JP2010157702A - 半導体装置、およびその作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ゲート絶縁層上方の第1のソース電極層または第1のドレイン電極層と、ゲート絶縁層上方の酸化物半導体層と、酸化物半導体層、および第1のソース電極層または第1のドレイン電極層上方の第2のソース電極層または第2のドレイン電極層と、を有し、酸化物半導体層の下面は、ゲート電極層と重畳する領域においてゲート絶縁層と接しており、且つ、少なくとも他の一部の領域において第1のソース電極層または第1のドレイン電極層と接しており、酸化物半導体層の上面は、その一部の領域において第2のソース電極層または第2のドレイン電極層と接しており、第1のソース電極層または第1のドレイン電極層は、第2のソース電極層または第2のドレイン電極層と電気的に接続している。
【選択図】図1
Description
本実施の形態では、半導体装置の作製方法の一例について、図面を参照して説明する。
本実施の形態では、半導体装置の作製方法につき、上記実施の形態と異なる一例について図面を参照して説明する。なお、本実施の形態における半導体装置の作製工程は、多くの部分で他の実施の形態と共通している。したがって、以下においては、重複する部分の説明は省略し、異なる点について詳細に説明する。
本実施の形態では、半導体装置の作製方法につき、別の一例について図面を参照して説明する。なお、本実施の形態における半導体装置の作製工程は、多くの部分で他の実施の形態と共通している。したがって、以下においては、重複する部分の説明は省略し、異なる点について詳細に説明する。
本実施の形態では、薄膜トランジスタを作製し、該薄膜トランジスタを画素部や駆動回路に用いて表示機能を有する半導体装置(表示装置ともいう)を作製する場合について説明する。また、駆動回路の一部または全体を、画素部と同じ基板上に一体形成し、システムオンパネルを形成することができる。
本実施の形態では、図8を参照して半導体装置の一例であるアクティブマトリクス型の電子ペーパーについて説明する。半導体装置に用いられる薄膜トランジスタ650は、上記実施の形態1〜3で示す薄膜トランジスタと同様に作製することができる。
本実施の形態では、半導体装置として、エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子を用いた発光表示装置の例を示す。エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般的に、前者は有機EL素子、後者は無機EL素子と呼ばれている。
半導体装置は、電子ペーパーとして適用することができる。電子ペーパーは、情報を表示するものであればあらゆる分野の電子機器に用いることが可能である。例えば、電子ペーパーを、電子書籍(電子ブック)、ポスター、電車などの乗り物の車内広告、クレジットカード等の各種カードにおける表示等に適用することができる。電子機器の一例を図11、図12に示す。
半導体装置は、さまざまな電子機器(遊技機等も含む)に適用することができる。電子機器としては、例えば、テレビジョン装置(テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう)、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラやデジタルビデオカメラなどのカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機(携帯電話、携帯電話装置ともいう)、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの大型ゲーム機、などが挙げられる。
202 ゲート電極層
202a ソース電極層
202b ドレイン電極層
203 絶縁層
204 ゲート絶縁層
205 マスク
206a ソース電極層
206b ドレイン電極層
208 酸化物半導体層
210 酸化物半導体層
211 導電膜
212a ソース電極層
212b ドレイン電極層
220 保護絶縁層
250 トランジスタ
400 イオン
585 絶縁層
600 基板
602 基板
620 保護絶縁層
650 薄膜トランジスタ
660 電極層
670 電極層
680 球形粒子
680a 黒色領域
680b 白色領域
682 充填材
701 TFT
702 発光素子
703 陰極
704 発光層
705 陽極
711 TFT
712 発光素子
713 陰極
714 発光層
715 陽極
716 遮蔽膜
717 導電膜
721 TFT
722 発光素子
723 陰極
724 発光層
725 陽極
727 導電膜
1000 携帯電話機
1001 筐体
1002 表示部
1003 操作ボタン
1004 外部接続ポート
1005 スピーカ
1006 マイク
2600 TFT基板
2601 対向基板
2602 シール材
2603 素子層
2604 液晶層
2605 着色層
2606 偏光板
2607 偏光板
2608 配線回路部
2609 フレキシブル配線基板
2610 冷陰極管
2611 反射板
2612 回路基板
2613 拡散板
2631 ポスター
2632 車内広告
2700 電子書籍
2701 筐体
2703 筐体
2705 表示部
2707 表示部
2711 軸部
2721 電源
2723 操作キー
2725 スピーカ
4001 基板
4002 画素部
4003 信号線駆動回路
4004 走査線駆動回路
4005 シール材
4006 基板
4008 液晶層
4010 薄膜トランジスタ
4011 薄膜トランジスタ
4013 液晶素子
4015 接続端子電極
4016 端子電極
4018 FPC
4019 異方性導電膜
4020 絶縁層
4021 絶縁層
4030 画素電極層
4031 対向電極層
4032 絶縁層
4033 絶縁層
4035 スペーサ
4051 基板
4501 基板
4502 画素部
4503a 信号線駆動回路
4503b 信号線駆動回路
4504a 走査線駆動回路
4504b 走査線駆動回路
4505 シール材
4506 基板
4507 充填材
4509 薄膜トランジスタ
4510 薄膜トランジスタ
4511 発光素子
4512 電界発光層
4513 電極層
4515 接続端子電極
4516 端子電極
4517 電極層
4518a FPC
4518b FPC
4519 異方性導電膜
4520 隔壁
9400 通信装置
9401 筐体
9402 操作ボタン
9403 外部入力端子
9404 マイク
9405 スピーカ
9406 発光部
9410 表示装置
9411 筐体
9412 表示部
9413 操作ボタン
9600 テレビジョン装置
9601 筐体
9603 表示部
9605 スタンド
9607 表示部
9609 操作キー
9610 リモコン操作機
9700 デジタルフォトフレーム
9701 筐体
9703 表示部
9881 筐体
9882 表示部
9883 表示部
9884 スピーカ部
9885 入力手段(操作キー
9886 記録媒体挿入部
9887 接続端子
9888 センサ
9889 マイクロフォン
9890 LEDランプ
9891 筐体
9893 連結部
9900 スロットマシン
9901 筐体
9903 表示部
Claims (11)
- 基板上方のゲート電極層と、
前記ゲート電極層上方のゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上方の第1のソース電極層または第1のドレイン電極層と、
前記ゲート絶縁層上方の酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層、および前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層上方の第2のソース電極層または第2のドレイン電極層と、を有し、
前記酸化物半導体層の下面は、少なくとも前記ゲート電極層と重畳する領域の一部において前記ゲート絶縁層と接しており、且つ、少なくとも他の一部の領域において前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層と接しており、
前記酸化物半導体層の上面は、少なくともその一部の領域において前記第2のソース電極層または第2のドレイン電極層と接しており、
前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層は、前記第2のソース電極層または第2のドレイン電極層と電気的に接続していることを特徴とする半導体装置。 - 基板上方のゲート電極層と、
