JPS6197597U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6197597U JPS6197597U JP17504885U JP17504885U JPS6197597U JP S6197597 U JPS6197597 U JP S6197597U JP 17504885 U JP17504885 U JP 17504885U JP 17504885 U JP17504885 U JP 17504885U JP S6197597 U JPS6197597 U JP S6197597U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylindrical body
- tubular body
- fluid pressure
- vibration device
- openings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
第1図〜第3図は本考案に係る流体ポンプを示
し、第1図は非作動時における部分断面概説図、
第2図及び第3図は作動時における部分断面概説
図、第4図は第2図の−線における断面図で
ある。 1…筒体、2…管体、5…流体圧力振動装置、
6,7…一方弁装置、10…可撓性パイプ、11
…ダイヤフラム室、12…ダイヤフラム、13…
モータの出力軸。
し、第1図は非作動時における部分断面概説図、
第2図及び第3図は作動時における部分断面概説
図、第4図は第2図の−線における断面図で
ある。 1…筒体、2…管体、5…流体圧力振動装置、
6,7…一方弁装置、10…可撓性パイプ、11
…ダイヤフラム室、12…ダイヤフラム、13…
モータの出力軸。
Claims (1)
- 両端が開口した硬質材からなる筒体の内部に可
撓性を有する管体を配設し、該管体はその両端部
を該筒体に密着結合してその中間部は接離自在と
し、該筒体と該管体の該中間部との間を流体圧力
振動装置に連動し、該筒体の該両端開口部に同一
方向に開口する一方弁をそれぞれ取付けてなるこ
とを特徴とする流体ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17504885U JPS6197597U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17504885U JPS6197597U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6197597U true JPS6197597U (ja) | 1986-06-23 |
Family
ID=30732654
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17504885U Pending JPS6197597U (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6197597U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004316617A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Takeo Nasu | ポンプ |
KR20160047997A (ko) * | 2014-10-23 | 2016-05-03 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 펌프, 펌프 장치 및 액 공급 시스템 |
JP2018538475A (ja) * | 2015-11-25 | 2018-12-27 | イソカレント エナジー インコーポレーテッド | 可変圧力容器 |
US10655619B2 (en) | 2014-10-23 | 2020-05-19 | Tokyo Electron Limited | Pump, pump device, and liquid supply system |
-
1985
- 1985-11-15 JP JP17504885U patent/JPS6197597U/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004316617A (ja) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Takeo Nasu | ポンプ |
JP4550373B2 (ja) * | 2003-04-11 | 2010-09-22 | 那須 ▲丈▼夫 | ポンプ |
KR20160047997A (ko) * | 2014-10-23 | 2016-05-03 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 펌프, 펌프 장치 및 액 공급 시스템 |
JP2016084803A (ja) * | 2014-10-23 | 2016-05-19 | 東京エレクトロン株式会社 | ポンプ、ポンプ装置及び液供給システム |
US10655619B2 (en) | 2014-10-23 | 2020-05-19 | Tokyo Electron Limited | Pump, pump device, and liquid supply system |
JP2018538475A (ja) * | 2015-11-25 | 2018-12-27 | イソカレント エナジー インコーポレーテッド | 可変圧力容器 |