JP2011054933A - 基板処理装置及び位置決め方法並びにフォーカスリング配置方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハWを載置する基板載置面115とフォーカスリング124を載置するフォーカスリング載置面116を有するサセプタ114を備えた載置台110と,加熱によって径方向に膨張する材料によってピン状に構成され,サセプタのフォーカスリング載置面に形成された位置決め孔(第1基準孔)とフォーカスリングに形成された位置決め孔(第2基準孔)に挿入され,加熱によって径方向に膨張して各位置決め孔に嵌合することでフォーカスリングを位置決めする複数の位置決めピン200とを設けた。
【選択図】 図5
Description
先ず,本発明の第1実施形態にかかる基板処理装置の概略構成を図面を参照しながら説明する。ここでは,基板処理装置を1つの平行平板型のプラズマ処理装置100で構成した場合を例に挙げる。図1は,本実施形態にかかるプラズマ処理装置100の概略構成を示す縦断面図である。
ここで,第1部品の1例としてのサセプタ114に対して第2部品の1例としてのフォーカスリング124を位置決めする場合について説明する。図1に示すように,サセプタ114とフォーカスリング124は,これらの合わせ面に設けた複数(例えば2つ又は3つ)の位置決めピン200で位置決めされる。
次に,第1部品の1例としての電極支持体134に対して第2部品の1例としての電極板132を位置決めする場合について説明する。図1に示すように,電極支持体134と電極板132は,これらの合わせ面に設けた複数(例えば2つ又は3つ)の位置決めピン300で位置決めされる。ここでの位置決めピン300は,上述した位置決めピン200の材質と同様であり,同様の特性を有するため,ここではその詳細な説明を省略する。
次に,本発明の第2実施形態にかかる基板処理装置の構成例を図面を参照しながら説明する。ここでは,1つの平行平板型のプラズマ処理装置とその処理室にウエハWとフォーカスリング124の両方を搬出入可能な搬送アームを備えた基板処理装置によって,フォーカスリング124の配置と第1実施形態と同様の位置決めピン200を用いた位置決めの両方を自動的に行う場合を例に挙げて説明する。図12は,第2実施形態にかかるプラズマ処理装置101の構成例を示す縦断面図である。図13は,図13に示すサセプタ114の構成を説明するための斜視図である。
次に,本発明の第3実施形態にかかる基板処理装置の構成例について図面を参照しながら説明する。ここでは,減圧可能な共通搬送室510に上記第2実施形態にかかるプラズマ処理装置101を複数接続した所謂クラスタツール型の基板処理装置500を例に挙げる。図17は,第3実施形態にかかる基板処理装置500の構成例を示す横断面図である。
101(101A〜101F) プラズマ処理装置
102 処理室
106 搬出入口
108(108A〜108F) ゲートバルブ
110 載置台
114 サセプタ
115 基板載置面
116 フォーカスリング載置面
117 サセプタ温調部
118 温度調節媒体室
120 静電チャック
124 フォーカスリング
130 上部電極
132 電極板
134 電極支持体
137 電極支持体温調部
138 温度調節媒体室
140 処理ガス供給部
142 処理ガス供給源
150 第1高周波電源
160 第2高周波電源
170 第1リフタ
172 第1リフタピン
180 第2リフタ
182 第2リフタピン
190 搬送アーム
192(192A,192B) ピック
200 位置決めピン
202 PPS繊維
210 位置決め孔(第1基準孔)
220 位置決め孔(第2基準孔)
300 位置決めピン
310 位置決め孔(第1基準孔)
320 位置決め孔(第2基準孔)
400 制御部
410 操作部
420 記憶部
500 基板処理装置
502 真空処理ユニット
504 搬送ユニット
510 共通搬送室
520(520N,520M) ロードロック室
522,524 ゲートバルブ
530 搬送室
537 オリエンタ
560 搬送アーム
566A,566B ピック
568 仮位置決め用凸部
W ウエハ
Claims (14)
- 処理室内に基板を配置し,その基板の周囲を囲むようにフォーカスリングを配置して,前記基板に対するプラズマ処理を施す基板処理装置であって,
前記基板を載置する基板載置面と前記フォーカスリングを載置するフォーカスリング載置面を有するサセプタを備えた載置台と,
加熱によって径方向に膨張する材料によってピン状に構成され,前記サセプタのフォーカスリング載置面に形成された位置決め孔と前記フォーカスリングに形成された位置決め孔に挿入され,加熱によって径方向に膨張して前記各位置決め孔に嵌合することで前記フォーカスリングを位置決めする複数の位置決めピンと,
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記載置台は,前記サセプタの温度を調整するサセプタ温調部を備え,
前記位置決めピンは,前記プラズマ入熱により又は前記サセプタ温調部により加熱されて膨張し,前記フォーカスリングを位置決めすることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 処理室内に配置した基板に対してプラズマ処理を施す基板処理装置であって,
前記基板を載置する基板載置面を有するサセプタを備えた載置台と,
前記サセプタに対向配置され,プラズマを生成する高周波電力が印加される電極板と,これを支持する電極支持体とを備える上部電極と,
加熱によって径方向に膨張する材料によってピン状に構成され,前記電極支持体に形成された位置決め孔と前記電極板に形成された位置決め孔に挿入され,加熱によって径方向に膨張して前記各位置決め孔に嵌合することで前記電極板を位置決めする複数の位置決めピンと,
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記上部電極は,前記電極支持体の温度を調整する電極支持体温調部を備え,
前記位置決めピンは,前記プラズマ入熱により又は前記電極支持体温調部により加熱されて膨張し,前記電極板を位置決めすることを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。 - 処理室内の載置台に基板を載置し,その基板の周囲を囲むようにフォーカスリングを配置して,前記基板に対するプラズマ処理を施す基板処理装置において,前記フォーカスリングを位置決めする位置決め方法であって,
前記載置台は,前記基板を載置する基板載置面と前記フォーカスリングを載置するフォーカスリング載置面を有するサセプタと,加熱によって径方向に膨張する材料によってピン状に構成され,前記サセプタのフォーカスリング載置面に形成された位置決め孔と前記フォーカスリングに形成された位置決め孔に挿入された複数の位置決めピンと,を備え,
前記各位置決めピンを加熱することで,前記各位置決め孔にその径方向の隙間を埋めるように膨張して前記各位置決め孔に嵌合し,前記各位置決め孔の中心が同軸上に合致して前記サセプタに対して所定の位置に前記フォーカスリングを位置決めすることを特徴とする位置決め方法。 - 前記載置台は,前記サセプタの温度を調整するサセプタ温調部を備え,