前記ゲート電極層上方のゲート絶縁層と、
前記ゲート電極層と同一の材料層で形成された第1のソース電極層または第1のドレイン電極層と、
前記ゲート絶縁層、および前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層上方の酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層、および前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層上方の第2のソース電極層または第2のドレイン電極層と、を有し、
前記酸化物半導体層の下面は、少なくとも前記ゲート電極層と重畳する領域の一部において前記ゲート絶縁層と接しており、且つ、少なくとも他の一部の領域において前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層と接しており、
前記酸化物半導体層の上面は、少なくともその一部の領域において前記第2のソース電極層または第2のドレイン電極層と接しており、
前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層は、前記第2のソース電極層または第2のドレイン電極層と電気的に接続していることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1または2において、
前記酸化物半導体層は、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含むことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれか一において、
前記酸化物半導体層の前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層と接する領域は、前記酸化物半導体層のチャネル形成領域と比較して水素濃度が高いことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一において、
前記酸化物半導体層の前記第2のソース電極層または第2のドレイン電極層と接する領域は、前記酸化物半導体層のチャネル形成領域と比較して水素濃度が高いことを特徴とする半導体装置。 - 基板上にゲート電極層を形成し、
前記ゲート電極層の上方にゲート絶縁層を形成し、
前記ゲート絶縁層の上方に第1のソース電極層または第1のドレイン電極層を形成し、
少なくとも前記ゲート電極層と重畳する領域の一部において前記ゲート絶縁層と接し、且つ、少なくとも他の一部の領域において前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層と接するように、前記ゲート絶縁層、および前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層の上方に酸化物半導体層を形成し、
前記酸化物半導体層と少なくともその一部の領域において接し、且つ、前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層と電気的に接続するように、前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層、および前記酸化物半導体層の上方に第2のソース電極層または第2のドレイン電極層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上に、同一の材料層からゲート電極層、および第1のソース電極層または第1のドレイン電極層を形成し、
前記ゲート電極層の上方にゲート絶縁層を形成し、
少なくとも前記ゲート電極層と重畳する領域の一部において前記ゲート絶縁層と接し、且つ、少なくとも他の一部の領域において前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層と接するように、前記ゲート絶縁層、および前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層の上方に酸化物半導体層を形成し、
前記酸化物半導体層と少なくともその一部の領域において接し、且つ、前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層と電気的に接続するように、前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層、および前記酸化物半導体層の上方に第2のソース電極層または第2のドレイン電極層を形成することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項6または7において、
前記酸化物半導体層は、インジウム、ガリウムおよび亜鉛を含むように形成されることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項6乃至8のいずれか一において、
前記第1のソース電極層または第1のドレイン電極層に水素を含ませることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項6乃至9のいずれか一において、
前記第2のソース電極層または第2のドレイン電極層に水素を含ませることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項9または10において、
前記第2のソース電極層または第2のドレイン電極層を形成した後に熱処理を施すことで、前記酸化物半導体層中の水素濃度を変化させることを特徴とする半導体装置の作製方法。
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TW (1) | TWI497715B (ja) |
WO (1) | WO2010064590A1 (ja) |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012084853A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-04-26 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2012256890A (ja) * | 2011-06-09 | 2012-12-27 | Lg Display Co Ltd | 酸化物薄膜トランジスタ及びその製造方法 |
WO2013005604A1 (ja) * | 2011-07-07 | 2013-01-10 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2013102149A (ja) * | 2011-10-13 | 2013-05-23 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の作製方法 |
JP2013138196A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-07-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の作製方法 |
JP2014007311A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP2014036189A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜トランジスタ基板 |
KR20140055142A (ko) * | 2012-10-30 | 2014-05-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 트랜지스터 및 이를 포함하는 표시 장치 |
JP2014131025A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-07-10 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2014215485A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-11-17 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタ基板およびその製造方法 |
