JP2006245511A - 面発光型半導体素子及び面発光型半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 優れた反射特性を有するDBR部を備えた面発光型半導体素子及び面発光型半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 面発光レーザ1は、第1のDBR半導体層5aと第2のDBR半導体層5bとが交互に配列された第1のDBR部5と、第2のDBR部19と、DBR部5とDBR部19との間に設けられ活性層13を含むメサ部9と、メサ部9の側面9a上に設けられたIII−V族化合物半導体層17とを備える。DBR部19は、III−V族化合物半導体層17上に設けられている。メサ部9はIII−V族化合物半導体から構成されている。メサ部9の側面9aと(100)面とのなす角θは30度以下である。
【選択図】 図1
【解決手段】 面発光レーザ1は、第1のDBR半導体層5aと第2のDBR半導体層5bとが交互に配列された第1のDBR部5と、第2のDBR部19と、DBR部5とDBR部19との間に設けられ活性層13を含むメサ部9と、メサ部9の側面9a上に設けられたIII−V族化合物半導体層17とを備える。DBR部19は、III−V族化合物半導体層17上に設けられている。メサ部9はIII−V族化合物半導体から構成されている。メサ部9の側面9aと(100)面とのなす角θは30度以下である。
【選択図】 図1
Description
本発明は、面発光型半導体素子及び面発光型半導体素子の製造方法に関する。
面発光型半導体素子、例えば垂直共振型面発光レーザ(VCSEL:Vertical Cavity Surface Emitting Laser)として、ポスト型の面発光レーザ及び埋め込み型の面発光レーザ(例えば、非特許文献1及び2参照)が知られている。ポスト型の面発光レーザでは、光を閉じ込めることが困難であり、単一モードの光を出射するためにはポスト径を絞る必要がある。一方、埋め込み型の面発光レーザでは、かかる問題が生じ難い。
THETRANSACTIONS OF THE IECE OF JAPAN,VOL.E 69, NO.9 SEPTEMBER 1986 p.923-924 伊賀健一・小山二三夫共著、「面発光レーザ」、オーム社、p.161−168
THETRANSACTIONS OF THE IECE OF JAPAN,VOL.E 69, NO.9 SEPTEMBER 1986 p.923-924 伊賀健一・小山二三夫共著、「面発光レーザ」、オーム社、p.161−168
図6は、埋め込み型の面発光レーザの一例を模式的に示す断面図である。図6に示される面発光レーザ101は、(100)面を主面103aとする基板103と、基板103上に設けられた半導体DBR部105と、半導体DBR部105上に設けられた半導体メサ部109と、半導体メサ部109の側面109a上に設けられた半導体埋め込み層117と、半導体埋め込み層117上に設けられた半導体DBR部119と、を備える。半導体メサ部109は、半導体層111と、半導体層111上に設けられた活性層113と、活性層113上に設けられた半導体層115とからなる。半導体メサ部109は、側面109a、頂面109b及び底面109cを有している。半導体埋め込み層117は、半導体メサ部109の頂面109b上にも設けられている。
図7は、半導体メサ部109の高さ方向(<100>方向)から見た半導体メサ部109を模式的に示す図である。半導体メサ部109の頂面109b及び底面109cの形状は、<011>方向及び<01−1>方向に延びる辺から構成される四角形である。底面109cは、<100>方向から見て頂面109bよりも大きい。半導体メサ部109の頂面109bは(100)面から構成されており、側面109aは(111)面及び(1−1−1)面を含む。
しかしながら、本発明者らは上述の面発光レーザ101について以下のことを見出した。面発光レーザ101の場合、半導体メサ部109の側面109a上に半導体埋め込み層117を形成すると、図8(a)に示されるように、(111)面及び(1−11)面上において半導体埋め込み層117が異常成長してしまう。その結果、図6に示されるように、半導体埋め込み層117における(111)面及び(1−11)面上の部分に突起117aが生じてしまう。突起117aの高さは、例えば1μm〜数μm程度であり、半導体埋め込み層117の厚さに依存する。このような半導体埋め込み層117上に形成される半導体DBR部119では平坦性が不十分となるので、半導体DBR部119の反射特性が低下してしまう。なお、図8(a)は、顕微鏡を用いて<100>方向から見た半導体メサ部109を模式的に示す図である。
