KR20220133107A - 기판 처리 장치, 교시 정보 생성 방법, 교시 세트 및 기판형 지그 - Google Patents

기판 처리 장치, 교시 정보 생성 방법, 교시 세트 및 기판형 지그 Download PDF

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KR20220133107A
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다이이치 기타기시
히로시 호리구치
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

기판 처리 장치에서는, 기판 유지부의 상방에 위치하는 핸드에 의해, 비직선형상으로 배치된 3개의 포토 센서가 하면에 설치된 기판형 지그가 유지된 상태에서, 기판 회전 기구에 의해서 기판 유지부를 회전시킴으로써, 기판 유지부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적이 형성된다. 교시부는, 3개의 포토 센서로부터 각각 얻어진 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 핸드의 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 핸드 및 기판 유지부의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성한다. 이에 의해, 교시 정보의 생성 처리를 간소화할 수 있다.

Description

기판 처리 장치, 교시 정보 생성 방법, 교시 세트 및 기판형 지그{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, TEACHING INFORMATION GENERATION METHOD, TEACHING SET AND SUBSTRATE JIG}
[관련 출원의 참조]
본원은, 2021년 3월 24일에 출원된 일본국 특허 출원 JP2021-049840으로부터의 우선권의 이익을 주장하며, 당해 출원의 모든 개시는, 본원에 편입된다.
본 발명은, 기판 처리 장치에 있어서, 반송 로봇의 기판 반송 위치를 교시하는 교시 정보를 생성하는 기술에 관한 것이다.
종래, 기판을 처리하는 기판 처리 장치에서는, FOUP 등에 수용되어 있는 기판이, 인덱서 로봇에 의해 반출되어, 센터 로봇에 건네진 후, 처리 유닛에 반입되어 다양한 처리가 실시된다. 이러한 기판 처리 장치에서는, 센터 로봇 등의 반송 로봇에 의한 기판의 반송 경로는 미리 설정되어 있는데, 처리 유닛에 대한 기판의 반출입 등, 상세한 반송 위치는, 실제로 반송 로봇을 이동시키면서 교시할 필요가 있다. 이러한 교시 처리는, 예를 들면, 기판 처리 장치의 기동 시나, 분해 메인터넌스 후의 사용 재개 전에 행해진다.
예를 들면, 일본국 특허공개 2001-156153호 공보(문헌 1) 및 일본국 특허공개 2006-332543호 공보(문헌 2)에 기재된 교시 처리에서는, 처리 유닛의 기판 유지부에 교시용의 타겟 지그를 유지시키고, 당해 타겟 지그의 중앙으로부터 상방으로 돌출하는 돌기부(즉, 피검출부)를, 반송 로봇이 유지하는 광 센서에 의해 검출하여, 기판 유지부와 반송 로봇의 상대 위치를 검출한다. 그리고, 당해 상대 위치가 설정치가 되도록 반송 로봇의 이동을 반복하여, 기판 유지부에 대한 반송 로봇의 상대 위치의 조정이 행해진다.
그런데, 문헌 1 및 문헌 2에 기재된 교시 처리에서는, 반송 로봇을 구동하기 전에, 기판 유지부에 대한 타겟 지그의 상대 위치를 고정밀도로 조정한 후에, 타겟 지그를 기판 유지부에 유지시킬 필요가 있다. 따라서, 타겟 지그의 위치 조정에 다대한 시간과 수고가 필요했다. 또한, 기판 처리 장치에서는, 복수의 처리 유닛 각각에 있어서, 타겟 지그의 위치 조정을 행할 필요가 있기 때문에, 상술한 교시 처리에 매우 다대한 시간과 수고가 필요했다.
본 발명은, 기판 처리 장치를 위한 것이며, 교시 정보의 생성 처리를 간소화하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명의 바람직한 일 형태에 따른 기판 처리 장치는, 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리부와, 상기 처리부에 대해서 상기 기판을 반송하는 반송 로봇과, 상기 처리부에 있어서의 상기 반송 로봇의 기판 반송 위치를 상기 반송 로봇에 교시하는 교시부를 구비한다. 상기 처리부는, 상기 기판을 수평 상태로 유지하는 기판 유지부와, 상하 방향을 향하는 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부를 회전시키는 기판 회전 기구를 구비한다. 상기 반송 로봇은, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도(受渡)를 행하는 핸드를 구비한다. 상기 기판 유지부의 상방에 위치하는 상기 핸드에 의해, 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서가 하면에 설치된 기판형 지그가 유지된 상태에서, 상기 기판 회전 기구에 의해서 상기 기판 유지부를 회전시킴으로써, 상기 기판 유지부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적이 형성된다. 상기 교시부는, 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성한다.
본 발명에 의하면, 교시 정보의 생성 처리를 간소화할 수 있다.
바람직하게는, 상기 기판 유지부는, 둘레형상으로 배치된 복수의 척 핀에 의해 상기 기판의 외주부를 기계적으로 유지하는 메커니컬 척이다. 상기 안표는, 상기 복수의 척 핀 중 1개 이상의 척 핀이다.
바람직하게는, 상기 기판 유지부는, 상면에 복수의 흡인구가 형성되어 상기 기판을 흡착하여 유지하는 진공 척이다. 상기 안표는, 상기 복수의 흡인구 중 1개 이상의 흡인구이다.
바람직하게는, 상기 교시부에 의해 산출된 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치에 의거하여, 상기 기판형 지그의 중심과 상기 회전축이 평면에서 볼 때 겹치도록 상기 핸드가 이동된다. 상기 기판 회전 기구에 의해서 상기 기판 유지부를 회전시킴으로써, 상기 안표의 상기 회전 궤적이 재차 형성된다. 상기 교시부는, 상기 회전 궤적의 재형성 후에, 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 재차 산출하여, 상기 수평 교시 정보를 생성한다.
바람직하게는, 상기 반송 로봇은, 상기 핸드의 하방에 위치하고, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도를 행하는 다른 핸드를 더 구비한다. 상기 교시부는, 상기 핸드에 관한 상기 수평 교시 정보와 같은 방법으로 상기 다른 핸드에 관한 다른 수평 교시 정보를 생성한다.
바람직하게는, 상기 기판형 지그의 상기 하면에 상기 기판 유지부와의 접촉을 검출하는 접촉 센서가 설치된다. 상기 반송 로봇은, 상기 핸드를 상기 기판 유지부에 대해서 상하 방향에 있어서 접근시킨다. 상기 교시부는, 상기 접촉 센서로부터의 출력에 의거하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 상하 방향에 있어서의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 상하 교시 정보를 생성한다.
바람직하게는, 상기 기판 유지부는, 둘레형상으로 배치된 복수의 척 핀에 의해 상기 기판의 외주부를 기계적으로 유지하는 메커니컬 척이다. 상기 접촉 센서는, 상기 기판형 지그의 상기 하면의 외주부에서 둘레형상으로 배치된 복수의 센서 요소를 구비한다.
바람직하게는, 상기 처리부는, 상기 기판 유지부를 내부에 수용함과 더불어 상기 기판의 반입용 개구를 갖는 하우징을 더 구비한다. 상기 핸드가 상기 하우징의 상기 개구에 삽입될 때에, 상기 핸드 및 상기 개구의 상대 위치를 나타내는 촬상 화상이 취득된다. 상기 교시부는, 상기 촬상 화상에 의거하여, 상기 핸드 및 상기 개구의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 반입 교시 정보를 생성한다.
바람직하게는, 상기 촬상 화상은, 상기 핸드 또는 상기 기판형 지그에 설치된 카메라에 의해 촬상된 상기 개구의 화상이다.
본 발명의 바람직한 다른 형태에 따른 기판 처리 장치는, 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리부와, 상기 처리부에 대해서 상기 기판을 반송하는 반송 로봇과, 상기 처리부에 있어서의 상기 반송 로봇의 기판 반송 위치를 상기 반송 로봇에 교시하는 교시부를 구비한다. 상기 처리부는, 상기 기판을 수평 상태로 유지하는 기판 유지부와, 상하 방향을 향하는 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부를 회전시키는 기판 회전 기구를 구비한다. 상기 반송 로봇은, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도를 행하는 핸드를 구비한다. 상기 처리부에서는, 상기 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부 이외의 회전부도 회전된다. 상기 기판 유지부의 상방에 위치하는 상기 핸드에 의해, 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서가 설치된 기판형 지그가 유지된 상태에서, 상기 회전부를 회전시킴으로써, 상기 회전부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적이 형성된다. 상기 교시부는, 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 회전축에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성한다.
본 발명은, 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리부와, 상기 처리부에 대해서 상기 기판을 반송하는 반송 로봇을 구비하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리부에 있어서의 상기 반송 로봇의 기판 반송 위치를 교시하는 교시 정보를 생성하는 교시 정보 생성 방법을 위한 것이기도 하다. 상기 처리부는, 상기 기판을 수평 상태로 유지하는 기판 유지부와, 상하 방향을 향하는 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부를 회전시키는 기판 회전 기구를 구비한다. 상기 반송 로봇은, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도를 행하는 핸드를 구비한다. 본 발명의 바람직한 일 형태에 따른 교시 정보 생성 방법은, a) 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서가 하면에 설치된 기판형 지그를 상기 핸드에 의해 유지하는 공정과, b) 상기 기판 회전 기구에 의해서 상기 기판 유지부를 회전시킴으로써, 상기 기판 유지부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적을 형성하는 공정과, c) 상기 기판 유지부의 상방에 위치하는 상기 기판형 지그의 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성하는 공정을 구비한다.
본 발명은, 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리부와, 상기 처리부에 대해서 상기 기판을 반송하는 반송 로봇을 구비하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리부에 있어서의 상기 반송 로봇의 기판 반송 위치를 상기 반송 로봇에 교시할 때에 이용되는 교시 세트를 위한 것이기도 하다. 상기 처리부는, 상기 기판을 수평 상태로 유지하는 기판 유지부와, 상하 방향을 향하는 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부를 회전시키는 기판 회전 기구를 구비한다. 상기 반송 로봇은, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도를 행하는 핸드를 구비한다. 본 발명의 바람직한 일 형태에 따른 교시 세트는, 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서가 하면에 설치된 기판형 지그와, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성하는 프로그램을 기억하는 기억 매체를 구비한다. 상기 기판 유지부의 상방에 위치하는 상기 핸드에 의해 상기 기판형 지그가 유지된 상태에서, 상기 기판 회전 기구에 의해서 상기 기판 유지부를 회전시킴으로써, 상기 기판 유지부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적이 형성된다. 상기 프로그램이 컴퓨터에 의해서 실행됨으로써, 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치가 산출되어, 상기 수평 교시 정보가 생성된다.
본 발명은, 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리부와, 상기 처리부에 대해서 상기 기판을 반송하는 반송 로봇을 구비하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리부에 있어서의 상기 반송 로봇의 기판 반송 위치를 교시하는 교시 정보를 생성할 때에 이용되는 기판형 지그를 위한 것이기도 하다. 본 발명의 바람직한 일 형태에 따른 기판형 지그는, 대략 원판형상의 지그 본체와, 상기 지그 본체의 하면에 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서를 구비한다. 상기 처리부는, 상기 기판을 수평 상태로 유지하는 기판 유지부와, 상하 방향을 향하는 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부를 회전시키는 기판 회전 기구를 구비한다. 상기 반송 로봇은, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도를 행하는 핸드를 구비한다. 상기 교시 정보의 생성은, a) 상기 기판형 지그를 상기 핸드에 의해 유지하는 공정과, b) 상기 기판 회전 기구에 의해서 상기 기판 유지부를 회전시킴으로써, 상기 기판 유지부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적을 형성하는 공정과, c) 상기 기판 유지부의 상방에 위치하는 상기 기판형 지그의 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성하는 공정을 구비한다.
바람직하게는, 상기 기판형 지그는, 상기 지그 본체의 상기 하면에 설치되어 상기 기판 유지부와의 접촉을 검출하는 접촉 센서를 더 구비한다. 상기 교시 정보의 생성은, d) 상기 c) 공정보다 후에, 상기 핸드를 상기 기판 유지부에 대해서 상하 방향에 있어서 접근시켜, 상기 접촉 센서로부터의 출력에 의거하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 상하 방향에 있어서의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 상하 교시 정보를 생성하는 공정을 더 구비한다. 상기 기판 유지부는, 둘레형상으로 배치된 복수의 척 핀에 의해 상기 기판형 지그의 외주부를 기계적으로 유지하는 메커니컬 척이다. 상기 접촉 센서는, 상기 지그 본체의 상기 하면의 외주부에서 상기 핸드와 접촉하는 위치를 피해서 배치된다.
상술한 목적 및 다른 목적, 특징, 양태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 행하는 이 발명의 상세한 설명에 의해 밝혀진다.