JP2015004903A (ja) * | 2013-06-24 | 2015-01-08 | 三菱電機株式会社 | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP2016092058A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 半導体装置 |
JP2016184174A (ja) * | 2011-01-28 | 2016-10-20 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2017022399A (ja) * | 2011-04-15 | 2017-01-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体素子 |
JP2017195417A (ja) * | 2009-12-04 | 2017-10-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 電子機器 |
JP2017228809A (ja) * | 2011-09-22 | 2017-12-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2018019088A (ja) * | 2017-09-14 | 2018-02-01 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
KR101824125B1 (ko) * | 2010-09-10 | 2018-02-01 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 |
WO2019111635A1 (ja) * | 2017-12-05 | 2019-06-13 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 半導体素子、半導体装置、およびこれらの作製方法 |
JP2020194974A (ja) * | 2020-08-20 | 2020-12-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2022023900A (ja) * | 2012-05-25 | 2022-02-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP7439208B2 (ja) | 2010-11-11 | 2024-02-27 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | トランジスタ |
JP7474369B2 (ja) | 2023-06-06 | 2024-04-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101732859B1 (ko) | 2009-06-30 | 2017-05-04 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 제조 방법 |
EP2348531B1 (en) * | 2010-01-26 | 2021-05-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Thin film transistor and method of manufacturing the same |
DE112011106185B3 (de) * | 2010-03-02 | 2023-05-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Impulssignal-Ausgangsschaltung und Schieberegister |
WO2011118741A1 (en) * | 2010-03-26 | 2011-09-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing semiconductor device |
TWI587405B (zh) | 2010-08-16 | 2017-06-11 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置之製造方法 |
TWI541981B (zh) * | 2010-11-12 | 2016-07-11 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置 |
JP5171990B2 (ja) * | 2011-05-13 | 2013-03-27 | 株式会社神戸製鋼所 | Cu合金膜および表示装置 |
US20140340607A1 (en) * | 2011-11-18 | 2014-11-20 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor device, method for fabricating the semiconductor device and display device |
KR101992341B1 (ko) * | 2012-11-06 | 2019-06-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 액정 표시 장치 |
WO2014200190A1 (ko) * | 2013-06-11 | 2014-12-18 | 경희대학교 산학협력단 | 디스플레이 장치의 화소 소자로 사용되는 산화물 반도체 트랜지스터 및 이의 제조 방법 |
US20150001533A1 (en) * | 2013-06-28 | 2015-01-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US9202690B2 (en) | 2013-12-20 | 2015-12-01 | Intermolecular, Inc. | Methods for forming crystalline IGZO through annealing |
JP5790893B1 (ja) * | 2015-02-13 | 2015-10-07 | 日新電機株式会社 | 膜形成方法および薄膜トランジスタの作製方法 |
WO2017082173A1 (ja) * | 2015-11-13 | 2017-05-18 | 住友化学株式会社 | 有機elデバイスの製造方法及び有機elデバイス |
CN106463407A (zh) * | 2015-12-18 | 2017-02-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 薄膜晶体管,薄膜晶体管阵列基板,显示器件,其制备方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007134687A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-05-31 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及びその作製方法 |
JP2008072025A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Canon Inc | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP2008130761A (ja) * | 2006-11-20 | 2008-06-05 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (122)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3648662A (en) * | 1969-10-16 | 1972-03-14 | K & K Mfg Inc | Ventilating system for livestock feeders |
US4381213A (en) | 1980-12-15 | 1983-04-26 | Motorola, Inc. | Partial vacuum boron diffusion process |
