JP2007294607A - 押圧ヘッド及び押圧装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】高さの異なる電気部品を押圧可能な押圧ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明の押圧ヘッド１０は変形部材２０と複数の押圧棒２２とを有しており、押圧棒２２は変形部材２０上に立設されている。押圧棒２２の先端が電気部品４０に接触すると変形部材２０が圧縮され、押圧棒２２が移動するので、押圧ヘッド１０を移動させて変形部材２０の圧縮量が大きくなれば、厚みの薄い電気部品４５にも押圧棒２２の先端が接触し、押圧される。押圧棒２２は横方向には移動しないので、電気部品４０、４５の位置ずれが起こらず、電気部品４０，４５と基板３０の接続信頼性が高い。
【選択図】図５

Description

本発明は押圧ヘッドと、それを用いた押圧装置に関する。
従来より、電気部品と基板との接続には接着剤が広く用いられており、電気部品を基板するために、電気部品を押圧する押圧ヘッドが用いられる。
押圧ヘッドは、通常金属やセラミック等の硬質ヘッドが用いられているが、高さの異なる電気部品を同じ基板に接続する場合には、一度の押圧で電気部品の接続を行えないので、その場合はエラストマー等の押圧ゴムを有する弾性体ヘッドを用いる。
図１０の符号１０１は弾性体ヘッド１１０を有する押圧装置を示しており、弾性体ヘッド１１０は、金属製のヘッド本体１１１と、ヘッド本体１１１に取り付けられた押圧ゴム１２０とを有している。
弾性体ヘッド１１０は硬質ヘッドを用いた場合とは異なり、押圧ゴム１２０が圧縮変形可能なので、高さの異なる電気部品１４０、１４５を一度に押圧して基板１３０に接続することが可能である。また、ＩＣチップのような電気部品１４０を実装する場合には、電気部品１４０を取り囲む接着剤層１３５（フィレット部分）に混入する気泡（ボイド）の存在が問題になるが、弾性体ヘッド１１０は電気部品１４０だけでなくその周囲の接着剤層１３５にも押し当てられるため、フィレット部分にボイドが発生し難いという利点もある。
しかしながら、弾性体ヘッド１１０を用いて実装する場合、高さの異なる電気部品１４０、１４５に対して押圧ゴム１２０が変形して追従するため、押圧ゴム１２０に横方向に歪みが生じ、電気部品１４０、１４５の位置ずれが起こるという問題があった。
特開２００２−３５９２６４号公報 特開２００５−３２９５２号公報
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は位置ずれを起こさずに電気部品を接続可能な押圧ヘッドを提供することである。
上記課題を解決するために本発明は、接着対象物を被接着対象物に向かって押圧する押圧ヘッドであって、押圧力で変形し、変形状態では復元力を発現する変形部材と、前記変形部材上にそれぞれ立設され、先端で前記接着対象物を押圧する複数本の押圧棒とを有する押圧ヘッドである。
本発明は、変形された前記変形部材上で、前記押圧棒が立設された状態を維持する保持部材を有する押圧ヘッドである。
本発明は、前記保持部材は、リング状の枠体を有し、前記各押圧棒は前記枠体のリングの内側に配置され、前記各押圧棒は前記枠体に対して相対的に移動可能にされた押圧ヘッドである。
本発明は、前記保持部材は複数の筒状体を有する押圧ヘッドである。
本発明は、前記変形部材はエラストマーで構成された押圧ゴムを有し、前記各押圧棒は前記エラストマー上に立設された押圧ヘッドである。
本発明は、前記変形部材は複数個のバネを有し、前記各押圧棒は前記バネ上に立設された押圧ヘッドである。
本発明は、請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の押圧ヘッドと、載置台と、前記押圧ヘッドを前記載置台に向かって移動させる移動手段とを有する押圧装置である。
高さの異なる電気部品を、位置ずれを起こさずに一度に基板に接続可能である。電気部品を基板に押圧する時には、フィレット部も押圧可能なので、フィレット部にボイドが発生しない。従って、本発明の押圧ヘッド及び押圧装置を用いれば、接続信頼性の高い電気装置が得られる。
