JP2021197444A - 半導体工程のための部品整列装置及びこれによる部品整列方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、先行技術の問題点を解決するためのものであって、以下のような目的を有する。
本発明の他の適切な実施形態によれば、部品は、ウェーハに結合されるエッジリングになる。
本発明のさらに他の適切な実施形態によれば、ビジョンユニットによって部品の交替位置から互いに異なる少なくとも2つの位置が探知される。
本発明のさらに他の適切な実施形態によれば、ビジョンユニットは、一対になり、移動経路に対して垂直になる方向に配される。
本発明のさらに他の適切な実施形態によれば、部品は、エッジリングになり、相対的な位置は、互いに異なる少なくとも2つの地点になる。
図1は、本発明による部品整列装置の実施形態を図示したものである。
図2は、本発明による部品整列装置が適用される実施形態を図示したものである。
ローディングユニット11の固定チャック22に対する位置決定のために、多数個の探知位置(P1、P2)が探知されることが有利である。
図3は、本発明による部品整列装置の他の実施形態を図示したものである。
図4は、本発明による部品整列装置の他の実施形態を図示したものである。
図5は、本発明による部品整列装置によってエッジリングが交換される過程の実施形態を図示したものである。
図6は、本発明による部品整列方法の実施形態を図示したものである。
図7は、本発明による部品整列方法の他の実施形態を図示したものである。
12:フィンガー
13:作動制御ユニット
14:ビジョンユニット
15:移送手段
21:固定チャンバ
22:固定チャック
23a、23b:分離手段
41:電源
43a、43b、43c:制御チップ
211:入口
Claims (6)
- 移送手段15に結合されたフィンガー12に位置するように形成されながら部品がローディングされるローディングユニット11と、
ローディングユニット11に配される通信手段を有する作動制御ユニット13と、
少なくとも1つのビジョンユニット14と、
を含む半導体工程のための部品整列装置。 - 部品は、ウェーハに結合されるエッジリングになることを特徴とする請求項1に記載の半導体工程のための部品整列装置。
- ビジョンユニット14によって部品の交替位置から互いに異なる少なくとも2つの位置が探知されることを特徴とする請求項1に記載の半導体工程のための部品整列装置。
- ビジョンユニット14は、一対になり、移動経路に対して垂直になる方向に配されることを特徴とする請求項1に記載の半導体工程のための部品整列装置。
- 半導体工程のための部品を整列させる方法において、
交換モジュールを交換位置に投入する段階と、
部品が交換モジュールに積載されて排出される段階と、
交換のための部品が交換モジュールに積載される段階と、
交換モジュールに設けられたビジョンユニットによって固定対象に対する相対的な位置が探知される段階と、
探知された位置に基づいて交換モジュールの位置が調節される段階と、
部品が交換され、交換モジュールが排出される段階と、
を含む半導体用部品の整列方法。 - 部品は、エッジリングになり、相対的な位置は、互いに異なる少なくとも2つの地点になることを特徴とする請求項1に記載の半導体用部品の整列方法。
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