EP0445535B1 (en) | 1990-02-06 | 1995-02-01 | Sel Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of forming an oxide film |
JP3277548B2 (ja) | 1991-05-08 | 2002-04-22 | セイコーエプソン株式会社 | ディスプレイ基板 |
JP3255942B2 (ja) | 1991-06-19 | 2002-02-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 逆スタガ薄膜トランジスタの作製方法 |
US6777763B1 (en) * | 1993-10-01 | 2004-08-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for fabricating the same |
JPH11505377A (ja) | 1995-08-03 | 1999-05-18 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 半導体装置 |
JP3409542B2 (ja) | 1995-11-21 | 2003-05-26 | ソニー株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US5847410A (en) | 1995-11-24 | 1998-12-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co. | Semiconductor electro-optical device |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
KR100269326B1 (ko) | 1998-06-08 | 2000-10-16 | 윤종용 | 전기 도금으로 형성된 전극을 갖춘 커패시터및 그 제조방법 |
JP4170454B2 (ja) | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
GB9919913D0 (en) | 1999-08-24 | 1999-10-27 | Koninkl Philips Electronics Nv | Thin-film transistors and method for producing the same |
TW460731B (en) | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
JP4089858B2 (ja) | 2000-09-01 | 2008-05-28 | 国立大学法人東北大学 | 半導体デバイス |
KR20020038482A (ko) | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
KR100438820B1 (ko) | 2001-03-05 | 2004-07-05 | 삼성코닝 주식회사 | Ιιι-ⅴ족 화합물 반도체 기판의 제조 방법 |
JP3997731B2 (ja) | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
JP2002289859A (ja) | 2001-03-23 | 2002-10-04 | Minolta Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3925839B2 (ja) | 2001-09-10 | 2007-06-06 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置およびその試験方法 |
JP4090716B2 (ja) | 2001-09-10 | 2008-05-28 | 雅司 川崎 | 薄膜トランジスタおよびマトリクス表示装置 |
JP4164562B2 (ja) | 2002-09-11 | 2008-10-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | ホモロガス薄膜を活性層として用いる透明薄膜電界効果型トランジスタ |
WO2003040441A1 (en) | 2001-11-05 | 2003-05-15 | Japan Science And Technology Agency | Natural superlattice homologous single crystal thin film, method for preparation thereof, and device using said single crystal thin film |
JP4083486B2 (ja) | 2002-02-21 | 2008-04-30 | 独立行政法人科学技術振興機構 | LnCuO(S,Se,Te)単結晶薄膜の製造方法 |
US7049190B2 (en) | 2002-03-15 | 2006-05-23 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method for forming ZnO film, method for forming ZnO semiconductor layer, method for fabricating semiconductor device, and semiconductor device |
JP3933591B2 (ja) | 2002-03-26 | 2007-06-20 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
EP1367659B1 (en) | 2002-05-21 | 2012-09-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic field effect transistor |
US7339187B2 (en) | 2002-05-21 | 2008-03-04 | State Of Oregon Acting By And Through The Oregon State Board Of Higher Education On Behalf Of Oregon State University | Transistor structures |
JP2004022625A (ja) | 2002-06-13 | 2004-01-22 | Murata Mfg Co Ltd | 半導体デバイス及び該半導体デバイスの製造方法 |
US7105868B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-09-12 | Cermet, Inc. | High-electron mobility transistor with zinc oxide |
US7067843B2 (en) | 2002-10-11 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Transparent oxide semiconductor thin film transistors |
JP2004252047A (ja) | 2003-02-19 | 2004-09-09 | Sharp Corp | 半透過型表示装置 |
JP4166105B2 (ja) | 2003-03-06 | 2008-10-15 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004273732A (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
TWI336921B (en) | 2003-07-18 | 2011-02-01 | Semiconductor Energy Lab | Method for manufacturing semiconductor device |
US7262463B2 (en) | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
US7554121B2 (en) | 2003-12-26 | 2009-06-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Organic semiconductor device |
