JP2011042874A - 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本体601に内蔵され、本体の互いに異なる位置に備わった複数の電源ホール603a,603bを含む基板500を支持する静電チャック600で、キャリアのチャンバ731通過時に電源ホールへの着脱自在の、電極に電力を提供する移動経路の上流の第1電源フィン604aと他の電源ホールに着脱自在の下流に位置する第2電源フィン604bを含む薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法である。
【選択図】図6
Description
前記チャンバのうち少なくとも一つには、前記基板を支持した静電チャックを裏返しにする反転ロボットが位置し、前記反転ロボットには、前記電源ホールのうち一つに着脱自在に備えられ、前記電極に電力を提供する第3電源フィンが備わりうる。
前記連結部材は、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリット・シート間の空間を外部から密閉するように形成されうる。
前記複数個の蒸着源ノズルは、前記第1方向に沿って形成された2列の蒸着源ノズルを含み、前記2列の蒸着源ノズルは、互いに向き合う方向にチルトされうる。
前記複数個の蒸着源ノズルは、前記第1方向に沿って形成された2列の蒸着源ノズルを含み、前記2列の蒸着源ノズルのうち、第1側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリット・シートの第2側端部を向くように配され、前記2列の蒸着源ノズルのうち、第2側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリット・シートの第1側端部を向くように配されうる。
前記遮断板アセンブリは、複数個の第1遮断板を具備する第1遮断板アセンブリと、複数個の第2遮断板を具備する第2遮断板アセンブリと、を含むものでありうる。
前記複数個の第1遮断板及び前記複数個の第2遮断板それぞれは、前記第1方向と実質的に垂直である第2方向に沿って延長するように形成されたものでありうる。
前記蒸着源と前記遮断板アセンブリは、互いに離隔されたものでありうる。
前記遮断板アセンブリと前記パターニングスリット・シートは、互いに離隔されたものでありうる。
前記チャンバのうち少なくとも一つには、前記基板を支持した静電チャックを裏返しにする反転ロボットが位置し、前記反転ロボットに備わった第3電源フィンを前記電源ホールのうち一つに挿入する段階と、前記第3電源フィンを前記電源ホールから脱着する段階と、をさらに含むことができる。
また、大型基板を静電チャックによって基板のたわみ込みなしに安定的に支持し、チャンバ間の移動が円滑に行われうる。
図1は、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着装置を概略的に図示したシステム構成図であり、図2は、図1の変形例を図示したものである。図3は、静電チャック600の一例を図示した概略図である。
ローディング部710は、第1ラック712と、導入ロボット714と、導入室716と、第1反転室718とを含むことができる。
静電チャック600は、図3から分かるように、セラミックで形成された本体601の内部に電力が印加される電極602が埋め込まれたものであり、この電極602に高電圧が印加されることによって、本体601の表面に基板500を付着させる。この静電チャックに係わるさらに詳細な説明は、後述する。
図4は、本発明の望ましい一実施形態による第1循環部610の断面を図示したものである。
前記第1キャリア611は、第1支持台613と、第2支持台614と、移動台615と、第1駆動部616とを含む。
前記第1支持台613は、第1チャンバ731内で上部に向かって配され、第2支持台614は、第1チャンバ731で第1支持台613の下部に配される。図4に図示された実施形態によれば、前記第1支持台613と第2支持台614とが互いに直交するように折り曲げられた構造で備わっているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、第1支持台613が上部に、第2支持台614が下部にある構造であるならば、いかなるものでもよい。
第2循環部620は、基板500が分離された静電チャック600を移動させる第2キャリア621を含む。
前記第2キャリア621も、第3支持台623と、移動台615と、第1駆動部616とを含む。
前記のような静電チャック600は、静電チャック600が移動し、チャンバとチャンバとを通過するときにも、静電チャック600に電源が維持されうる。
図7に図示された実施形態では、静電チャック600が導入室716、第1反転室718及び第1チャンバ731を順に移動する状態を図示したものである。
次に、前記第1チャンバ731内に配される薄膜蒸着アセンブリ100について説明する。
ここで、本発明の一実施形態では、基板500が薄膜蒸着アセンブリ100に対して相対移動しつつ蒸着が進められることを1つの特徴とする。
このようなチャンバ内には、被蒸着体である基板500が静電チャック600によって移送される。前記基板500は、平板表示装置用基板になりうるが、多数の平板表示装置を形成できるマザーガラスのような大面積基板が適用されうる。
前記蒸着源110は、その内部に蒸着物質115が充填されるルツボ112と、このルツボ112を覆い包む冷却ブロック111とが備わる。冷却ブロック111は、ルツボ112からの熱が外部、すなわち、第1チャンバ内部に発散することを最大限抑制するためのものであり、この冷却ブロック111には、ルツボ111を加熱させるヒータ(図示せず)が含まれている。
図16を参照すれば、前記アクティブマトリス型の有機発光表示装置は、基板30上に形成される。前記基板30は、透明な素材、例えば、ガラス材、プラスチック材、または金属材から形成されうる。前記基板30上には、全体的にバッファ層のような絶縁膜31が形成されている。
前記絶縁膜31の上面には、所定パターンで配列された半導体活性層41が形成されている。前記半導体活性層41は、ゲート絶縁膜32によって埋め込まれている。前記活性層41は、p型またはn型の半導体で具現しうる。
前記第1電極61と第2電極62は、互いに絶縁されており、有機発光膜63に互いに異なる極性の電圧を加え、発光を行わせる。
かような有機発光膜を形成した後には、第2電極62を、やはり同じ蒸着工程で形成できる。