また、図8(b)に示されるように、半導体メサ部109の頂面109b及び底面109cの形状が円形の場合であっても、四角形の場合と同様に、(111)面及び(1−11)面上において半導体埋め込み層117が異常成長してしまう。その結果、半導体DBR部119の反射特性はやはり低下してしまう。なお、図8(b)は、顕微鏡を用いて<100>方向から見た半導体メサ部を模式的に示す図である。
そこで、本発明は、優れた反射特性を有するDBR部を備えた面発光型半導体素子及び面発光型半導体素子の製造方法を提供することを目的とする。
上述の課題を解決するため、本発明の面発光型半導体素子の製造方法は、第1のDBR半導体層と第2のDBR半導体層とが交互に配列された第1のDBR部上に、III−V族化合物半導体から構成される半導体層を形成する工程と、前記半導体層上に形成されたマスクを用いて前記半導体層をエッチングすることにより、活性層を含むメサ部を形成する工程と、前記メサ部の側面上にIII−V族化合物半導体層を形成する工程と、前記III−V族化合物半導体層上に第2のDBR部を形成する工程と、を含み、前記メサ部を形成する工程では、前記メサ部の前記側面と(100)面とのなす角が30度以下となるようにエッチングする。ここで、上記「なす角」とは鈍角ではなく鋭角の方を意味する。
本発明の面発光型半導体素子の製造方法によれば、上記なす角が30度を超える場合に比べて、III−V族化合物半導体層を形成する際にIII−V族化合物半導体層の異常成長が抑制される。これは、(111)面と(100)面とのなす角及び(1−1−1)面と(100)面とのなす角がいずれも約55度であり、メサ部の側面と(100)面とのなす角が30度以下であるため、メサ部の側面が(111)面及び(1−1−1)面を実質的に含まないことに起因する。よって、得られる面発光型半導体素子では、III−V族化合物半導体層上に設けられた第2のDBR部が優れた反射特性を有する。
また、本発明の面発光型半導体素子は、第1のDBR半導体層と第2のDBR半導体層とが交互に配列された第1のDBR部と、第2のDBR部と、前記第1のDBR部と前記第2のDBR部との間に設けられ活性層を含むメサ部と、前記メサ部の側面上に設けられたIII−V族化合物半導体層と、を備え、前記第2のDBR部は、前記III−V族化合物半導体層上に設けられており、前記メサ部はIII−V族化合物半導体から構成されており、前記メサ部の前記側面と(100)面とのなす角は30度以下である。ここで、上記「なす角」とは鈍角ではなく鋭角の方を意味する。
本発明の面発光型半導体素子によれば、上記なす角が30度を超える場合に比べて、III−V族化合物半導体層を形成する際にIII−V族化合物半導体層の異常成長が抑制される。これは、(111)面と(100)面とのなす角及び(1−1−1)面と(100)面とのなす角がいずれも約55度であり、メサ部の側面と(100)面とのなす角が30度以下であるため、メサ部の側面が(111)面及び(1−1−1)面を実質的に含まないことに起因する。よって、この面発光型半導体素子では、III−V族化合物半導体層上に設けられた第2のDBR部が優れた反射特性を有する。
本発明によれば、優れた反射特性を有するDBR部を備えた面発光型半導体素子及び面発光型半導体素子の製造方法が得られる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一又は同等の要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。
まず、図1及び図2を参照して、実施形態に係る面発光型半導体素子について説明する。
[面発光型半導体素子]
図1は、実施形態に係る面発光型半導体素子を模式的に示す断面図である。図1には、面発光型半導体素子の一例として面発光レーザ1が示されている。なお、図1は、図2に示されるI−I線に沿った断面図に対応する。
図1は、実施形態に係る面発光型半導体素子を模式的に示す断面図である。図1には、面発光型半導体素子の一例として面発光レーザ1が示されている。なお、図1は、図2に示されるI−I線に沿った断面図に対応する。
面発光レーザ1は、第1のDBR(DBR:Distributed Bragg Reflector)部5と、第2のDBR部19と、DBR部5とDBR部19との間に設けられ活性層13を含むメサ部9と、メサ部9の側面9a上に設けられたIII−V族化合物半導体層17とを備える。DBR部19は、III−V族化合物半導体層17上に設けられている。これにより電流狭窄構造が得られる。したがって、面発光レーザ1は埋め込み型の面発光レーザである。面発光レーザ1はメサ部9の高さ方向(例えば<100>方向)にレーザ光Lを出射する。