도 1은, 일 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 평면도이다.
도 2는, 기판 처리 장치의 내부를 나타낸 정면도이다.
도 3은, 반송 아암의 핸드 근방을 확대하여 나타낸 평면도이다.
도 4는, 처리 유닛의 일례를 나타낸 도면이다.
도 5는, 기판 유지부의 평면도이다.
도 6은, 컴퓨터의 구성을 나타낸 도면이다.
도 7은, 컴퓨터에 의해 실현되는 기능을 나타낸 블록도이다.
도 8은, 교시 정보의 생성의 흐름을 나타낸 도면이다.
도 9는, 기판형 지그의 저면도이다.
도 10은, 기판 유지부의 평면도이다.
도 11은, 수평 교시 정보를 구하는 방법의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 12는, 수평 교시 정보를 구하는 방법의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 13은, 다른 기판형 지그의 저면도이다.
도 14는, 다른 기판 유지부의 평면도이다.
도 15는, 다른 기판 유지부의 평면도이다.
도 1은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)의 평면도이다. 도 2는, 기판 처리 장치(1)를, 도 1의 II-II선에서 본 도면이다. 또한, 이하에 참조하는 각 도면에는, Z축 방향을 연직 방향(즉, 상하 방향)으로 하고, XY 평면을 수평면으로 하는 XYZ 직교좌표계가 적절히 부여되어 있다. 또, 도 2에서는, 기판 처리 장치(1)의 (+X) 측의 일부의 도시를 생략하고 있다.
기판 처리 장치(1)는, 복수의 대략 원판형상의 반도체 기판(9)(이하, 간단히 「기판(9)」이라고 한다.)에 연속해서 처리를 행하는 장치이다. 기판 처리 장치(1)에서는, 예를 들면, 기판(9)에 대해서 처리액을 공급하는 액처리가 행해진다.
기판 처리 장치(1)는, 복수의 캐리어 스테이지(11)와, 인덱서 블록(10)과, 처리 블록(20)과, 재치(載置) 유닛(40)과, 컴퓨터(8)를 구비한다. 인덱서 블록(10) 및 처리 블록(20)은 각각, 인덱서 셀 및 처리 셀이라고도 불린다. 또, 인덱서 블록(10)은, Equipment Front End Module(EFEM) 유닛 등이라고도 불린다. 도 1에 나타내는 예에서는, (-X) 측으로부터 (+X) 측을 향하여, 복수(예를 들면, 3개)의 캐리어 스테이지(11), 인덱서 블록(10) 및 처리 블록(20)이, 이 순서대로 인접하여 배치되어 있다.
복수의 캐리어 스테이지(11)는, 인덱서 블록(10)의 (-X) 측의 측벽을 따라서 Y방향으로 배열된다. 복수의 캐리어 스테이지(11)는 각각, 캐리어(95)가 재치되는 재치대이다. 캐리어(95)는, 복수의 원판형상의 기판(9)을 수납 가능하다. 인덱서 블록(10)의 (-X) 측의 측벽에는, 각 캐리어 스테이지(11) 상의 캐리어(95)에 대응하는 위치에 개구부가 형성된다. 당해 개구부에는 캐리어용 셔터가 설치되어 있으며, 캐리어(95)에 대한 기판(9)의 반출입이 행해질 때에는, 당해 캐리어용 셔터가 개폐된다.
각 캐리어 스테이지(11)에 대해서는, 복수의 미처리 기판(9)을 수납한 캐리어(95)가, 기판 처리 장치(1)의 외부로부터, OHT(Overhead Hoist Transport) 등에 의해 반입되어 재치된다. 또, 처리 블록(20)에 있어서의 처리가 종료된 처리 완료 기판(9)은, 캐리어 스테이지(11)에 재치된 캐리어(95)에 재차 수납된다. 처리 완료 기판(9)이 수납된 캐리어(95)는, OHT 등에 의해서 기판 처리 장치(1)의 외부로 반출된다. 즉, 캐리어 스테이지(11)는, 미처리 기판(9) 및 처리 완료 기판(9)을 집적하는 기판 집적부로서 기능한다.
캐리어(95)는, 예를 들면, 기판(9)을 밀폐 공간에 수납하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)이다. 캐리어(95)는, FOUP에는 한정되지 않으며, 예를 들면, SMIF(Standard Mechanical Inter Face) 포드, 또는, 수납된 기판(9)을 외기에 노출시키는 OC(Open Cassette)여도 된다. 또, 캐리어 스테이지(11)의 수는, 1개여도 되고, 2개 이상이어도 된다.
인덱서 블록(10)은, 캐리어(95)로부터 미처리 기판(9)을 수취하여, 처리 블록(20)에 건네준다. 또, 인덱서 블록(10)은, 처리 블록(20)으로부터 반출된 처리 완료 기판(9)을 수취하여, 캐리어(95)로 반입한다. 인덱서 블록(10)의 내부 공간(100)에는, 캐리어(95)에 대한 기판(9)의 반출입을 행하는 인덱서 로봇(12)이 배치된다.
인덱서 로봇(12)은, 2개의 반송 아암(121a, 121b)과, 아암 스테이지(122)와, 가동대(123)를 구비한다. 2개의 반송 아암(121a, 121b)은, 아암 스테이지(122)에 탑재된다. 가동대(123)는, 복수의 캐리어 스테이지(11)의 배열 방향과 평행으로(즉, Y방향을 따라서) 연장되는 볼 나사(124)에 결합되어, 2개의 가이드 레일(125)에 대해서 슬라이딩 가능하게 설치된다. 도시를 생략하는 회전 모터에 의해 볼 나사(124)가 회전하면, 가동대(123)를 포함하는 인덱서 로봇(12)의 전체가, Y방향을 따라서 수평으로 이동한다.
아암 스테이지(122)는, 가동대(123) 상에 탑재된다. 가동대(123)에는, 아암 스테이지(122)를 상하 방향(즉, Z방향)을 향하는 회전축 둘레로 회전시키는 모터(도시 생략), 및, 아암 스테이지(122)를 상하 방향을 따라서 이동시키는 모터(도시 생략)가 내장되어 있다. 아암 스테이지(122) 상에는, 반송 아암(121a, 121b)이, 상하로 이격되어 배치되어 있다.
반송 아암(121a, 121b)의 선단에는 각각, 평면에서 볼 때 대략 U자 형상의 핸드(126)가 설치된다. 핸드(126)는, 예를 들면, 폭방향으로 넓어지는 기부와, 당해 기부의 폭방향 양 단부로부터 폭방향과 수직인 길이 방향으로 대략 평행으로 연장되는 2개의 클로부를 구비한다. 반송 아암(121a, 121b)은 각각, 핸드(126)에 의해 1장의 기판(9)의 하면을 지지한다. 핸드(126)에는, 도시 생략된 이동 제한 기구가 설치되어 있어, 기판(9)의 핸드(126)에 대한 상대 위치가, 위치 정밀도 높게 고정된다. 당해 이동 제한 기구는, 예를 들면, 기판(9)의 측연(側緣)에 접촉하여 기판(9)의 위치를 기계적으로 제한하는 복수의 볼록부 등이어도 되고, 기판(9)의 하면을 흡착하는 복수의 흡인구여도 된다.
반송 아암(121a, 121b)은, 아암 스테이지(122)에 내장된 구동 기구(도시 생략)에 의해서 다관절 기구가 굴신됨으로써, 수평 방향(즉, 아암 스테이지(122)의 회전축을 중심으로 하는 경방향)을 따라서 서로 독립적으로 이동한다. 환언하면, 핸드(126)는, 진퇴 가능하게, 승강 가능하고 또한 회전 가능하게 인덱서 로봇(12)에 설치된다. 또한, 인덱서 로봇(12)에 있어서의 반송 아암의 수는, 1개여도 되고, 3개 이상이어도 된다.
인덱서 로봇(12)은, 핸드(126)에 의해 기판(9)을 유지하는 반송 아암(121a, 121b)을 각각, 캐리어 스테이지(11)에 재치된 캐리어(95), 및, 재치 유닛(40)에 개별적으로 액세스시킴으로써, 캐리어(95) 및 재치 유닛(40)의 사이에 기판(9)을 반송한다. 인덱서 로봇(12)에 있어서의 상기 이동 기구는, 상술한 예에는 한정되지 않으며, 다른 기구여도 된다. 예를 들면, 반송 아암(121a, 121b)을 상하 방향으로 이동시키는 기구로서, 풀리와 타이밍 벨트를 사용한 벨트 이송 기구 등이 채용되어도 된다.
처리 블록(20)에는, 기판(9)의 반송에 이용되는 반송로(23)와 반송로(23)의 주위에 배치되는 복수의 처리 유닛(21)이 설치된다. 도 1에 나타내는 예에서는, 반송로(23)는, 처리 블록(20)의 Y방향의 중앙에서 X방향으로 연장된다. 반송로(23)의 내부 공간(230)에는, 각 처리 유닛(21)에 대한 기판(9)의 반출입을 행하는 센터 로봇(22)이 배치된다.
센터 로봇(22)은, 2개의 반송 아암(221a, 221b)과, 아암 스테이지(222)와, 기대(223)를 구비한다. 2개의 반송 아암(221a, 221b)은, 아암 스테이지(222)에 탑재된다. 기대(223)는, 처리 블록(20)의 프레임에 고정되어 있다. 따라서, 센터 로봇(22)의 기대(223)는, 수평 방향 및 상하 방향으로 이동하지 않는다. 또한, 센터 로봇(22)의 기대(223)는, 예를 들면, 수평 방향으로 이동 가능하게 되어도 된다.
아암 스테이지(222)는, 기대(223) 상에 탑재된다. 기대(223)에는, 아암 스테이지(222)를 상하 방향을 향하는 회전축 둘레로 회전시키는 모터(도시 생략), 및, 아암 스테이지(222)를 상하 방향을 따라서 이동시키는 모터(도시 생략)가 내장되어 있다. 아암 스테이지(222) 상에는, 반송 아암(221a, 221b)이, 상하로 이격되어 배치되어 있다.
반송 아암(221a, 221b)의 선단에는 각각, 평면에서 볼 때 대략 U자 형상의 핸드(226)가 설치된다. 도 3은, 반송 아암(221a)의 핸드(226) 근방을 확대하여 나타내는 평면도이다. 반송 아암(221b)의 핸드(226)에 대해서도, 도 3에 나타내는 것과 같은 구조를 갖는다. 도 3에 예시하는 핸드(226)는, 폭방향으로 넓어지는 기부(227)와, 당해 기부(227)의 폭방향 양 단부로부터 폭방향과 수직인 길이 방향으로 대략 평행으로 연장되는 2개의 클로부(228)를 구비한다. 핸드(226)에는, 도시 생략된 이동 제한 기구가 설치되어 있어, 기판(9)의 핸드(226)에 대한 상대 위치가, 위치 정밀도 높게 고정된다. 당해 이동 제한 기구는, 예를 들면, 기판(9)의 측연에 접촉하여 기판(9)의 위치를 기계적으로 제한하는 복수의 볼록부 등이어도 되고, 기판(9)의 하면을 흡착하는 복수의 흡인구여도 된다.
반송 아암(221a, 221b)은 각각, 핸드(226)에 의해 1장의 기판(9)을 유지한다. 도 3 중에 ×표로 나타내는 위치는, 핸드(226)의 중심 위치인 핸드 중심 위치(220)이다. 핸드 중심 위치(220)는, 2개의 클로부(228)의 사이에 위치하는 가상점이다. 핸드 중심 위치(220)는, 핸드(226)에 의해 기판(9)이 설계 위치(즉, 도 3중에 이점쇄선으로 나타내는 위치)에서 유지되었을 경우에, 평면에서 볼 때 기판(9)의 중심이 위치하는 위치이다.
반송 아암(221a, 221b)은, 아암 스테이지(222)에 내장된 구동 기구(도시 생략)에 의해서 다관절 기구가 굴신됨으로써, 수평 방향(즉, 아암 스테이지(222)의 회전축을 중심으로 하는 경방향)을 따라서 서로 독립적으로 이동한다. 환언하면, 핸드(226)는, 진퇴 가능하게, 승강 가능하고 또한 회전 가능하게 센터 로봇(22)에 설치된다. 또한, 센터 로봇(22)에 있어서의 반송 아암의 수는, 1개여도 되고, 3개 이상이어도 된다.