前記位置決めピンは,前記プラズマ入熱により又は前記サセプタ温調部により,加熱されて膨張し,前記フォーカスリングを位置決めすることを特徴とする請求項5に記載の位置決め方法。 - 前記プラズマ処理の処理条件に応じて前記サセプタ温調部による前記位置決めピンの加熱要否を判定し,前記サセプタ温調部による加熱が必要と判定した場合は前記サセプタ温調部により前記位置決めピンを加熱して前記フォーカスリングを位置決めしてからプラズマ処理を行い,前記サセプタ温調部による加熱が不要と判定した場合はそのままプラズマ処理を行ってそのプラズマ入熱により前記位置決めピンを加熱して前記フォーカスリングを位置決めすることを特徴とする請求項6に記載の位置決め方法。
- 基板を載置する載置台に対向配置された上部電極を備え,この上部電極に設けられた電極板に所定の高周波電力を印加して生起したプラズマで前記基板に対して所定の処理を施す基板処理装置において,前記電極板を位置決めする位置決め方法であって,
前記上部電極は,前記電極板を支持する電極支持体と,加熱によって径方向に膨張する材料によってピン状に構成され,前記電極支持体に形成された位置決め孔と前記電極板に形成された位置決め孔に挿入された複数の位置決めピンと,を備え,
前記各位置決めピンを加熱することで,前記各位置決め孔の径方向の隙間を埋めるように膨張して前記各位置決め孔に嵌合し,前記各位置決め孔の中心が同軸上に合致して前記電極支持体に対して所定の位置に前記電極板を位置決めすることを特徴とする位置決め方法。 - 前記上部電極は,前記電極支持体の温度を調整する電極支持体温調部を備え,
前記位置決めピンは,前記プラズマ入熱により又は前記電極支持体温調部により,加熱されて膨張し,前記電極板を位置決めすることを特徴とする請求項8に記載の位置決め方法。 - 前記プラズマ処理の処理条件に応じて前記電極支持体温調部による前記位置決めピンの加熱要否を判定し,前記電極支持体温調部による加熱が必要と判定した場合は前記電極支持体温調部により前記位置決めピンを加熱して前記電極板を位置決めしてからプラズマ処理を行い,前記電極支持体温調部による加熱が不要と判定した場合はそのままプラズマ処理を行ってそのプラズマ入熱により前記位置決めピンを加熱して前記電極板を位置決めすることを特徴とする請求項9に記載の位置決め方法。
- 処理室内に基板を配置し,その基板の周囲を囲むようにフォーカスリングを配置して,前記基板に対するプラズマ処理を施す基板処理装置であって,
前記基板を載置する基板載置面と前記フォーカスリングを載置するフォーカスリング載置面を有するサセプタを備えた載置台と,
加熱によって径方向に膨張する材料によってピン状に構成され,前記フォーカスリングにその下面から突出するように取り付けられて前記サセプタのフォーカスリング載置面に形成された位置決め孔に挿入され,加熱によって径方向に膨張して嵌合することで前記フォーカスリングを位置決めする複数の位置決めピンと,
前記基板載置面から突没するように前記載置台に設けられ,前記基板を持ち上げて前記基板載置面から脱離させる第1リフタピンと,
前記フォーカスリング載置面から突没するように前記載置台に設けられ,前記フォーカスリングを前記位置決めピンごと持ち上げて前記フォーカスリング載置面から脱離させる第2リフタピンと,
前記処理室の外側に設けられ,前記処理室に設けられた搬出入口を介して,前記第1リフタピンとの間で前記基板をやり取りするとともに,前記第2リフタピンとの間で前記フォーカスリングを前記位置決めピンが取り付けられたままやり取りする搬送アームと,
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記載置台は,前記サセプタの温度を調整するサセプタ温調部を備え,
前記位置決めピンは,前記サセプタ温調部により加熱されて膨張し,前記フォーカスリングを位置決めすることを特徴とする請求項11に記載の基板処理装置。 - 前記搬送アームは,前記処理室に前記搬出入口を介して接続された真空搬送室内に配置されているものであることを特徴とする請求項11に記載の基板処理装置。
- 処理室内に配置した基板に対してプラズマ処理を施す基板処理装置において,前記基板の周囲を囲むようにフォーカスリングを配置する方法であって,
前記基板処理装置は,前記基板を載置する基板載置面と前記フォーカスリングを載置するフォーカスリング載置面を有するサセプタとを備えた載置台と,
前記サセプタの温度を調整するサセプタ温調部と,
加熱によって径方向に膨張する材料によってピン状に構成され,前記フォーカスリングにその下面から突出するように取り付けられて前記サセプタのフォーカスリング載置面に形成された位置決め孔に挿入された複数の位置決めピンと,
前記基板載置面から突没するように前記載置台に設けられ,前記基板を持ち上げて前記基板載置面から脱離させる第1リフタピンと,
前記フォーカスリング載置面から突没するように前記載置台に設けられ,前記フォーカスリングを前記位置決めピンごと持ち上げて前記フォーカスリング載置面から脱離させる第2リフタピンと,
前記処理室の外側に設けられ,前記処理室に設けられた搬出入口を介して,前記第1リフタピンとの間で前記基板をやり取りするとともに,前記第2リフタピンとの間で前記フォーカスリングを前記位置決めピンが取り付けられたままやり取りする搬送アームと,を備え,
前記フォーカスリングを交換する際には,前記第2リフタピンによって前記フォーカスリングを前記位置決めピンごと持ち上げるステップと,
前記フォーカスリングを前記搬送アームで受け取って前記搬出入口から前記処理室の外側に搬出するステップと,
新たな前記フォーカスリングを加熱前の前記位置決めピンを取り付けたまま,前記搬送アームで前記第2リフタピンに受け渡すステップと,
前記第2リフタピンを降下させることによって,前記位置決めピンが前記サセプタの位置決め孔に挿入された状態で,前記フォーカスリング載置面に載置するステップと,
前記サセプタ温調部で前記サセプタを加熱することによって前記各位置決めピンを加熱し,前記各位置決めピンを径方向に膨張させて嵌合させることで前記フォーカスリングを位置決めするステップと,
を有することを特徴とする基板処理装置のフォーカスリング配置方法。
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JP2010133049A JP5650935B2 (ja) | 2009-08-07 | 2010-06-10 | 基板処理装置及び位置決め方法並びにフォーカスリング配置方法 |
US12/850,812 US8409995B2 (en) | 2009-08-07 | 2010-08-05 | Substrate processing apparatus, positioning method and focus ring installation method |
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---|---|
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Cited By (55)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012216614A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
WO2013024842A1 (ja) * | 2011-08-17 | 2013-02-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置及び処理方法 |
JP2013125823A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Toshiba Corp | エッチング装置およびフォーカスリング |