JP2005223048A (ja) | 2004-02-04 | 2005-08-18 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置、半導体装置の製造方法、および表示装置 |
JP4100351B2 (ja) | 2004-02-09 | 2008-06-11 | セイコーエプソン株式会社 | 薄膜トランジスタの製造方法 |
US7297977B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
KR20070116889A (ko) | 2004-03-12 | 2007-12-11 | 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 | 아몰퍼스 산화물 박막의 기상성막방법 |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
US7145174B2 (en) | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
US7298084B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
KR100889796B1 (ko) | 2004-11-10 | 2009-03-20 | 캐논 가부시끼가이샤 | 비정질 산화물을 사용한 전계 효과 트랜지스터 |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
BRPI0517568B8 (pt) | 2004-11-10 | 2022-03-03 | Canon Kk | Transistor de efeito de campo |
US7829444B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
CN101057333B (zh) | 2004-11-10 | 2011-11-16 | 佳能株式会社 | 发光器件 |
US7453065B2 (en) | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
US7791072B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
US7579224B2 (en) | 2005-01-21 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film semiconductor device |
TWI562380B (en) | 2005-01-28 | 2016-12-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Semiconductor device, electronic device, and method of manufacturing semiconductor device |
TWI569441B (zh) | 2005-01-28 | 2017-02-01 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
US7858451B2 (en) | 2005-02-03 | 2010-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7948171B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US20060197092A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
US8681077B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and display device, driving method and electronic apparatus thereof |
US7544967B2 (en) | 2005-03-28 | 2009-06-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage flexible organic/transparent transistor for selective gas sensing, photodetecting and CMOS device applications |
US7645478B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
US8300031B2 (en) | 2005-04-20 | 2012-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising transistor having gate and drain connected through a current-voltage conversion element |
JP2006344849A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7691666B2 (en) | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
KR100711890B1 (ko) | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
JP2007059128A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
JP5116225B2 (ja) | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
JP2007073705A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP4280736B2 (ja) | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
JP5078246B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-11-21 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、及び半導体装置の作製方法 |
EP3614442A3 (en) | 2005-09-29 | 2020-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufactoring method thereof |
JP5064747B2 (ja) | 2005-09-29 | 2012-10-31 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置、電気泳動表示装置、表示モジュール、電子機器、及び半導体装置の作製方法 |
CN101278403B (zh) * | 2005-10-14 | 2010-12-01 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
JP5037808B2 (ja) | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
US20070093004A1 (en) * | 2005-10-25 | 2007-04-26 | Park Sang H | Method of manufacturing thin film transistor including ZnO thin layer |
KR101397571B1 (ko) | 2005-11-15 | 2014-05-22 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체장치 및 그의 제조방법 |
TWI292281B (en) | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
JP4977478B2 (ja) | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
JP5015472B2 (ja) * | 2006-02-15 | 2012-08-29 | 財団法人高知県産業振興センター | 薄膜トランジスタ及びその製法 |