図１の符号１は本発明の押圧ヘッド１０を示しており、押圧ヘッド１０は台座部１２と、保持部材１１と、複数本の押圧棒２２とを有している。保持部材１１はリング状の枠体１６と、格子状の仕切部材１７とを有している（図２）。
台座部１２は板状であって、枠体１６は台座部１２上で台座部１２の中心を含む領域を取り囲むように配置されており、変形部材２０は台座部１２上の枠体１６で囲まれた領域に配置されている。
仕切部材１７は変形部材２０上で枠体１６に取り付けられており、変形部材２０上の空間を複数に分割している。
仕切部材１７の格子は、縦方向に伸びる格子子（こうしこ）と横方向に伸びる格子子とで構成されており、仕切部材１７で分割された分割空間１８は行列状に並んでいる。縦方向に伸びる格子子の間隔は略等しく、横方向に伸びる格子子の間隔も略等しくされており、各分割空間１８の大きさは略等しくなっている。
分割空間１８内部には、上述の押圧棒２２が１本乃至複数本ずつ配置されている。各押圧棒２２は、下端が変形部材２０上に取り付けられ、上端が同一方向に向けられている。ここでは、変形部材２０は表面は平坦であり、各押圧棒２２はその表面と垂直に立設されている。台座部１２の表面と、変形部材２０の表面と平行であり、従って、各押圧棒２２は台座部１２の表面とも垂直になっている。
ここでは、各分割空間１８に配置された押圧棒２２は１本であり、各押圧棒２２は同じ太さである。分割空間１８の開口の大きさは、押圧棒２２の断面積と等しいかわずかに大きく、従って、各押圧棒２２の側面は仕切部材１７の側面と接触しているか、又は後述するような横方向からの力が加わり、押圧棒２２が傾斜しようとしたときには、押圧棒２２の側面が仕切部材１７の側面に接触する。仕切部材１７は枠体１６に固定されており、押圧棒２２が接触して横方向の力が加わっても仕切部材１７は移動しないから、押圧棒２２は変形部材２０上で立設した状態が維持される。
押圧棒２２と仕切部材１７が接触した場合の摩擦係数は小さく、押圧棒２２は仕切部材１７と接触した場合であっても軸線方向に移動可能になっている。従って、押圧棒２２は仕切部材１７と枠体１６に対して相対的に移動可能になっている。
各押圧棒２２の長さは仕切部材１７の厚みよりも長く、各押圧棒２２の先端は仕切部材１７から突き出され、後述するように、押圧対象物を押圧ヘッド１０で押圧する時には、押圧棒２２の先端が押圧対象物に接触できるように構成されている。
ここでは、各押圧棒２２の長さはそれぞれ等しくされており、各押圧棒２２の先端が同一平面内に位置するので、後述するように、厚みの異なる電気部品を有する押圧対象物に押圧ヘッド１０を押し当てる場合、先ず、一番厚い電気部品に押圧棒２２の先端が接触し、その電気部品に接触した押圧棒２２だけが押圧される。
各押圧棒２２は金属やセラミック等押圧力によって弾性変形しない非弾性材料で構成され、変形部材２０はエラストマー等の弾性材料で構成された押圧ゴムであり、変形部材２０は押圧力によって弾性変形可能である。
押圧棒２２同士は互いに分離され、各押圧棒２２はその軸線方向に沿って個別に移動可能に構成されており、変形部材２０のうち、押圧された押圧棒２２が位置する部分が押圧されて圧縮される。
変形部材２０は押圧力によって弾性変形可能だから、押圧ヘッド１０は押圧対象物に対して更に移動可能であり、押圧ヘッド１０を押圧対象物に向かって更に移動させると、圧縮した変形部材２０は更に圧縮され、厚みの薄い電気部品にも押圧棒２２が接触し、結局、厚みの異なる電気部品全てに押圧棒２２の先端が接触する。その状態で更に押圧ヘッド１０を押圧対象物に向かって移動させると、全ての電気部品に接触する押圧棒２２が押圧される。
上述したように、押圧棒２２が押圧されると、変形部材２０の押圧棒２２が位置する部分は圧縮されるが、変形部材２０が圧縮される時には復元力が発生し、押圧棒２２が押し返される。従って、各電気部品は復元力によって押圧される。