JP2016119334A (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 伝熱シート及び基板処理装置 |
KR20160079932A (ko) * | 2011-05-31 | 2016-07-06 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 유도성 커플링된 플라즈마(icp) 반응기를 위한 동적인 이온 라디칼 시브 및 이온 라디칼 개구 |
JP2016127079A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及びプラズマ処理装置 |
JP2016127185A (ja) * | 2015-01-06 | 2016-07-11 | 東京エレクトロン株式会社 | シールドリングおよび基板載置台 |
KR20160088820A (ko) * | 2015-01-16 | 2016-07-26 | 램 리써치 코포레이션 | 반도체 웨이퍼 프로세싱 동안 에지 프로세스 제어를 위한 이동식 에지 커플링 링 |
JP2017098540A (ja) * | 2015-10-22 | 2017-06-01 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 正面開口式リングポッド |
JP2017120811A (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | クアーズテック株式会社 | フォーカスリング |
JP2017163088A (ja) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | 東芝メモリ株式会社 | 基板処理装置及び基板処理装置の制御方法 |
KR20180065932A (ko) | 2016-12-08 | 2018-06-18 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 배치대 및 플라즈마 처리 장치 |
KR20180116153A (ko) | 2017-04-14 | 2018-10-24 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 핀 제어 방법 및 기판 처리 장치 |
KR20180133334A (ko) | 2017-06-06 | 2018-12-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 전달 방법 및 기판 처리 장치 |
JP2019505088A (ja) * | 2016-01-26 | 2019-02-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | ウェハエッジリングの持ち上げに関する解決 |
CN109841567A (zh) * | 2017-11-24 | 2019-06-04 | 韩美半导体有限公司 | 半导体材料切割装置 |
JP2019140357A (ja) * | 2018-02-15 | 2019-08-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の載置装置及び処理装置 |
JP2019186579A (ja) * | 2019-07-31 | 2019-10-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理システム及びフォーカスリング交換方法 |
WO2019208439A1 (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 京セラ株式会社 | フォーカスリング搬送部材およびこれを備えるプラズマ処理装置 |
KR20190131652A (ko) * | 2018-05-17 | 2019-11-27 | 세메스 주식회사 | 반송 유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치 |
JP2020053538A (ja) * | 2018-09-26 | 2020-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
CN111146066A (zh) * | 2018-11-05 | 2020-05-12 | 东京毅力科创株式会社 | 载置台、边环的定位方法和基板处理装置 |
JP2020098787A (ja) * | 2011-10-05 | 2020-06-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 対称プラズマ処理チャンバ |
JP2020145333A (ja) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 保管容器の仕切り板、保管容器、基板処理システムおよび基板の搬送方法 |
JP2020161827A (ja) * | 2020-06-05 | 2020-10-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム |
JP2020205382A (ja) * | 2019-06-18 | 2020-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理システム及び基板搬送方法 |
JP2021061415A (ja) * | 2020-12-16 | 2021-04-15 | 東京エレクトロン株式会社 | ピック、搬送装置及びプラズマ処理システム |
US10991556B2 (en) | 2017-02-01 | 2021-04-27 | Applied Materials, Inc. | Adjustable extended electrode for edge uniformity control |
JP2021077916A (ja) * | 2015-10-22 | 2021-05-20 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 半導体プロセスモジュールからin−situで消耗部品を取り出して交換するためのシステム |
KR20210063478A (ko) * | 2017-07-24 | 2021-06-01 | 램 리써치 코포레이션 | 이동가능한 에지 링 설계들 |
US11075105B2 (en) | 2017-09-21 | 2021-07-27 | Applied Materials, Inc. | In-situ apparatus for semiconductor process module |
KR20210111700A (ko) | 2020-03-03 | 2021-09-13 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 시스템 및 에지 링의 교환 방법 |
JP2021136359A (ja) * | 2020-02-28 | 2021-09-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 部品運搬装置および処理システム |
KR20210119296A (ko) | 2020-03-24 | 2021-10-05 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 에지 링, 기판 지지대, 플라즈마 처리 시스템 및 에지 링의 교환 방법 |