센터 로봇(22)은, 핸드(226)에 의해 기판(9)을 유지하는 반송 아암(221a, 221b)을 각각, 재치 유닛(40) 및 복수의 처리 유닛(21)에 개별적으로 액세스시킴으로써, 재치 유닛(40)과 처리 유닛(21)의 사이에서 기판(9)을 반송하는 반송 로봇이다. 센터 로봇(22)에 있어서의 상기 이동 기구는, 상술한 예에는 한정되지 않고, 다른 기구여도 된다. 예를 들면, 반송 아암(221a, 221b)을 상하 방향으로 이동시키는 기구로서, 풀리와 타이밍 벨트를 사용한 벨트 이송 기구 등이 채용되어도 된다.
각 처리 유닛(21)은, 기판(9)에 대해서 소정의 처리를 실시하는 처리부이다. 도 1 및 도 2에 나타내는 예에서는, 처리 블록(20)에는, 12개의 처리 유닛(21)이 설치된다. 구체적으로는, Z방향으로 적층된 3개의 처리 유닛(21)군이, 평면에서 볼 때 센터 로봇(22)의 주위에 4세트 배치된다. 처리 블록(20)에 설치되는 처리 유닛(21)의 수는, 1개 이상의 범위에서 다양하게 변경되어도 된다.
재치 유닛(40)은, 인덱서 블록(10)과 처리 블록(20)의 접속부에 설치된다. 상술한 바와 같이, 인덱서 로봇(12) 및 센터 로봇(22)은, 재치 유닛(40)에 액세스 가능하다. 재치 유닛(40)은, 센터 로봇(22)이 배치되는 반송로(23)를 통해 복수의 처리 유닛(21)에 접속된다.
인덱서 로봇(12)은, 캐리어(95)로부터 반출한 미처리 기판(9)을 재치 유닛(40)에 재치한다. 센터 로봇(22)은, 재치 유닛(40)으로부터 미처리 기판(9)을 반출하여, 처리 유닛(21)으로 반입한다. 또, 센터 로봇(22)은, 처리 유닛(21)으로부터 반출한 처리 완료 기판(9)을 재치 유닛(40)에 재치한다. 인덱서 로봇(12)은, 재치 유닛(40)으로부터 처리 완료 기판(9)을 반출하여, 캐리어(95)에 반입한다. 환언하면, 재치 유닛(40)은, 인덱서 로봇(12)으로부터 센터 로봇(22)으로 건네지는 미처리 기판(9), 및, 센터 로봇(22)으로부터 인덱서 로봇(12)으로 건네지는 처리 완료 기판(9)을 유지한다.
도 4는, 처리 유닛(21)의 일례를 나타내는 도면이다. 처리 유닛(21)은, 하우징(31)과, 기판 유지부(32)와, 기판 회전 기구(33)와, 컵부(34)와, 처리 노즐(35)을 구비한다. 기판 유지부(32), 기판 회전 기구(33), 컵부(34) 및 처리 노즐(35)은, 하우징(31)의 내부에 수용된다. 하우징(31)의 측벽에는, 센터 로봇(22)(도 1 및 도 2 참조)에 의해 기판(9)을 내부에 반입하기 위한 개구(311)가 형성된다. 개구(311)는, 개폐 가능하며, 기판(9)의 반출입 시에 개방되고, 기판(9)의 처리 시에 폐쇄된다. 처리 유닛(21)에서는, 예를 들면, 기판(9)에 대한 세정 처리 등의 액처리가 행해진다.
도 4에 나타내는 예에서는, 기판 유지부(32)는, 기판(9)을 수평 상태로 유지하는 메커니컬 척이다. 기판 유지부(32)는, 베이스(321)와, 샤프트(322)와, 복수의 척 핀(323)을 구비한다. 베이스(321)는, 상하 방향을 향하는 회전축(J1)을 중심으로 하는 대략 원판형상의 부재이다. 또한, 이하에서는, 도 4 중의 상하 방향은, 상술한 Z방향과 일치하는 것으로서 설명하지만, 반드시 일치할 필요는 없다. 샤프트(322)는, 회전축(J1)을 중심으로 하는 대략 원통형상 또는 대략 원기둥형상의 부재이다. 샤프트(322)는, 베이스(321)의 하면으로부터 하방으로 연장되고, 기판 회전 기구(33)에 접속된다.
도 5는, 기판 유지부(32)를 나타내는 평면도이다. 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 복수(예를 들면, 6개)의 척 핀(323)은, 베이스(321)의 상면에 세워 설치된다. 복수의 척 핀(323)은, 베이스(321)의 상면의 외주부에 있어서 둘레형상으로 배치된다. 상세하게는, 복수의 척 핀(323)은, 회전축(J1)을 중심으로 하는 동일 원주 상에 배치된다. 복수의 척 핀(323)은, 예를 들면, 회전축(J1)을 중심으로 하는 둘레 방향(이하, 간단히 「둘레 방향」이라고도 부른다.)에 있어서 대략 등 각도 간격으로 배치된다. 복수의 척 핀(323)은, 기판(9)의 외주부에 직접적으로 접촉하여, 기판(9)의 외주부를 기계적으로 유지한다. 기판(9)이 복수의 척 핀(323)에 의해 유지된 상태에서는, 베이스(321)의 상면은, 기판(9)의 하면으로부터 하방으로 이격된 상태에서, 기판(9)의 하면과 상하 방향으로 대향한다.
기판 회전 기구(33)는, 회전축(J1)을 중심으로 하여 기판 유지부(32)를 회전시킴으로써, 기판 유지부(32)에 유지된 기판(9)을 회전시킨다. 기판 회전 기구(33)는, 예를 들면, 기판 유지부(32)의 샤프트(322)에 접속되는 전동 모터이다. 기판 회전 기구(33)는, 전동 모터 이외의 회전 기구여도 된다. 기판 회전 기구(33)는, 기판 유지부(32)의 하방에 배치된 커버(331)의 내부에 수용된다.
처리 노즐(35)은, 기판(9)의 상방으로부터 기판(9)의 상면을 향하여 처리액을 토출한다. 도 4에서는, 처리 노즐(35)을 기판(9)의 상방에서 지지하는 구성의 도시를 생략하고 있다. 컵부(34)는, 기판 유지부(32)의 주위를 전체 둘레에 걸쳐서 둘러싸는 대략 원통형상의 부재이다. 컵부(34)는, 회전 중의 기판(9)으로부터 주위에 비산하는 처리액 등을 받는 액받이이다. 컵부(34)는, 도시 생략된 컵 승강기구에 의해 상하 방향으로 이동 가능하다. 기판(9)의 처리가 행해질 때에는, 컵부(34)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 회전축(J1)을 중심으로 하는 경방향(이하, 간단히 「경방향」이라고도 부른다.)에 있어서 기판(9)의 측연과 대향하는 위치에 배치된다. 또, 센터 로봇(22)의 핸드(226)와 기판 유지부(32) 사이에서 기판(9)이 수도될 때에는, 컵부(34)는, 도 4에 나타내는 위치로부터 하방으로 이동한다. 또한, 도 4에 나타내는 예에서는, 컵부(34)는 회전하지 않지만, 회전축(J1)을 중심으로 회전 가능하게 구성되어도 된다.
도 6은, 컴퓨터(8)의 구성을 나타내는 도면이다. 컴퓨터(8)는, 프로세서(81)와, 메모리(82)와, 입출력부(83)와 버스(84)를 구비하는 통상의 컴퓨터이다. 버스(84)는, 프로세서(81), 메모리(82) 및 입출력부(83)를 접속하는 신호 회로이다. 메모리(82)는, 각종 정보를 기억한다. 메모리(82)는, 예를 들면, 기억 매체(80)에 미리 기억되어 있는 교시 정보 생성용의 프로그램(89)을 읽어 기억한다. 교시 정보의 생성에 대해서는 후술한다. 프로세서(81)는, 메모리(82)에 기억되는 상기 프로그램(89) 등에 따라서, 메모리(82) 등을 이용하면서 다양한 처리(예를 들면, 수치 계산)를 실행한다. 입출력부(83)는, 조작자로부터의 입력을 받아들이는 키보드(85) 및 마우스(86), 프로세서(81)로부터의 출력 등을 표시하는 디스플레이(87), 및, 프로세서(81)로부터의 출력 등을 송신하는 송신부(88)를 구비한다.
도 7은, 컴퓨터(8)에 의해 상기 프로그램(89)이 실행됨으로써 실현되는 기능을 나타내는 블록도이다. 기판 처리 장치(1)는, 컴퓨터(8)에 의해 실현되는 기능으로서, 기억부(61)와, 구동 제어부(62)와, 교시부(63)를 구비한다. 기억부(61)는, 주로 메모리(82)에 의해 실현되고, 후술하는 카메라(75)로부터의 출력 등의 각종 정보를 기억한다. 구동 제어부(62)는, 주로 프로세서(81) 및 송신부(88)에 의해 실현되고, 센터 로봇(22) 및 처리 유닛(21) 등의 각 구성에 제어 신호를 보내, 당해 각 구성을 구동 제어한다.
교시부(63)는, 센터 로봇(22)에 의한 처리 유닛(21)에 대한 기판(9)의 반출입에 관해서, 센터 로봇(22)에 의해 기판(9)이 반송되어야 하는 적정한 위치(즉, 기판 반송 위치)를, 센터 로봇(22)에 교시한다. 교시부(63)는, 처리 유닛(21)에 있어서의 센터 로봇(22)에 의한 기판 반송 위치를 나타내는 교시 정보를 생성한다.
당해 교시 정보는, 처리 유닛(21)에 있어서의 센터 로봇(22)의 핸드(226)와 기판 유지부(32)의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 포함한다. 또, 당해 교시 정보는, 처리 유닛(21)에 있어서의 센터 로봇(22)의 핸드(226)와 기판 유지부(32)의 상하 방향에 있어서의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 상하 교시 정보를 포함한다. 또한, 당해 교시 정보는, 센터 로봇(22)의 핸드(226)와 처리 유닛(21)의 하우징(31)의 개구(311)의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 반입 교시 정보를 포함한다.
수평 교시 정보는, 센터 로봇(22)의 핸드(226)로부터 기판 유지부(32)에 대해서 기판(9)이 건네질 때, 및, 기판 유지부(32)로부터 핸드(226)가 기판(9)을 수취할 때에, 핸드(226)를 기판 유지부(32)에 대해서 평면에서 볼 때 적정한 상대 위치에 위치시키기 위해서 이용된다. 상하 교시 정보는, 센터 로봇(22)의 핸드(226)로부터 기판 유지부(32)에 대해서 기판(9)이 건네질 때, 및, 기판 유지부(32)로부터 핸드(226)가 기판(9)을 수취할 때에, 핸드(226)를 기판 유지부(32)에 대해서 상하 방향에 있어서 적정한 상대 위치에 위치시키기 위해서 이용된다. 반입 교시 정보는, 센터 로봇(22)의 핸드(226)가 하우징(31)의 개구(311)에 삽입될 때, 및, 개구(311)로부터 이격될 때에, 핸드(226)를 개구(311)에 대해서 적정한 상대 위치(즉, 핸드(226)에 유지된 기판(9)이 하우징(31) 등에 충돌하지 않는 위치)에 위치시키기 위해서 이용된다. 환언하면, 반입 교시 정보는, 센터 로봇(22)의 핸드(226)에 의해서 기판(9)이 하우징(31)에 대해서 반출입 될 때에, 기판(9)의 충돌을 방지하기 위한 정보이다.
다음에, 도 8을 참조하면서, 교시 정보의 생성의 흐름에 대해 설명한다. 당해 교시 정보의 생성은, 기판 처리 장치(1)에 의한 기판(9)의 처리가 행해지고 있지 않을 때(예를 들면, 야간)에, 자동적으로 행해진다. 당해 교시 정보의 생성은, 기판 처리 장치(1)의 복수의 처리 유닛(21)에 대해서 순차적으로 행해진다. 또, 당해 교시 정보의 생성은, 센터 로봇(22)의 복수의 핸드(226)에 대해서 순차적으로 행해진다. 이하에서는, 센터 로봇(22)의 상측의 반송 아암(221a)의 핸드(226)에 대한 교시 정보의 생성에 대해 설명한다. 후술하는 바와 같이, 반송 아암(221b)의 핸드(226)에 대한 교시 정보도 동일한 순서로 생성된다.
당해 교시 정보의 생성에서는, 우선, 도 9에 나타내는 기판형 지그(7)가, 도 1 및 도 2에 나타내는 센터 로봇(22)의 핸드(226)에 의해 유지된다(단계 S11). 구체적으로는, 구동 제어부(62)(도 7 참조)에 의해서 센터 로봇(22)이 제어됨으로써, 반송 아암(221a)이 구동되어, 재치 유닛(40) 근방에 배치된 스토커(700)에 핸드(226)가 삽입된다. 스토커(700) 내에는, 1개 이상의 기판형 지그(7)가 미리 격납되어 있다. 핸드(226)는, 1개의 기판형 지그(7)를 유지하여 스토커(700)로부터 취출(取出)한다. 또한, 오퍼레이터 등이 기판형 지그(7)를 핸드(226) 상에 재치해도 된다.