電気部品の厚みが異なり、押圧対象物の表面には段差がある場合、その段差の角部分に押圧棒２２の先端が接触すると、横方向の力が発生するように押圧棒２２の先端がずれるが、上述したように押圧棒２２は仕切部材１７によって倒れず、立設した状態が維持される。
図３の符号１は、上述した押圧ヘッド１０を有する本発明の押圧装置を示しており、この押圧装置１は押圧ヘッド１０の他に、載置台２５と、移動手段２８とを有している。
図３の符号２６は載置台２５の押圧対象物が配置される載置面を示しており、押圧ヘッド２０は押圧棒２２の先端を載置面２６に向け、押圧棒２２の先端が位置する平面が載置面２６と平行になるように移動手段２８に取り付けられている。従って、各押圧棒２２の先端から載置面２６までの距離は略等しくなっている。
移動手段２８は、載置面２６に対して略垂直な方向に押圧ヘッド１０を移動させるように構成されており、押圧ヘッド１０が移動する時も、各押圧棒２２の先端と載置面２６との間の距離は略等しいまま維持される。
この押圧装置１を用いて、厚みの異なる電気部品を基板に接続する工程について説明する。
図４の符号５は押圧対象物を示しており、押圧対象物５は被接着対象物である基板３０と、接着対象物である電気部品とを有している。ここでは、押圧対象物５は厚みの異なる電気部品を有し、図４の符号４０は厚い電気部品４０を示し、同図の符号４５は該電気部品４０よりも厚みの薄い電気部品４５を示している。
基板３０は基板本体３１を有しており、基板本体３１の表面には配線膜が引き回され、配線膜の一部で接続部３２が構成されている。
基板３０の接続部３２が配置された側の表面にはペースト状の接着剤が塗布されるか、フィルム状の接着剤が貼付されて接着剤層３５が形成されており、厚い電気部品４０と、薄い電気部品４５は基板３０上の決められた場所に配置され、電気部品４０、４５の接続端子４２、４７は接着剤層３５を挟んで決められた接続部３２上に乗せられている。
接着剤層３５は電気部品４０、４５よりも大きく形成され、一部が電気部品４０、４５からはみ出し、電気部品４０、４５間に露出している。また、電気部品４０、４５から接着剤層３５がはみ出さない場合であっても、後述する押圧の時には接着剤層３５が押圧されて電気部品４０、４５の外周から一部がはみ出る。
この押圧対象物５を、電気部品４０、４５が配置された側の面を押圧ヘッド１０に向けて載置面２６に乗せ、後述する押圧時に押圧棒２２の間に接着剤層３５が入り込まないように、押圧対象物５の上に接着剤層３５に対して接着性の低い保護フィルム３９を配置する（図５（ａ））。
上述したように、電気部品４０、４５の厚みは異なるから押圧対象物５の表面には段差が形成されている。
保護フィルム３９は樹脂フィルムのような可撓性フィルムで構成されており、保護フィルム３９は押圧対象物５の表面の形状に沿って変形するから、保護フィルム３９の表面にも押圧対象物５の段差に伴なった段差が形成される。
上述したように、押圧ヘッド１０は各押圧棒２２の先端と載置面２６との間の距離が略等しいまま移動するから、移動手段２８によって押圧ヘッド１０を載置面２６に近づけると、厚い電気部品４０上で保護フィルム３９に押圧棒２２の先端が接触し、次いで薄い電気部品４５上で保護フィルム３９に押圧棒２２の先端が接触する（図５（ｂ））。
変形部材２０は、最も厚い電気部品４０と、最も薄い電気部品４５の厚みの差以上変形可能な厚さにされており、従って、全ての電気部品４０、４５が保護フィルム３９を介して押圧棒２２で押圧される。
ここでは、変形部材２０が変形可能な量は最も厚い電気部品４０の厚さよりも大きくされている。従って、押圧ヘッド１０を更に載置面２６に近づけると、押圧棒２２は電気部品４０、４５だけでなく、接着剤層３５の電気部品４０、４５を取り囲む部分（フィレット部分）にも押圧される。
変形部材２０が変形する前は、全ての押圧棒２２の先端が枠体１６よりも突き出されているが、全ての押圧棒２２が押圧対象物５や載置台２５に押し当てられて押圧され、軸線方向に移動すると、枠体１６の先端が押圧対象物５や載置台２５に接触する。
