JP2010034423A - 加圧加熱装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 加圧加熱装置は、被加圧加熱体50を載置するステージ8と、ステージ8に対向して配置された加圧加熱ヘッド30と、加圧加熱ヘッド30をステージ8に対して移動可能に支持する加圧駆動機構とを含む。加圧加熱ヘッド30は、複数の加圧加熱ツール38と、加圧加熱ツール38の各々を独立に収容するホルダ34と、加圧加熱ツール38の端部に接触して熱を伝える単一のヒータブロック32と、加圧加熱ツール38の各々をホルダ34に対して独立に移動可能に支持する支持体40とを含む。
【選択図】 図4
Description
(付記1)
被加圧加熱体を載置するステージと、
該ステージに対向して配置された加圧加熱ヘッドと、
該加圧加熱ヘッドを前記ステージに対して移動可能に支持する加圧駆動機構と
を有する加圧加熱装置であって、
前記加圧加熱ヘッドは、
複数の加圧加熱ツールと、
該複数の加圧加熱ツールの各々を独立に収容するホルダと、
前記複数の加圧加熱ツールの端部に接触して熱を伝える単一のヒータブロックと、
前記複数の加圧加熱ツールの各々を該ホルダに対して独立に移動可能に支持する支持体と
を含むことを特徴とする加圧加熱装置。
(付記2)
付記1記載の加圧加熱装置であって、
前記加圧加熱ツールは前記ホルダを貫通して形成された複数の収容部にそれぞれ摺動可能に収容され、該収容部内に前記支持体が前記加圧加熱ツールとともに収容されることを特徴とする加圧加熱装置。
(付記3)
付記2記載の加圧加熱装置であって、
前記支持体は、前記ヒータブロックと前記加圧加熱ツールの間に配置され前記加圧加熱ツールを弾性的に支持する弾性体であることを特徴とする加圧加熱装置。
(付記4)
付記4記載の加圧加熱装置であって、
前記弾性体は、前記ヒータブロックと前記加圧加熱ツールとの間に配置されたゴム部材であることを特徴とする加圧加熱装置。
(付記5)
付記3記載の加圧加熱装置であって、
前記弾性体は、前記ヒータブロックと前記加圧加熱ツールとの間に配置された金属コイルバネであることを特徴とする加圧加熱装置。
(付記6)
付記2乃至5のうちいずれか一項記載の加圧加熱装置であって、
前記加圧加熱ツールと前記ホルダの前記収容部の内壁との間に熱伝導オイルが供給されていることを特徴とする加圧加熱装置。
(付記7)
付記2記載の加圧加熱装置であって、
前記支持体は前記収容部に密封された液体であり、該液体を加圧することにより前記加圧加熱ツールに加圧力を加えることを特徴とする加圧加熱装置。
(付記8)
付記1乃至7のうちいずれか一項記載の加圧加熱装置であって、
前記ステージにヒータが設けられていることを特徴とする加圧加熱装置。
(付記9)
付記1乃至8のうちいずれか一項記載の加圧加熱装置であって、
前記加圧加熱ツールと前記ヒータブロックと前記ホルダとは銅により形成されることを特徴とする加圧加熱装置。
(付記10)
付記1乃至9のうちいずれか一項記載の加圧加熱装置であって、
前記ステージを上下に移動する垂直移動機構と
前記ステージ上の第1の位置と外部搬送装置上の第2の位置との間で前記被加圧加熱体を水平方向に移動する被加圧加熱体移動装置と、
をさらに有することを特徴とする加圧加熱装置。
(付記11)
付記10記載の加圧加熱装置であって、
前記被加圧加熱体移動装置は、
前記被加圧加熱体を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルを支持するアームと、
該アームを水平方向に移動する水平移動機構と
を有し、
前記水平移動機構は前記第1の位置に対して前記第2の位置と反対側に配置され、前記保持テーブルが前記第2の位置にあるときに前記アームは前記第1の位置から前記第2の位置に向かって延在することを特徴とする加圧加熱装置。
(付記12)
付記11記載の加圧加熱装置であって、
前記保持テーブルは、前記第2の位置に対向する側の一辺が開いたコの字状の部材であり、前記被加圧加熱体に係合する係合部を三辺に有することを特徴とする加熱加圧装置。
(付記13)
付記12記載の加圧加熱装置であって、
前記被加圧加熱体移動装置は、前記保持テーブルの上方に設けられて前記被加圧加熱体が前記ステージ上に載置されたときに前記ステージに押し付ける押圧部材をさらに有することを特徴とする加圧加熱装置。
(付記14)
複数の加圧加熱ツールを弾性体を介して単一のホルダに独立に支持し、
該ホルダを移動して複数の前記加圧加熱ツールを複数の被加圧加熱体のそれぞれに対して加圧すると共に、単一のヒータブロックから前記複数の加圧加熱ツールを介して熱を伝達して該被加圧加熱体を加熱する