US11201037B2 (en) | 2018-05-28 | 2021-12-14 | Applied Materials, Inc. | Process kit with adjustable tuning ring for edge uniformity control |
JP2021197444A (ja) * | 2020-06-15 | 2021-12-27 | アダプティブ プラズマ テクノロジー コーポレーション | 半導体工程のための部品整列装置及びこれによる部品整列方法 |
CN114188206A (zh) * | 2020-09-15 | 2022-03-15 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种等离子体处理装置及其上电极组件的调节方法 |
US11289310B2 (en) | 2018-11-21 | 2022-03-29 | Applied Materials, Inc. | Circuits for edge ring control in shaped DC pulsed plasma process device |
KR20220055424A (ko) | 2020-10-26 | 2022-05-03 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 처리 시스템 및 반송 방법 |
US11342163B2 (en) | 2016-02-12 | 2022-05-24 | Lam Research Corporation | Variable depth edge ring for etch uniformity control |
CN114582693A (zh) * | 2020-11-30 | 2022-06-03 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 等离子体处理装置及其末端执行器、边缘环及方法 |
US11393710B2 (en) | 2016-01-26 | 2022-07-19 | Applied Materials, Inc. | Wafer edge ring lifting solution |
KR20220133113A (ko) | 2021-03-24 | 2022-10-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 시스템 및 환상 부재의 장착 방법 |
KR20220136134A (ko) | 2021-03-30 | 2022-10-07 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 시스템, 반송 아암 및 환상 부재의 반송 방법 |
JP2022160671A (ja) * | 2018-12-12 | 2022-10-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、搬送方法、搬送プログラムおよび保持具 |
JP2023517255A (ja) * | 2020-03-17 | 2023-04-24 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電子処理システムの較正 |
WO2023120426A1 (ja) * | 2021-12-23 | 2023-06-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板支持器及びプラズマ処理装置 |
WO2024024631A1 (ja) * | 2022-07-26 | 2024-02-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 評価装置、評価方法及びコンピュータプログラム |
US11901163B2 (en) | 2020-03-03 | 2024-02-13 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing system and edge ring replacement method |
WO2024038832A1 (ja) * | 2022-08-19 | 2024-02-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 治具及び位置合わせ方法 |
US11935773B2 (en) | 2018-06-14 | 2024-03-19 | Applied Materials, Inc. | Calibration jig and calibration method |
JP7477593B2 (ja) | 2019-07-30 | 2024-05-01 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | エッチングチャンバのための低接触面積基板支持体 |
US11990323B2 (en) | 2016-07-14 | 2024-05-21 | Tokyo Electron Limited | Focus ring replacement method and plasma processing system |
US12009236B2 (en) | 2019-04-22 | 2024-06-11 | Applied Materials, Inc. | Sensors and system for in-situ edge ring erosion monitor |
US12027410B2 (en) | 2021-02-22 | 2024-07-02 | Lam Research Corporation | Edge ring arrangement with moveable edge rings |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10062599B2 (en) | 2015-10-22 | 2018-08-28 | Lam Research Corporation | Automated replacement of consumable parts using interfacing chambers |
US10124492B2 (en) * | 2015-10-22 | 2018-11-13 | Lam Research Corporation | Automated replacement of consumable parts using end effectors interfacing with plasma processing system |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09162258A (ja) * | 1995-12-07 | 1997-06-20 | Nec Corp | 半導体装置の製造装置およびこれを用いた半導体装置の製造方法 |
JPH10214798A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-08-11 | Applied Materials Inc | ウエハエッジ堆積の排除 |
JP2001525997A (ja) * | 1997-05-20 | 2001-12-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
