JP2009521636A5 - - Google Patents

Claims (26)

1. ポンプを監視するシステムであって、
   第１段階ポンプと、
   該第１段階ポンプと流体的に連通し、該第１段階ポンプの下流にある第２段階ポンプと、
   流体の圧力を測定する圧力センサと、
   該第１段階ポンプの動作を調節することによって、該第２段階ポンプにおける流体圧力を制御するポンプ制御装置であって、該ポンプ制御装置は、該第１段階ポンプと、第２段階ポンプと、圧力センサとに結合され、該ポンプ制御装置は、
   パラメータに対応する第１の動作プロファイルを生成することと、
   該第１の動作プロファイルに関連した１つ以上の値のそれぞれを、基準プロファイルに関連した対応する値と比較して、該１つ以上の値のそれぞれが、該対応する値の許容値内であるか否かを判断することと
   を行うように動作可能である、ポンプ制御装置と
   を備える、システム。
2. 前記第１の動作プロファイルを生成することは、前記ポンプの動作中に、一式の時点のそれぞれにおける前記パラメータの値を記録することを含む、請求項１に記載のシステム。
3. 前記制御装置は、第２の動作プロファイルを記録することと、該第２の動作プロファイルを前記基準プロファイルとして格納することとを行うようにさらに動作可能である、請求項１に記載のシステム。
4. 前記パラメータは、前記第１のポンプのモータ速度であり、
   前記１つ以上の値は、
   分注区分の間の、前記第１の動作プロファイルの平均値に対応する第１の値と、
   該分注区分を約１０％経過した、第１の時点に対応する第２の値と
   該分注区分を約５０％経過した、第２の時点に対応する第３の値と、
   該分注区分を約９０％経過した、第３の時点に対応する第４の値と
   を含む、請求項１に記載のシステム。
5. 前記パラメータは、前記流体の圧力であり、
   前記１つ以上の値は、
   分注区分の間の、前記第１の動作プロファイルの平均値に対応する第１の値と、
   該分注区分を約１０％経過した、第１の時点に対応する第２の値と
   該分注区分を約５０％経過した、第２の時点に対応する第３の値と、
   該分注区分を約９０％経過した、第３の時点に対応する第４の値と
   を含む、請求項１に記載のシステム。
6. ポンプを監視する方法であって、
   流体ポンプのパラメータに対応する動作プロファイルを生成することと、
   該動作プロファイルに関連した１つ以上の値のそれぞれを、基準プロファイルに関連した対応する値と比較して、該１つ以上の値のそれぞれが該対応する値の許容値内であるか否かを判断することと
   を含む、方法。
7. 前記第１の動作プロファイルを生成することは、前記ポンプの動作中に、一式の時点のそれぞれにおける前記パラメータの値を記録することを含む、請求項６に記載の方法。
8. 前記一式の時点は、約１ミリ秒〜１０ミリ秒離れている、請求項７に記載の方法。
9. 第２の動作プロファイルを記録することと、
   該第２の動作プロファイルを前記基準プロファイルとして格納することと
   をさらに含む、請求項６に記載の方法。
10. 前記パラメータは、モータ速度である、請求項６に記載の方法。
11. 前記パラメータは、流体の圧力であり、
    前記１つ以上の値は、
    分注区分の間の、前記第１の動作プロファイルの平均値に対応する第１の値と、
    該分注区分を約１０％経過した、第１の時点に対応する第２の値と
    該分注区分を約５０％経過した、第２の時点に対応する第３の値と、
    該分注区分を約９０％経過した、第３の時点に対応する第４の値と
    を含む、請求項６に記載の方法。
12. １つ以上のコンピュータ読み取り可能媒体上に格納された一式のコンピュータ命令を備えるコンピュータプログラム製品であって、該一式のコンピュータ命令は、１つ以上のプロセッサによって実行可能な命令をさらに備え、
    流体ポンプのパラメータに対応する動作プロファイルを生成することと、
    該動作プロファイルに関連した１つ以上の値のそれぞれを、基準プロファイルに関連した対応する値と比較し、該１つ以上の値のそれぞれが、該対応する値の許容値内であるか否かを判断することと
