JP7164426B2 - 基板処理装置およびフィルタの気泡抜き方法 - Google Patents
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Description
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
また、他端側配管の内径が小さいので、処理液を少量で遠くに送ることができる。そのため、戻すための処理液が少量で済む。
次に基板処理装置1の動作について説明する。まず、基板処理装置1による処理液の吐出動作について説明する。
図1の左側に示す三方弁V1は、気体配管20と気体配管22を接続させている。そのため、処理液ボトル5には、気体供給源18からの気体(例えば窒素)は供給されていない。
現在、上流ポンプ8A内の貯留部(チャンバ)に所定の処理液が存在し、また、下流ポンプ10A内の貯留部に所定の処理液が存在している状態であるとする。このとき、開閉弁V11A~V16Aは閉じている。
下流ポンプ10Aから処理液を送り出し、ノズル3Aから処理液を吐出する。具体的には、下流ポンプ10Aは、ダイアフラムの移動により下流ポンプ10A内の貯留部の容積を小さくする。この際、開閉弁V14Aは開かれ、その他の開閉弁V11A~V13A、V15A、V16Aは閉じられる。これにより、下流ポンプ10A内の貯留部に存在する処理液がノズル3A方向に送り出され、ノズル3Aから処理液が吐出される。
上流ポンプ8A内の貯留部には、所定の処理液が存在したままである。この処理液を、フィルタ9Aを通じて下流ポンプ10A内の貯留部に送り出す。すなわち、上流ポンプ8Aは、ダイアフラムの移動により上流ポンプ8A内の貯留部の容積を小さくする。これと同時に、下流ポンプ10Aは、ダイアフラムの移動により下流ポンプ10A内の貯留部の容積を大きくする。この際、開閉弁V12A,V13Aは開かれ、その他の開閉弁V11A,V14A~V16Aは閉じられる。
下流ポンプ10Aは、ポンプ側戻り配管41Aを通じて下流ポンプ10A内の処理液を上流ポンプ8Aに戻す。すなわち、下流ポンプ10Aは、ダイアフラムの少しの移動により下流ポンプ10A内の貯留部の容積を少し小さくする。この際、開閉弁V11A,V15Aが開かれ、その他の開閉弁V12A~V14,V16は閉じられる。これにより、例えば下流ポンプ10A内の気泡を含む処理液を上流ポンプ8Aに戻すことができる。
上流ポンプ8A内に処理液を吸引する。すなわち、上流ポンプ8Aは、ダイアフラムの移動により上流ポンプ8A内の貯留部の容積を大きくする。この際、開閉弁V11Aは開かれ、その他の開閉弁V12A~V16Aは閉じられる。これにより、ステップS01の準備完了状態となる。ステップS01~S05は、繰り返される。
次に、基板処理装置1におけるフィルタ9Aの気泡抜き動作を説明する。
3A,3B … ノズル
4 … 送り配管
5 … 処理液ボトル
7 … トラップタンク
8A,8B … 上流ポンプ
9A,9B … フィルタ
16 … 気体供給部
24 … 共通管
27A,28B … 枝配管
34 … 上側液面センサ
35 … ボトルセンサ
38 … ベント配管
43 … フィルタ本体
51,73A,73B … 戻り配管
59 … 制御部
65A,65B … 戻り側ベント配管
67A,67B,98 … 液面センサ
71A,71B … 合流管
91 … 気泡センサ
93 … フィルタ側配管
95 … 他端側配管
ID1,ID2 … 内径
INT … 時間間隔
TL3 … 初期期間
TL4 … 残りの期間
V1,V21A,V21B … 三方弁
V2 … ベント開閉弁
V16A,V16B … 開閉弁
Claims (13)
- 基板に対して処理液を吐出するノズルと、
処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
前記フィルタと前記トラップタンクとを接続し、前記フィルタから前記トラップタンクに処理液を戻すように構成された戻り配管と、
前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁と、
予め設定された時間間隔で前記戻り配管を通じて前記フィルタから前記トラップタンクに向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する制御部と、備え、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出し、
前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置において、
前記トラップタンクの上部に接続し、処理液を排出できるベント配管と、
前記ベント配管に設けられたベント開閉弁と、を更に備え、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開き、かつ前記ベント開閉弁を閉じながら、前記ポンプによって処理液を送り出し、
前記制御部は、前記戻り開閉弁を閉じ、かつ前記ベント開閉弁を開きながら、前記処理液送り出しユニットによって処理液を送り出すことにより、前記ベント配管から気泡を排出することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置において、
前記トラップタンク内または前記ベント配管内に予め設定された量の気泡が存在することを検出する気泡検出センサを更に備え、
前記制御部は、前記気泡検出センサが予め設定された量の気泡の存在を検出したとき、前記戻り開閉弁を閉じ、かつ前記ベント開閉弁を開きながら、前記処理液送り出しユニットによって処理液を送り出すことにより、前記ベント配管から気泡を排出することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置において、
前記気泡検出センサは、前記トラップタンク内に予め設定された量の気泡が存在することを検出するトラップタンクセンサと、前記処理液容器と前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、設置位置における前記送り配管内の処理液の有無を検出する処理液容器センサとを備え、
前記制御部は、前記トラップタンクセンサが予め設定された量の気泡の存在を検出し、かつ、前記処理液容器センサが処理液有りと検出したとき、前記戻り開閉弁を閉じ、かつ前記ベント開閉弁を開きながら、前記処理液送り出しユニットによって処理液を送り出すことにより、前記ベント配管から気泡を排出することを特徴とする基板処理装置。 - 基板に対して処理液を吐出するノズルと、
処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
前記トラップタンクと前記ポンプの間でかつ前記トラップタンクと前記フィルタの間における前記送り配管に設けられた合流管と、
前記フィルタと前記合流管とを接続し、前記フィルタから前記合流管に処理液を戻すように構成された戻り配管と、
前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁と、