本実施形態において、DBR部5、メサ部9、III−V族化合物半導体層17及びDBR部19は、例えば主面3aに(100)面を含む基板3上に配列される。一実施例において、基板3は(100)面を主面とするGaAs基板である。
DBR部5は例えば第1導電型のIII−V族化合物半導体から構成される。DBR部5では、第1のDBR半導体層5aと第2のDBR半導体層5bとが、例えば<100>方向に沿って交互に配列される。一実施例において、DBR半導体層5a及びDBR半導体層5bは、それぞれn型のGaAlAs層及びn型のGaAs層である。
DBR部19は例えば第2導電型のIII−V族化合物半導体から構成される。DBR部19では、例えば、DBR半導体層19aとDBR半導体層19bとが<100>方向に沿って交互に配列される。一実施例において、DBR半導体層19a及びDBR半導体層19bは、それぞれp型のGaAlAs層及びp型のGaAs層である。DBR部19は、DBR半導体層19a及びDBR半導体層19bに代えて第1及び第2のDBR誘電体層を有するとしてもよい。
メサ部9は、例えば、半導体層11と、半導体層11上に設けられた活性層13と、活性層13上に設けられた半導体層15とを含む。メサ部9の高さは、例えば0.5μmである。メサ部9はIII−V族化合物半導体から構成されている。よって、半導体層11、活性層13及び半導体層15は、それぞれIII−V族化合物半導体から構成されている。活性層13は、窒素元素(N)及びヒ素元素(As)を含むことが好ましく、GaInNAs又はGaNAsを含むことがより好ましい。一実施例において、活性層13はGaInNAs層及びGaAs層から構成される。これにより、長波長帯のレーザ光Lが得られる。半導体層11,15は、例えばGaAs、AlGaAs又はGaInP等から構成される。
メサ部9の側面9aと、メサ部9を構成するIII−V族化合物半導体結晶における(100)面とのなす角θは0度より大きく30度以下である。メサ部9の側面9aは、メサ部9を構成するIII−V族化合物半導体結晶の(01−1)面に平行な面に沿ったメサ部9の断面において直線になっている。なす角θは、この直線と(100)面とのなす角に相当する。したがって、メサ部9の側面9aは(111)面及び(1−1−1)面を実質的に含んでいない。一実施例では、なす角θは30度である。また、本実施形態では、例えば、メサ部9の頂面9b及び底面9cは(100)面を含む。この場合、メサ部9の側面9aとメサ部9の頂面9b及び底面9cとのなす角も30度以下となる。
III−V族化合物半導体層17は例えば第2導電型のIII−V族化合物半導体から構成される。III−V族化合物半導体層17は、例えばメサ部9の頂面9b上にも設けられており、DBR部5とDBR部19との間に設けられている。III−V族化合物半導体層17は、メサ部9を埋め込む層となる。III−V族化合物半導体層17は、複数のIII−V族化合物半導体層を有する積層体としてもよい。一実施例において、III−V族化合物半導体層17はp型のGaInP層である。
また、本実施形態では、DBR部5とメサ部9との間に例えば第1導電型のIII−V族化合物半導体層7が設けられている。III−V族化合物半導体層7は、例えば、DBR部5とIII−V族化合物半導体層17との間に配置されている。III−V族化合物半導体層7は、複数のIII−V族化合物半導体層を有する積層体としてもよい。一実施例において、III−V族化合物半導体層7はn型のGaInP層である。
DBR部19上には、必要に応じて樹脂層21及び電極23が設けられる。樹脂層21は例えばポリイミド樹脂から構成される。樹脂層21上には、電極23に電気的に接続された電極パッド25が設けられるとしてもよい。基板3の主面3aと反対側の面3b上には、例えば電極27が設けられている。電極23と電極27との間に電圧を印加すると、活性層13に電流が供給され、レーザ光Lが出射される。
図2は、メサ部9の高さ方向(例えば<100>方向)から見たメサ部9の具体的な形状の一例を模式的に示す図である。メサ部9の頂面9b及び底面9cの形状は特に限定されない。メサ部9の頂面9b及び底面9cの形状としては、例えば三角形、四角形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形等が挙げられる。一実施例では、メサ部9の頂面9b及び底面9cの形状は互いに相似な正方形である。底面9cは、例えばメサ部9の高さ方向から見て頂面9bよりも大きい。