本発明は、図面に図示された実施形態を参考にして説明したが、それらは例示的なものに過ぎず、本技術分野の当業者であるならば、それらから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解することができるであろう。従って、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決まるものである。
110 蒸着源
111 冷却ブロック
112 ルツボ
115 蒸着物質
120 蒸着源ノズル部
121 蒸着源ノズル
130 遮断板アセンブリ
131 遮断板
132 遮断板フレーム
133 第2連結部材
135 第1連結部材
150 パターニングスリット・シート
151,251,351 パターニングスリット
155 フレーム
200 第2薄膜蒸着アセンブリ
300 第3薄膜蒸着
400 第4薄膜蒸着アセンブリ
500 基板
600 静電チャック
601 本体
602 電極
603a 第1電源ホール
603b 第2電源ホール
603c 第3電源ホール
603d 第4電源ホール
603e 第5電源ホール
604a 第1電源フィン
604b 第2電源フィン
604c 第3電源フィン
604d 第4電源フィン
604e 第5電源フィン
605 支持面
610 第1循環部
611 第1キャリア
613 第1支持台
614 第2支持台
615 移動台
616 第1駆動部
617 ローラ
618 第2駆動部
620 第2循環部
621 第2キャリア
623 第3支持台
710 ローディング部
712 第1ラック
714 導入ロボット
716 導入室
718 第1反転室
719 第1反転ロボット
720 アンローディング部
722 第2ラック
724 搬出ロボット
726 搬出室
728 第2反転室
729 第2反転ロボット
730 蒸着部
731 第1チャンバ
732 第2チャンバ
733 チャンバドア
Claims (22)
- 被蒸着用基板と接し、前記基板を支持する支持面を有する本体と、前記本体に内蔵され、前記支持面に静電気力を生成させる電極と、前記電極が開放されるように形成され、前記本体の互いに異なる位置に備わった複数の電源ホールと、を含む静電チャックと、
真空に維持される複数のチャンバと、
前記チャンバのうち少なくとも1つの内部に配され、前記基板と所定間隔離隔され、前記静電チャックに支持された基板に薄膜を蒸着する少なくとも1つの薄膜蒸着アセンブリと、
前記静電チャックを、前記チャンバを通過するように移動させるキャリアと、
前記電源ホールのうち一つに着脱自在に備わり、前記電極に電源を提供するものであり、前記キャリアによる静電チャックの移動経路の上流に位置する第1電源フィンと、
前記電源ホールのうち他の一つに着脱自在に備わり、前記電極に電力を提供するものであり、前記キャリアによる静電チャックの移動経路のうち、前記第1電源フィンに比べて下流に位置する第2電源フィンと、を含む薄膜蒸着装置。 - 前記第1電源フィンと第2電源フィンは、互いに異なるチャンバに位置することを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記チャンバのうち少なくとも一つには、前記基板を支持した静電チャックを裏返しにする反転ロボットが位置し、
前記反転ロボットには、前記電源ホールのうち一つに着脱自在に備わり、前記電極に電力を提供する第3電源フィンが備わったことを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記キャリアは、
前記チャンバを貫通するように配設される支持台と、
前記支持台上に配され、前記静電チャックのエッジを支持する移動台と、
前記支持台と移動台との間に介在され、前記移動台を前記支持台に沿って移動させる駆動部と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記薄膜蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射する蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、第1方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第1方向に対して垂直である第2方向に沿って複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリット・シートと、を含み、
前記基板が前記薄膜蒸着アセンブリに対して、前記第1方向に沿って移動しつつ蒸着が行われ、
前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリット・シートは、一体に形成されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリット・シートは、前記蒸着物質の移動経路をガイドする連結部材によって連結され、一体に形成されることを特徴とする請求項5に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記連結部材は、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリット・シート間の空間を外部から密閉するように形成されることを特徴とする請求項6に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の蒸着源ノズルは、所定角度チルトされるように形成されることを特徴とする請求項5に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の蒸着源ノズルは、前記第1方向に沿って形成された2列の蒸着源ノズルを含み、前記2列の蒸着源ノズルは、互いに対面する方向にチルトされていることを特徴とする請求項8に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の蒸着源ノズルは、前記第1方向に沿って形成された2列の蒸着源ノズルを含み、
前記2列の蒸着源ノズルのうち、第1側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリット・シートの第2側端部を向くように配され、
