CN107574423A - 可结晶液体雾化装置及方法 - Google Patents

Abstract

一种可结晶液体雾化装置及方法，所述装置包括液体源，用于提供液体；液体传输管路，一端与所述液体源连通；雾化装置，与所述液体传输管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；还包括：加热过滤装置，设置在所述液体传输管路上，用于对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤。本发明方案可以有效地降低导入雾化装置的液体中的结晶程度和杂质比例，从而提高雾化效果，提高工艺稳定性。

Description

可结晶液体雾化装置及方法

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其是涉及一种可结晶液体雾化装置及方法。

背景技术

在半导体集成电路制造工艺中，需要将多种液体从液体雾化为微小液滴，以进行淀积工艺或者形成中间产品。

例如，可以利用正硅酸乙酯(TEOS)台阶覆盖性好以及成本低的特点，采用TEOS淀积二氧化硅；或者采用磷酸三乙酯(TEPO)生成磷硅玻璃或硼磷硅玻璃，所述磷硅玻璃或硼磷硅玻璃可用于形成层间介质。

但是，部分液体在工艺过程中容易发生结晶，导致运输该液体的管路发生堵塞以及流量不稳定的问题，甚至导致对该液体进行雾化处理的雾化装置发生堵塞，影响机台产出率。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种可结晶液体雾化装置及方法，可以有效地降低导入雾化装置的液体中的结晶程度和杂质比例，从而提高雾化效果，提高工艺稳定性。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供一种可结晶液体雾化装置，包括：液体源，用于提供液体；液体传输管路，一端与所述液体源连通；雾化装置，与所述液体传输管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；还包括：加热过滤装置，设置在所述液体传输管路上，用于对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤。

可选的，所述可结晶液体雾化装置还包括：流量控制阀，设置在所述液体传输管路上，用于控制所述液体传输管路中的液体的流量；其中，所述加热过滤装置设置在所述液体源与所述流量控制阀之间的液体传输管路上。

可选的，所述加热过滤装置包括：外壁，所述外壁包覆有加热层；过滤结构，设置于所述外壁包围形成的管腔内，以对流经所述管腔的液体进行过滤。

可选的，所述加热层包括氧化镁以及电热丝中的至少一项。

可选的，所述过滤结构的材质为不锈钢材质。

可选的，所述液体为可结晶液体，选自TEOS以及TEPO。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供一种可结晶液体雾化方法，包括以下步骤：从液体源向液体传输管路导入液体，所述液体传输管路的一端与所述液体源连通；对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤；从所述液体传输管路向雾化装置导入进行加热以及过滤之后的液体，以对所述液体进行雾化处理，其中，所述雾化装置与所述液体传输管路的另一端连通。

可选的，所述液体传输管路上设置有流量控制阀，对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤包括：通过设置在所述液体传输管路上的加热过滤装置对所述液体传输管路中的液体进行加热；其中，所述加热过滤装置设置在所述液体源与所述流量控制阀之间的液体传输管路上。

可选的，所述加热过滤装置包括：外壁，所述外壁包覆有加热层；过滤结构，设置于所述外壁包围形成的管腔内，以对流经所述管腔的液体进行过滤。

可选的，所述液体为可结晶液体，选自TEOS以及TEPO。

与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下有益效果：

在本发明实施例中，可结晶液体雾化装置包括：液体源，用于提供液体；液体传输管路，一端与所述液体源连通；雾化装置，与所述液体传输管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；还包括：加热过滤装置，设置在所述液体传输管路上，用于对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤。采用上述方案，可以在运输液体的管路上设置加热过滤装置，通过对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤，可以提高液体的温度以及排除杂质，从而可以有效地降低导入雾化装置的液体中的结晶程度和杂质比例，从而提高雾化效果，提高工艺稳定性。

进一步，所述加热过滤装置设置在所述液体源与所述流量控制阀之间的液体传输管路上，相比于将加热过滤装置设置在所述流量控制阀与所述雾化装置之间，有助于使流经流量控制阀之后的液体流量保持稳定，从而提高工艺稳定性。

进一步，在本发明实施例中，所述加热过滤装置包括外壁与过滤结构，所述外壁包覆有加热层；所述过滤结构设置于所述外壁包围形成的管腔内，以对流经所述管腔的液体进行过滤，可以使液体在一体的加热过滤装置中进行加热及过滤，从而提高所述可结晶液体雾化装置的空间利用率。

附图说明

图1是现有技术中一种可结晶液体雾化装置的结构示意图；

图2是本发明实施例中一种可结晶液体雾化装置的结构示意图；

图3是本发明实施例中一种加热过滤装置的结构示意图；

图4是本发明实施例中一种可结晶液体雾化方法的流程图。

具体实施方式

在半导体集成电路制造工艺中，需要将多种液体从液体雾化为微小液滴，但是，部分液体在工艺过程中容易发生结晶，导致运输该液体的管路发生堵塞以及流量不稳定的问题，甚至导致对该液体进行雾化处理的雾化装置发生堵塞，影响机台产出率。