上記構造を有する面発光レーザ1では、なす角θが30度を超える場合に比べて、III−V族化合物半導体層17を形成する際に、III−V族化合物半導体層17の異常成長が抑制される。これは、(111)面と(100)面とのなす角及び(1−1−1)面と(100)面とのなす角がいずれも約55度であり、上記なす角θが30度以下であるため、メサ部9の側面9aが(111)面及び(1−1−1)面を実質的に含まないことに起因する。よって、面発光レーザ1では、III−V族化合物半導体層17上に設けられたDBR部19の平坦性が向上するので、DBR部19の反射率を高精度に制御することができる。したがって、DBR部19は優れた反射特性を有する。
続いて、図1及び図3〜図5を参照して、実施形態に係る面発光型半導体素子の製造方法について説明する。以下、実施形態に係る面発光型半導体素子の製造方法の一例として面発光レーザ1の製造方法について説明する。
[面発光型半導体素子の製造方法]
図3〜図5は、実施形態に係る面発光型半導体素子の製造方法を模式的に示す工程断面図である。
図3〜図5は、実施形態に係る面発光型半導体素子の製造方法を模式的に示す工程断面図である。
(半導体層形成工程)
まず、図3(a)に示されるように、第1のDBR半導体層5aと第2のDBR半導体層5bとが交互に配列された第1のDBR部5上に、III−V族化合物半導体から構成される半導体層10を形成する。半導体層10は、例えば、半導体層11aと、半導体層11a上に設けられた半導体層13aと、半導体層13a上に設けられた半導体層15aとを備える積層体である。半導体層13aは活性層13を形成するための層である。
まず、図3(a)に示されるように、第1のDBR半導体層5aと第2のDBR半導体層5bとが交互に配列された第1のDBR部5上に、III−V族化合物半導体から構成される半導体層10を形成する。半導体層10は、例えば、半導体層11aと、半導体層11a上に設けられた半導体層13aと、半導体層13a上に設けられた半導体層15aとを備える積層体である。半導体層13aは活性層13を形成するための層である。
具体的には、例えば、基板3上にDBR部5を形成した後に、DBR部5上にIII−V族化合物半導体層7を必要に応じて形成する。その後、III−V族化合物半導体層7上に、例えば、半導体層11a、半導体層13a及び半導体層15aを順に形成する。
(マスク形成工程)
次に、図3(b)に示されるように、半導体層10上にマスクMを形成する。マスクMは、例えば、シリコン窒化物等の絶縁材料、フォトレジストの硬化物等から構成される。マスクMは、例えばフォトリソグラフィー法を用いてパターニングされる。
次に、図3(b)に示されるように、半導体層10上にマスクMを形成する。マスクMは、例えば、シリコン窒化物等の絶縁材料、フォトレジストの硬化物等から構成される。マスクMは、例えばフォトリソグラフィー法を用いてパターニングされる。
(エッチング工程)
次に、図4(a)に示されるように、マスクMを用いて半導体層10をエッチングすることにより、活性層13を含むメサ部9を形成する。このとき、メサ部9の側面9aと、メサ部9を構成するIII−V族化合物半導体結晶の(100)面とのなす角θが0度より大きく30度以下となるようにエッチングする。また、メサ部9を構成するIII−V族化合物半導体結晶の(01−1)面に平行な面に沿ったメサ部9の断面において、メサ部9の側面9aが直線になるようにエッチングする。なす角θは、この直線と(100)面とのなす角に相当する。したがって、メサ部9は、(111)面及び(1−1−1)面を実質的に含まない側面9aを有する。
次に、図4(a)に示されるように、マスクMを用いて半導体層10をエッチングすることにより、活性層13を含むメサ部9を形成する。このとき、メサ部9の側面9aと、メサ部9を構成するIII−V族化合物半導体結晶の(100)面とのなす角θが0度より大きく30度以下となるようにエッチングする。また、メサ部9を構成するIII−V族化合物半導体結晶の(01−1)面に平行な面に沿ったメサ部9の断面において、メサ部9の側面9aが直線になるようにエッチングする。なす角θは、この直線と(100)面とのなす角に相当する。したがって、メサ部9は、(111)面及び(1−1−1)面を実質的に含まない側面9aを有する。
具体的には、例えば、半導体層11a,13a,15aがそれぞれエッチングされることにより、半導体層11、活性層13及び半導体層15が形成される。エッチング方法としては、例えば、ウエットエッチング法が挙げられる。