JP2002100616A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2008078429A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
-
2010
- 2010-06-10 JP JP2010133049A patent/JP5650935B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09162258A (ja) * | 1995-12-07 | 1997-06-20 | Nec Corp | 半導体装置の製造装置およびこれを用いた半導体装置の製造方法 |
JPH10214798A (ja) * | 1996-10-15 | 1998-08-11 | Applied Materials Inc | ウエハエッジ堆積の排除 |
JP2001525997A (ja) * | 1997-05-20 | 2001-12-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
JP2002100616A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2008078429A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
Cited By (108)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11328910B2 (en) | 2011-03-31 | 2022-05-10 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus |
KR101901460B1 (ko) * | 2011-03-31 | 2018-09-21 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 |
US10224226B2 (en) | 2011-03-31 | 2019-03-05 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus |
US9799542B2 (en) | 2011-03-31 | 2017-10-24 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus |
JP2012216614A (ja) * | 2011-03-31 | 2012-11-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
KR20160079932A (ko) * | 2011-05-31 | 2016-07-06 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 유도성 커플링된 플라즈마(icp) 반응기를 위한 동적인 이온 라디칼 시브 및 이온 라디칼 개구 |
JP2017063212A (ja) * | 2011-05-31 | 2017-03-30 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 誘導結合プラズマ(icp)リアクタ用動的イオンラジカルシーブ及びイオンラジカルアパーチャ |
KR101926571B1 (ko) | 2011-05-31 | 2018-12-10 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 유도성 커플링된 플라즈마(icp) 반응기를 위한 동적인 이온 라디칼 시브 및 이온 라디칼 개구 |
WO2013024842A1 (ja) * | 2011-08-17 | 2013-02-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置及び処理方法 |
JP2013042012A (ja) * | 2011-08-17 | 2013-02-28 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置及び処理方法 |
US10699935B2 (en) | 2011-08-17 | 2020-06-30 | Toko Electron Limited | Semiconductor manufacturing device and processing method |
KR102077438B1 (ko) * | 2011-08-17 | 2020-02-13 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 반도체 제조 장치 및 처리 방법 |
KR20190100457A (ko) * | 2011-08-17 | 2019-08-28 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 반도체 제조 장치 및 처리 방법 |
JP2020098787A (ja) * | 2011-10-05 | 2020-06-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 対称プラズマ処理チャンバ |
JP7030144B2 (ja) | 2011-10-05 | 2022-03-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 対称プラズマ処理チャンバ |
JP2013125823A (ja) * | 2011-12-14 | 2013-06-24 | Toshiba Corp | エッチング装置およびフォーカスリング |
JP2016119334A (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 伝熱シート及び基板処理装置 |
JP2016127079A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及びプラズマ処理装置 |
JP2016127185A (ja) * | 2015-01-06 | 2016-07-11 | 東京エレクトロン株式会社 | シールドリングおよび基板載置台 |
KR102537053B1 (ko) * | 2015-01-16 | 2023-05-25 | 램 리써치 코포레이션 | 반도체 웨이퍼 프로세싱 동안 에지 프로세스 제어를 위한 이동식 에지 커플링 링 |
JP2019024109A (ja) * | 2015-01-16 | 2019-02-14 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 半導体ウエハ処理中におけるエッジ処理制御のための可動式エッジ連結リング |
JP2021073705A (ja) * | 2015-01-16 | 2021-05-13 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 半導体ウエハ処理中におけるエッジ処理制御のための可動式エッジ連結リング |
CN105810609A (zh) * | 2015-01-16 | 2016-07-27 | 朗姆研究公司 | 半导体晶片处理期间控制边缘处理的可移动边缘耦合环 |
KR20160088820A (ko) * | 2015-01-16 | 2016-07-26 | 램 리써치 코포레이션 | 반도체 웨이퍼 프로세싱 동안 에지 프로세스 제어를 위한 이동식 에지 커플링 링 |
