、液体である処理液をろ過するフィルタとを備えたことを特徴とする処理液供給装置。
9. 請求項１から請求項４のいずれかに記載のポンプ装置と、
   前記ポンプ装置の前記第１開口に接続する流路に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
   前記ポンプ装置の前記第２開口または前記第３開口に接続する流路の末端に設けられたノズルと
   を備えたことを特徴とする基板処理装置。
10. 処理液をろ過するフィルタと、前記フィルタの上流側に設けられて前記フィルタに処理液を送り込む第１のポンプ装置と、前記フィルタの下流側に設けられて前記フィルタでろ過された処理液を取り込んで送り出す第２のポンプ装置と、前記第１および第２のポンプ装置の駆動制御および処理液の流通制御を行う制御部とを備えた処理液供給装置であって、
    前記第１のポンプ装置と前記第２のポンプ装置は、それぞれが、
    液体を収容する内部空間である貯留部と、前記貯留部に接する可動部材とを備え、前記可動部材が変位することにより前記貯留部の容積が変化するチャンバと、
    前記可動部材を変位させる駆動部とを備え、
    前記チャンバは、前記貯留部に連通する少なくとも３つの開口、即ち、第１開口、第２開口、第３開口が形成されており、
    前記第２開口は、前記第１開口よりも高い位置にあり、
    前記第３開口は、前記３つの開口の中で最も低い位置にあり、
    そして、
    前記第１のポンプ装置の第１開口は、第１開閉弁が設けられた第１流路が接続されており、
    前記第１のポンプ装置の第２開口は、第２開閉弁が設けられた第２流路によって前記フィルタの流入口に接続されており、
    前記フィルタの流出口は、第３開閉弁が設けられた第３流路によって前記第２のポンプ装置の第１開口に接続されおり、
    前記第２のポンプ装置の第２開口は、第４開閉弁が設けられた第４流路によって前記第１のポンプ装置の第３開口に接続されており、
    前記第２のポンプ装置の第３開口は、第５開閉弁が設けられた第５流路が接続されており、
    前記制御部は、処理液を供給する通常の液送り動作の場合に、
    前記第１および第２のポンプ装置の前記可動部材の変位に連動させて前記第１から第５開閉弁を開閉制御することにより、
    前記第１のポンプ装置は、前記第１流路と前記第１のポンプ装置の第１開口を経て処理液を吸引し、さらに、前記第１のポンプ装置の第２開口と前記第２流路を経て処理液を前記フィルタに送り、
    そして、前記第２のポンプ装置は、前記フィルタでろ過された処理液を前記第３流路と前記第２のポンプ装置の第１開口を経て吸引し、さらに、吸引した処理液の一部を前記第２のポンプ装置の第２開口と前記第４流路を経て前記第１のポンプ装置の前記第３開口に戻すと共に、吸引した処理液の残部を前記第２のポンプ装置の第３開口と前記第５流路を経て送り出し、
    さらに、
    前記制御部は、前記第１および第２のポンプ装置から液体を排出する場合は、前記第１開閉弁、前記第２開閉弁、前記第３開閉弁、前記第４開閉弁、前記第５開閉弁を操作して、
    気体を前記第１流路と前記第１のポンプ装置の第１開口を経て前記第１のポンプ装置の貯留部に送り込むことにより、前記第１のポンプ装置の貯留部内の液体を前記第１のポンプ装置の第３開口と前記第４流路を経て前記第２のポンプ装置へ排出し、
    さらに、前記第１のポンプ装置から前記第４流路を経て送られてきた気体を前記第２のポンプ装置の貯留部に送り込み、そして、前記第２のポンプ装置の貯留部内の液体を前記第２のポンプ装置の第３開口と前記第５流路を経て排出することを特徴とする処理液供給装置。
11. 請求項１０に記載の処理液供給装置において、
    前記制御部は、前記第１および第２のポンプ装置から処理液を排出する前、または排出した後に、前記第１開閉弁、前記第２開閉弁、前記第３開閉弁、前記第４開閉弁、前記第５開閉弁を操作して、
    気体を前記第１流路と前記第１のポンプ装置の第１開口を経て前記第１のポンプ装置の貯留部に送り込み、さらに、前記第１のポンプ装置の第２開口から前記第２流路を経て前記フィルタへ送り、前記フィルタから前記第３流路と前記第２のポンプ装置の第１開口を経て前記第２のポンプ装置の貯留部に送り込み、そして、前記第２のポンプ装置の貯留部内の液体を前記第２のポンプ装置の第３開口と前記第５流路を経て排出することを特徴とする処理液供給装置。
12. 請求項１０または請求項１１に記載の処理液供給装置と、
    前記第２のポンプ装置の第３開口に接続する前記第５流路の末端に設けられたノズルと、
    を備えたことを特徴とする基板処理装置。
13. 液体を収容する内部空間である貯留部と、前記貯留部に接する可動部材とを備え、前記可動部材が変位することにより前記貯留部の容積が変化するチャンバと、前記可動部材を変位させる駆動部とを備えた処理液供給装置の液抜き方法において、
    前記可動部材の変位に連動させて液体の流通を制御することにより、前記チャンバに形成された前記貯留部に連通する少なくとも３つの開口、即ち、第１開口、前記第１開口よりも高い位置にある第２開口、前記３つの開口の中で最も低い位置にある第３開口、の中で前記第１開口と前記第２開口を用いて、前記第１開口を介して前記貯留部内に液体を吸引し、前記第２開口を介して前記貯留部内の液体を送り出す通常の液送り工程と、
    前記第１開口を介して前記貯留部内に気体が導入されることにより、前記第３開口を介して前記貯留部内の液体を排出する液体排出工程と、
    を備えていることを特徴とする液抜き方法。
14. 液体を収容する内部空間である貯留部と、前記貯留部に接する可動部材とを備え、前記可動部材が変位することにより前記貯留部の容積が変化するチャンバと、前記可動部材を変位させる駆動部とを備えた処理液供給装置の液置換方法において、
    前記可動部材の変位に連動させて液体の流通を制御することにより、前記チャンバに形成された前記貯留部に連通する少なくとも３つの開口、即ち、第１開口、前記第１開口よりも高い位置にある第２開口、前記３つの開口の中で最も低い位置にある第３開口、の中で前記第１開口と前記第２開口を用いて、前記第１開口を介して前記貯留部内に液体を吸引し、前記第２開口を介して前記貯留部内の液体を送り出す通常の液送り工程と、
    前記第１開口を介して前記貯留部内に気体が導入されることにより、前記第３開口を介して前記貯留部内の液体を排出する液体排出工程と、
    前記３つの開口の中で任意の１つの開口から前記貯留部に前記液体と異なる第２液体を投入する第２液体投入工程と、
    を備えていることを特徴とする液置換方法。
15. 請求項１４に記載の液置換方法において、
    前記第２液体は、洗浄液であることを特徴とする液置換方法。

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