ウエットエッチング法を用いる場合、エッチング液として、例えばリン酸(H3PO4)、過酸化水素(H2O2)及び水(H2O)の混合液等が好適に用いられる。例えば、エッチング液の組成、各組成の体積比、各組成の質量比、各組成のモル比等を調整することにより、なす角θを制御することができる。また、ウエットエッチング法では等方的なエッチングが可能となる。また、リン酸の体積比を大きくすることにより、なす角θを小さくすることができる。具体的には、例えば所定の体積比(H3PO4:H2O2:H2O=50:10:600)のエッチング液を用いると、なす角θを30度とすることができる。
(III−V族化合物半導体層形成工程)
次に、図4(b)に示されるように、メサ部9の側面9a上にIII−V族化合物半導体層17を形成する。本実施形態では、III−V族化合物半導体層17は、例えば、メサ部9の頂面9b及びIII−V族化合物半導体層7上にも形成される。III−V族化合物半導体層17は、例えばMOCVD法等を用いてエピタキシャル成長される。
次に、図4(b)に示されるように、メサ部9の側面9a上にIII−V族化合物半導体層17を形成する。本実施形態では、III−V族化合物半導体層17は、例えば、メサ部9の頂面9b及びIII−V族化合物半導体層7上にも形成される。III−V族化合物半導体層17は、例えばMOCVD法等を用いてエピタキシャル成長される。
(第2のDBR部形成工程)
次に、図5(a)に示されるように、III−V族化合物半導体層17上に第2のDBR部19を形成する。具体的には、例えば、DBR半導体層19aとDBR半導体層19bとを交互にIII−V族化合物半導体層17上に形成する。
次に、図5(a)に示されるように、III−V族化合物半導体層17上に第2のDBR部19を形成する。具体的には、例えば、DBR半導体層19aとDBR半導体層19bとを交互にIII−V族化合物半導体層17上に形成する。
(樹脂層形成工程)
次に、図5(b)に示されるように、必要に応じてDBR部19上に樹脂層21を形成する。
次に、図5(b)に示されるように、必要に応じてDBR部19上に樹脂層21を形成する。
(電極形成工程)
次に、図1に示されるように、必要に応じてDBR部19上に電極23を形成し、電極23と電気的に接続された電極パッド25を樹脂層21上に形成する。その後、基板3の主面3aと反対側の面3b上に、必要に応じて電極27を形成する。
次に、図1に示されるように、必要に応じてDBR部19上に電極23を形成し、電極23と電気的に接続された電極パッド25を樹脂層21上に形成する。その後、基板3の主面3aと反対側の面3b上に、必要に応じて電極27を形成する。
以上の各工程を経ることによって図1に示される面発光レーザ1が製造される。本実施形態に係る面発光型半導体素子の製造方法によれば、III−V族化合物半導体層17を形成する際にIII−V族化合物半導体層17の異常成長が抑制される。これは、(111)面と(100)面とのなす角及び(1−1−1)面と(100)面とのなす角がいずれも約55度であり、メサ部9の側面9aと(100)面とのなす角θが30度以下であるため、メサ部9の側面9aが(111)面及び(1−1−1)面を実質的に含まないことに起因する。よって、得られる面発光レーザ1では、III−V族化合物半導体層17上に設けられたDBR部19が優れた反射特性を有する。
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。
以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
(実施例1)
所定のエッチング液(体積比でH3PO4:H2O2:H2O=50:10:600)を用いて半導体層をエッチングすることにより、高さ約0.5μmのメサ部を形成した。メサ部は、GaInNAs層及びGaAs層からなる活性層と、GaAsから構成される半導体層とからなる。形成されたメサ部の側面と(100)面とのなす角は、30度であった。その後、メサ部の側面及び頂面上にGaInP層をエピタキシャル成長させ、GaInP層上にDBR部を形成して実施例1の面発光レーザを得た。
所定のエッチング液(体積比でH3PO4:H2O2:H2O=50:10:600)を用いて半導体層をエッチングすることにより、高さ約0.5μmのメサ部を形成した。メサ部は、GaInNAs層及びGaAs層からなる活性層と、GaAsから構成される半導体層とからなる。形成されたメサ部の側面と(100)面とのなす角は、30度であった。その後、メサ部の側面及び頂面上にGaInP層をエピタキシャル成長させ、GaInP層上にDBR部を形成して実施例1の面発光レーザを得た。
(比較例1)
所定のエッチング液(体積比でH3PO4:H2O2:H2O=300:15:185)を用いたこと以外は実施例1と同様に比較例1の面発光レーザを得た。形成されたメサ部の側面と(100)面とのなす角は、約55度であった。