도 9는, 기판형 지그(7)의 하면(71)(즉, 핸드(226)에 유지된 상태에 있어서의 하면)을 나타내는 저면도이다. 기판형 지그(7)는, 예를 들면, 대략 원판형상의 부재이다. 기판형 지그(7)는, 예를 들면, 평면에서 볼 때 기판(9)과 대략 동 형상인 대략 원형이다. 기판형 지그(7)의 두께는, 바람직하게는, 반송 아암(221a)의 핸드(226)와 반송 아암(221b)의 핸드(226) 사이의 상하 방향에 있어서의 간극(이하, 「핸드 간극」이라고도 부른다.)의 높이보다 얇다. 이에 의해, 하측의 반송 아암(221b)의 핸드(226)에 대한 교시 정보의 생성 시에, 당해 핸드(226)에 의해 기판형 지그(7)를 용이하게 유지할 수 있다.
기판형 지그(7)는, 대략 원판형상의 지그 본체(76)와, 지그 본체(76)의 하면(71)에 설치된 3개의 광학 센서(72)를 구비한다. 광학 센서(72)는, 광학 렌즈계와 광 센서가 조합된 센서이다. 광학 센서(72)로서는, 예를 들면, 포토 센서, 또는, CMOS 센서 혹은 CCD 센서를 갖는 카메라 등, 다양한 것이 이용 가능하다. 본 실시의 형태에서는, 광학 센서(72)로서 포토 센서가 이용된다. 이하의 설명에서는, 부호 72를 붙인 구성을 「포토 센서(72)」라고도 부른다.
3개의 포토 센서(72)는, 일직선 상에는 배치되지 않고, 평면에서 볼 때 삼각형의 3개의 정점에 배치된다. 환언하면, 3개의 포토 센서(72)는, 비직선형상으로 배치된다. 3개의 포토 센서(72)는, 당해 3개의 포토 센서(72)에 의해 구성되는 가상적인 삼각형(73)의 중심이, 평면에서 볼 때 기판형 지그(7)의 중심(70)과 겹치도록 배치되어 있다. 3개의 포토 센서(72)에 의해 구성되는 삼각형(73)은 정삼각형, 이등변 삼각형 및 직각 삼각형 중 어느 하나여도 되고, 정삼각형, 이등변 삼각형 및 직각 삼각형 중 어느 하나가 아니어도 된다. 본 실시형태에서는, 삼각형(73)은 정삼각형이다. 또한, 기판형 지그(7)에서는, 4개 이상의 포토 센서(72)가 하면(71)에 설치되어도 된다. 당해 4개 이상의 포토 센서(72) 중, 적어도 3개의 포토 센서(72)는, 상술한 바와 같이 비직선형상으로 배치된다.
도 9에서는, 기판형 지그(7)의 하면(71)에 접촉하여 기판형 지그(7)를 하측으로부터 유지하는 핸드(226)를 이점쇄선으로 나타낸다. 기판형 지그(7)가 핸드(226)에 의해 유지될 때에는, 상술한 이동 제한 기구에 의해, 기판형 지그(7)의 핸드(226)에 대한 상대 위치가, 위치 정밀도 높게 고정된다. 기판형 지그(7)가 핸드(226)에 유지된 상태에서는, 기판형 지그(7)의 중심(70)은, 핸드(226)의 핸드 중심 위치(220)와 평면에서 볼 때 겹친다. 또, 3개의 포토 센서(72)는, 평면에서 볼 때, 핸드(226)의 2개의 클로부(228)를 피해서 배치되고, 핸드(226)와는 겹치지 않는다. 각 포토 센서(72)는, 핸드(226)보다 하방에 위치하는 검출 대상물을 검출하는 것이 가능하다.
각 포토 센서(72)는, 반사형 포토 센서(즉, 포토 리플렉터)이다. 후술하는 바와 같이, 본 실시형태에서는, 포토 센서(72)의 검출 대상물은 기판 유지부(32)의 베이스(321)로부터 상방으로 돌출하는 척 핀(323)(도 4 및 도 5 참조)이다. 포토 센서(72)는, 소정의 거리 범위 내의 물체만을 검출 가능한 한정 반사형의 포토 센서인 것이 바람직하다. 또한, 포토 센서(72)는, 한정 반사형 이외의 종류의 포토 센서여도 된다.
기판형 지그(7)는, 후술하는 바와 같이, 처리 유닛(21)에 반입된 후, 핸드(226)로부터 기판 유지부(32)로 건네져 기판 유지부(32)에 의해 유지된다. 기판형 지그(7)의 하면(71)에는, 기판 유지부(32)와의 접촉을 검출하는 접촉 센서(74)가 설치된다. 접촉 센서(74)는, 기판(9)의 하면(71)의 외주부에 있어서 둘레형상으로 설치된다. 접촉 센서(74)는, 3개의 포토 센서(72)의 경방향 외측에 위치하고, 3개의 포토 센서(72)의 주위를 둘러싼다. 도 9에 나타내는 예에서는, 접촉 센서(74)는, 복수(예를 들면, 16개)의 센서 요소(741)를 구비한다. 복수의 센서 요소(741)는, 기판형 지그(7)의 하면(71)의 외주부에서, 기판형 지그(7)의 중심(70)을 중심으로 하여 둘레형상으로 배치된다. 복수의 센서 요소(741)는, 예를 들면, 둘레 방향에 있어서 대략 등각도 간격으로 배치된다. 센서 요소(741)로서는, 예를 들면, 압력 센서, 압전 센서 또는 정전 용량 센서 등이 이용 가능하다.
상술한 포토 센서(72) 및 접촉 센서(74)에 대한 전력 공급은, 예를 들면, 기판형 지그(7)에 내장된 박형 전지에 의해 행해진다. 혹은, 기판형 지그(7)의 외부에 배치된 외부 전원으로부터, 유선 또는 무선으로 포토 센서(72) 및 접촉 센서(74)에 전력이 공급되어도 된다. 포토 센서(72) 및 접촉 센서(74)로부터의 출력은, 컴퓨터(8)로 보내진다.
기판형 지그(7)가 유지되는 핸드(226)에는, 카메라(75)가 설치되어 있다. 카메라(75)는, 예를 들면, 고정구 등에 의해 핸드(226) 상의 소정의 위치에 착탈 가능하게 장착되어 있어도 되고, 핸드(226) 상의 소정의 위치에 착탈 불가능하게 고정되어 있어도 된다. 도 9에 나타내는 예에서는, 카메라(75)는, 핸드(226)의 기부(227)의 상면에 설치되고, 핸드(226)의 전방(즉, 기부(227)로부터 클로부(228)가 연장되는 방향)을 촬상한다. 또한, 카메라(75)에 의해, 핸드(226) 상의 기판형 지그(7)도 더불어 촬상되어도 된다. 카메라(75)에 의해 촬상된 촬상 화상은, 컴퓨터(8)로 보내져 기억부(61)에 기억된다. 카메라(75)로서는, 예를 들면, CMOS 센서 또는 CCD 센서가 이용 가능하다. 카메라(75)는, 예를 들면, 기판형 지그(7)의 상면 등에 설치되어도 된다.
단계 S11에 있어서 기판형 지그(7)가 핸드(226)에 의해 유지되면, 구동 제어부(62)(도 7 참조)에 의해서 센터 로봇(22)이 제어됨으로써, 반송 아암(221a)이 구동되어 핸드(226)가 하나의 처리 유닛(21)의 개구(311)(도 4 참조)를 향하여 이동된다. 핸드(226)가 개구(311)에 가까워지면, 카메라(75)에 의해, 개구(311) 및 하우징(31)에 있어서의 개구(311)의 주위의 부위가 촬상되고, 취득된 촬상 화상이 컴퓨터(8)로 보내진다.
컴퓨터(8)에서는, 교시부(63)에 의해, 당해 촬상 화상(즉, 개구(311)의 화상), 및, 미리 기억부(61)에 기억되어 있는 핸드(226) 상에 있어서의 카메라(75)의 고정 위치에 의거하여, 핸드(226)의 개구(311)에 대한 상대 위치가 구해진다. 즉, 촬상 화상은, 핸드(226) 및 개구(311)의 상대 위치를 나타내는 화상이다. 교시부(63)에서는, 핸드(226)의 개구(311)에 대한 상대 위치에 의거하여, 핸드(226)에 유지될 예정인 기판(9)이, 하우징(31)에 충돌하는 일 없이, 개구(311)에 삽입 가능한지 아닌지가 판단된다.
그리고, 핸드(226)가 개구(311)에 삽입될 때에, 기판(9)이 하우징(31)에 충돌하지 않는다고 판단되었을 경우, 현상(現狀)의 핸드(226)의 위치가 취득된다. 한편, 기판(9)이 하우징(31)에 충돌할 가능성이 있다고 판단되었을 경우, 기판(9)이 하우징(31)에 충돌하지 않도록, 핸드(226)의 개구(311)에 대한 상대 위치가 조정되고, 조정 후의 핸드(226)의 위치가 취득된다. 그 후, 핸드(226)가 개구(311)에 삽입될 때까지, 핸드(226)를 더 개구(311)에 접근시키고, 필요에 따라서 핸드(226)의 위치를 조정하여 핸드(226)의 위치를 취득하는 것이 반복된다. 그리고, 취득된 핸드(226)의 복수의 위치에 의거하여, 상술한 반입 교시 정보가 생성된다(단계 S12). 구체적으로는, 핸드(226)의 당해 복수의 위치를 통과하는 핸드(226)의 이동 경로가 반입 교시 정보가 된다. 당해 반입 교시 정보는, 컴퓨터(8)에 기억되고, 기판 처리 장치(1)에 있어서의 기판(9)의 처리 시에 이용된다. 이에 의해, 기판(9)이 처리 유닛(21)에 반입될 때에, 기판(9)과 하우징(31)의 충돌이 방지된다.
단계 S12에서 생성되는 반입 교시 정보에는, 핸드(226)의 개구(311) 통과 시의 이동 경로에 더하여, 하우징(31) 내에 있어서의 가장 안쪽 위치(즉, 개구(311)로부터 가장 떨어진 핸드(226)의 도달 가능 위치)까지의 이동 경로도 포함되어도 된다. 이 경우, 핸드(226)가 개구(311)에 삽입된 후, 상기와 대략 동일하게, 핸드(226)의 이동, 핸드(226) 및 척 핀(323)의 상대 위치를 나타내는 촬상 화상의 취득, 및, 필요에 따른 핸드(226) 위치의 조정이 반복되어, 핸드(226)가 가장 안쪽 위치에 도달한 시점에서, 반입 교시 정보가 생성된다. 이에 의해, 기판(9)이 처리 유닛(21)에 반입될 때에, 기판(9)과 척 핀(323)과의 충돌도 방지된다.
또, 단계 S12에서 생성된 반입 교시 정보는, 기판(9)을 하우징(31) 내로부터 반출할 때에도 이용되어, 기판(9)이 반입 시의 경로를 반대 방향으로 이동함으로써, 기판(9)의 척 핀(323) 및 하우징(31) 등과의 충돌이 방지된다. 또한, 기판(9)의 반출 시에 대해서도, 상기와 대략 동일하게, 핸드(226)의 이동, 핸드(226)와 척 핀(323) 또는 하우징(31)과의 상대 위치를 나타내는 촬상 화상의 취득, 및, 필요에 따른 핸드(226) 위치의 조정이 반복되어, 반입 교시 정보가 생성되어도 된다.
반입 교시 정보가 생성되면, 구동 제어부(62)에 의해 센터 로봇(22)이 제어됨으로써, 핸드(226)에 유지된 기판형 지그(7)가 수평으로 이동되어, 기판 유지부(32)의 대략 연직 상방으로 위치한다. 이 때, 기판형 지그(7)의 중심(70)은, 도 10에 나타내는 바와 같이, 평면에서 볼 때, 기판 유지부(32)의 회전축(J1) 근방(즉, 설계상은 회전축(J1)과 겹쳐져야 할 위치)에 배치된다. 또한, 기판 유지부(32)에는, 기판(9)나 다른 물체(예를 들면, 교시용의 타겟 지그 등)는 유지되어 있지 않다.