JP7383665B2 (ja) | 2015-10-22 | 2023-11-20 | ラム リサーチ コーポレーション | 正面開口式リングポッド |
US11112773B2 (en) * | 2015-10-22 | 2021-09-07 | Lam Research Corporation | Systems for removing and replacing consumable parts from a semiconductor process module in situ |
JP2021077916A (ja) * | 2015-10-22 | 2021-05-20 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 半導体プロセスモジュールからin−situで消耗部品を取り出して交換するためのシステム |
JP2017098540A (ja) * | 2015-10-22 | 2017-06-01 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 正面開口式リングポッド |
JP2021168409A (ja) * | 2015-10-22 | 2021-10-21 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 正面開口式リングポッド |
JP2017120811A (ja) * | 2015-12-28 | 2017-07-06 | クアーズテック株式会社 | フォーカスリング |
US11393710B2 (en) | 2016-01-26 | 2022-07-19 | Applied Materials, Inc. | Wafer edge ring lifting solution |
JP2019505088A (ja) * | 2016-01-26 | 2019-02-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | ウェハエッジリングの持ち上げに関する解決 |
US11342163B2 (en) | 2016-02-12 | 2022-05-24 | Lam Research Corporation | Variable depth edge ring for etch uniformity control |
JP2017163088A (ja) * | 2016-03-11 | 2017-09-14 | 東芝メモリ株式会社 | 基板処理装置及び基板処理装置の制御方法 |
US11990323B2 (en) | 2016-07-14 | 2024-05-21 | Tokyo Electron Limited | Focus ring replacement method and plasma processing system |
TWI766908B (zh) * | 2016-12-08 | 2022-06-11 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 載置台及電漿處理裝置 |
KR20180065932A (ko) | 2016-12-08 | 2018-06-18 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 배치대 및 플라즈마 처리 장치 |
JP2018098239A (ja) * | 2016-12-08 | 2018-06-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及びプラズマ処理装置 |
US10991556B2 (en) | 2017-02-01 | 2021-04-27 | Applied Materials, Inc. | Adjustable extended electrode for edge uniformity control |
US10910251B2 (en) | 2017-04-14 | 2021-02-02 | Tokyo Electron Limited | Pin control method and substrate processing apparatus |
US10438834B2 (en) | 2017-04-14 | 2019-10-08 | Tokyo Electron Limited | Pin control method |
KR20180116153A (ko) | 2017-04-14 | 2018-10-24 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 핀 제어 방법 및 기판 처리 장치 |
KR20180133334A (ko) | 2017-06-06 | 2018-12-14 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 전달 방법 및 기판 처리 장치 |
US10777435B2 (en) | 2017-06-06 | 2020-09-15 | Tokyo Electron Limited | Substratre delivery method and substrate processing apparatus |
KR102591660B1 (ko) * | 2017-07-24 | 2023-10-19 | 램 리써치 코포레이션 | 이동가능한 에지 링 설계들 |
KR102401704B1 (ko) * | 2017-07-24 | 2022-05-24 | 램 리써치 코포레이션 | 이동가능한 에지 링 설계들 |
KR20220070073A (ko) * | 2017-07-24 | 2022-05-27 | 램 리써치 코포레이션 | 이동가능한 에지 링 설계들 |
KR20210063478A (ko) * | 2017-07-24 | 2021-06-01 | 램 리써치 코포레이션 | 이동가능한 에지 링 설계들 |
US11075105B2 (en) | 2017-09-21 | 2021-07-27 | Applied Materials, Inc. | In-situ apparatus for semiconductor process module |
US11887879B2 (en) | 2017-09-21 | 2024-01-30 | Applied Materials, Inc. | In-situ apparatus for semiconductor process module |
CN109841567A (zh) * | 2017-11-24 | 2019-06-04 | 韩美半导体有限公司 | 半导体材料切割装置 |
CN109841567B (zh) * | 2017-11-24 | 2023-10-20 | 韩美半导体有限公司 | 半导体材料切割装置 |
JP7061889B2 (ja) | 2018-02-15 | 2022-05-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の載置装置及び処理装置 |
JP2019140357A (ja) * | 2018-02-15 | 2019-08-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の載置装置及び処理装置 |