所定のエッチング液(体積比でH3PO4:H2O2:H2O=300:15:185)を用いたこと以外は実施例1と同様に比較例1の面発光レーザを得た。形成されたメサ部の側面と(100)面とのなす角は、約55度であった。
(比較例2)
所定のエッチング液(体積比でH2SO4:H2O2:H2O=1:8:160)を用いたこと以外は実施例1と同様に比較例2の面発光レーザを得た。形成されたメサ部の側面と(100)面とのなす角は、約55度であった。
所定のエッチング液(体積比でH2SO4:H2O2:H2O=1:8:160)を用いたこと以外は実施例1と同様に比較例2の面発光レーザを得た。形成されたメサ部の側面と(100)面とのなす角は、約55度であった。
(比較例3)
所定のエッチング液(体積比でH2SO4:H2O2:H2O=8:1:1)を用いたこと以外は実施例1と同様に比較例3の面発光レーザを得た。形成されたメサ部の側面と(100)面とのなす角は、約55度であった。
所定のエッチング液(体積比でH2SO4:H2O2:H2O=8:1:1)を用いたこと以外は実施例1と同様に比較例3の面発光レーザを得た。形成されたメサ部の側面と(100)面とのなす角は、約55度であった。
(評価結果)
SEM及び顕微鏡を用いて実施例1及び比較例1〜3の面発光レーザのメサ部を観察した。その結果、実施例1の面発光レーザでは、メサ部の側面上に形成されるGaInP層の異常成長が確認されなかった。一方、比較例1〜3の面発光レーザでは、メサ部の側面上に形成されるGaInP層の異常成長(例えば、図8(a)及び図8(b)参照)が確認された。以上より、実施例1の面発光レーザが、比較例1〜3の面発光レーザに比べて、優れた反射特性を有するDBR部を備えることが確認された。
SEM及び顕微鏡を用いて実施例1及び比較例1〜3の面発光レーザのメサ部を観察した。その結果、実施例1の面発光レーザでは、メサ部の側面上に形成されるGaInP層の異常成長が確認されなかった。一方、比較例1〜3の面発光レーザでは、メサ部の側面上に形成されるGaInP層の異常成長(例えば、図8(a)及び図8(b)参照)が確認された。以上より、実施例1の面発光レーザが、比較例1〜3の面発光レーザに比べて、優れた反射特性を有するDBR部を備えることが確認された。
1…面発光レーザ(面発光型半導体素子)、5…第1のDBR部、5a…第1のDBR半導体層、5b…第2のDBR半導体層、9…メサ部、9a…メサ部の側面、10…半導体層、13…活性層、17…III−V族化合物半導体層、19…第2のDBR部、M…マスク。
Claims (2)
- 第1のDBR半導体層と第2のDBR半導体層とが交互に配列された第1のDBR部上に、III−V族化合物半導体から構成される半導体層を形成する工程と、
前記半導体層上に形成されたマスクを用いて前記半導体層をエッチングすることにより、活性層を含むメサ部を形成する工程と、
前記メサ部の側面上にIII−V族化合物半導体層を形成する工程と、
前記III−V族化合物半導体層上に第2のDBR部を形成する工程と、
を含み、
前記メサ部を形成する工程では、前記メサ部の前記側面と(100)面とのなす角が30度以下となるようにエッチングする、面発光型半導体素子の製造方法。 - 第1のDBR半導体層と第2のDBR半導体層とが交互に配列された第1のDBR部と、
第2のDBR部と、
前記第1のDBR部と前記第2のDBR部との間に設けられ活性層を含むメサ部と、
前記メサ部の側面上に設けられたIII−V族化合物半導体層と、
を備え、
前記第2のDBR部は、前記III−V族化合物半導体層上に設けられており、
前記メサ部はIII−V族化合物半導体から構成されており、
前記メサ部の前記側面と(100)面とのなす角は30度以下である、面発光型半導体素子。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2005062879A JP2006245511A (ja) | 2005-03-07 | 2005-03-07 | 面発光型半導体素子及び面発光型半導体素子の製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107508142A (zh) * | 2017-09-07 | 2017-12-22 | 北京邮电大学 | 一种非平行反射镜构成的光学谐振腔和产生光谐振的方法 |
-
2005
- 2005-03-07 JP JP2005062879A patent/JP2006245511A/ja active Pending
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