JP5892685B2 - 圧着装置および圧着方法 - Google Patents
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- Wire Bonding (AREA)
Description
27 上クランパ部
28 下クランパ部
32 冷却部
33 加熱部
36 支持ブロック
37 支持ロッド
W ワーク
Claims (8)
- 積層された複数の部材を含むワークをクランプして、各部材を圧着する圧着装置であって、
前記ワークを挟み込んでクランプする上クランパ部および下クランパ部が対向して設けられ、
前記上クランパ部は、冷却部および加熱部を有し、前記上クランパ部のクランプ面に押し当てられた前記ワークを加熱するように前記冷却部および前記加熱部で温度調節を行い、
前記下クランパ部は、支持ブロックおよび当該支持ブロックから起立して均等な間隔で平面配置された複数の支持ロッドを有して、前記複数の支持ロッドの先端で前記ワークをフローティング支持したまま前記上クランパ部の前記クランプ面に押し当てることを特徴とする圧着装置。 - 請求項1記載の圧着装置において、
前記冷却部は、前記上クランパ部のクランプ面と平行に延設され、内部を冷媒が循環する冷却管路を有していることを特徴とする圧着装置。 - 請求項1または2記載の圧着装置において、
前記上クランパ部に対して前記下クランパ部を昇降させる押動部と、
前記下クランパ部と前記押動部との間に設けられ、前記下クランパ部のクランプ面の平面度を調節するレベリング部と、
前記下クランパ部および前記レベリング部が挿入される摺動孔が形成されたガイド部とを備え、
前記レベリング部は、前記摺動孔の内壁面に当接して挿入され、前記支持ブロックを載置する載置ブロックと、当該載置ブロックと対向する前記摺動孔の内壁面との間に設けられたスプリング部とを具備し、
前記レベリング部が前記スプリング部により前記摺動孔の内壁面に対して前記載置ブロックを押し付けて位置決めしたまま、前記ガイド部が前記載置ブロック上に前記支持ブロックが設けられた前記下クランパ部の昇降をガイドすることを特徴とする圧着装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の圧着装置において、
対向して設けられ、前記上クランパ部および前記下クランパ部のそれぞれを内包する上シール部および下シール部と、
前記上シール部および下シール部が当接して形成した密閉空間内の圧力を調節する圧力調節部とを備え、
前記圧力調節部は、前記密閉空間に接続される圧縮機または減圧機の少なくともいずれか一方を有することを特徴とする圧着装置。 - 積層された複数の部材を含むワークを、対向して設けられた上クランパ部および下クランパ部で挟み込んでクランプして、各部材を圧着する圧着方法であって、
(a)前記上クランパ部および下クランパ部の間に前記ワークを搬送し、前記下クランパ部が有する均等な間隔で平面配置された複数の支持ロッドの先端で前記ワークをフローティング支持する工程と、
(b)前記上クランパ部が有する冷却部および加熱部を用いて、前記ワークをクランプしながら所定の温度範囲内で加熱し続ける工程とを含み、
前記(b)工程では、前記加熱部をオン動作させながら、前記上クランパ部のクランプ面側に前記加熱部より近くに設けられた前記冷却部のオン動作およびオフ動作を繰り返すことを特徴とする圧着方法。 - 請求項5記載の圧着方法において、
前記(b)工程では、前記上クランパ部のクランプ面と平行に延設し、内部を冷媒が循環する冷却管路を有する前記冷却部がオフ動作のときに前記冷媒の流動を停止し、前記冷却管路を介してクランプされた前記ワークを前記加熱部により加熱することを特徴とする圧着方法。 - 請求項5または6記載の圧着方法において、
前記(b)工程は、摺動孔内で昇降可能な前記下クランパ部を前記上クランパ部側に上昇させて、前記上クランパ部および前記下クランパ部で前記ワークを挟み込んでクランプする工程を含み、
前記摺動孔の対向する内壁面の一方側に接して摺動するスプリング部により、他方側に接して摺動する載置ブロックを押し付けながら、前記載置ブロック上に設けられた前記下クランパ部を上昇させることを特徴とする圧着方法。 - 請求項5、6または7記載の圧着方法において、
前記(a)工程後(b)工程前に、対向して設けられ、前記上クランパ部および前記下クランパ部のそれぞれを内包する上シール部および下シール部を当接させて密閉空間を形成し、前記密閉空間に対して圧縮または減圧の少なくともいずれか一方の処理を行う工程を含むことを特徴とする圧着方法。
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