ここでは、枠体１６の先端は基板３０の電気部品４０、４５が配置された領域よりも外側に接触するようになっており、必要以上の荷重で電気部品４０、４５が破損されるのを防ぐために、枠体１６の先端が接触したところで押圧ヘッド１０の移動を停止する（図６（ｃ））。
このとき、厚い電気部品４０も薄い電気部品４５にも押圧棒２２の先端が接触して変形部材２０が圧縮しており、厚い電気部品４０も薄い電気部品４５も全て復元力で押圧される。
電気部品４０、４５が押圧されると、電気部品４０、４５と基板３０の間から接着剤層３５が押し退けられ、接続端子４２、４７が接続部３２上に直接、又は後述する導電性粒子を介して接触し、電気部品４０、４５が基板３０に電気的に接続される。このとき、上述したフィレット部にも押圧棒２２が接触しており、フィレット部は変形部材２０の復元力で押圧されるため、フィレット部には空気が入り込まず、ボイドが発生しない。
尚、押圧の際に接着剤層３５を昇温させれば、接着剤層３５の流動性が高くなるので、小さい押圧力で電気部品４０、４５が基板３０に電気的に接続される。
電気部品４０、４５を押圧する時には押圧棒２２の先端は電気部品４０，４５以外の部分にも押し当てられるため、特に接着剤層３５の流動性が高くされていると、押圧棒２２の間に接着剤層３５が入り込みやすいが、上述したように押圧対象物５上には保護フィルム３９が配置されているので、押圧棒２２は接着剤層３５に直接接触せず、押圧棒２２の間に接着剤層３５が入り込まない。
押圧ヘッド１０と載置台２５に加熱手段１９、２９が設けられている。加熱手段１９、２９は予め通電され、載置台２５と押圧ヘッド１０は昇温しており、熱伝導によって押圧対象物５が加熱される。
接着剤層３５は熱硬化性樹脂を含有し、加熱によって硬化する熱硬化性接着剤か、熱可塑性樹脂を含有し、加熱によって接着性を発現する熱可塑性接着剤で構成されている。
接着剤層３５が熱硬化性接着剤で構成される場合は接着剤層３５が熱硬化性樹脂の熱重合温度以上に昇温すると接着剤が硬化し、硬化した接着剤層３５で電気部品４０、４５が基板３０に固定される。
また、接着剤層３５が熱可塑性接着剤で構成される場合は接着剤層３５によって電気部品４０、４５と基板３０が接着され、加熱終了後接着剤層３５が冷却固化すると電気部品４０、４５が固化した接着剤層３５によって基板３０に固定される。従って、電気部品４０、４５が硬化又は固化した接着剤層３５によって機械的に接続される。
押圧ヘッド１０を押圧対象物５から遠ざかるように移動させ、押圧棒２２の先端を押圧対象物５から離し、保護フィルム３９を押圧対象物５上から取り除くと、図７に示すような電気装置２が得られる。この電気装置２は基板３０に電気部品４０、４５が電気的に接続されているだけでなく、硬化又は固化した接着剤層３５によって機械的にも接続されている。上述したように、押圧の際に電気部品４０、４５の位置ずれが起こらず、またフィレット部にボイドが発生していないので、この電気装置２の接続信頼性は高い。
以上は、保持部材１１が枠体１６と仕切部材１７とを有し、押圧棒２２が仕切部材１７で分割された分割空間１８に配置される場合について説明したが本発明はこれに限定されるものではない。
押圧棒２２同士の間隔を、押圧棒２２が傾斜しようとしたときに隣接する押圧棒２２と接触するように狭くし、押圧棒２２の束と枠体１６との間の距離を、束の最外周の押圧棒２２が傾斜しようとしたときに枠体１６と接触するように狭くすれば、押圧棒２２は互いに隣接する押圧棒２２又は枠体１６に支えられて倒れないので、仕切部材１７が無くても押圧棒２２の立設状態が維持される。
以上は変形部材２０が押圧ゴムである場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
図８の符号５５は変形部材の他の例を示しており、この変形部材５５は複数のバネ５６を有している。
保持部材５７は複数の筒状体５８を有しており、各筒状体５８は台座部１２表面に立設され、各バネ５６は筒状体５８の内部で下端が台座部１２に固定されている。
