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KR20210005515A
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KR20210065848A
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KR20210089079A
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KR20210132576A
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TW202146831A
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KR20210137395A
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同調回路を備える反応器システム
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반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
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2021-12-16 |
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成矽鍺層之方法、半導體結構、半導體裝置、形成沉積層之方法、及沉積系統
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2020-05-19 |
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기판 처리 장치
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2020-05-21 |
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다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
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2020-05-21 |
2021-12-01 |
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2020-05-22 |
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과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치
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2020-05-26 |
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붕소 및 갈륨을 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
注入器、及基板處理設備
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
形成臨限電壓控制用之結構的方法
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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