KR102667942B1 (ko) * | 2018-02-15 | 2024-05-21 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 피처리체의 탑재 장치 및 처리 장치 |
KR20190098918A (ko) * | 2018-02-15 | 2019-08-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 피처리체의 탑재 장치 및 처리 장치 |
US11201039B2 (en) | 2018-02-15 | 2021-12-14 | Tokyo Electron Limited | Mounting apparatus for object to be processed and processing apparatus |
JPWO2019208439A1 (ja) * | 2018-04-26 | 2021-05-13 | 京セラ株式会社 | フォーカスリング搬送部材およびこれを備えるプラズマ処理装置 |
JP7036905B2 (ja) | 2018-04-26 | 2022-03-15 | 京セラ株式会社 | フォーカスリング搬送部材およびこれを備えるプラズマ処理装置 |
WO2019208439A1 (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 京セラ株式会社 | フォーカスリング搬送部材およびこれを備えるプラズマ処理装置 |
US11251066B2 (en) | 2018-05-17 | 2022-02-15 | Semes Co., Ltd. | Transfer unit and substrate processing apparatus including the same |
KR20190131652A (ko) * | 2018-05-17 | 2019-11-27 | 세메스 주식회사 | 반송 유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치 |
KR102242812B1 (ko) * | 2018-05-17 | 2021-04-22 | 세메스 주식회사 | 반송 유닛 및 이를 갖는 기판 처리 장치 |
US11201037B2 (en) | 2018-05-28 | 2021-12-14 | Applied Materials, Inc. | Process kit with adjustable tuning ring for edge uniformity control |
US11728143B2 (en) | 2018-05-28 | 2023-08-15 | Applied Materials, Inc. | Process kit with adjustable tuning ring for edge uniformity control |
US11935773B2 (en) | 2018-06-14 | 2024-03-19 | Applied Materials, Inc. | Calibration jig and calibration method |
JP2020053538A (ja) * | 2018-09-26 | 2020-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP7105666B2 (ja) | 2018-09-26 | 2022-07-25 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP7228989B2 (ja) | 2018-11-05 | 2023-02-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台、エッジリングの位置決め方法及び基板処理装置 |
TWI820239B (zh) * | 2018-11-05 | 2023-11-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 載置台、邊環之定位方法及基板處理裝置 |
US11664200B2 (en) | 2018-11-05 | 2023-05-30 | Tokyo Electron Limited | Placing table, positioning method of edge ring and substrate processing apparatus |
JP2020077653A (ja) * | 2018-11-05 | 2020-05-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台、エッジリングの位置決め方法及び基板処理装置 |
CN111146066A (zh) * | 2018-11-05 | 2020-05-12 | 东京毅力科创株式会社 | 载置台、边环的定位方法和基板处理装置 |
US11289310B2 (en) | 2018-11-21 | 2022-03-29 | Applied Materials, Inc. | Circuits for edge ring control in shaped DC pulsed plasma process device |
JP2022160671A (ja) * | 2018-12-12 | 2022-10-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、搬送方法、搬送プログラムおよび保持具 |
JP7427053B2 (ja) | 2018-12-12 | 2024-02-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム |
JP7357453B2 (ja) | 2019-03-07 | 2023-10-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システムおよび基板の搬送方法 |
JP2020145333A (ja) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 保管容器の仕切り板、保管容器、基板処理システムおよび基板の搬送方法 |
US11735448B2 (en) | 2019-03-07 | 2023-08-22 | Tokyo Electron Limited | Container, container partition plate, substrate processing system, and substrate transfer method |
US12009236B2 (en) | 2019-04-22 | 2024-06-11 | Applied Materials, Inc. | Sensors and system for in-situ edge ring erosion monitor |
JP2020205382A (ja) * | 2019-06-18 | 2020-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理システム及び基板搬送方法 |
JP7477593B2 (ja) | 2019-07-30 | 2024-05-01 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | エッチングチャンバのための低接触面積基板支持体 |
JP2019186579A (ja) * | 2019-07-31 | 2019-10-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理システム及びフォーカスリング交換方法 |