    を行う、コンピュータプログラム製品。
13. 第１の動作プロファイルを生成することは、前記ポンプの動作中に、一式の時点のそれぞれにおける前記パラメータの値を記録することを含む、請求項１２に記載のコンピュータプログラム製品。
14. 前記命令は、第２の動作プロファイルを記録することと、該第２の動作プロファイルを前記基準プロファイルとして格納することとをさらに実行可能である、請求項１２に記載のコンピュータプログラム製品。
15. 前記パラメータは、第２段階ポンプにおける前記流体の圧力であり、
    前記１つ以上の値は、
    分注区分の間の、前記第１の動作プロファイルの平均値に対応する第１の値と、
    該分注区分を約１０％経過した、第１の時点に対応する第２の値と
    該分注区分を約５０％経過した、第２の時点に対応する第３の値と、
    該分注区分を約９０％経過した、第３の時点に対応する第４の値と
    を含む、請求項１２に記載のコンピュータプログラム製品。
16. ポンプ内の流体圧力を制御するシステムであって、
    第１段階ポンプと、
    該第１段階ポンプと流体的に連通し、該第１段階ポンプの下流にある第２段階ポンプと、
    該第２段階ポンプにおける流体の該圧力を測定する圧力センサと、
    該第１のポンプの動作を調節することによって、該第２段階ポンプにおける流体の圧力を制御するポンプ制御装置であって、該第１段階ポンプと、該第２段階ポンプと、該圧力センサとに結合され、該ポンプ制御装置は、
    該圧力センサからの圧力測定結果を受信することと、
    該第２段階ポンプにおける該圧力が第１の所定閾値に達したことを該圧力センサからの圧力測定結果が示す場合に、該第１段階ポンプに、該流体により低い圧力を加えさせることと、
    該第２段階ポンプにおける該圧力が第２の所定閾値を下回っていることを該圧力センサからの圧力測定結果が示す場合に、該第１段階ポンプに、該流体により高い圧力を加えさせることと
    を行うように動作可能である、ポンプ制御装置と
    を備える、システム。
17. 前記制御装置は、
    前記流体圧力が最初の閾値に達したことを前記圧力センサからの圧力測定結果が示す場合に、前記第２段階ポンプを一定速度で収縮させるようにさらに動作可能である、請求項１６に記載のシステム。
18. 前記第１の所定閾値は、設定点であり、前記ポンプ制御装置は、前記流体圧力が該設定点を下回っていることを前記圧力センサからの圧力測定結果が示す場合に、前記第１段階ポンプに、該流体により高い圧力を加えさせるようにさらに動作可能である、請求項１６に記載のシステム。
19. 多段式ポンプ内の分注ポンプの流体圧力を制御する方法であって、
    供給ポンプにおいて流体に圧力を加えることと、
    該供給ポンプの下流の分注ポンプにおいて流体圧力を決定することと、
    該分注ポンプにおける該流体圧力が所定の最大圧力閾値に達する場合に、該供給ポンプにおける該流体への圧力を減少させることと、
    該分注ポンプにおける該流体圧力が所定の最小圧力閾値を下回る場合に、該供給ポンプにおける該流体への圧力を増加させることと
    を含む、方法。
20. 前記供給ポンプは、前記流体への圧力を増減して、一定の時間、前記分注ポンプにおいてほぼ一定の圧力を維持する、請求項１９に記載の方法。
21. 前記最大圧力閾値および最小圧力閾値は、設定点と等しく、
    前記方法は、
    前記分注ポンプにおける前記流体圧力が該設定点に達していることを決定することと、
    前記分注ポンプにおける液体の利用可能な量を一定速度で増加させることと、
    該分注ポンプがホーム位置に達した場合に、該供給ポンプおよび該分注ポンプを停止することと
    をさらに含む、請求項１９に記載の方法。
22. １つ以上のコンピュータ読み取り可能媒体上に格納された一式のコンピュータ命令を備えるコンピュータプログラム製品であって、該一式のコンピュータ命令は、１つ以上のプロセッサによって実行可能な命令をさらに備え、
    圧力センサからの圧力測定結果を受信することと、
