JP6442377B2 - ポンプ装置セット及び液供給システム - Google Patents
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Description
基板処理システム1は、塗布現像装置2と露光装置3とを備える。露光装置3は、レジスト膜の露光処理を行う。具体的には、液浸露光等の方法によりレジスト膜(感光性被膜)の露光対象部分にエネルギー線を照射する。エネルギー線としては、例えばArFエキシマレーザー、KrFエキシマレーザー、g線、i線又は極端紫外線(EUV:Extreme Ultraviolet)が挙げられる。
続いて、図4を参照して、塗布ユニット(塗布装置)U1についてさらに詳しく説明する。塗布ユニットU1は、図4に示されるように、回転保持部20と、駆動部30と、ポンプ装置200と、制御部50とを備える。
液供給システム40の構成について、図5を参照して説明する。液供給システム40は、図5に示されるように、液ボトルBと、液タンクT1,T2と、ポンプ100と、フィルタ装置Fと、配管(送液ライン)D1〜D7と、バルブV1〜V7と、圧力センサ(圧力測定部)PS1,PS2と、ノズルNと、制御部Cとを備える。
続いて、図6及び図7を参照して、ポンプ100の構成を説明する。ポンプ100は、図6に示されるように、チューブ102と、チューブ用筐体104と、上述の電空レギュレータREとを有する。
本実施形態において、以上に説明した液供給システム40を構成する一部の要素は、図5に示されるように、送液システム60を構成している。送液システム60を構成する要素としては、例えば、ポンプ100、フィルタ装置F、制御部C、圧力センサPS1,PS2、液タンクT2、電空レギュレータRE、バルブV2〜V4,V6,V7、配管D3の一部、及び配管D4,D5が含まれる。ポンプ装置200は、図8に示される筐体202と、送液システム60を構成する各要素とを有する。
続いて、図9及び図10を参照して、液供給システム40の動作(塗布液をノズルNから吐出させる吐出動作)について説明する。チューブ102内に塗布液が充填されている状態で、制御部Cは、バルブV1〜V3,V6,V7を閉鎖させ、バルブV4,V5を開放させると共に、電空レギュレータREにより内部空間V内に空気を供給させる。これにより、内部空間V内の圧力が高まり、内部空間V内に位置するチューブ102のうち特に薄肉部102bが気圧により押しつぶされる。チューブ102(薄肉部102b)が押しつぶされると、図10に示されるように、チューブ102(薄肉部102b)の凹溝102c同士が近接又は当接する。そうすると、チューブ102(薄肉部102b)内の体積が小さくなるので、チューブ102内の塗布液は、開放されているバルブV4,V5側に押し出される。その結果、ノズルNがウエハW上に位置していると、塗布液がノズルNからウエハWの表面Waに向けて吐出される。
以上のような本実施形態では、電空レギュレータREが内部空間Vにおいて気体を供給及び排出することにより、チューブ102周りを加圧又は減圧している。そのため、チューブ102周りが加圧されたときには、チューブ102が潰れて、チューブ102内の塗布液(液体)がチューブ102外に押し出される。一方、チューブ102周りが減圧されたときには、チューブ102が膨らみ、チューブ102内に塗布液が充填される。ベローズポンプやダイアフラムポンプと比較して、チューブ102には、塗布液が滞留しやすい狭隘な空間が少ない。そのため、塗布液の滞留を抑制することが可能となる。従って、塗布液中のパーティクル濃度が高まり難くなる。加えて、本実施形態では、塗布液の移送のためにチューブ102に対して気圧を作用させている。そのため、チューブ102に対して液圧を作用させる場合と比較して、構成を簡素化することが可能となる。
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の要旨の範囲内で種々の変形を上記の実施形態に加えてもよい。例えば、2つのポンプ装置200を組み合わせて一組のポンプ装置セットとして利用してもよい。このとき、2つのポンプ装置の組み合わせ方によっては、一組のポンプ装置セットが嵩張る場合がある。そこで、図11に示されるように、2つのポンプ装置200の主部202a同士が重なり合わない状態で、一のポンプ装置200の細長部202bと他のポンプ装置の細長部202bとを重ね合わせて、一組のポンプ装置セットを構成してもよい。この場合、長尺となりがちではあるが厚さが薄い細長部202b同士が重ね合わせられる。そのため、一組のポンプ装置セットの厚さを抑制しつつ全体として小型化を図ることが可能となる。
Claims (7)
- 第1のポンプ装置と第2のポンプ装置とが組み合わされたポンプ装置セットであって、
前記第1及び第2のポンプ装置はそれぞれ、ポンプと、筐体とを備え、
前記ポンプは、
弾性を有し移送対象の液体が流通するチューブと、
前記チューブの外側を覆い、前記チューブの外表面との間の内部空間で気体を保持するチューブ用筐体と、
前記内部空間への気体の供給と前記内部空間からの気体の排出を行う供給排出部とを含み、
前記筐体は、
前記供給排出部を収容する主部と、
前記チューブ及び前記チューブ用筐体を収容する細長部とを含み、
前記細長部は、前記主部よりも厚さが薄く且つ前記主部から外方に向けて延びており、
前記第1及び第2のポンプ装置の前記主部同士が重なり合わず且つ前記第1及び第2のポンプ装置の前記細長部同士が重なり合うように、前記第1及び第2のポンプ装置が組み合わされている、ポンプ装置セット。 - 前記チューブは、その中心軸に沿って延び且つ前記中心軸側に向けて窪む凹溝を有する、請求項1に記載のポンプ装置セット。
- 前記チューブは、その両端が前記チューブ用筐体の外側に延びるように前記チューブ用筐体を貫通して延びており、
前記チューブのうち前記凹溝を有する部分は前記チューブ用筐体内に位置している、請求項2に記載のポンプ装置セット。 - 前記チューブは3つの前記凹溝を有し、
3つの前記凹溝はそれぞれ、前記チューブの周方向において略同一間隔となるように配置されている、請求項2又は3に記載のポンプ装置セット。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載のポンプ装置セットと、
前記ポンプと液源とを接続する第1の送液ラインと、
前記ポンプと液体が吐出されるノズルとを接続する第2の送液ラインと、
前記ポンプ内を延びる第3の送液ラインとを備え、
前記第3の送液ラインの少なくとも一部は、前記チューブによって構成されている、液供給システム。 - 前記第1の送液ライン上に配置されたフィルタと、
前記第1の送液ライン上で且つ前記フィルタと前記液源との間に配置されたアシストポンプとをさらに備える、請求項5に記載の液供給システム。 - 前記アシストポンプのうち液体の流入口は、前記液源のうち液体の吐出口と一体化されている、請求項6に記載の液供給システム。
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