参照图1，图1是现有技术中一种可结晶液体雾化装置的结构示意图。所述可结晶液体雾化装置可以包括液体源11、液体传输管路12、雾化装置13以及反应腔室14。

其中，液体源11用于提供液体，液体传输管路12的一端与所述液体源11连通，雾化装置13的一端与所述液体传输管路12的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理，以形成雾化气体；反应腔室14与雾化装置13的另一端连通，用于对所述雾化气体进行化学反应。

本发明的发明人经过研究发现，在现有技术中，通常从液体源向液体传输管路导入的液体为常温或低温，并且往往含有杂质，温差或杂质容易致使液体结晶。通过消除已经存在的结晶，或者预防结晶生成，可以有效地降低导入雾化装置的液体中的结晶程度，提高雾化效果。

在本发明实施例中，可结晶液体雾化装置包括：液体源，用于提供液体；液体传输管路，一端与所述液体源连通；雾化装置，与所述液体传输管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；还包括：加热过滤装置，设置在所述液体传输管路上，用于对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤。采用上述方案，可以在运输液体的管路上设置加热过滤装置，通过对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤，可以提高液体的温度以及排除杂质，从而可以有效地降低导入雾化装置的液体中的结晶程度和杂质比例，从而提高雾化效果，提高工艺稳定性。

为使本发明的上述目的、特征和有益效果能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

参照图2，图2是本发明实施例中一种可结晶液体雾化装置的结构示意图。所述可结晶液体雾化装置可以包括液体源21、液体传输管路22、雾化装置23、反应腔室24以及加热过滤装置25。

其中，液体源21用于提供液体，液体传输管路22的一端与所述液体源21连通，雾化装置23的一端与所述液体传输管路22的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理，以形成雾化气体；反应腔室24与雾化装置23的另一端连通，用于对所述雾化气体进行化学反应。

所述加热过滤装置25设置在所述液体传输管路22上，用于对所述液体传输管路22中的液体进行加热以及过滤。

需要指出的是，所述加热过滤装置25可以通过连接接头可拆卸地连接至所述液体传输管路22上，还可以固定连接为所述液体传输管路22的一部分。在本发明实施例中，对于所述加热过滤装置25与所述液体传输管路22的具体设置方式不作限制。

在本发明实施例中，可以在运输液体的液体传输管路22上设置加热过滤装置25，通过对所述液体传输管路22中的液体进行加热以及过滤，可以提高液体的温度以及排除杂质，进而可以有效地降低导入雾化装置23的液体中的结晶程度和杂质比例，从而提高雾化效果，提高工艺稳定性。

进一步地，所述可结晶液体雾化装置还可以包括流量控制阀26，所述流量控制阀26设置在所述液体传输管路22上，用于对液体传输管路22的液体流量进行控制。其中，所述加热过滤装置25可以设置在所述液体源21与所述流量控制阀26之间的液体传输管路上。

在本发明实施例中，所述加热过滤装置25设置在所述液体源21与所述流量控制阀26之间的液体传输管路22上，相比于将加热过滤装置25设置在所述流量控制阀26与所述雾化装置23之间，有助于使流经流量控制阀26之后的液体流量保持稳定，从而提高工艺稳定性。

参照图3，图3是本发明实施例中一种加热过滤装置的结构示意图，所述加热过滤装置可以包括外壁31以及过滤结构32。

其中，所述外壁31可以包覆有加热层33，以对流经所述管腔34的液体进行加热；所述过滤结构32可以设置于所述外壁31包围形成的管腔34内，以对流经所述管腔34的液体进行过滤。

具体地，所述加热层33可以包括氧化镁以及电热丝中的至少一项。

更具体而言，氧化镁可以位于热源和所述外壁31之间，用于热源与所述外壁31之间的绝缘以及导热。其中，所述热源可以为外置热源或者所述电热丝。

具体地，氧化镁可以设置为颗粒状，通常由不同粗细的氧化镁粉颗粒按照一定的比例(例如目数比)配置而成。

进一步地，所述加热过滤装置还可以包括连接接头35，从而通过连接接头35可拆卸地连接至所述液体传输管路上。

在本发明实施例中，所述加热过滤装置包括外壁31与过滤结构32，所述外壁31包覆有加热层33；所述过滤结构32设置于所述外壁31包围形成的管腔内，以对流经所述管腔的液体进行过滤，可以使液体在一体的加热过滤装置中进行加热及过滤，从而提高所述可结晶液体雾化装置的空间利用率。

