JP4748646B2 - フォトニック結晶レーザおよび光伝送システム - Google Patents
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本発明の第1の形態は、基板上に、下部クラッド層と、発光層と、上部クラッド層と、上部電極とを順次備え、下部クラッド層と上部クラッド層との間のいずれかの層中又は層の界面に、高屈折率材料からなる高屈折率領域と高屈折率領域よりも小さい屈折率をもつ低屈折率孔とにより構成される2次元フォトニック結晶構造を備え、基板と下部クラッド層との間のいずれかの層に接続される下部電極を備えるフォトニック結晶レーザにおいて、基板と下部クラッド層との間に下部半導体分布多層膜反射鏡を備え、上部クラッド層と上部電極との間に上部半導体分布多層膜反射鏡を備え、上部電極が設けられていない領域に、または、光出力用に設けられた上部電極の開口部に、反射率の小さい低反射率構造を備えていることを特徴としている。
本発明の第2の形態は、第1の形態のフォトニック結晶レーザにおいて、前記発光層は、下部ガイド層と、活性層と、上部ガイド層とからなり、2次元フォトニック結晶構造の低屈折率孔は、下部ガイド層,上部ガイド層のいずれかに設けられていることを特徴としている。
クラッド層の屈折率<ガイド層の屈折率、
クラッド層のバンドギャップ>ガイド層のバンドギャップ>活性層のバンドギャップ
AlxGa1−xAs/AlyGa1−yAs/GaAs (x>y) [0.85μm帯],
GaInP/AlGaInP/GaAs[0.66μm帯],
GaInAs/GaInP/GaAs[0.98μm帯],
GaInNAs/AlGaAs/GaAs[1.3μm帯,1.55μm帯],
AlGaInP/AlGaInP/GaAs[0.65μm帯],
AlGaInP/GaInAsP/InP/InP[1.3μm帯,1.55μm帯]
(1+2N)λ/4nとなる。ここで、λは真空中での波長であり、nは構成層の屈折率であり、Nは0以上の整数である。
(1) 発振光の波長(λ/n)と同じ長さのいくつかの屈折率周期構造をもつ。
これらの屈折率周期構造は回折格子を形成する。これらの屈折率周期構造は光路差が波長の2倍なので2次のブラッグ回折条件を満たしている。
(2) これらの屈折率周期構造は面内で互いに回転対称である。
(3) それぞれの屈折率周期構造で回折している光は互いに発振光の波長(λ/n)の光路差で結合する。
本発明の第3の形態は、第1または第2の形態のフォトニック結晶レーザにおいて、2次元フォトニック結晶構造を構成する層として、又は、2次元フォトニック結晶構造を構成する層に隣接して、高抵抗領域と導電性領域とからなり発光層への電流の経路を制限する電流経路制限層を備え、高抵抗領域の膜面に平行な断面形状が、低屈折率孔の膜面に平行な断面形状を含むように配置されることを特徴としている。
本発明の第4の形態は、第3の形態のフォトニック結晶レーザにおいて、前記電流経路制限層は、下部ガイド層と下部クラッド層との界面、又は、上部ガイド層と上部クラッド層との界面に設けられていることを特徴としている。
本発明の第5の形態は、第3または第4の形態のフォトニック結晶レーザにおいて、前記電流経路制限層の導電性領域はAlxGa1−xAs(0.95<x≦1)層からなり、前記電流経路制限層の高抵抗領域はAlxGa1−xAs層を酸化した領域からなっていることを特徴としている。
本発明の第6の形態は、第1乃至第5のいずれかの形態のフォトニック結晶レーザにおいて、発光層の活性層には、GaInNAs系材料が含まれていることを特徴としている。
発振波長が1.1〜1.6μm程度の長波長帯半導体レーザは、発振光が石英系ファイバ中を損失少なく伝播し、Si基板中を吸収少なく透過するので、長距離光通信網の他に、チップ間、チップ内、ボード間、ボード内、LAN内の光伝送用光源としての適用性が特に高い。
本発明の第7の形態は、第1の基板に、下部半導体DBR、発光層を順次形成する第1の工程と、第2の基板に、上部DBR半導体を形成する第2の工程と、第1の基板上の第1の表面、または、第2の基板上の第2の表面に、2次元フォトニック結晶構造を形成する第3の工程と、2次元フォトニック結晶構造を形成する第3の工程の後に、第1の基板上の第1の表面と第2の基板上の第2の表面とを接合する第4の工程とを含むことを特徴としている。
本発明の第8の形態は、第1乃至第6のいずれかの形態のフォトニック結晶レーザを発光デバイスとして備えていることを特徴とする光伝送システムである。
次に、レジストを塗布し、EB直接描画し、ICPエッチング法を用い、積層膜表面の直径35μmの範囲内にフォトニック結晶構造を作製する。
Claims (7)
- 基板上に、下部クラッド層と、発光層と、上部クラッド層と、上部電極とを順次備え、下部クラッド層と上部クラッド層との間のいずれかの層中又は層の界面に、高屈折率材料からなる高屈折率領域と高屈折率領域よりも小さい屈折率をもつ低屈折率孔とにより構成される2次元フォトニック結晶構造を備え、基板と下部クラッド層との間のいずれかの層に接続される下部電極を備えるフォトニック結晶レーザにおいて、基板と下部クラッド層との間に下部半導体分布多層膜反射鏡を備え、上部クラッド層と上部電極との間に上部半導体分布多層膜反射鏡を備え、上部電極が設けられていない領域に、または、光出力用に設けられた上部電極の開口部に、反射率の小さい低反射率構造を備えていることを特徴とするフォトニック結晶レーザ。
- 請求項1記載のフォトニック結晶レーザにおいて、前記発光層は、下部ガイド層と、活性層と、上部ガイド層とからなり、2次元フォトニック結晶構造の低屈折率孔は、下部ガイド層,上部ガイド層のいずれかに設けられていることを特徴とするフォトニック結晶レーザ。
- 請求項1または請求項2記載のフォトニック結晶レーザにおいて、2次元フォトニック結晶構造を構成する層として、又は、2次元フォトニック結晶構造を構成する層に隣接して、高抵抗領域と導電性領域とからなり発光層への電流の経路を制限する電流経路制限層を備え、高抵抗領域の膜面に平行な断面形状が、低屈折率孔の膜面に平行な断面形状を含むように配置されることを特徴とするフォトニック結晶レーザ。
- 請求項3記載のフォトニック結晶レーザにおいて、前記電流経路制限層は、下部ガイド層と下部クラッド層との界面、又は、上部ガイド層と上部クラッド層との界面に設けられていることを特徴とするフォトニック結晶レーザ。
- 請求項3または請求項4記載のフォトニック結晶レーザにおいて、前記電流経路制限層の導電性領域はAlxGa1−xAs(0.95<x≦1)層からなり、前記電流経路制限層の高抵抗領域はAlxGa1−xAs層を酸化した領域からなっていることを特徴とするフォトニック結晶レーザ。
- 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載のフォトニック結晶レーザにおいて、発光層の活性層には、GaInNAs系材料が含まれていることを特徴とするフォトニック結晶レーザ。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載のフォトニック結晶レーザを発光デバイスとして備えていることを特徴とする光伝送システム。
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