筒状体５８の長さはバネ５６の長さよりも長く、筒状体５８の上端がバネ５６の上部空間を取り囲んでいる。その上部空間には押圧棒２２が１本ずつ挿入され、押圧棒２２の下端がバネ５６に取り付けられている。従って、各押圧棒２２は筒状体５８の内部でバネ５６上に立設されている。
筒状体５８のバネ５６の上部空間を取り囲む部分の長さは、押圧棒２２の長さよりも短く、押圧棒２２の先端は筒状体５８から突き出され、押圧対象物５に接触可能になっており、押圧棒２２の先端に押圧対象物５が接触して押圧されると、該押圧棒２２が取り付けられたバネ５６が縮んで押圧部２２が軸線方向に台座部１２に向かって移動するとと共に、縮んだバネ５６が押圧棒２２に復元力を与える。
この保持部材５７では、各筒状体５８が押圧棒２２の一部を取り囲んでいる。筒状体５８の内部空間の断面積は、押圧棒２２の断面積と等しいかわずかに大きく、押圧棒２２に横方向に力が加わり、押圧棒２２が傾斜しようとした時には、押圧棒２２の側面は筒状体５８の内壁面に接触し、押圧棒２２が倒れないようになっている。
ここでは、筒状体５８は台座部１２に固定されており、押圧棒２２は筒状体５８に接触しても軸線方向に移動可能にされているから、押圧棒２２は筒状体５８に対して相対的に移動可能になっている。
以上は、変形部材５５をバネ５６で構成し、かつ保持部材５７を筒状体５８で構成する場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、変形部材５５を複数の押圧ゴムで構成し、保持部材５７を複数の筒状体５８で構成して、１つの筒状体５８内部に１つ又は２つ以上の押圧ゴムを配置してもよい。
また、変形部材５５をバネ５６で構成する場合に、枠体１６を有する、又は、枠体１６と仕切部材１７の両方を有する保持部材５７で保持部材１１を構成してもよい。更に、押圧棒２２が倒れる恐れが無い場合には、変形部材２０、５５が押圧ゴムとバネのいずれの場合も保持部材を設けなくてもよい。
以上は、保護フィルム３９を介して押圧対象物５に押圧棒２２を接触させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、接着剤層３５の流動性が低く、押圧棒２２間に接着剤が入り込む恐れの無い場合には、押圧対象物５に直接押圧棒２２の先端を接触させてもよい。
押圧棒２２は、例えば、軸線と垂直な方向に切断した時の断面形状が正方形又は長方形であり、一辺の長さは５０μｍ以上１００μ以下であるが、本発明は特にこれに限定されるものでなく、断面形状が円状や楕円形状のものを用いることもできる。
また、図９に示したように、押圧棒２２の先端をエラストマー等の弾性材料からなる保護カバー２３で覆い、押圧棒２２で押圧対象物５を押圧する時には、その保護カバー２３を介して押圧対象物５を押圧してもよい。
接着剤に用いる熱硬化性樹脂と熱可塑性樹脂の種類は特に限定されないが、熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂等を１種類以上用いることができ、熱可塑性樹脂としては例えばフェノキシ樹脂、ポリビニルアルコール等を１種類以上用いることができる。
また、熱硬化性接着剤に熱可塑性樹脂を添加させて、接着性を向上させたものを使用することもできる。
また上記接着剤に導電性粒子が添加された異方導電性接着剤（ＡＣＦ、ＡＣＰ）を使用することもできるし、導電性粒子が添加されていないもの（ＮＣＦ、ＮＣＰ）を使用することもできる。
加熱手段１９、２９は載置台２５と押圧ヘッド１０のいずれか一方だけに設けてもよい。また、載置台２５と押圧ヘッド１０のいずれにも加熱手段を設けず、外部に配置された加熱手段から赤外線を照射して接着剤層３５を加熱してもよい。
変形部材２０は全ての電気部品４０、４５が押圧棒２２で押圧されるように変形可能であればよい。例えば変形部材２０が押圧ゴムを有する場合、その押圧ゴムの厚みは、最も厚い電気部品４０の厚みの１０倍以上２５倍以下であれば、全ての電気部品４０、４５を押圧可能である。その一例を述べると、最も厚い電気部品（ＩＣチップ）４０の厚さが０．４ｍｍの時に、シリコーンゴムからなる押圧ゴムの厚さは１０ｍｍである。