도 10은, 기판 유지부(32)를 나타내는 평면도이다. 도 10에서는, 도면의 이해를 용이하게 하기 위해서, 기판형 지그(7)의 중심(70)과 기판 유지부(32)의 회전축(J1)의 어긋남량을 실제보다 크게 그리고 있다. 또, 도 10에서는, 기판 유지부(32)의 상방에 위치하는 기판형 지그(7), 3개의 포토 센서(72), 및, 3개의 포토 센서(72)에 의해 형성되는 가상적인 삼각형(73)을 이점쇄선으로 더불어 나타낸다. 삼각형(73)의 중심은, 상술한 바와 같이, 기판형 지그(7)의 중심(70) 및 핸드 중심 위치(220)(도 9 참조)와 평면에서 볼 때 겹친다. 도 10에 나타내는 예에서는, 기판형 지그(7)의 중심(70)은, 회전축(J1)으로부터 약간 좌측 비스듬한 아래로 어긋나 있다. 단, 기판형 지그(7)의 중심(70)의 회전축(J1)으로부터의 어긋남량은, 현시점에서는 불명이다. 이하의 설명에서는, 도 10에 나타내는 기판형 지그(7)의 위치를 「초기 위치」라고도 부른다.
계속해서, 기판형 지그(7)의 중심(70)과 회전축(J1)을, 평면에서 볼 때 고정밀도로 일치시키기 위한 처리가 행해진다. 우선, 구동 제어부(62)에 의한 제어에 의해 기판 회전 기구(33)가 구동되어, 기판 유지부(32)가, 회전축(J1)을 중심으로 하여 소정의 회전 속도로 계속적으로 회전한다. 이에 의해, 기판 유지부(32) 상에 미리 설치되어 있는 안표인 복수의 척 핀(323)에 의해, 가상적인 원주형상의 회전 궤적(324)이 형성된다(단계 S13). 상술한 바와 같이, 복수의 척 핀(323)은 회전축(J1)을 중심으로 하는 동일 원주 상에 배치되기 때문에, 회전 궤적(324)은, 당해 복수의 척 핀(323)이 회전함으로써 형성되는 궤적이다. 또한, 회전 궤적(324)은, 예를 들면, 척 핀(323)의 상단의 핀부(즉, 기판(9)의 처리 시에 기판(9)의 외연부에 직접적으로 접촉하는 부위)의 회전 궤적이다. 당해 핀부가 경방향으로 이동 가능한 경우, 회전 궤적(324)은, 예를 들면, 경방향의 가장 외측에 위치하고 있는 상태의 핀부의 회전 궤적이다. 회전 궤적(324)은, 척 핀(323)의 핀부 이외의 부위의 회전 궤적이어도 된다. 또, 회전축(J1)과 척 핀(323) 사이의 거리(즉, 회전 궤적(324)의 반경)는, 설계상은 이미 알고 있지만, 엄밀하게는 불명한 것으로서 취급한다.
또한, 회전 궤적(324)을 형성하는 안표는, 기판 유지부(32) 상에 미리 설치되어 있는 구성이면, 척 핀(323)에는 한정되지 않는다. 예를 들면, 기판 유지부(32) 상에 존재하는 나사의 머리 등이 안표으로서 겸용되어도 된다. 당해 안표는, 1개여도 되고, 회전축(J1)을 중심으로 하는 동일 원주 상에 배치된 복수의 구성이어도 된다. 당해 안표는, 교시 정보를 생성하기 위한 전용의 안표가 아니고, 척 핀(323) 등과 같이, 기판 처리 장치(1)에 있어서 기판(9)의 처리 등에 이용되는 구성이 안표으로서 겸용되는 것이 바람직하다. 이에 의해, 전용의 안표가 설치되는 경우에 비해, 기판 유지부(32)의 구조를 간소화할 수 있다.
계속해서, 기판 유지부(32)의 회전이 계속되고 있는 상태에서, 기판 유지부(32)의 상방에서 기판형 지그(7)가 핸드(226)와 함께 수평으로 이동된다. 당해 수평 이동은, 3개의 포토 센서(72) 중 1개의 포토 센서(72)에 의해 회전 중의 척 핀(323)이 검출될 때까지(즉, 당해 포토 센서(72)가 회전 궤적(324)과 평면에서 볼 때 겹칠 때까지) 행해진다. 그리고, 핸드(226)의 위치를 조금씩 변경하여, 당해 포토 센서(72)가 회전 궤적(324)과 평면에서 볼 때 겹치고, 또한, 기판형 지그(7)의 초기 위치로부터의 이동거리가 가장 작은 위치(이하, 「최소 이동 위치」라고 부른다.)를 취득한다. 또, 기판형 지그(7)의 초기 위치에 있어서의 중심(70)과 최소 이동 위치에 있어서의 중심(70) 사이의 거리(이하, 「최소 이동거리」라고도 부른다.)도 취득된다. 그 후, 다른 2개의 포토 센서(72)에 대해서도, 같은 순서에 의해 기판형 지그(7)의 최소 이동 위치 및 최소 이동거리가 취득된다.
기판형 지그(7)의 초기 위치에 있어서의 중심(70)과, 각 포토 센서(72)에 관해서 취득된 기판형 지그(7)의 최소 이동 위치에 있어서의 중심(70)을 통과하는 직선은, 회전 궤적(324)의 중심인 회전축(J1)을 통과한다. 따라서, 3개의 포토 센서(72)에 관한 최소 이동거리와, 이미 알고 있는 3개의 포토 센서(72)의 상대 위치에 의거하여, 회전 궤적(324)의 중심인 회전축(J1)의 평면에서 볼 때의 위치를 산출하는 것이 가능하다.
구체적으로는, 우선, 도 11에 나타내는 바와 같이, 초기 위치의 기판형 지그(7)에 있어서의 1개의 포토 센서(72)의 평면에서 볼 때의 좌표 Se10(즉, X좌표 및 Y좌표이며, 이하, 간단히 「좌표」라고도 부른다.)과, 당해 포토 센서(72)에 관한 최소 이동거리(d1)로부터, 당해 포토 센서(72)에 관한 최소 이동 위치에 기판형 지그(7)가 위치할 때의 당해 포토 센서(72)의 좌표 Se11(즉, 회전 궤적(324) 상의 1점의 좌표)이 산출된다. 다른 2개의 포토 센서(72)에 관해서도, 마찬가지로, 초기 위치의 기판형 지그(7)에 있어서의 포토 센서(72)의 좌표 Se20, Se30과, 최소 이동거리 d2, d3으로부터, 기판형 지그(7)가 최소 이동 위치에 위치할 때의 포토 센서(72)의 좌표 Se21, Se31(즉, 회전 궤적(324) 상의 1점의 좌표)이 산출된다.
계속해서, 산출된 회전 궤적(324) 상의 3점의 좌표 Se11, Se21, Se31로부터, 도 12에 나타내는 바와 같이, 회전 궤적(324)의 내접 삼각형 T1이 구해진다. 그리고, 내접 삼각형 T1의 각 변의 수직 이등분선의 교점의 좌표가, 회전 궤적(324)의 중심인 회전축(J1)의 좌표로서 산출된다. 또, 내접 삼각형 T1의 세 변의 길이로부터, 정현 정리에 의해 회전 궤적(324)의 반경 Rtp가 산출된다.
다음으로, 반경 Rtp를 조금씩 변경하여, 상술한 회전축(J1)의 좌표, 회전 궤적(324)의 반경 Rtp, 및, 상술한 최소 이동거리 d1, d2, d3에 의거하여, 초기 위치에 위치하는 기판형 지그(7)에 있어서의 3개의 포토 센서(72)의 좌표 Se10a, Se20a, Se30a가 역산된다. 계속해서, 역산된 좌표 Se10a, Se20a, Se30a에 의거하여, 3개의 포토 센서(72)에 의해 형성되는 삼각형(73)의 각 변의 길이가 산출된다. 그리고, 산출된 삼각형(73)의 각 변의 길이가, 실제의 기판형 지그(7)에 있어서의 삼각형(73)의 각 변의 길이(이미 알고 있는 것)에 가장 가깝게 되는 반경 Rtp를, 회전 궤적(324)의 반경 Rt로 한다. 이에 의해, 회전 궤적(324)의 반경 Rt을 정밀도 높게 구할 수 있다. 예를 들면, 삼각형(73)의 각 변의 산출치와 실제의 값의 차의 제곱합이 최소가 되도록, 회전 궤적(324)의 반경 Rt가 결정된다. 그 후, 회전 궤적(324)의 반경 Rt를 이용하여 구해진 3개의 포토 센서(72)의 좌표 Se10a, Se20a, Se30a로부터, 삼각형(73)의 중심 위치와 겹치는 핸드 중심 위치(220)가 구해진다.
교시부(63)에서는, 상기와 같이 구해진 회전축(J1)의 위치와 핸드 중심 위치(220)가 비교되어, 회전축(J1)의 위치와 핸드 중심 위치(220)가 평면에서 볼 때 겹치는 경우, 현상의 핸드(226)의 위치를 나타내는 정보가, 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계(즉, 수평 방향에 있어서의 적정한 상대 위치 관계)를 나타내는 수평 교시 정보로서 생성된다. 한편, 회전축(J1)의 위치와 핸드 중심 위치(220)가 평면에서 볼 때 겹쳐 있지 않고, 어긋나 있는 경우, 회전축(J1)과 핸드 중심 위치(220)가 평면에서 볼 때 겹치도록 핸드(226)의 수평 방향의 위치가 조정되어, 조정 후의 핸드(226)의 위치를 나타내는 정보가 수평 교시 정보로서 생성된다(단계 S14).
또한, 단계 S14에서는, 3개의 포토 센서(72)로부터 각각 얻어진 회전 궤적(324)에 대한 상대 위치에 의거하여, 핸드(226)의 기판 유지부(32)에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치가 산출되어, 수평 교시 정보가 생성된다면, 당해 상대 위치의 산출 방법 등은 상술한 예에는 한정되지 않고, 다양하게 변경되어도 된다.
또, 단계 S14에서는, 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 상대 위치의 산출, 및, 핸드(226)의 상기 위치 조정이 반복된 후, 수평 교시 정보가 생성되어도 된다. 환언하면, 수평 교시 정보가 생성되기 전에, 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 상대 위치의 산출, 및, 핸드(226)의 상기 위치 조정이 반복되어도 된다. 구체적으로는, 핸드(226)의 수평 방향에 있어서의 상술한 위치 조정이 종료된 후, 기판 유지부(32)가 회전되어 회전 궤적(324)이 재차 형성되고, 3개의 포토 센서(72)로부터 각각 얻어진 재형성 후의 회전 궤적(324)에 대한 상대 위치에 의거하여, 핸드(226)의 기판 유지부(32)에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치가 산출된다. 그리고, 핸드 중심 위치(220)와 회전축(J1)의 위치가 겹치는 경우, 현상의 핸드(226)의 위치를 나타내는 정보가 수평 교시 정보로서 생성된다. 또, 핸드 중심 위치(220)가 회전축(J1)으로부터 어긋나 있는 경우, 당해 어긋남이 없어지도록 핸드(226)의 위치 조정이 행해진다. 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 상대 위치의 산출, 및, 핸드(226)의 위치 조정은, 예를 들면, 소정 회수 반복된다. 그 후, 조정 후의 핸드(226)의 위치를 나타내는 정보가 수평 교시 정보로서 생성된다. 이에 의해, 수평 교시 정보의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
수평 교시 정보가 생성되면, 구동 제어부(62)에 의해 센터 로봇(22)이 제어됨으로써, 도 9에 나타내는 핸드(226)에 유지된 기판형 지그(7)가 하방으로 이동되어, 상하 방향에 있어서 기판 유지부(32)에 가까워진다. 이 때, 기판형 지그(7)의 중심(70)은, 평면에서 볼 때 기판 유지부(32)의 회전축(J1)과 겹쳐져 있다. 그리고, 기판형 지그(7)의 접촉 센서(74)에 의해, 기판 유지부(32)가 기판형 지그(7)의 하면(71)에 접촉한 것이 검출되면, 핸드(226)만이 소정의 거리만큼 더 하방으로 이동한 후, 핸드(226)의 이동이 정지된다. 교시부(63)에서는, 정지한 핸드(226)의 상하 방향의 위치를 나타내는 정보가, 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 상하 방향에 있어서의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 상하 교시 정보로서 생성된다(단계 S15). 환언하면, 교시부(63)는, 접촉 센서(74)로부터의 출력에 의거하여 상하 교시 정보를 생성한다.
단계 S15에 있어서의 기판형 지그(7)와 기판 유지부(32)의 접촉 검출은, 구체적으로는, 접촉 센서(74)의 복수의 센서 요소(741) 중, 핸드(226)의 2개의 클로부(228)와 접촉하고 있는 센서 요소(741) 이외의 센서 요소(741)가, 척 핀(323)과의 접촉을 검출하는 것으로써 행해진다.
