JP6278808B2 - 液供給装置およびフィルタ洗浄方法 - Google Patents
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Description
フィルタ108の洗浄処理の他の例について図6を参照して説明する。図6は、フィルタ108の洗浄処理の他の例を示す図である。なお、以下の説明では、既に説明した部分と同様の部分については、既に説明した部分と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
16 処理ユニット
18 制御部
70 処理流体供給源
102 タンク
104 循環ライン
106 ポンプ
108 フィルタ
181 ハウジング
182 フィルタ部材
183 第1フィルタドレン
184 第2フィルタドレン
112 分岐ライン
120 排出ライン
130 バイパスライン
140 洗浄流体供給機構
141 洗浄用流体供給源
Claims (7)
- 処理液を用いて基板を処理する処理ユニットに対して前記処理液を供給する液供給装置であって、
前記処理液を貯留するタンクと、
前記タンクに一端が接続され、他端が前記処理ユニットに接続される供給ラインと、
前記タンクに貯留された処理液を前記供給ラインを介して前記処理ユニットへ送給する送給機構と、
前記供給ラインに設けられ、前記供給ラインを流れる前記処理液から異物を除去するフィルタと、
前記フィルタのフィルタ部材を洗浄する洗浄用流体を前記フィルタ部材の下流側から上流側へ流す洗浄流体供給機構と、
前記送給機構よりも下流側かつ前記フィルタ部材よりも上流側に設けられる排出ラインと、
前記供給ラインにおける前記送給機構よりも下流側かつ前記排出ラインよりも上流側に一端が接続され、他端が前記フィルタ部材よりも下流側に接続されるバイパスラインと、
前記洗浄流体供給機構を制御して、前記洗浄用流体を前記フィルタ部材の下流側から上流側へ流して前記排出ラインから排出する第1洗浄処理と、前記第1洗浄処理後、前記送給機構を制御して、前記タンク内の処理液を前記バイパスラインを介して前記フィルタ部材の下流側から上流側へ流して前記排出ラインから排出する第2洗浄処理とを実行する制御部と
を備えることを特徴とする液供給装置。 - 前記供給ラインは、
前記バイパスラインの上流側の端部よりも下流側かつ前記排出ラインよりも上流側に設けられる第1開閉弁と、
前記バイパスラインの下流側の端部よりも下流側かつ前記処理ユニットよりも上流側に設けられる第2開閉弁と
を備え、
前記制御部は、
前記第1開閉弁および前記第2開閉弁を閉じた状態で、前記第1洗浄処理および前記第2洗浄処理を実行すること
を特徴とする請求項1に記載の液供給装置。 - 前記洗浄流体供給機構は、
前記バイパスラインに接続される配管
を備え、
前記バイパスラインは、
前記洗浄流体供給機構が備える前記配管との接続部よりも上流側に設けられる第3開閉弁と、
前記配管との接続部よりも下流側に設けられる第4開閉弁と
を備え、
前記制御部は、
前記第3開閉弁を閉じ、前記第4開閉弁を開いた状態で、前記第1洗浄処理を実行した後、前記第3開閉弁および前記第4開閉弁を開いた状態で、前記第2洗浄処理を実行すること
を特徴とする請求項2に記載の液供給装置。 - 前記フィルタは、
前記フィルタ部材と、
前記フィルタ部材を収容するハウジングと、
前記フィルタ部材よりも上流側において前記ハウジングに接続されるフィルタドレンと
を備え、
前記制御部は、
前記第2洗浄処理において、前記タンク内の処理液を前記排出ラインに代えて前記フィルタドレンから排出すること
を特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の液供給装置。 - 処理液を用いて基板を処理する処理ユニットに対して前記処理液を供給する液供給装置であって、
前記処理液を貯留するタンクと、
前記タンクに一端が接続され、他端が前記処理ユニットに接続される供給ラインと、
前記タンクに貯留された処理液を前記供給ラインを介して前記処理ユニットへ送給する送給機構と、
前記供給ラインに設けられ、前記供給ラインを流れる前記処理液から異物を除去するフィルタと、
前記フィルタのフィルタ部材を洗浄する洗浄用流体を前記フィルタ部材の下流側から上流側へ流す洗浄流体供給機構と、
前記送給機構よりも下流側かつ前記フィルタ部材よりも上流側に設けられる排出ラインと、
前記供給ラインにおける前記送給機構よりも下流側かつ前記排出ラインよりも上流側に一端が接続され、他端が前記フィルタ部材よりも下流側に接続されるバイパスラインと
を備え、
前記洗浄流体供給機構は、
前記バイパスラインに接続される配管
を備え、
前記洗浄用流体を前記配管および前記バイパスラインを介して前記フィルタ部材の下流側から上流側へ流し、前記タンク内の処理液を前記バイパスラインを介して前記フィルタ部材の下流側から上流側へ流すことを特徴とする液供給装置。 - 処理液を用いて基板を処理する処理ユニットに対して前記処理液を供給する液供給装置であって、
前記処理液を貯留するタンクと、
前記タンクに一端が接続され、他端が前記処理ユニットに接続される供給ラインと、
前記タンクに貯留された処理液を前記供給ラインを介して前記処理ユニットへ送給する送給機構と、
前記供給ラインに設けられ、前記供給ラインを流れる前記処理液から異物を除去するフィルタと、
前記フィルタのフィルタ部材を洗浄する洗浄用流体を前記フィルタ部材の下流側から上流側へ流す洗浄流体供給機構と、
前記送給機構よりも下流側かつ前記フィルタ部材よりも上流側に設けられる排出ラインと、
前記供給ラインにおける前記送給機構よりも下流側かつ前記排出ラインよりも上流側に一端が接続され、他端が前記フィルタ部材よりも下流側に接続されるバイパスラインと
を備え、
前記フィルタは、
前記フィルタ部材と、
前記フィルタ部材を収容するハウジングと、
前記フィルタ部材よりも上流側において前記ハウジングに接続されるフィルタドレンと
を備え、
前記排出ラインは、
前記フィルタドレンよりも大径であり、
前記タンク内の処理液を前記バイパスラインを介して前記フィルタ部材の下流側から上流側へ流すことを特徴とする液供給装置。 - 処理液を貯留するタンクと、前記タンクに一端が接続され、前記処理液を用いて基板を処理する処理ユニットに他端が接続される供給ラインと、前記タンクに貯留された処理液を前記供給ラインを介して前記処理ユニットへ送給する送給機構と、前記供給ラインに設けられ、前記供給ラインを流れる前記処理液から異物を除去するフィルタとを備える液供給装置の前記フィルタを洗浄するフィルタ洗浄方法であって、
前記フィルタのフィルタ部材を洗浄する洗浄用流体を前記フィルタ部材の下流側から上流側へ流す洗浄流体供給機構を用い、前記洗浄用流体を前記フィルタ部材の下流側から上流側へ流して、前記送給機構よりも下流側かつ前記フィルタ部材よりも上流側に設けられる排出ラインから排出する第1洗浄工程と、
前記第1洗浄工程後、前記供給ラインにおける前記送給機構よりも下流側かつ前記排出ラインよりも上流側に一端が接続され、他端が前記フィルタ部材よりも下流側に接続されるバイパスラインを介して前記タンク内の処理液を前記フィルタ部材の下流側から上流側へ流して、前記排出ラインから排出する第2洗浄工程と
を含むことを特徴とするフィルタ洗浄方法。
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