前記2列の蒸着源ノズルのうち、第2側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリット・シートの第1側端部を向くように配されることを特徴とする請求項8に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記薄膜蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射する蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、第1方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第1方向に沿って複数個のパターニングスリットが配されるパターニングスリット・シートと、
前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間に前記第1方向に沿って配され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画する複数個の遮断板を具備する遮断板アセンブリと、を含み、
前記薄膜蒸着アセンブリは、前記基板と離隔されるように配され、
前記薄膜蒸着アセンブリと前記基板は、互いに相対移動することを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記複数個の遮断板それぞれは、前記第1方向と実質的に垂直である第2方向に沿って延長するように形成されたことを特徴とする請求項11に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記遮断板アセンブリは、複数個の第1遮断板を具備する第1遮断板アセンブリと、複数個の第2遮断板を具備する第2遮断板アセンブリと、を含むことを特徴とする請求項11に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の第1遮断板及び前記複数個の第2遮断板それぞれは、前記第1方向と実質的に垂直である第2方向に沿って延長するように形成されたことを特徴とする請求項13に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の第1遮断板及び前記複数個の第2遮断板それぞれは、互いに対応するように配されることを特徴とする請求項14に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記蒸着源と前記遮断板アセンブリは、互いに離隔されたことを特徴とする請求項11に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記遮断板アセンブリと前記パターニングスリット・シートは、互いに離隔されたことを特徴とする請求項11に記載の薄膜蒸着装置。
- 被蒸着用基板と接し、前記基板を支持する支持面を有する本体と、前記本体に内蔵され、前記支持面に静電気力を生成させる電極と、前記電極が開放されるように形成され、前記本体の互いに異なる位置に備わった複数の電源ホールと、を含む静電チャックで前記基板を固定させる段階と、
前記基板が固定された静電チャックを、真空に維持される複数のチャンバを通過するように移送する段階と、
前記静電チャックの移動経路の上流に位置した第1電源フィンを前記電源ホールのうち一つに挿入し、前記静電チャックに電力を提供する段階と、
前記静電チャックの移動経路のうち、前記第1電源フィンに比べて下流に位置した第2電源フィンを前記電源ホールのうち他の一つに挿入し、前記静電チャックに電力を提供する段階と、
前記第1電源フィンを前記電源ホールから脱着させる段階と、
前記チャンバのうち少なくとも1つの内部に配された薄膜蒸着アセンブリを利用し、前記基板を固定した静電チャックと前記薄膜蒸着アセンブリとの相対移動によって、前記基板に有機膜を蒸着する段階と、を含む有機発光表示装置の製造方法。 - 前記第1電源フィンと第2電源フィンは、互いに異なるチャンバに位置し、
前記第2電源フィンの挿入と前記第1電源フィンの脱着とが同時になされることを特徴とする請求項18に記載の有機発光表示装置の製造方法。 - 前記チャンバのうち少なくとも一つには、前記基板を支持した静電チャックを裏返しにする反転ロボットが位置し、
前記反転ロボットに備わった第3電源フィンを前記電源ホールのうち一つに挿入する段階と、
前記第3電源フィンを前記電源ホールから脱着する段階と、をさらに含むことを特徴とする請求項18に記載の有機発光表示装置の製造方法。 - 前記薄膜蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射する蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、第1方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第1方向に対して垂直である第2方向に沿って複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリット・シートと、を含み、
前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリット・シートは、一体に形成され、
前記薄膜蒸着アセンブリは、前記基板と離隔されるように配され、蒸着が進められる間、前記基板が前記薄膜蒸着アセンブリに対して、前記第1方向に沿って移動しつつ蒸着がなされることを特徴とする請求項18に記載の有機発光表示装置の製造方法。 - 前記薄膜蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射する蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、第1方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第1方向に沿って複数個のパターニングスリットが配されるパターニングスリット・シートと、
前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間に前記第1方向に沿って配され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画する複数個の遮断板を具備する遮断板アセンブリと、を含み、
前記薄膜蒸着アセンブリは、前記基板と離隔されるように配され、蒸着が進められる間、前記薄膜蒸着アセンブリと前記基板とが互いに相対移動することによって、基板に対する蒸着がなされることを特徴とする請求項18に記載の有機発光表示装置の製造方法。
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