JP2004140375A - 光ポンピング半導体レーザ装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体レーザ装置を、比較的少ない費用と小さなコストで製造すること。
基板の第1の主面上にはポンピングレーザ及びポンピングレーザによって光ポンピングされて垂直方向に放射するレーザが設けられており、基板の第1の主面は構造化されていて、比較的高い位置の第1の領域並びに比較的低い位置の第2の領域を有しており、ポンピングレーザは、基板の比較的高い位置の第1の領域上に設けられており、垂直方向に放射するレーザは、中間層を介して基板の比較的低い位置の第2の領域上に設けられており、基板の比較的高い位置の第1の領域と中間層の層厚との高さの差は、ポンピングレーザ及び垂直方向に放射するレーザが同じ高さに位置しているように選択されている。
【選択図】図1
Description
12 基板
14 第1の主要面
16 第2の主要面
18 比較的低い位置の領域
20 比較的高い位置の領域
22 基板ウェブ
30 ポンピングレーザ
32 第1の導波層
34 ビーム形成活性層
36 第2の導波層
40 垂直方向放射レーザ
42及び46 導波層
44 ビーム形成活性層
50、30′ 中間層
60 下側コンタクト
62 表面コンタクト
Claims (18)
- 第1の主面(14)と第2の主面(16)とを有する基板(12)が設けられており、前記第1の主面(14)上にはポンピングレーザ(30)及び当該ポンピングレーザ(30)によって光ポンピングされて垂直方向に放射するレーザ(40)が設けられている光ポンピング半導体レーザ装置において、
基板(12)の第1の主面(14)は構造化されていて、比較的高い位置の第1の領域(20)並びに比較的低い位置の第2の領域(18)を有しており、
ポンピングレーザ(30)は、前記基板(12)の前記比較的高い位置の第1の領域(20)上に設けられており、
垂直方向に放射するレーザ(40)は、中間層(50,30′)を介して前記基板(12)の前記比較的低い位置の第2の領域(18)上に設けられており、
前記基板(12)の前記比較的高い位置の第1の領域(20)と前記中間層(50,30′)の層厚との高さの差(Δ)は、前記ポンピングレーザ(30)及び垂直方向に放射するレーザ(40)とが同じ高さに位置しているように選択されている
ことを特徴とする光ポンピング半導体レーザ装置。 - ポンピングレーザ(30)は、半導体層列によって構成されており、中間層(50,30′)は、前記ポンピングレーザ(30)の半導体層列(30′)を有している請求項1記載の光ポンピング半導体レーザ装置。
- 中間層(50,30′)は、垂直方向に放射するレーザ(40)用の共振器の鏡を形成する鏡層(50)を有する請求項1又は2記載の光ポンピング半導体レーザ装置。
- 基板の比較的高い位置の第1の領域(20)と比較的低い位置の第2の領域(18)は、突出したウェブ(22)によって相互に分離されている請求項1〜3迄の何れか1記載の光ポンピング半導体レーザ装置。
- 突出したウェブ(22)は、ポンピングレーザ(30)によって形成されたビームに対して透過である請求項4記載の光ポンピング半導体レーザ装置。
- 鏡層は、ブラッグ鏡(50)として構成されている請求項1〜5迄の何れか1記載の光ポンピング半導体レーザ装置。
- 垂直方向に放射するレーザ(40)は、ビーム形成活性層(44)として量子井戸構造を有している請求項1〜6迄の何れか1記載の光ポンピング半導体レーザ装置。
- 作動中、ポンピングレーザ(30)によって形成されたビームは、垂直方向に放射するレーザ(40)のポンピングのために、前記垂直方向に放射するレーザの活性層(44)に横方向に入力結合されている請求項1〜7迄の何れか1記載の光ポンピング半導体レーザ装置。
- 基板(12)は、GaAs製である請求項1〜8迄の何れか1記載の光ポンピング半導体レーザ装置。
- 垂直方向に光を放射するレーザと少なくとも1つのポンピングレーザとを有する光ポンピング半導体レーザ装置の製造方法において、
比較的高い位置の第1の領域と比較的低い位置の第2の領域とを有する、構造化された基板を形成するステップ、
端面放射する半導体層列を前記基板上に堆積するステップ、
表面放射半導体層列に、ビーム形成活性層を堆積し、前記基板の前記第1の領域と第2の領域との高さの差を、前記第1の領域の前記端面放射する半導体層列が、前記第2の領域の前記表面放射半導体層列と同じ高さに位置していて、作動中、垂直方向に光を放射するレーザ用のポンピングレーザを構成するように選択するステップ、
前記端面放射半導体層列の上側に設けられた、前記第1の領域内の層を除去して、当該第1の領域で、前記端面放射する半導体層列を露出させるステップ
を有することを特徴とする光ポンピング半導体レーザ装置の製造方法。 - 端面放射する半導体層列と表面放射半導体層列とを、一緒に唯一のエピタキシャル層内に堆積する請求項10記載の光ポンピング半導体レーザ装置の製造方法。
- 端面放射半導体層列上に鏡層を堆積する請求項10又は11記載の光ポンピング半導体レーザ装置の製造方法。
- 端面放射半導体層列上に設けられた層を除去した後、第1の領域の端面放射する半導体層列上にコンタクト接続する請求項10〜12迄の何れか1記載の光ポンピング半導体レーザ装置の製造方法。
- 構造化された基板を形成するステップは、平坦な基板をドライエッチングして、比較的高い位置の第1の領域と比較的低い位置の第2の領域とを形成するステップを有する請求項10〜13迄の何れか1記載の光ポンピング半導体レーザ装置の製造方法。
- 基板の比較的高い位置の第1の領域と比較的低い位置の第2の領域とを、突出ウェブによって相互に分離する請求項10〜14迄の何れか1記載の光ポンピング半導体レーザ装置の製造方法。
- 堆積される鏡層をブラッグミラーとして構成する請求項10〜15迄の何れか1記載の光ポンピング半導体レーザ装置の製造方法。
- 表面放射半導体層列のビーム形成活性層を量子井戸構造として形成する請求項10〜16迄の何れか1記載の光ポンピング半導体レーザ装置の製造方法。
- 作動中、端面放射する半導体層列によって形成されるビームを、垂直方向に光を放射するレーザのポンピングのために横方向に表面放射半導体層列の活性層内に入力結合する請求項10〜17迄の何れか1記載の光ポンピング半導体レーザ装置の製造方法。
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