ことを特徴とする加圧加熱方法。
(付記15)
垂直方向に移動可能なステージ上の第1の位置と外部搬送装置上の第2の位置の間で被処理体を移動するための被処理体移動装置であって、
前記被処理体を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルを支持するアームと、
該アームを水平方向に移動する水平移動機構と
を有し、
前記水平移動機構は前記第1の位置に対して前記第2の位置と反対側に配置され、前記保持テーブルが前記第2の位置にあるときに前記アームは前記第1の位置から前記第2の位置に向かって延在することを特徴とする被処理体移動装置。
(付記16)
付記15記載の被処理体移動装置であって、
前記保持テーブルは、前記第2の位置に対向する側の一辺が開いたコの字状の部材であり、前記被加圧加熱体に係合する係合部を三辺に有することを特徴とする被処理体移動装置。
(付記17)
付記16記載の被処理体移動装置であって、
前記保持テーブルの上方に設けられて前記被処理体が前記ステージ上に載置されたときに前記ステージに押し付ける押圧部材をさらに有することを特徴とする被処理体移動装置。
4 ガイドロッド
6 上側ベース
8 ステージ
10 ステージ支持板
12 ステージ駆動モータ
14 ボールねじ
16 ヘッド支持板
18 ヘッド駆動モータ
20 ボールねじ
30 加圧加熱ヘッド
32 ヒータブロック
32a 通路
34 ホルダ
36 収容部
37 伝熱性オイル
38 加圧加熱ツール
40 弾性体
42 カバー
44 コイルバネ
46 弾性体
48 ボールブッシュ
50 基板
52 半導体チップ
54 シール材
56 流体
60 基板ハンドラ
62 基板テーブル
62a 基板係合部
64 アーム
66 アーム駆動機構
68 アッパーガイド
80 搬送コンベア
82 基板リフタ
Claims (10)
- 被加圧加熱体を載置するステージと、
該ステージに対向して配置された加圧加熱ヘッドと、
該加圧加熱ヘッドを前記ステージに対して移動可能に支持する加圧駆動機構と
を有する加圧加熱装置であって、
前記加圧加熱ヘッドは、
複数の加圧加熱ツールと、
該複数の加圧加熱ツールの各々を独立に収容するホルダと、
前記複数の加圧加熱ツールの端部に接触して熱を伝える単一のヒータブロックと、
前記複数の加圧加熱ツールの各々を該ホルダに対して独立に移動可能に支持する支持体と
を含むことを特徴とする加圧加熱装置。 - 請求項1記載の加圧加熱装置であって、
前記加圧加熱ツールは前記ホルダを貫通して形成された複数の収容部にそれぞれ摺動可能に収容され、該収容部内に前記支持体が前記加圧加熱ツールとともに収容されることを特徴とする加圧加熱装置。 - 請求項2記載の加圧加熱装置であって、
前記支持体は、前記ヒータブロックと前記加圧加熱ツールの間に配置され前記加圧加熱ツールを弾性的に支持する弾性体であることを特徴とする加圧加熱装置。 - 請求項3記載の加圧加熱装置であって、
前記弾性体は、前記ヒータブロックと前記加圧加熱ツールとの間に配置されたゴム部材であることを特徴とする加圧加熱装置。 - 請求項3記載の加圧加熱装置であって、
前記弾性体は、前記ヒータブロックと前記加圧加熱ツールとの間に配置された金属コイルバネであることを特徴とする加圧加熱装置。 - 請求項2乃至5のうちいずれか一項記載の加圧加熱装置であって、
前記加圧加熱ツールと前記ホルダの前記収容部の内壁との間に熱伝導オイルが供給されていることを特徴とする加圧加熱装置。 - 請求項2記載の加圧加熱装置であって、
前記支持体は前記収容部に密封された液体であり、該液体を加圧することにより前記加圧加熱ツールに加圧力を加えることを特徴とする加圧加熱装置。 - 請求項1乃至7のうちいずれか一項記載の加圧加熱装置であって、
前記ステージにヒータが設けられていることを特徴とする加圧加熱装置。 - 請求項1乃至8のうちいずれか一項記載の加圧加熱装置であって、
前記加圧加熱ツールと前記ヒータブロックと前記ホルダとは銅により形成されることを特徴とする加圧加熱装置。 - 複数の加圧加熱ツールを弾性体を介して単一のホルダに独立に支持し、
該ホルダを移動して複数の前記加圧加熱ツールを複数の被加圧加熱体のそれぞれに対して加圧すると共に、単一のヒータブロックから前記複数の加圧加熱ツールを介して熱を伝達して該被加圧加熱体を加熱する
ことを特徴とする加圧加熱方法。
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