이 때, 단순히 척 핀(323)과의 접촉을 검출하는 것뿐만 아니라, 복수의 척 핀(323)의 위치에 각각 대응하는 복수의 센서 요소(741) 전부에 있어서, 척 핀(323)과의 접촉이 검출되고 있는지 아닌지가 확인되어, 기판형 지그(7)가 기판 유지부(32)에 적정하게 유지되고 있는지 아닌지가 판단되어도 된다. 또, 센서 요소(741)로서 하중을 측정 가능한 압력 센서 등을 이용하여, 복수의 척 핀(323)과 각각 접촉하고 있는 복수의 센서 요소(741)에 있어서, 측정되는 하중이 균등한지 아닌지가 확인되어, 기판형 지그(7)가 기판 유지부(32)에 적정하게 유지되고 있는지 아닌지가 판단되어도 된다. 어느 경우여도, 상하 교시 정보의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또, 복수의 센서 요소(741)는, 도 13에 나타내는 바와 같이, 기판형 지그(7)의 하면(71)(즉, 지그 본체(76)의 하면(71))의 외주부에서, 핸드(226)와 접촉하는 위치를 피하여, 기판형 지그(7)의 중심(70)을 중심으로 하여 대략 둘레형상으로 배치되어도 된다. 도 13에 나타내는 예에서는, 복수의 센서 요소(741)는, 핸드(226)의 2개의 클로부(228)와 접촉하는 위치를 피하여 4개의 원호형상으로 배치된다. 상세하게는, 복수의 센서 요소(741)는, 지그 본체(76)의 하면(71)의 외주부에 있어서, 클로부(228)와의 4개의 접촉부를 제외한 대략 전체 둘레에 걸쳐서 설치된다. 당해 기판형 지그(7)가 핸드(226)에 의해 유지될 때에는, 센서 요소(741)와 클로부(228)가 접촉하지 않도록, 기판형 지그(7)의 방향이 결정된다. 이와 같이, 접촉 센서(74)가, 지그 본체(76)의 하면(71)의 외주부에서, 핸드(226)와 접촉하는 위치를 피해서 배치된 복수의 센서 요소(741)를 구비함으로써, 접촉 센서(74)가 핸드(226)와의 접촉을 검지하지 않기 때문에, 접촉 센서(74)와 척 핀(323)의 접촉을 정밀도 높게 검출할 수 있다. 그 결과, 상하 교시 정보의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
기판 처리 장치(1)에서는, 교시부(63)에 의해 생성된 상술한 반입 교시 정보, 수평 교시 정보 및 상하 교시 정보는, 상기 처리 유닛(21) 및 반송 아암(221a)에 관한 교시 정보로서 기억부(61)에 기억된다. 당해 교시 정보는, 당해 처리 유닛(21)에 대해서 반송 아암(221a)의 핸드(226)에 의해서 기판(9)을 반출입할 때에 이용되고, 당해 핸드(226)에 의한 기판 반송 위치가 교시부(63)에 의해 센터 로봇(22)에 교시된다. 이에 의해, 기판(9)의 하우징(31)에 대한 반입, 및, 하우징(31)으로부터의 기판(9)의 반출 시에, 기판(9)과 하우징(31) 및 척 핀(323)과의 충돌이 방지된다. 또, 핸드(226)로부터 기판 유지부(32)에 기판(9)이 건네질 때에, 기판(9)이 적정한 위치에 정밀도 높게 배치된다.
기판 처리 장치(1)에서는, 반송 아암(221a)(도 2 참조)에 의해 다른 처리 유닛(21)으로 기판형 지그(7)가 반송되고, 상기와 같은 순서(단계 S12~S15)로, 당해 다른 처리 유닛(21) 및 반송 아암(221a)의 핸드(226)에 관한 교시 정보(즉, 반입 교시 정보, 수평 교시 정보 및 상하 교시 정보)가 생성된다. 그리고, 처리 블록(20)의 각 처리 유닛(21)에 대해서, 반송 아암(221a)의 핸드(226)에 관한 교시 정보가 생성되면, 기판형 지그(7)가 반송 아암(221a)의 핸드(226)로부터, 반송 아암(221b)(도 2 참조)의 핸드(226)로 이동되어 유지된다. 상술한 바와 같이, 기판형 지그(7)의 두께는, 반송 아암(221a, 221b)의 핸드(226) 사이의 간극(즉, 핸드 간극)의 높이보다 얇기 때문에, 반송 아암(221b)의 핸드(226)에 의해, 기판형 지그(7)를 반송 아암(221a)의 핸드(226) 등과 간섭시키는 일 없이, 용이하게 유지할 수 있다.
그 후, 반송 아암(221a)의 핸드(226)에 관한 교시 정보의 생성과 같은 방법으로, 각 처리 유닛(21)에 대해서, 반송 아암(221b)의 핸드(226)에 관한 교시 정보(즉, 반입 교시 정보, 수평 교시 정보 및 상하 교시 정보)가 생성된다. 반송 아암(221a)으로부터 반송 아암(221b)으로의 기판형 지그(7)의 수도는, 상술한 스토커(700)를 통해 행해진다. 구체적으로는, 반송 아암(221a)의 핸드(226)에 유지되는 기판형 지그(7)가 스토커(700)로 반입되고, 반송 아암(221a)이 스토커(700)로부터 퇴피한 후, 반송 아암(221b)의 핸드(226)가 스토커(700)로 삽입되어 기판형 지그(7)를 유지한다. 또한, 센터 로봇(22)에 있어서, 3개 이상의 반송 아암이 설치되는 경우도 마찬가지로 각 처리 유닛(21)에 대해서, 각 반송 아암의 핸드(226)에 관한 교시 정보가 생성된다.
이상에 설명한 바와 같이, 기판 처리 장치(1)는, 처리부(즉, 처리 유닛(21))와, 반송 로봇(즉, 센터 로봇(22))과, 교시부(63)를 구비한다. 처리 유닛(21)은, 기판(9)에 소정의 처리를 실시한다. 센터 로봇(22)은, 처리 유닛(21)에 대해서 기판(9)을 반송한다. 처리 유닛(21)은, 기판 유지부(32)와, 기판 회전 기구(33)를 구비한다. 기판 유지부(32)는, 기판(9)을 수평 상태로 유지한다. 기판 회전 기구(33)는, 상하 방향을 향하는 회전축(J1)을 중심으로 하여 기판 유지부(32)를 회전시킨다. 센터 로봇(22)은, 기판 유지부(32)와의 사이에서 기판(9)의 수도를 행하는 핸드(226)를 구비한다.
기판 처리 장치(1)에서는, 기판 유지부(32)의 상방에 위치하는 핸드(226)에 의해, 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서(상기 예에서는, 포토 센서(72))가 하면(71)에 설치된 기판형 지그(7)가 유지된 상태에서, 기판 회전 기구(33)에 의해서 기판 유지부(32)를 회전시킴으로써, 기판 유지부(32) 상에 미리 설치되어 있는 안표(상기 예에서는, 척 핀(323))의 원주형상의 회전 궤적(324)이 형성된다. 교시부(63)는, 3개의 포토 센서(72)로부터 각각 얻어진 회전 궤적(324)에 대한 상대 위치에 의거하여, 핸드(226)의 기판 유지부(32)에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성한다. 교시부(63)는, 처리 유닛(21)에 있어서의 센터 로봇(22)의 기판 반송 위치를 센터 로봇(22)에 교시한다.
이에 의해, 교시용의 타겟 지그를 기판 유지부(32)에 설치하는 경우 등에 비해, 교시 정보의 생성 처리를 간소화할 수 있다. 그 결과, 당해 생성 처리에 필요로 하는 시간을 단축하면서, 고정밀도의 수평 교시 정보를 얻을 수 있다. 따라서, 핸드(226)로부터 기판 유지부(32)에의 기판(9)의 수도 시에, 고정밀도의 핸드(226)의 이동 제어를 실현할 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판 유지부(32)는, 둘레형상으로 배치된 복수의 척 핀(323)에 의해 기판(9)의 외주부를 기계적으로 유지하는 메커니컬 척이며, 상기 안표는, 복수의 척 핀(323) 중 1개 이상의 척 핀(323)인 것이 바람직하다. 이와 같이, 기판 유지부(32)에 있어서 기판(9)의 유지에 필요한 구성을, 당해 안표로서 겸용함으로써, 기판 유지부(32)의 구조를 복잡화하지 않고, 고정밀도의 수평 교시 정보를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 바람직하게는, 교시부(63)에 의해 산출된 핸드(226)의 기판 유지부(32)에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치에 의거하여, 기판형 지그(7)의 중심(70)과 회전축(J1)가 평면에서 볼 때 겹치도록 핸드(226)가 이동되고, 기판 회전 기구(33)에 의해서 기판 유지부(32)를 회전시킴으로써, 상기 안표의 회전 궤적(324)이 재차 형성된다. 그리고, 교시부(63)는, 회전 궤적(324)의 재형성 후에, 3개의 포토 센서(72)로부터 각각 얻어진 회전 궤적(324)에 대한 상대 위치에 의거하여, 핸드(226)의 기판 유지부(32)에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 재차 산출하여, 수평 교시 정보를 생성하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 수평 교시 정보가 나타내는 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 상대 위치 관계의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 센터 로봇(22)은, 상기 핸드(226)의 하방에 위치하고, 기판 유지부(32)와의 사이에서 기판(9)의 수도를 행하는 다른 핸드(226)를 더 구비하고, 교시부(63)는, 상기 핸드(226)에 관한 수평 교시 정보와 같은 방법으로 당해 다른 핸드(226)에 관한 다른 수평 교시 정보를 생성하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 복수의 핸드(226)를 구비하는 센터 로봇(22)에 있어서, 최상단의 핸드(226)의 수평 교시 정보를 상하 방향으로 오프셋 한 것을 다른 핸드(226)의 수평 교시 정보로서 이용하는 경우에 비해, 복수의 핸드(226) 각각의 특성에 따른 고정밀도의 핸드(226)의 이동 제어를 실현할 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판형 지그(7)의 하면(71)에는, 기판 유지부(32)와의 접촉을 검출하는 접촉 센서(74)가 설치되는 것이 바람직하다. 그리고, 센터 로봇(22)은, 핸드(226)를 기판 유지부(32)에 대해서 상하 방향에 있어서 접근시키고, 교시부(63)는, 접촉 센서(74)로부터의 출력에 의거하여, 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 상하 방향에 있어서의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 상하 교시 정보를 생성하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 상하 교시 정보를 간소한 구성에 의해 용이하게 생성할 수 있다. 그 결과, 핸드(226)로부터 기판 유지부(32)에 대한 기판(9)의 수도 시에, 보다 고정밀도의 핸드(226)의 이동 제어를 실현할 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판 유지부(32)는, 둘레형상으로 배치된 복수의 척 핀(323)에 의해 기판(9)의 외주부를 기계적으로 유지하는 메커니컬 척이며, 접촉 센서(74)는, 기판형 지그(7)의 하면(71)의 외주부에서 둘레형상으로 배치된 복수의 센서 요소(741)를 구비하는 것이, 더 바람직하다. 이에 의해, 복수의 척 핀(323)에 의한 기판형 지그(7)의 유지 상태를 정밀도 높게 검출하여, 상하 교시 정보가 나타내는 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 상대 위치 관계의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 처리 유닛(21)은, 기판 유지부(32)를 내부에 수용함과 더불어 기판(9)의 반입용의 개구(311)를 갖는 하우징(31)을 더 구비한다. 바람직하게는, 핸드(226)가 하우징(31)의 개구(311)에 삽입될 때에, 핸드(226) 및 개구(311)의 상대 위치를 나타내는 촬상 화상이 취득되고, 교시부(63)는, 당해 촬상 화상에 의거하여, 핸드(226) 및 개구(311)의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 반입 교시 정보를 생성한다. 이에 의해, 반입 교시 정보를 용이하게 생성할 수 있다. 그 결과, 기판(9)의 하우징(31)에 대한 반출입 시에, 고정밀도의 핸드(226)의 이동 제어를 실현할 수 있다.
보다 바람직하게는, 당해 촬상 화상은, 핸드(226) 또는 기판형 지그(7)에 설치된 카메라(75)에 의해 촬상된 개구(311)의 화상이다. 이에 의해, 복수의 카메라를 이용하지 않고, 복수의 처리 유닛(21)에 관한 반입 교시 정보를 생성할 수 있다. 즉, 반입 교시 정보의 생성에 필요로 하는 구성을 간소화할 수 있다.
상술한 교시 정보 생성 방법은, 기판(9)에 소정의 처리를 실시하는 처리부(즉, 처리 유닛(21))와, 처리 유닛(21)에 대해서 기판(9)을 반송하는 반송 로봇(즉, 센터 로봇(22))을 구비하는 기판 처리 장치(1)에 있어서, 처리 유닛(21)에 있어서의 센터 로봇(22)의 기판 반송 위치를 교시하는 교시 정보를 생성하는 방법이다. 처리 유닛(21)은, 기판(9)을 수평 상태로 유지하는 기판 유지부(32)와, 상하 방향을 향하는 회전축(J1)을 중심으로 하여 기판 유지부(32)를 회전시키는 기판 회전 기구(33)를 구비하고, 센터 로봇(22)은, 기판 유지부(32)와의 사이에서 기판(9)의 수도를 행하는 핸드(226)를 구비한다.