JP2021136359A (ja) * | 2020-02-28 | 2021-09-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 部品運搬装置および処理システム |
JP7481568B2 (ja) | 2020-02-28 | 2024-05-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置および処理システム |
JP7471106B2 (ja) | 2020-02-28 | 2024-04-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 部品運搬装置 |
KR20210111702A (ko) | 2020-03-03 | 2021-09-13 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 지지대, 플라즈마 처리 시스템 및 환상 부재의 장착 방법 |
US11901163B2 (en) | 2020-03-03 | 2024-02-13 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing system and edge ring replacement method |
KR20210111700A (ko) | 2020-03-03 | 2021-09-13 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 시스템 및 에지 링의 교환 방법 |
JP2023517255A (ja) * | 2020-03-17 | 2023-04-24 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電子処理システムの較正 |
JP7503641B2 (ja) | 2020-03-17 | 2024-06-20 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 電子処理システムの較正 |
KR20210119296A (ko) | 2020-03-24 | 2021-10-05 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 에지 링, 기판 지지대, 플라즈마 처리 시스템 및 에지 링의 교환 방법 |
JP2020161827A (ja) * | 2020-06-05 | 2020-10-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム |
JP2021197444A (ja) * | 2020-06-15 | 2021-12-27 | アダプティブ プラズマ テクノロジー コーポレーション | 半導体工程のための部品整列装置及びこれによる部品整列方法 |
JP6989980B2 (ja) | 2020-06-15 | 2022-01-12 | アダプティブ プラズマ テクノロジー コーポレーション | 半導体工程のための部品整列装置及びこれによる部品整列方法 |
CN114188206B (zh) * | 2020-09-15 | 2023-09-29 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种等离子体处理装置及其上电极组件的调节方法 |
CN114188206A (zh) * | 2020-09-15 | 2022-03-15 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 一种等离子体处理装置及其上电极组件的调节方法 |
US11955356B2 (en) | 2020-10-26 | 2024-04-09 | Tokyo Electron Limited | Processing system and transfer method |
KR20220055424A (ko) | 2020-10-26 | 2022-05-03 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 처리 시스템 및 반송 방법 |
CN114582693A (zh) * | 2020-11-30 | 2022-06-03 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 等离子体处理装置及其末端执行器、边缘环及方法 |
JP2021061415A (ja) * | 2020-12-16 | 2021-04-15 | 東京エレクトロン株式会社 | ピック、搬送装置及びプラズマ処理システム |
JP7157127B2 (ja) | 2020-12-16 | 2022-10-19 | 東京エレクトロン株式会社 | ピック、搬送装置及びプラズマ処理システム |
US12027410B2 (en) | 2021-02-22 | 2024-07-02 | Lam Research Corporation | Edge ring arrangement with moveable edge rings |
KR20220133113A (ko) | 2021-03-24 | 2022-10-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 시스템 및 환상 부재의 장착 방법 |
KR20220136134A (ko) | 2021-03-30 | 2022-10-07 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 시스템, 반송 아암 및 환상 부재의 반송 방법 |
WO2023120426A1 (ja) * | 2021-12-23 | 2023-06-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板支持器及びプラズマ処理装置 |
WO2024024631A1 (ja) * | 2022-07-26 | 2024-02-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 評価装置、評価方法及びコンピュータプログラム |
WO2024038832A1 (ja) * | 2022-08-19 | 2024-02-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 治具及び位置合わせ方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5650935B2 (ja) | 2015-01-07 |
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Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5650935B2 (ja) | 基板処理装置及び位置決め方法並びにフォーカスリング配置方法 | |
US8409995B2 (en) | Substrate processing apparatus, positioning method and focus ring installation method | |
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