押圧ゴムを構成する弾性材料は特に限定されないが、一例を述べるとゴム硬度（ＪＩＳ Ｓ ６０５０に準拠）が４０、８０のエラストマーが使用可能であった。尚、ゴム硬度がそれぞれ４０、６０、８０のエラストマーについて、測定温度３０℃〜２４０℃の範囲で３０℃毎にゴム硬度を測定したところ、ゴム硬度の変化は±２であった。この値は測定誤差範囲と言えるので、ゴム硬度は温度変化による影響を受けない値であることがわかった。
押圧ゴムに用いるエラストマーとしては、天然ゴム、合成ゴムのいずれも用いることができるが、耐熱性、耐圧性の観点からはシリコーンゴムを用いることが好ましい。
保護フィルム３９は接着剤層３５を構成する接着剤に対して接着性が低いものであれば特に限定されず、例えば、テフロン（登録商標である）のようなフッ素樹脂フィルム、ポリテトラフルオロエチレンをフィルム状に成形したもの、シリコーンゴムをフィルム状に成形したものを用いることができる。
また、押圧棒２２の先端が押圧対象物５と接触可能であれば、押圧棒２２の先端は枠体１６の先端から突き出なくてもよく、押圧棒２２の先端は枠体１６の先端と面一であってもよいし、押圧棒２２の先端が枠体１６で囲まれた空間内部に位置してもよい。
枠体１６の形状もリング状に限定されず、押圧棒２２の傾斜を防止できるのであればリングに切り込みが１つ以上形成されていてもよい。
基板３０の種類は特に限定されず、ガラス基板やガラスエポキシ基板のようなリジッド基板、フレキシブル配線板等種々のものを用いることができる。電気部品４０、４５の種類も特に限定されず、ＩＣチップ、抵抗素子、コンデンサ等種々のものを用いることができる。また、基板同士の接続に本願の押圧ヘッドを用いることもできる。
本発明の押圧ヘッドの一例の断面図 本発明の押圧ヘッドの一例の平面図 本発明の押圧装置を示す断面図 押圧対象物を示す断面図 （ａ）、（ｂ）：電気部品を基板に接続する工程の前半 （ｃ）：電気部品を基板に接続する工程の後半 本発明の押圧装置を用いて製造された電気装置の一例を示す断面図 本発明の押圧ヘッドの他の例の断面図 押圧棒の先端を示す側面図 従来技術の押圧ヘッドを説明する断面図
符号の説明
１……押圧装置 ５……押圧対象物 １０……押圧ヘッド １１、５７……保持部材 １６……枠体 ２０、５５……変形部材 ２２……押圧棒 ２５……載置台 ３０……基板（被接着対象物） ４０、４５……電気部品（接着対象物） ５６……バネ ５８……筒状体

Claims (7)

  1. 接着対象物を被接着対象物に向かって押圧する押圧ヘッドであって、
    押圧力で変形し、変形状態では復元力を発現する変形部材と、
    前記変形部材上にそれぞれ立設され、先端で前記接着対象物を押圧する複数本の押圧棒とを有する押圧ヘッド。
  2. 変形された前記変形部材上で、前記押圧棒が立設された状態を維持する保持部材を有する請求項１記載の押圧ヘッド。
  3. 前記保持部材は、リング状の枠体を有し、
    前記各押圧棒は前記枠体のリングの内側に配置され、
    前記各押圧棒は前記枠体に対して相対的に移動可能にされた請求項２記載の押圧ヘッド。
  4. 前記保持部材は複数の筒状体を有する請求項２又は請求項３のいずれか１項記載の押圧ヘッド。
  5. 前記変形部材はエラストマーで構成された押圧ゴムを有し、
    前記各押圧棒は前記エラストマー上に立設された請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の押圧ヘッド。
  6. 前記変形部材は複数個のバネを有し、
    前記各押圧棒は前記バネ上に立設された請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の押圧ヘッド。
  7. 請求項１乃至請求項６のいずれか１項記載の押圧ヘッドと、載置台と、前記押圧ヘッドを前記載置台に向かって移動させる移動手段とを有する押圧装置。
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