당해 교시 정보 생성 방법은, 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서(상기 예에서는, 포토 센서(72))가 하면(71)에 설치된 기판형 지그(7)를 핸드(226)에 의해 유지하는 공정(단계 S11)과, 기판 회전 기구(33)에 의해서 기판 유지부(32)를 회전시킴으로써, 기판 유지부(32) 상에 미리 설치되어 있는 안표(상기 예에서는, 척 핀(323))의 원주형상의 회전 궤적(324)을 형성하는 공정(단계 S13)과, 기판 유지부(32)의 상방에 위치하는 기판형 지그(7)의 3개의 포토 센서(72)로부터 각각 얻어진 회전 궤적(324)에 대한 상대 위치에 의거하여, 핸드(226)의 기판 유지부(32)에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성하는 공정(단계 S14)을 구비한다. 이에 의해, 상술한 바와 같이, 교시 정보의 생성 처리를 간소화할 수 있다. 그 결과, 당해 생성 처리에 필요로 하는 시간을 단축하면서, 고정밀도의 수평 교시 정보를 얻을 수 있다.
상술한 기판형 지그(7)는, 반드시, 기판 처리 장치(1)의 기동 시부터 기판 처리 장치(1) 내에 준비되어 있을 필요는 없다. 예를 들면, 대략 원판형상의 지그 본체(76)와, 지그 본체(76)의 하면(71)에 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서(72)를 구비하는 기판형 지그(7)가, 이미 사용되어 있는 기판 처리 장치(1)에 도입(즉, 레트로피트)되어 교시 정보의 생성에 이용되어도 된다. 이 경우여도, 상기와 마찬가지로, 교시 정보의 생성 처리를 간소화할 수 있다. 그 결과, 당해 생성 처리에 필요로 하는 시간을 단축하면서, 고정밀도의 수평 교시 정보를 얻을 수 있다.
또, 상술한 프로그램(89)(즉, 교시 정보 생성용의 프로그램)은, 반드시, 기판 처리 장치(1)의 기동 시부터 컴퓨터(8)에 기억되어 있을 필요는 없다. 예를 들면, 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성하는 프로그램(89)을 기억하는 기억 매체(80)와, 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서(상기 예에서는, 포토 센서(72))가 하면(71)에 설치된 기판형 지그(7)를 구비하는 교시 세트가, 이미 사용되어 있는 기판 처리 장치(1)에 도입(즉, 레트로피트)되어도 된다. 이 경우, 당해 프로그램(89)이 컴퓨터(8)에 의해서 실행됨으로써, 3개의 포토 센서(72)로부터 각각 얻어진 상술한 회전 궤적(324)에 대한 상대 위치에 의거하여, 핸드(226)의 기판 유지부(32)에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치가 산출되어 수평 교시 정보가 생성된다. 이에 의해, 상기와 마찬가지로, 교시 정보의 생성 처리를 간소화할 수 있다. 그 결과, 당해 생성 처리에 필요로 하는 시간을 단축하면서, 고정밀도의 수평 교시 정보를 얻을 수 있다.
기판 처리 장치(1)에서는, 처리 유닛(21)의 기판 유지부(32)는, 반드시 메커니컬 척일 필요는 없고, 수평 교시 정보의 생성에 이용되는 안표도 척 핀(323)일 필요는 없다. 예를 들면, 도 14에 나타내는 바와 같이, 상면에 복수의 흡인구(325)가 형성되어 기판(9)을 흡착하여 유지하는 진공 척이, 기판 유지부(32a)로서 처리 유닛(21)(도 4 참조)에 설치되어도 된다. 이 경우, 복수의 흡인구(325) 중 1개 이상의 흡인구(325)가 상기 안표가 된다. 이에 의해, 상기와 마찬가지로, 기판 유지부(32a)의 구조를 복잡화하지 않고, 고정밀도의 수평 교시 정보를 얻을 수 있다. 또한, 수평 교시 정보의 생성에 이용되는 안표는, 예를 들면, 복수의 흡인구(325) 중, 회전축(J1)을 중심으로 하는 경방향에 있어서 가장 외측에 위치하는 1개의 흡인구(325), 또는, 당해 경방향에 있어서 가장 외측에 위치하는 동일 원주 상에 배치된 2개 이상의 흡인구(325)이다.
기판 처리 장치(1)에서는, 도 15에 나타내는 바와 같이, 핸드(226)와의 사이에서 기판(9)을 수도하는 복수의 지지 핀(326)이, 기판 유지부(32)에 설치되어도 된다. 도 15에 나타내는 예에서는, 3개의 지지 핀(326)이, 회전축(J1)을 중심으로 하는 동일 원주 상에 배치된다. 복수의 지지 핀(326)은, 기판 유지부(32)의 베이스(321)에 형성된 구멍(327)에 삽입되어, 베이스(321)의 상면으로부터 상방으로 돌출 가능하다. 복수의 지지 핀(326)은, 복수의 척 핀(323)보다 상방에서 핸드(226)로부터 기판(9)을 수취하여, 하방으로 이동함으로써, 기판(9)을 복수의 척 핀(323)에 건네준다. 또, 복수의 지지 핀(326)은, 복수의 척 핀(323)으로부터 기판(9)을 수취하여 상방으로 이동하고, 복수의 척 핀(323)의 상방에 있어서, 기판(9)을 핸드(226)로 건네준다.
복수의 지지 핀(326)은, 베이스부(321)나 복수의 척 핀(323)과 함께 회전해도 되고, 회전하지 않아도 되다. 복수의 지지 핀(326)이 회전하는 경우, 복수의 지지 핀(326) 중 1개 이상의 지지 핀(326)이 상기 안표가 되어도 된다. 또, 복수의 지지 핀(326)이 회전하지 않는 경우, 복수의 지지 핀(326)이 삽입되는 베이스(321)의 복수의 구멍(327) 중 1개 이상의 구멍(327)이 상기 안표가 되어도 된다. 어느 경우여도, 상기와 마찬가지로, 기판 유지부(32)의 구조를 복잡화하지 않고, 고정밀도의 수평 교시 정보를 얻을 수 있다. 또한, 복수의 지지 핀(326)이 기판 유지부(32)에 설치되는 경우, 접촉 센서(74)는, 기판형 지그(7)의 하면(71)에 있어서, 복수의 지지 핀(326)과 대응하는 위치에 설치된다.
기판 처리 장치(1)에서는, 수평 교시 정보의 생성에 이용되는 안표는, 반드시 기판 유지부(32) 상에 설치될 필요는 없다. 예를 들면, 처리 유닛(21)에 있어서, 기판 유지부(32) 이외에도 회전축(J1)을 중심으로 회전하는 구성(이하, 「회전부」라고도 부른다.)이 설치되는 경우, 상기 안표는, 기판 유지부(32) 이외의 회전부 상에 설치되어도 된다. 또, 기판형 지그(7)에 설치되는 포토 센서(72)는, 당해 회전부와 기판형 지그(7)의 위치 관계에 맞추어, 기판형 지그(7)의 하면(71) 이외의 위치에 배치되어도 된다. 기판형 지그(7)의 평면에서 볼 때의 형상도, 기판(9)과 동 형상이 아니어도 된다.
이 경우도, 기판 처리 장치(1)는, 처리부(즉, 처리 유닛(21))와, 반송 로봇(즉, 센터 로봇(22))과, 교시부(63)를 구비한다. 처리 유닛(21)은, 기판(9)에 소정의 처리를 실시한다. 센터 로봇(22)은, 처리 유닛(21)에 대해서 기판(9)을 반송한다. 교시부(63)는, 처리 유닛(21)에 있어서의 센터 로봇(22)의 기판 반송 위치를 센터 로봇(22)에 교시한다. 처리 유닛(21)은, 기판 유지부(32)와, 기판 회전 기구(33)를 구비한다. 기판 유지부(32)는, 기판(9)을 수평 상태로 유지한다. 기판 회전 기구(33)는, 상하 방향을 향하는 회전축(J1)을 중심으로 하여 기판 유지부(32)를 회전시킨다. 센터 로봇(22)은, 기판 유지부(32)와의 사이에서 기판(9)의 수도를 행하는 핸드(226)를 구비한다. 처리 유닛(21)에서는, 회전축(J1)을 중심으로 하여 기판 유지부(32) 이외의 회전부도 회전된다.
기판 처리 장치(1)에서는, 기판 유지부(32)의 상방에 위치하는 핸드(226)에 의해, 비직선형상으로 배치된 3개의 포토 센서(72)가 설치된 기판형 지그(7)가 유지된 상태에서, 상기 회전부를 회전시킴으로써, 당해 회전부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적(324)이 형성된다. 교시부(63)는, 3개의 포토 센서(72)로부터 각각 얻어진 회전 궤적(324)에 대한 상대 위치에 의거하여, 핸드(226)의 회전축(J1)에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 핸드(226) 및 기판 유지부(32)의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성한다.
이에 의해, 상기와 마찬가지로, 교시 정보의 생성 처리를 간소화할 수 있다. 그 결과, 당해 생성 처리에 필요로 하는 시간을 단축하면서, 고정밀도의 수평 교시 정보를 얻을 수 있다. 또한, 상기 회전부로서는, 예를 들면, 회전축(J1)을 중심으로 회전 가능하게 구성된 컵부(34)를 들 수 있다. 이 경우, 상기 안표는, 예를 들면, 회전 가능한 컵부(34) 상연(上緣) 상에 설치된 구성이어도 되고, 당해 상연 전체여도 된다.
상술한 기판 처리 장치(1), 교시 정보 생성 방법 및 교시 세트에서는, 다양한 변경이 가능하다.
예를 들면, 반입 교시 정보의 생성에 이용되는 카메라(75)는, 반드시, 핸드(226) 또는 기판형 지그(7)에 설치될 필요는 없으며, 처리 블록(20)의 적절한 위치에 고정되어 있어도 된다. 이 경우, 복수의 처리 유닛(21)의 개구(311)를 촬상하기 위해서 필요하면, 2대 이상의 카메라(75)가 설치되어도 된다.
기판형 지그(7)의 평면에서 볼 때의 형상은, 대략 원형 이외의 형상이어도 된다. 기판형 지그(7)의 두께는, 핸드 간극의 높이 이상이어도 된다. 이 경우, 하측의 반송 아암(221b)의 핸드(226)로 기판형 지그(7)를 유지할 수 없으면, 상측의 반송 아암(221a)의 핸드(226)에 관해서 취득된 교시 정보(즉, 반입 교시 정보, 수평 교시 정보 및 상하 교시 정보)를 상하 방향으로 오프셋 한 것을, 하측의 반송 아암(221b)의 핸드(226)에 관한 교시 정보로서 사용할 수 있다.
상술한 바와 같이, 기판형 지그(7)에서는, 포토 센서(72)를 대신하여, CMOS 센서 또는 CCD 센서를 갖는 카메라 등의 다른 광학 센서가 설치되어도 된다. 이 경우여도, 당해 기판형 지그(7)를 이용함으로써, 상기와 마찬가지로, 교시 정보의 생성 처리를 간소화할 수 있다. 상기 광학 센서로서 CMOS 센서를 갖는 카메라가 이용되는 경우, 척 핀(323) 등의 안표의 검출은, 당해 카메라에 의해 취득된 화상과 척 핀(323)의 기준 화상의 패턴 매칭 등에 의해 행해져도 된다. 또한, 상기 광학 센서로서 포토 센서(72)가 이용됨으로써, 기판형 지그(7)의 구조를 간소화할 수 있음과 더불어, 교시 정보의 생성에 있어서의 광학 센서로부터의 정보의 처리를 간소화할 수도 있다.
기판형 지그(7)에서는, 상하 교시 정보의 생성에 이용되는 접촉 센서(74)는, 반드시 복수의 센서 요소(741)를 구비하고 있을 필요는 없으며, 예를 들면, 기판형 지그(7)의 하면(71)의 외주부에 있어서, 핸드(226)의 클로부(228)와 접촉하는 위치를 피한 위치에 1개의 접촉 센서(74)가 설치되고, 당해 접촉 센서(74)에 의해, 기판형 지그(7)와 1개의 척 핀(323)의 접촉이 검출되어도 된다. 이 경우도, 접촉 센서(74)에 의해 핸드(226)와의 접촉이 검지되지 않기 때문에, 접촉 센서(74)와 척 핀(323)의 접촉을 정밀도 높게 검출할 수 있다. 그 결과, 상하 교시 정보의 정밀도를 향상시킬 수 있다.