予め設定された時間間隔で前記戻り配管を通じて前記フィルタから前記合流管に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する制御部と、備え、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項5に記載の基板処理装置において、
前記送り配管は、共通管と、前記共通管から分岐した第1枝配管および第2枝配管とを備え、
前記共通管は、前記処理液容器と接続し、
前記共通管には、前記トラップタンクが設けられ、
前記第1枝配管は、前記ノズルと接続し、
前記第1枝配管には、前記合流管、前記ポンプおよび前記フィルタが設けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 基板に対して処理液を吐出するノズルと、
処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
前記フィルタと前記処理液容器とを接続し、前記フィルタから前記処理液容器に処理液を戻すように構成された戻り配管と、
前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁と、
予め設定された時間間隔で前記戻り配管を通じて前記フィルタから前記処理液容器に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する制御部と、備え、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出し、
前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から7のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記戻り配管から分岐するように設けられ、処理液を排出できる戻り側ベント配管と、
前記戻り開閉弁を含む切換弁であって、少なくとも排出動作および戻し動作のいずれかを選択する前記切換弁と、を備え、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記切換弁で前記排出動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通じて前記フィルタからの処理液を排出し、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際に、前記切換弁で前記戻し動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通さずに前記戻り配管を通じて前記フィルタからの処理液を戻すことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項8に記載の基板処理装置において、
前記戻り開閉弁と前記フィルタの間の前記戻り配管、または前記戻り側ベント配管に設けられ、前記戻り配管内に予め設定された量の気泡が存在することを検出する戻り側気泡検出センサを更に備え、
前記制御部は、前記戻り側気泡検出センサが予め設定された量の気泡の存在を検出したときは、前記定期戻し動作の際に、前記切換弁で前記排出動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通じて前記フィルタからの処理液を排出することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項8または9に記載の基板処理装置において、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際の予め設定された初期期間において、前記切換弁で前記排出動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通じて前記フィルタからの処理液を排出し、
前記制御部は、前記定期戻し動作の際の前記初期期間以外の残りの期間において、前記切換弁で前記戻し動作を選択しながら、前記ポンプによって処理液を送り出すことにより、前記戻り側ベント配管を通さずに前記戻り配管を通じて前記フィルタからの処理液を戻すことを特徴とする基板処理装置。 - 基板に対して処理液を吐出するノズルと、
処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
を備えた基板処理装置におけるフィルタの気泡抜き方法において、
予め設定された時間間隔で、前記フィルタと前記トラップタンクとを接続する戻り配管を通じて前記フィルタから前記トラップタンクに向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する工程と、
前記定期戻し動作の際に、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出す工程と、
を備え、
前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とするフィルタの気泡抜き方法。 - 基板に対して処理液を吐出するノズルと、
処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
を備えた基板処理装置におけるフィルタの気泡抜き方法において、
予め設定された時間間隔で、前記トラップタンクと前記ポンプの間でかつ前記トラップタンクと前記フィルタの間における前記送り配管に設けられた合流管と前記フィルタとを接続する戻り配管を通じて前記フィルタから前記合流管に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する工程と、
前記定期戻し動作の際に、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出す工程と、
を備えていることを特徴とするフィルタの気泡抜き方法。 - 基板に対して処理液を吐出するノズルと、
処理液を収容する処理液容器を有し、前記処理液容器から処理液を送り出すことができる処理液送り出しユニットと、
前記処理液容器から前記ノズルに処理液を送るための送り配管と、
前記送り配管に設けられ、前記処理液容器の残量を検出するように構成されたトラップタンクと、
前記ノズルと前記トラップタンクの間の前記送り配管に設けられ、処理液をろ過するフィルタと、
前記トラップタンクの下流側の前記送り配管に設けられたポンプと、
を備えた基板処理装置におけるフィルタの気泡抜き方法において、
予め設定された時間間隔で、前記フィルタと前記処理液容器とを接続する戻り配管を通じて前記フィルタから前記処理液容器に向けて処理液を戻す定期戻し動作を実行する工程と、
前記定期戻し動作の際に、前記戻り配管に設けられた戻り開閉弁を開きながら、前記ポンプによって処理液を送り出す工程と、
を備え、
前記戻り配管は、前記フィルタに一端が接続されるフィルタ側配管と、前記フィルタ側配管の他端に直列に接続され、前記フィルタ側配管よりも内径が小さい他端側配管とを備えていることを特徴とするフィルタの気泡抜き方法。
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