JP6453081B2 - 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Description
先ず、本実施の形態に係る接合システムの構成について説明する。図1は、接合システム1の構成の概略を示す平面図である。図2は、接合システム1の内部構成の概略を示す側面図である。なお、以下においては、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
次に、上述した接合装置30の構成について説明する。図5は、接合装置30の構成の概略を示す縦断面図である。図6は、接合装置30の構成の概略を示す平面図である。
次に、以上のように構成された接合システム1を用いて行われるウェハWと複数のチップCの接合処理方法について説明する。図14は、かかる接合処理の主な工程の例を示すフローチャートである。図15は、接合処理の各工程における加熱機構151(載置台150)の温度、ウェハWの温度、及び処理チャンバ100の内部の圧力を示す説明図である。
以上の実施の形態では、接合装置30において、シール材103は上部チャンバ101の下面に設けられていたが、下部チャンバ102の上面に設けられていてもよい。
2 搬入出ステーション
3 処理ステーション
30 接合装置
31 温度調節装置
32 位置調節装置
33 トランジション装置
41 ウェハ搬送装置
50 制御部
100 処理チャンバ
101 上部チャンバ
102 下部チャンバ
103 シール材
105 基端部
106 壁部
107 中空部
108 開口部
110 上部チャンバベース
120 下部チャンバベース
121a〜121c 位置決めピン
123 貫通孔
150 載置台
151 加熱機構
154 載置台ベース
156a〜156c 位置決め孔
160 昇降ピン
164 シール材
165 基端部
166 壁部
167 中空部
168 開口部
170 ガス供給機構
C チップ
F フィルム
W ウェハ
Claims (13)
- 基板上に配置された複数のチップを当該基板と接合する接合装置であって、
第1のチャンバと第2のチャンバを備え、当該第1のチャンバと第2のチャンバで密閉空間を形成する処理チャンバと、
前記第1のチャンバと前記第2のチャンバの間に環状に設けられたシール材と、
前記処理チャンバの内部に設けられ、基板を載置する載置台と、
前記載置台に設けられ、基板を加熱する加熱機構と、
前記処理チャンバの内部に加圧ガスを供給するガス供給機構と、を有し、
前記シール材は、当該シール材が前記第1のチャンバ及び前記第2のチャンバに接触し、且つ前記第1のチャンバと前記第2のチャンバ同士が接触しないように設けられており、
前記第2のチャンバは前記第1のチャンバの下方に設けられ、且つ前記第2のチャンバの下面は開口して、当該第2のチャンバの下方に設けられたチャンバベースによって支持され、
前記載置台は、当該載置台の下方に設けられた載置台ベースに支持され、
前記載置台ベースは、前記チャンバベース上に固定されずに載置されており、
前記チャンバベース上には、複数の位置決めピンが設けられ、
前記載置台ベースには、前記位置決めピンに対応する位置に、当該位置決めピンより径の大きい位置決め孔が複数形成されていることを特徴とする、接合装置。 - 前記第1のチャンバは前記第2のチャンバの上方に設けられ、
前記シール材は、前記第1のチャンバの下面と前記第2のチャンバの上面の間に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の接合装置。 - 前記シール材は、内部が中空の構造を有し、且つ前記処理チャンバの内部側の側面が開口していることを特徴とする、請求項1又は2に記載の接合装置。
- 前記チャンバベースに形成された貫通孔を挿通して設けられ、前記載置台に対して基板を支持して昇降させる複数の昇降ピンをさらに有し、
前記昇降ピンの外周面と前記貫通孔の間には、環状の他のシール材が設けられていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の接合装置。 - 前記他のシール材は、内部が中空の構造を有し、且つ前記チャンバベースの上面側の側面が開口していることを特徴とする、請求項4に記載の接合装置。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の接合装置を備えた接合システムであって、
前記接合装置と、前記接合装置で複数のチップが接合された基板の温度を調節する温度調節装置とを備えた処理ステーションと、
基板を複数保有可能で、且つ前記処理ステーションに対して基板を搬入出する搬入出ステーションと、を有することを特徴とする、接合システム。 - 基板上に配置された複数のチップを当該基板と接合する接合方法であって、
第1のチャンバと第2のチャンバを備える処理チャンバの内部に基板を搬入し、前記第1のチャンバと前記第2のチャンバを閉じて前記処理チャンバの内部を密閉する第1の工程と、
加熱機構によって所定の温度に加熱された載置台に基板を載置する第2の工程と、
ガス供給機構から前記処理チャンバの内部に加圧ガスを供給し、当該処理チャンバの内部を所定の圧力に加圧して、基板と複数のチップを接合する第3の工程と、を有し、
前記第1のチャンバと前記第2のチャンバの間には環状のシール材が設けられ、
前記第1の工程、前記第2の工程及び前記第3の工程において、前記シール材が前記第1のチャンバ及び前記第2のチャンバに接触し、且つ前記第1のチャンバと前記第2のチャンバ同士が接触しないように、前記処理チャンバの内部を密閉し、
前記第2のチャンバは前記第1のチャンバの下方に設けられ、且つ前記第2のチャンバの下面は開口して、当該第2のチャンバの下方に設けられたチャンバベースによって支持され、
前記載置台は、当該載置台の下方に設けられた載置台ベースに支持され、
前記載置台ベースは、前記チャンバベース上に固定されずに載置されており、
前記チャンバベース上には、複数の位置決めピンが設けられ、
前記載置台ベースには、前記位置決めピンに対応する位置に、当該位置決めピンより径の大きい位置決め孔が複数形成されていることを特徴とする、接合方法。 - 前記第1のチャンバは前記第2のチャンバの上方に設けられ、
前記シール材は、前記第1のチャンバの下面と前記第2のチャンバの上面の間に設けられていることを特徴とする、請求項7に記載の接合方法。 - 前記シール材は、内部が中空の構造を有し、且つ前記処理チャンバの内部側の側面が開口し、
前記第3の工程において、前記シール材の内部には加圧ガスが充填されることを特徴とする、請求項7又は8に記載の接合方法。 - 前記載置台に対して基板を支持して昇降させる複数の昇降ピンが、前記チャンバベースに形成された貫通孔を挿通して設けられ、
前記昇降ピンの外周面と前記貫通孔の間には、環状の他のシール材が設けられていることを特徴とする、請求項7〜9のいずれか一項に記載の接合方法。 - 前記他のシール材は、内部が中空の構造を有し、且つ前記チャンバベースの上面側の側面が開口し、
前記第3の工程において、前記他のシール材の内部には加圧ガスが充填されることを特徴とする、請求項10に記載の接合方法。 - 請求項7〜11のいずれか一項に記載の接合方法を接合装置によって実行させるように、当該接合装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項12に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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