교시부(63)에 의해 생성되는 교시 정보는, 적어도 수평 교시 정보를 포함하고 있으면, 반입 교시 정보 및/또는 상하 교시 정보는 포함되지 않아도 된다. 즉, 반입 교시 정보는, 카메라(75)를 이용한 교시부(63)에 의한 상기 생성 방법과는 다른 방법에 의해 생성되어도 된다. 또, 상하 교시 정보는, 기판형 지그(7)를 이용한 교시부(63)에 의한 상기 생성 방법과는 다른 방법에 의해 생성되어도 된다. 이 경우, 접촉 센서(74)는 기판형 지그(7)로부터 생략되어도 된다.
상술한 교시 세트는, 복수의 기판형 지그(7)를 포함하고 있어도 된다.
기판 처리 장치(1)에서는, 센터 로봇(22)의 구조는 다양하게 변경되어도 된다. 또, 센터 로봇(22)의 핸드(226)의 형상 및 구조는, 다양하게 변경되어도 된다. 예를 들면, 핸드(226)의 평면에서 볼 때의 형상은, 기판(9) 및 기판형 지그(7)의 외주연부에 대략 전체 둘레에 걸쳐서 접촉하는 대략 원주형상이어도 된다. 또한, 인덱서 로봇(12)의 구조도 다양하게 변경되어도 된다.
기판 처리 장치(1)의 처리 블록(20)에는, 처리 유닛(21) 이외의 다양한 구조의 처리 유닛이 설치되어도 된다. 또, 당해 처리 유닛에 있어서, 기판(9)에 대한 다양한 처리가 행해져도 된다.
상술한 기판 처리 장치(1)는, 반도체 기판 이외에, 액정 표시 장치 또는 유기 EL(Electro Luminescence) 표시 장치 등의 평면 표시 장치(Flat Panel Display)에 사용되는 유리 기판, 혹은, 다른 표시 장치에 사용되는 유리 기판의 처리에 이용되어도 된다. 또, 상술한 기판 처리 장치(1)는, 광 디스크용 기판, 자기 디스크용 기판, 광자기 디스크용 기판, 포토마스크용 기판, 세라믹 기판 및 태양 전지용 기판등의 처리에 이용되어도 된다.
상기 실시형태 및 각 변형예에 있어서의 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적절히 조합되어도 된다.
발명을 상세하게 묘사하여 설명했지만, 기술의 설명은 예시적이며 한정적인 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한, 다수의 변형이나 양태가 가능하다고 할 수 있다.
1: 기판 처리 장치 7: 기판형 지그
8: 컴퓨터 9: 기판
21: 처리 유닛 22: 센터 로봇
31: 하우징 32, 32a: 기판 유지부
33: 기판 회전 기구 34: 컵부
63: 교시부 70: (기판형 지그의) 중심
71: (기판형 지그의) 하면 72: 포토 센서
74: 접촉 센서 75: 카메라
80: 기억 매체 89: 프로그램
226: 핸드 311: 개구
323: 척 핀 324: 회전 궤적
325: 흡인구 741: 센서 요소
J1: 회전축 S11~S15: 단계

Claims (14)

  1. 기판 처리 장치로서,
    기판에 소정의 처리를 실시하는 처리부와,
    상기 처리부에 대해서 상기 기판을 반송하는 반송 로봇과,
    상기 처리부에 있어서의 상기 반송 로봇의 기판 반송 위치를 상기 반송 로봇에 교시하는 교시부
    를 구비하고,
    상기 처리부는,
    상기 기판을 수평 상태로 유지하는 기판 유지부와,
    상하 방향을 향하는 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부를 회전시키는 기판 회전 기구
    를 구비하고,
    상기 반송 로봇은, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도(受渡)를 행하는 핸드를 구비하고,
    상기 기판 유지부의 상방에 위치하는 상기 핸드에 의해, 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서가 하면에 설치된 기판형 지그가 유지된 상태에서, 상기 기판 회전 기구에 의해서 상기 기판 유지부를 회전시킴으로써, 상기 기판 유지부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적이 형성되고,
    상기 교시부는, 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성하는, 기판 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 유지부는, 둘레형상으로 배치된 복수의 척 핀에 의해 상기 기판의 외주부를 기계적으로 유지하는 메커니컬 척이며,
    상기 안표는, 상기 복수의 척 핀 중 1개 이상의 척 핀인, 기판 처리 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판 유지부는, 상면에 복수의 흡인구가 형성되어 상기 기판을 흡착하여 유지하는 진공 척이며,
    상기 안표는, 상기 복수의 흡인구 중 1개 이상의 흡인구인, 기판 처리 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 교시부에 의해 산출된 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치에 의거하여, 상기 기판형 지그의 중심과 상기 회전축이 평면에서 볼 때 겹치도록 상기 핸드가 이동되고,
    상기 기판 회전 기구에 의해서 상기 기판 유지부를 회전시킴으로써, 상기 안표의 상기 회전 궤적이 재차 형성되고,
    상기 교시부는, 상기 회전 궤적의 재형성 후에, 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 재차 산출하여, 상기 수평 교시 정보를 생성하는, 기판 처리 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 반송 로봇은, 상기 핸드의 하방에 위치하고, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도를 행하는 다른 핸드를 더 구비하고,
    상기 교시부는, 상기 핸드에 관한 상기 수평 교시 정보와 같은 방법으로 상기 다른 핸드에 관한 다른 수평 교시 정보를 생성하는, 기판 처리 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 기판형 지그의 상기 하면에 상기 기판 유지부와의 접촉을 검출하는 접촉 센서가 설치되고,
    상기 반송 로봇은, 상기 핸드를 상기 기판 유지부에 대해서 상하 방향에 있어서 접근시키고,
    상기 교시부는, 상기 접촉 센서로부터의 출력에 의거하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 상하 방향에 있어서의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 상하 교시 정보를 생성하는, 기판 처리 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 기판 유지부는, 둘레형상으로 배치된 복수의 척 핀에 의해 상기 기판의 외주부를 기계적으로 유지하는 메커니컬 척이며,
    상기 접촉 센서는, 상기 기판형 지그의 상기 하면의 외주부에서 둘레형상으로 배치된 복수의 센서 요소를 구비하는, 기판 처리 장치.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 처리부는, 상기 기판 유지부를 내부에 수용함과 더불어 상기 기판의 반입용 개구를 갖는 하우징을 더 구비하고,
    상기 핸드가 상기 하우징의 상기 개구에 삽입될 때에, 상기 핸드 및 상기 개구의 상대 위치를 나타내는 촬상 화상이 취득되고,
    상기 교시부는, 상기 촬상 화상에 의거하여, 상기 핸드 및 상기 개구의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 반입 교시 정보를 생성하는, 기판 처리 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 촬상 화상은, 상기 핸드 또는 상기 기판형 지그에 설치된 카메라에 의해 촬상된 상기 개구의 화상인, 기판 처리 장치.
  10. 기판 처리 장치로서,
    기판에 소정의 처리를 실시하는 처리부와,
    상기 처리부에 대해서 상기 기판을 반송하는 반송 로봇과,
    상기 처리부에 있어서의 상기 반송 로봇의 기판 반송 위치를 상기 반송 로봇에 교시하는 교시부
    를 구비하고,
    상기 처리부는,
    상기 기판을 수평 상태로 유지하는 기판 유지부와,
    상하 방향을 향하는 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부를 회전시키는 기판 회전 기구
    를 구비하고,
    상기 반송 로봇은, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도를 행하는 핸드를 구비하고,
    상기 처리부에서는, 상기 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부 이외의 회전부도 회전되고,
    상기 기판 유지부의 상방에 위치하는 상기 핸드에 의해, 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서가 설치된 기판형 지그가 유지된 상태에서, 상기 회전부를 회전시킴으로써, 상기 회전부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적이 형성되고,
    상기 교시부는, 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 회전축에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성하는, 기판 처리 장치.
  11. 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리부와, 상기 처리부에 대해서 상기 기판을 반송하는 반송 로봇을 구비하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리부에 있어서의 상기 반송 로봇의 기판 반송 위치를 교시하는 교시 정보를 생성하는 교시 정보 생성 방법으로서,
    상기 처리부는,
    상기 기판을 수평 상태로 유지하는 기판 유지부와,
    상하 방향을 향하는 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부를 회전시키는 기판 회전 기구
    를 구비하고,
    상기 반송 로봇은, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도를 행하는 핸드를 구비하고,
    상기 교시 정보 생성 방법은,
    a) 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서가 하면에 설치된 기판형 지그를 상기 핸드에 의해 유지하는 공정과,
    b) 상기 기판 회전 기구에 의해서 상기 기판 유지부를 회전시킴으로써, 상기 기판 유지부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적을 형성하는 공정과,
    c) 상기 기판 유지부의 상방에 위치하는 상기 기판형 지그의 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성하는 공정
    을 구비하는, 교시 정보 생성 방법.
  12. 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리부와, 상기 처리부에 대해서 상기 기판을 반송하는 반송 로봇을 구비하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리부에 있어서의 상기 반송 로봇의 기판 반송 위치를 상기 반송 로봇에 교시할 때에 이용되는 교시 세트로서,
    상기 처리부는,
    상기 기판을 수평 상태로 유지하는 기판 유지부와,
    상하 방향을 향하는 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부를 회전시키는 기판 회전 기구
    를 구비하고,
    상기 반송 로봇은, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도를 행하는 핸드를 구비하고,
    상기 교시 세트는,
    비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서가 하면에 설치된 기판형 지그와,
    상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성하는 프로그램을 기억하는 기억 매체
    를 구비하고,
    상기 기판 유지부의 상방에 위치하는 상기 핸드에 의해 상기 기판형 지그가 유지된 상태에서, 상기 기판 회전 기구에 의해서 상기 기판 유지부를 회전시킴으로써, 상기 기판 유지부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적이 형성되고,
    상기 프로그램이 컴퓨터에 의해서 실행됨으로써, 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치가 산출되어, 상기 수평 교시 정보가 생성되는, 교시 세트.
  13. 기판에 소정의 처리를 실시하는 처리부와, 상기 처리부에 대해서 상기 기판을 반송하는 반송 로봇을 구비하는 기판 처리 장치에 있어서, 상기 처리부에 있어서의 상기 반송 로봇의 기판 반송 위치를 교시하는 교시 정보를 생성할 때에 이용되는 기판형 지그로서,
    대략 원판형상의 지그 본체와,
    상기 지그 본체의 하면에 비직선형상으로 배치된 3개의 광학 센서
    를 구비하고,
    상기 처리부는,
    상기 기판을 수평 상태로 유지하는 기판 유지부와,
    상하 방향을 향하는 회전축을 중심으로 하여 상기 기판 유지부를 회전시키는 기판 회전 기구
    를 구비하고,
    상기 반송 로봇은, 상기 기판 유지부와의 사이에서 상기 기판의 수도를 행하는 핸드를 구비하고,
    상기 교시 정보의 생성은,
    a) 상기 기판형 지그를 상기 핸드에 의해 유지하는 공정과,
    b) 상기 기판 회전 기구에 의해서 상기 기판 유지부를 회전시킴으로써, 상기 기판 유지부 상에 미리 설치되어 있는 안표의 원주형상의 회전 궤적을 형성하는 공정과,
    c) 상기 기판 유지부의 상방에 위치하는 상기 기판형 지그의 상기 3개의 광학 센서로부터 각각 얻어진 상기 회전 궤적에 대한 상대 위치에 의거하여, 상기 핸드의 상기 기판 유지부에 대한 평면에서 볼 때의 상대 위치를 산출하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 평면에서 볼 때의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 수평 교시 정보를 생성하는 공정
    을 구비하는, 기판형 지그.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 지그 본체의 상기 하면에 설치되어 상기 기판 유지부와의 접촉을 검출하는 접촉 센서를 더 구비하고,
    상기 기판 유지부는, 둘레형상으로 배치된 복수의 척 핀에 의해 상기 기판형 지그의 외주부를 기계적으로 유지하는 메커니컬 척이며,
    상기 교시 정보의 생성은, d) 상기 c) 공정보다 후에, 상기 핸드를 상기 기판 유지부에 대해서 상하 방향에 있어서 접근시켜, 상기 접촉 센서로부터의 출력에 의거하여, 상기 핸드 및 상기 기판 유지부의 상하 방향에 있어서의 적정한 상대 위치 관계를 나타내는 상하 교시 정보를 생성하는 공정을 더 구비하고,
    상기 접촉 센서는, 상기 지그 본체의 상기 하면의 외주부에서 상기 핸드와 접촉하는 위치를 피해서 배치되는, 기판형 지그.
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