US7977169B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-07-12 | Kochi Industrial Promotion Center | Semiconductor device including active layer made of zinc oxide with controlled orientations and manufacturing method thereof |
JP5110803B2 (ja) | 2006-03-17 | 2012-12-26 | キヤノン株式会社 | 酸化物膜をチャネルに用いた電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
KR20070101595A (ko) * | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
JP5028033B2 (ja) | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4999400B2 (ja) | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4609797B2 (ja) | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4274219B2 (ja) | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
JP5164357B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
US7622371B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
US7772021B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101146574B1 (ko) * | 2006-12-05 | 2012-05-16 | 캐논 가부시끼가이샤 | 산화물 반도체를 이용한 박막 트랜지스터의 제조방법 및 표시장치 |
KR101303578B1 (ko) | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
US8207063B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
JP4420032B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2010-02-24 | ソニー株式会社 | 薄膜半導体装置の製造方法 |
JP5121254B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2013-01-16 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタおよび表示装置 |
KR100858088B1 (ko) | 2007-02-28 | 2008-09-10 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법 |
KR101353538B1 (ko) * | 2007-03-08 | 2014-01-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 투명 박막 트랜지스터의 제조 방법 |
KR100851215B1 (ko) | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
JP5244331B2 (ja) * | 2007-03-26 | 2013-07-24 | 出光興産株式会社 | 非晶質酸化物半導体薄膜、その製造方法、薄膜トランジスタの製造方法、電界効果型トランジスタ、発光装置、表示装置及びスパッタリングターゲット |
US7795613B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
WO2008133345A1 (en) | 2007-04-25 | 2008-11-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Oxynitride semiconductor |
KR101345378B1 (ko) * | 2007-05-17 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
KR100814901B1 (ko) * | 2007-05-22 | 2008-03-19 | 한국전자통신연구원 | 건식 식각 공정을 이용한 산화물 박막 트랜지스터 소자의제조방법 |
KR101345376B1 (ko) | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
JP5215158B2 (ja) | 2007-12-17 | 2013-06-19 | 富士フイルム株式会社 | 無機結晶性配向膜及びその製造方法、半導体デバイス |
TWI469354B (zh) | 2008-07-31 | 2015-01-11 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置及其製造方法 |
JP4623179B2 (ja) | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5451280B2 (ja) | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
-
2009
- 2009-11-24 KR KR1020117014995A patent/KR101472771B1/ko active IP Right Grant
- 2009-11-24 WO PCT/JP2009/070082 patent/WO2010064590A1/en active Application Filing
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- 2009-11-30 TW TW098140835A patent/TWI497715B/zh active
- 2009-11-30 JP JP2009270945A patent/JP5568288B2/ja active Active
- 2009-11-30 US US12/627,204 patent/US8318551B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007134687A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-05-31 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及びその作製方法 |
JP2008072025A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Canon Inc | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP2008130761A (ja) * | 2006-11-20 | 2008-06-05 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017195417A (ja) * | 2009-12-04 | 2017-10-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 電子機器 |
KR101824125B1 (ko) * | 2010-09-10 | 2018-02-01 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 |
JP2012084853A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-04-26 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP7439208B2 (ja) | 2010-11-11 | 2024-02-27 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | トランジスタ |
