JP2009527674A5 - - Google Patents

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  1. ポンプ装置の分配チャンバの中に流体を導入することと、
    該分配チャンバの容量を調整して該分配チャンバ内の圧力変動を補償するために、該ポンプ装置のポンプ手段のダイヤフラムを動かすことと
    を含む方法であって、該ダイヤフラムはモータを用いて直接動かされる、方法。
  2. 前記圧力変動は、弁の開口または弁の閉鎖による圧力降下である、請求項1に記載の方法。
  3. 前記圧力変動は、前記弁のホールドバック容量にほぼ比例し、前記ダイヤフラムは、弁のホールドバック容量に実質的に等しい量だけ前記分配チャンバの容量を増加させる用に動かされる、請求項に記載の方法。
  4. 前記ダイヤフラムは、ほぼオーバーシュート容量分だけ前記分配チャンバの容量を増加させるように動かされ、次いで、ほぼ該オーバーシュート容量だけ該分配チャンバの容量を減少させるように動かされる、請求項に記載の方法。
  5. 前記ダイヤフラムは、前記分配チャンバ内において所望の圧力が達成されるまで、該分配チャンバの容量を増加させるように動かされる、請求項に記載の方法。
  6. 前記ダイヤフラムは、前記分配チャンバ内において所望の圧力よりも低い圧力が達成されるまで該分配チャンバの容量を増加させるように動かされ、次いで、ほぼ該所望の圧力が達成させられるまで該分配チャンバの容量を減少させるように動かされる、請求項に記載の方法。
  7. ポンプ装置の分配チャンバに流体を導入することと、
    該分配チャンバの容量を調整して該分配チャンバ内の圧力変動を補償するために、該ポンプ装置のポンプ手段のダイヤフラムを動かすことと
    のための翻訳可能な命令を含むコンピュータ読み取り可能媒体であって、
    該ダイヤフラムは、モータを用いて直接動かされる、コンピュータ読み取り可能媒体。
  8. 前記圧力変動は、弁の開口または弁の閉鎖による圧力降下である、請求項に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
  9. 前記圧力上昇は、前記弁のホールドバック容量にほぼ比例し、前記ダイヤフラムは、該弁の該ホールドバック容量に実質的に等しい量だけ、前記分配チャンバの容量を増加させるように動かされる、請求項8に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
  10. 前記ダイヤフラムは、ほぼオーバーシュート容量だけ前記分配チャンバの容量を増加させるように動かされ、次いで、ほぼ該オーバーシュート容量だけ該分配チャンバの容量を減少させるように動かされる、請求項9に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
  11. 前記ダイヤフラムは、前記分配チャンバ内において所望の圧力が達成されるまで、該分配チャンバの容量を増加させるように動かされる、請求項に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
  12. 前記ダイヤフラムは、前記分配チャンバ内において所望の圧力よりも低い圧力が達成されるまで該チャンバの容量を増加させるように動かされ、次いで、ほぼ該所望の圧力達成されるまで該分配チャンバの容量を減少させるように動かされる、請求項に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
  13. 供給チャンバと、分配するための流体を受け取るように動作可能な分配チャンバと、該分配チャンバ内のポンプ手段とを備えるポンプ装置であって、該ポンプ手段は、ダイヤフラムを直接動作するように動作可能なモータに連結されたダイヤフラムを備える、ポンプ装置と、
    該分配チャンバの容量を調整して該分配チャンバ内の圧力変動を補償するために、該ポンプ装置の該ポンプ手段の動を調整するように構成された制御器と
    を備える、システム。
  14. 前記圧力変動は、弁の開口または弁の閉鎖による圧力降下である、請求項13に記載のシステム。
  15. 前記圧力変動は、前記弁のホールドバック容量にほぼ比例し、前記分配チャンバの容量を調整することは、該弁の該ホールドバック容量にほぼ等しい量だけ、該分配チャンバの容量を増加させるように前記ダイヤフラムを動かすことを含む、請求項14に記載のシステム。
  16. 前記分配チャンバの容量を調整することは、ほぼオーバーシュート容量だけ該分配チャンバの容量を増加させるように前記ダイヤフラムを動かし、次いで、ほぼ該オーバーシュート容量だけ該分配チャンバの容量を減少させるように動かされることを含む、請求項15に記載のシステム
  17. 前記分配チャンバの容量を調整することは、該分配チャンバ内において所望の圧力が達成されるまで、該チャンバの容量を増加させるように前記ダイヤフラムを動かすことを含む、請求項15に記載のシステム。
  18. 前記分配チャンバの容量を調整することは、該分配チャンバ内において所望の圧力よりも低い圧力が達成されるまで該分配チャンバの容量を増加させるように前記ダイヤフラムを動かし、次いで、ほぼ該所望の圧力が達成されるまで該分配チャンバの容量を減少させるように該ダイヤフラムが動かされることを含む、請求項15に記載のシステム。
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