    該圧力測定結果を第１の所定閾値と比較することと、
    第２段階ポンプにおける圧力が該第１の所定閾値に達していることを該圧力センサからの圧力測定結果が示す場合に、第１段階ポンプに、流体により低い圧力を加えるように指示することと
    を行う、コンピュータプログラム製品。
23. 前記一式のコンピュータ命令は、前記第２段階ポンプにおける圧力が第２の所定閾値を下回っていることを前記圧力センサからの圧力測定結果が示す場合に、前記第１段階ポンプに、前記流体により高い圧力を加えるように指示するように実行可能な命令をさらに備え、前記第１の所定閾値は、最大圧力閾値であり、該第２の所定閾値は、最小圧力閾値であり、該一式のコンピュータ命令は、前記流体圧力が最初の閾値に達していることを該圧力センサからの圧力測定結果が示すときに、該第２段階ポンプを一定速度で収縮させるように指示するように実行可能な命令をさらに備える、請求項２２に記載のコンピュータプログラム製品。
24. 前記第１の所定閾値は、設定点であり、前記一式のコンピュータ命令は、
    前記流体圧力が該設定点を下回っていることを前記圧力センサからの圧力測定結果が示す場合に、前記第１段階ポンプに、前記流体により高い圧力を加えることを指示することと、
    該流体圧力が該設定点に達していることを前記圧力センサからの圧力測定結果が示すときに、前記第２段階ポンプに一定速度で収縮することを指示すること
    を実行可能な命令をさらに備える、請求項２２に記載のコンピュータプログラム製品。
25. 多段式分注ポンプであって、
    供給ポンプであって、
    供給チャンバと、
    該供給チャンバ内の供給ダイヤフラムと、
    該供給ダイヤフラムと接触して、該供給ダイヤフラムを移動させる供給ピストンと、
    該供給ピストンに結合された供給用送りネジと、
    該供給用送りネジに結合され、該供給用送りネジに回転を与えて、該供給ピストンを動かす供給モータと
    をさらに備える、供給ポンプと、
    該供給チャンバと流体的に連通するフィルタと、
    該供給ポンプと該フィルタとの間で、該供給チャンバから該フィルタへの流体の流れを許容または制限する隔離弁と、
    該フィルタと流体的に連通する分注ポンプであって、該分注ポンプは、
    分注チャンバと、
    該分注チャンバ内の分注ダイヤフラムと、
    該分注ダイヤフラムと接触して、該分注ダイヤフラムを移動させる、分注ピストンと、
    該分注ピストンに結合され、該分注チャンバ内の該分注ピストンを動かす分注用送りネジと、
    該分注ピストンに結合された分注用送りネジと、
    該分注用送りネジに結合され、該分注用送りネジに回転を与えて、該分注ピストンを動かす分注モータと
    をさらに備える、分注ポンプと、
    該フィルタと該分注ポンプとの間で、該フィルタから該分注チャンバへの流体の流れを許容または制限する遮断弁と、
    該分注チャンバに露出され、該分注チャンバ内の流体圧力を測定する圧力センサと、
    該圧力センサと、供給モータと、分注モータとに接続された制御装置であって、該隔離弁と該遮断弁との両方が開放される濾過区分の間に、
    該圧力センサからの圧力測定結果を受信することと、
    該分注チャンバ内の流体圧力が初めて設定点に達したことを圧力測定結果が示すときに、該分注モータをほぼ一定の速度で動作させて、該分注ピストンを収縮させることを指示することと、
    次の圧力測定結果に対して、該分注チャンバ内の流体圧力が該設定点を下回っていることを該次の圧力測定結果が示す場合に、該供給モータを減少した速度で動作させることを指示し、該次の圧力測定結果が該設定点を上回っている場合に、該供給モータを増加した速度で動作させることを指示することと
    を行うように動作可能である、制御装置と、
    を備えており、該多段式ポンプは半導体製造用プロセス流体とともに使用されるように適合された、多段式分注ポンプ。
26. 前記制御装置は、前記分注モータがホーム位置に達したときに、前記供給モータと該分注モータとを停止することを指示するようにさらに動作可能である、請求項２５に記載の多段式分注ポンプ。