US10134766B2 (en) | 2011-01-28 | 2018-11-20 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP2016184174A (ja) * | 2011-01-28 | 2016-10-20 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2017022399A (ja) * | 2011-04-15 | 2017-01-26 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体素子 |
KR101425064B1 (ko) * | 2011-06-09 | 2014-08-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | 산화물 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
US9059296B2 (en) | 2011-06-09 | 2015-06-16 | Lg Display Co., Ltd. | Oxide thin film transistor and method of fabricating the same |
JP2012256890A (ja) * | 2011-06-09 | 2012-12-27 | Lg Display Co Ltd | 酸化物薄膜トランジスタ及びその製造方法 |
WO2013005604A1 (ja) * | 2011-07-07 | 2013-01-10 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
US9240491B2 (en) | 2011-07-07 | 2016-01-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor device and method for manufacturing same |
JP2021100127A (ja) * | 2011-09-22 | 2021-07-01 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP7038238B2 (ja) | 2011-09-22 | 2022-03-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2017228809A (ja) * | 2011-09-22 | 2017-12-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2020074471A (ja) * | 2011-09-22 | 2020-05-14 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2013102149A (ja) * | 2011-10-13 | 2013-05-23 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及び半導体装置の作製方法 |
JP2013138196A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-07-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の作製方法 |
JP7223824B2 (ja) | 2012-05-25 | 2023-02-16 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2022023900A (ja) * | 2012-05-25 | 2022-02-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2014007311A (ja) * | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP2014036189A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-24 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜トランジスタ基板 |
KR101994332B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2019-07-01 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 트랜지스터 및 이를 포함하는 표시 장치 |
KR20140055142A (ko) * | 2012-10-30 | 2014-05-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 트랜지스터 및 이를 포함하는 표시 장치 |
US10074748B2 (en) | 2012-11-30 | 2018-09-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising oxide semiconductor film |
JP2014131025A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-07-10 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
KR102248765B1 (ko) * | 2012-11-30 | 2021-05-04 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
KR20150092191A (ko) * | 2012-11-30 | 2015-08-12 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
JP2014215485A (ja) * | 2013-04-26 | 2014-11-17 | 三菱電機株式会社 | 薄膜トランジスタ基板およびその製造方法 |
JP2015004903A (ja) * | 2013-06-24 | 2015-01-08 | 三菱電機株式会社 | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP2016092058A (ja) * | 2014-10-30 | 2016-05-23 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 半導体装置 |
JP2018019088A (ja) * | 2017-09-14 | 2018-02-01 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
WO2019111635A1 (ja) * | 2017-12-05 | 2019-06-13 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 半導体素子、半導体装置、およびこれらの作製方法 |
JP2020194974A (ja) * | 2020-08-20 | 2020-12-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP7057400B2 (ja) | 2020-08-20 | 2022-04-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP7474369B2 (ja) | 2023-06-06 | 2024-04-24 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2010064590A1 (en) | 2010-06-10 |
US20100133531A1 (en) | 2010-06-03 |
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US8318551B2 (en) | 2012-11-27 |
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