进一步地，所述过滤结构32的材质可以为不锈钢材质，还可以为其他常规的耐高温且不会与管腔内的液体发生化学反应的材质。

进一步地，所述液体为可结晶液体，还可以选自其他常规的需要由液态转变为气态的可结晶液体，具体地，可以选自TEOS以及TEPO。其中，可以利用TEOS台阶覆盖性好以及成本低的特点，雾化为气体后淀积二氧化硅；或者采用TEPO雾化为气体后生成磷硅玻璃或硼磷硅玻璃，所述磷硅玻璃或硼磷硅玻璃可用于形成层间介质。

参照图4，图4是本发明实施例中一种可结晶液体雾化方法的流程图。所述可结晶液体雾化方法可以包括步骤S41至步骤S43：

步骤S41：从液体源向液体传输管路导入液体，所述液体传输管路的一端与所述液体源连通；

步骤S42：对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤；

步骤S43：从所述液体传输管路向雾化装置导入进行加热以及过滤之后的液体，以对所述液体进行雾化处理，其中，所述雾化装置与所述液体传输管路的另一端连通。

在具体实施中，可以通过设置在所述液体传输管路上的加热过滤装置对所述液体传输管路中的液体进行加热。

进一步地，所述液体传输管路上设置有流量控制阀，对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤可以包括：通过设置在所述液体传输管路上的加热过滤装置对所述液体传输管路中的液体进行加热；其中，所述加热过滤装置设置在所述液体源与所述流量控制阀之间的液体传输管路上。

进一步地，所述加热过滤装置可以包括：外壁，所述外壁包覆有加热层；过滤结构，设置于所述外壁包围形成的管腔内，以对流经所述管腔的液体进行过滤。

所述液体为可结晶液体，选自TEOS以及TEPO。

关于该可结晶液体雾化方法的原理、具体实现和有益效果请参照前文及图1至图3示出的关于可结晶液体雾化装置的相关描述，此处不再赘述。

进一步地，在本发明实施例的一种具体应用中，所述雾化装置可以包括喷射阀以及载气输入装置，所述喷射阀可以安装于所述液体传输管路，所述载气输入装置可以包含有与所述液体传输管路三通连接的载气输入管路，用于向所述喷射阀输入载气。所述载气可以包括氦气或者其他常规的用于雾化的载气。

所述可结晶液体雾化装置还可以包括与所述液体传输管路三通连接的清洁气体输入管路，用于向所述液体传输管路输入清洁气体。所述清洁气体可以包括氮气或者其他常规的用于清洁的气体。

进一步地，在反应腔室与雾化装置的连通管路中，还可以设置转向阀，抽气泵通过所述转向阀三通连接至所述管路中，用于抽走反应腔室中的反应尾气。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (10)

1.一种可结晶液体雾化装置，包括：

液体源，用于提供液体；

液体传输管路，一端与所述液体源连通；

雾化装置，与所述液体传输管路的另一端连通，用于对所述液体进行雾化处理；

其特征在于，还包括：

加热过滤装置，设置在所述液体传输管路上，用于对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤。

2.根据权利要求1所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，还包括：

流量控制阀，设置在所述液体传输管路上，用于控制所述液体传输管路中的液体的流量；

其中，所述加热过滤装置设置在所述液体源与所述流量控制阀之间的液体传输管路上。

3.根据权利要求1所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述加热过滤装置包括：

外壁，所述外壁包覆有加热层；

过滤结构，设置于所述外壁包围形成的管腔内，以对流经所述管腔的液体进行过滤。

4.根据权利要求3所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述加热层包括氧化镁以及电热丝中的至少一项。

5.根据权利要求3所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述过滤结构的材质为不锈钢材质。

6.根据权利要求1所述的可结晶液体雾化装置，其特征在于，所述液体为可结晶液体，选自TEOS以及TEPO。

7.一种可结晶液体雾化方法，其特征在于，包括以下步骤：

从液体源向液体传输管路导入液体，所述液体传输管路的一端与所述液体源连通；

对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤；

从所述液体传输管路向雾化装置导入进行加热以及过滤之后的液体，以对所述液体进行雾化处理，其中，所述雾化装置与所述液体传输管路的另一端连通。

8.根据权利要求7所述的可结晶液体雾化方法，其特征在于，所述液体传输管路上设置有流量控制阀，对所述液体传输管路中的液体进行加热以及过滤包括：

通过设置在所述液体传输管路上的加热过滤装置对所述液体传输管路中的液体进行加热；

其中，所述加热过滤装置设置在所述液体源与所述流量控制阀之间的液体传输管路上。

9.根据权利要求7所述的可结晶液体雾化方法，其特征在于，所述加热过滤装置包括：

外壁，所述外壁包覆有加热层；

过滤结构，设置于所述外壁包围形成的管腔内，以对流经所述管腔的液体进行过滤。

10.根据权利要求7所述的可结晶液体雾化方法，其特征在于，所述液体为可结晶液体，选自TEOS以及TEPO。